JP6555273B2 - タングステンを含む材料のダメージを抑制した半導体素子の洗浄液、およびこれを用いた半導体素子の洗浄方法 - Google Patents
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Description
<1> 低誘電率膜(Low-k膜)と10原子%以上のタングステンを含む材料とを有する半導体素子の表面上のフォトレジストを除去する洗浄液であって、アルカリ土類金属化合物0.001〜5質量%、無機アルカリおよび/または有機アルカリ0.1〜30質量%、並びに水を含む、前記洗浄液である。
<2> 前記洗浄液のpH値が10〜14である上記<1>に記載の洗浄液である。
<3> 前記10原子%以上のタングステンを含む材料が、酸化タングステン、窒化タングステン、タングステン、およびタングステンシリサイドからなる群より選択される少なくとも1種である上記<1>または<2>に記載の洗浄液である。
<4> 前記アルカリ土類金属化合物が、カルシウム化合物、ストロンチウム化合物、およびバリウム化合物からなる群より選択される少なくとも1種である上記<1>から<3>のいずれかに記載の洗浄液である。
<5> 前記無機アルカリが、水酸化リチウム、炭酸リチウム、炭酸水素リチウム、酢酸リチウム、水酸化ナトリウム、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、酢酸ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸カリウム、炭酸水素カリウム、酢酸カリウム、水酸化セシウム、炭酸セシウム、炭酸水素セシウム、酢酸セシウム、およびアンモニアからなる群より選択される1種以上であり、
前記有機アルカリが、水酸化テトラメチルアンモニウム、水酸化テトラエチルアンモニウム、水酸化テトラプロピルアンモニウム、水酸化テトラブチルアンモニウム、コリン、メチルアミン、ジメチルアミン、トリメチルアミン、エチルアミン、ジエチルアミン、トリエチルアミン、プロピルアミン、ジプロピルアミン、ブチルアミン、ジブチルアミン、ペンチルアミン、へキシルアミン、ヘプチルアミン、オクチルアミン、エタノールアミン、2−メチルエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン、および1−アミノ−2−プロパノールからなる群より選択される1種以上である上記<1>から<4>のいずれかに記載の洗浄液である。
<6> 実質的に過酸化物、過塩素酸および過塩素酸塩を含まない上記<1>から<5>のいずれかに記載の洗浄液である。
<7> 低誘電率膜(Low-k膜)と10原子%以上のタングステンを含む材料とを有する半導体素子の表面上のフォトレジストを除去する洗浄方法であって、上記<1>から<6>のいずれかに記載の洗浄液を用いることを特徴とする洗浄方法である。
本発明において、タングステンの含有量は、X線光電子分光法(XPS)のイオンスパッタ法により、対象となるタングステンを含む材料のタングステン原子の構成比を測定することにより調べることができる。タングステンを含む材料の表面近傍は酸化されることで酸素原子の構成比が材料の内部よりも高くなる場合がある。そのため、タングステンと酸素の原子の構成比が一定となるまで、イオンスパッタによりタングステンを含む材料の表面をエッチングし、イオンスパッタにより露出したタングステンを含む材料の内部のタングステン原子の構成比を測定することができる。測定装置としては、完全自動XPS分析装置K−Alpha(サーモフィッシャーサイエンティフィック株式会社製)を用いることができる。
本発明者らは、洗浄液に含まれるアルカリ土類金属化合物が、タングステンを含む材料に対して防食効果を示すことを初めて見出した。そのメカニズムは明らかになっていないが、アルカリ土類金属化合物がタングステンの表面に吸着し、洗浄液に含まれるアルカリがタングステンを侵食するのを防いでいると考えられる。
これらの中でも、硝酸バリウム、水酸化バリウム、塩化バリウム、酢酸バリウム、酸化バリウム、臭化バリウム、炭酸バリウム、フッ化バリウム、ヨウ化バリウム、硫酸バリウム、リン酸バリウム、硝酸カルシウム、および塩化ストロンチウムが好ましい。
これらアルカリ土類金属化合物は、単独または2種類以上を組み合わせて配合できる。
これらの中でも、水酸化カリウムおよびアンモニアが好ましい。
一方、有機アルカリとして、水酸化テトラメチルアンモニウム、水酸化テトラエチルアンモニウム、水酸化テトラプロピルアンモニウム、水酸化テトラブチルアンモニウム、コリン、メチルアミン、ジメチルアミン、トリメチルアミン、エチルアミン、ジエチルアミン、トリエチルアミン、プロピルアミン、ジプロピルアミン、ブチルアミン、ジブチルアミン、ペンチルアミン、へキシルアミン、ヘプチルアミン、オクチルアミン、エタノールアミン、2−メチルエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン、1−アミノ−2−プロパノールなどが挙げられるが、これらに限定されるものではない。
これらの中でも、水酸化テトラメチルアンモニウムおよびトリエチルアミンが好ましい。
これらのアルカリは、単独または2種類以上を組み合わせて配合できる。
本発明の洗浄方法は、必要に応じて超音波を併用することができる。
本発明の洗浄液を使用する時間は0.1〜120分であり、好ましくは1〜60分の範囲であり、エッチングの条件や使用される半導体素子により適宜選択すればよい。
本発明の洗浄液を使用した後のリンス液としては、アルコールのような有機溶剤を使用することもできるが、水でリンスするだけでも十分である。
半導体素子の洗浄・除去処理前後の状況観察は以下のSEM(走査型電子顕微鏡)装置を用いて、100,000倍で観察した。
測定機器:株式会社日立ハイテクノロジーズ社製、超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡SU9000
判定:
洗浄・除去後の判定はSEM観察後、以下の基準に従った。
I. フォトレジストの除去状態
E:フォトレジストが完全に除去された。
G:フォトレジストが概ね除去された。
P:フォトレジストの除去が不十分であった。
EとG判定を合格とした。
II. タングステンを含む材料のダメージ
E:洗浄前と比べてタングステンを含む材料に変化が見られなかった。
G:洗浄前と比べてタングステンを含む材料に僅かに変化が見られた。
P:タングステンを含む材料に形状の変化が見られた。
EとG判定を合格とした。
III. Low−k膜のダメージ
E:洗浄前と比べてLow−k膜に変化が見られなかった。
G:洗浄前と比べてLow−k膜に僅かに変化が見られた。
P:Low−k膜に形状の変化が見られた。
F:Low−k膜の形状に著しく変化が見られた。
EとG判定を合格とした。
試験には、図1に示したような断面の配線構造を有する半導体素子を使用し、洗浄効果を調べた。フォトレジスト3を除去するため、表1に記した洗浄液に表2に示した温度、時間で浸漬した。浸漬時は、洗浄液中で撹拌子を350rpmで回転させた。その後、超純水によるリンス、乾燥窒素ガス噴射による乾燥を行った。洗浄後の半導体素子をSEMで観察することにより、フォトレジスト3(図1)の除去状態とタングステンを含む材料1(図1)とLow−k膜2(図1)のダメージを判断した。試験に使用したタングステンを含む材料は酸化タングステンであり、30原子%のタングステンを含んでいた。
なお、タングステンの含有量は、上述した通り、X線光電子分光法(XPS)のイオンスパッタ法により測定した。いずれも測定装置としては、完全自動XPS分析装置K−Alpha(サーモフィッシャーサイエンティフィック株式会社製)を用いた。
実施例1〜5で用いた洗浄液(表1、洗浄液1A〜1D)において、硝酸バリウム(アルカリ土類金属化合物)を添加しない洗浄液(表3、洗浄液2A〜2D)で図1に示した半導体素子を洗浄した。表5に洗浄条件と洗浄結果を示した。比較例1〜5に示す洗浄液2A〜2Dに硝酸バリウムを加えた洗浄液(表1、洗浄液1A〜1D)と比べると、フォトレジスト3の除去性とLow−k膜2のダメージに差異はなかったが、タングステンを含む材料1にはいずれもダメージが見られた。よって、2A〜2Dの洗浄液は、本発明の対象である半導体素子の製造工程において、タングステンを含む材料とLow−k膜のダメージを抑制し、被処理物の表面のフォトレジストを除去する目的には使用できないことがわかる(表5)。また、これらと実施例6〜10から、アルカリ土類金属化合物がフォトレジスト3の除去性を悪化させずにタングステンを含む材料1のダメージを抑制するのに有用であることがわかる。
水酸化カリウム0.005質量%、水酸化テトラメチルアンモニウム10質量%、ジエチレングリコールモノメチルエーテル50質量%、ピラゾール0.1質量%、および水38.895%質量%を含む洗浄液(表4、洗浄液2E)で図1に示した半導体素子を洗浄した。表5に洗浄条件と評価結果を示した。この洗浄液で50℃、20分間洗浄すると、フォトレジストを除去することはできるが、タングステンを含む材料と、Low−k膜の両材料にダメージを与えた(比較例6)。タングステンを含む材料とLow−k膜のダメージを抑制するため、浸漬時間を25℃、0.5分間と緩和すると、タングステンを含む材料にダメージを与えないが、フォトレジストを除去できず、Low−k膜にダメージを与えた(比較例7)。よって、2Eの洗浄液は、本発明の対象である半導体素子の製造工程において、タングステンを含む材料とLow−k膜のダメージを抑制し、被処理物の表面のフォトレジストを除去する目的には使用できないことがわかる(表5)。
ベンゾトリアゾール0.1質量%、1,2,4−トリアゾール0.1質量%、フッ化アンモニウム5質量%、ホウ酸1質量%、および水93.8質量%を含む洗浄液(表4、洗浄液2F)で図1に示した半導体素子を洗浄した。表5に洗浄条件と評価結果を示した。この洗浄液ではタングステンを含む材料のダメージを抑制することはできるが、フォトレジストを除去することはできず、Low−k膜にダメージを与えた。よって、2Fの洗浄液は、本発明の対象である半導体素子の製造工程において、タングステンを含む材料とLow−k膜のダメージを抑制し、被処理物の表面のフォトレジストを除去する目的には使用できないことがわかる(表5)。
フッ化アンモニウム0.25質量%、グルコン酸0.06質量%、および水99.69質量%を含む洗浄液(表4、洗浄液2G)で図1に示した半導体素子を洗浄した。表5に洗浄条件と評価結果を示した。この洗浄液ではタングステンを含む材料のダメージを抑制することはできるが、フォトレジストを除去することはできず、Low−k膜にダメージを与えた。よって、2Gの洗浄液は、本発明の対象である半導体素子の製造工程において、タングステンを含む材料とLow−k膜のダメージを抑制し、被処理物の表面のフォトレジストを除去する目的には使用できないことがわかる(表5)。
リン酸1.35質量%、塩酸1質量%、水酸化テトラメチルアンモニウム5質量%、ラウリルジアミノエチルグリシンナトリウム0.01質量%、および水92.64質量%を含む洗浄液(表4、洗浄液2H)で図1に示した半導体素子を洗浄した。表5に洗浄条件と評価結果を示した。この洗浄液で6分間洗浄すると、タングステンを含む材料にダメージを与えずに、フォトレジストを除去することはできるが、Low−k膜にダメージを与えた(比較例10)。Low−k膜のダメージを抑制するため、浸漬時間を4分間と短くすると、タングステンを含む材料にダメージを与えないが、フォトレジストを除去できず、Low−k膜にもダメージを与えた(比較例11)。よって、2Hの洗浄液は、本発明の対象である半導体素子の製造工程において、タングステンを含む材料とLow−k膜のダメージを抑制し、被処理物の表面のフォトレジストを除去する目的には使用できないことがわかる(表5)。
過酸化水素5質量%、アミノトリアゾール0.01質量%、および水94.99質量%を含む洗浄液(表4、洗浄液2I)で図1に示した半導体素子を洗浄した。表5に洗浄条件と評価結果を示した。この洗浄液ではLow−k膜のダメージを抑制することはできるが、フォトレジストを除去することはできず、タングステンを含む材料にダメージを与えた。よって、2Iの洗浄液は、本発明の対象である半導体素子の製造工程において、タングステンを含む材料とLow−k膜のダメージを抑制し、被処理物の表面のフォトレジストを除去する目的には使用できないことがわかる(表5)。
過酸化水素15質量%、水酸化ベンジルトリメチルアンモニウム0.2質量%、エソカードO/12[オレイルビス(2−ヒドロキシエチル)メチルアンモニウム−ビス(トリフルオロメタンスルホニル)イミド](ライオン株式会社製)0.001質量%、および水84.799質量%を含む洗浄液(表4、洗浄液2J)で図1に示した半導体素子を洗浄した。表5に洗浄条件と評価結果を示した。この洗浄液ではLow−k膜のダメージを抑制することはできるが、フォトレジストを除去することはできず、タングステンを含む材料にダメージを与えた。よって、2Jの洗浄液は、本発明の対象である半導体素子の製造工程において、タングステンを含む材料とLow−k膜のダメージを抑制し、被処理物の表面のフォトレジストを除去する目的には使用できないことがわかる(表5)。
オクチルアミン1.9質量%、ヒドロキシルアミン硫酸塩6質量%、水酸化テトラメチルアンモニウム4.9質量%、ギ酸2質量%、2−メチル−4−ペンタンジオール8質量%、および水77.2質量%を含む洗浄液(表4、洗浄液2K)で図1に示した半導体素子を洗浄した。表5に洗浄条件と評価結果を示した。この洗浄液ではタングステンを含む材料のダメージを抑制することはできるが、フォトレジストを除去することはできず、Low−k膜にダメージを与えた。よって、2Kの洗浄液は、本発明の対象である半導体素子の製造工程において、タングステンを含む材料とLow−k膜のダメージを抑制し、被処理物の表面のフォトレジストを除去する目的には使用できないことがわかる(表5)。
N,N−ジエチルヒドロキシルアミン20質量%、ヒドロキシルアミン2質量%、ジメチルスルホキシド53質量%、カテコール10質量%、および水15質量%を含む洗浄液(表4、洗浄液2L)で図1に示した半導体素子を洗浄した。表5に洗浄条件と評価結果を示した。この洗浄液で50℃、1分間洗浄すると、タングステンを含む材料にダメージを与えずに、フォトレジストを除去することはできるが、Low−k膜にダメージを与えた(比較例15)。Low−k膜のダメージを抑制するため、浸漬時間を0.2分間にすると、タングステンを含む材料にダメージを与えないが、フォトレジストを除去できず、Low−k膜にもダメージを与えた(比較例16)。よって、2Lの洗浄液は、本発明の対象である半導体素子の製造工程において、タングステンを含む材料とLow−k膜のダメージを抑制し、被処理物の表面のフォトレジストを除去する目的には使用できないことがわかる(表5)。
水酸化テトラメチルアンモニウム10質量%、水酸化カリウム0.02質量%、2−フェニル−4−メチルイミダゾール2質量%、ジエチレングリコールモノメチルエーテル20質量%、および水67.98質量%を含む洗浄液(表4、洗浄液2M)で図1に示した半導体素子を洗浄した。表5に洗浄条件と評価結果を示した。この洗浄液で50℃、10分間洗浄すると、フォトレジストを除去することはできるが、タングステンを含む材料とLow−k膜にダメージを与えた(比較例17)。タングステンを含む材料とLow−k膜のダメージを抑制するため、浸漬温度を30℃に下げ、処理時間を1分と短くすると、タングステンを含む材料にダメージを与えないが、フォトレジストを除去できず、Low−k膜にダメージを与えた(比較例18)。よって、2Mの洗浄液は、本発明の対象である半導体素子の製造工程において、タングステンを含む材料とLow−k膜のダメージを抑制し、被処理物の表面のフォトレジストを除去する目的には使用できないことがわかる(表5)。
過酸化水素14質量%、フッ酸0.3質量%、ジエチレングリコールモノメチルエーテル58.4質量%、ビニルイミダゾール1質量%、および水26.3質量%を含む洗浄液(表4、洗浄液2N)で図1に示した半導体素子を洗浄した。表5に洗浄条件と評価結果を示した。この洗浄液ではフォトレジストを除去することはできず、タングステンを含む材料とLow−k膜にダメージを与えた。よって、2Nの洗浄液は、本発明の対象である半導体素子の製造工程において、タングステンを含む材料とLow−k膜のダメージを抑制し、被処理物表面のフォトレジストを除去する目的には使用できないことがわかる(表5)。
フッ酸0.3質量%、ジエチレングリコールモノメチルエーテル60質量%、2−エチル−4−メチルイミダゾール1質量%、および水38.7質量%を含む洗浄液(表4、洗浄液2O)で図1に示した半導体素子を洗浄した。表5に洗浄条件と評価結果を示した。この洗浄液ではタングステンを含む材料のダメージを抑制することはできるが、フォトレジストを除去することはできず、Low−k膜にダメージを与えた。よって、2Oの洗浄液は、本発明の対象である半導体素子の製造工程において、タングステンを含む材料とLow−k膜のダメージを抑制し、被処理物の表面のフォトレジストを除去する目的には使用できないことがわかる(表5)。
フッ酸0.1質量%、アミノプロピルトリメトキシシラン0.1質量%、ベンゾトリアゾール0.1質量%、エタノール1質量%、酢酸1質量%、および水97.7質量%を含む洗浄液(表4、洗浄液2P)で図1に示した半導体素子を洗浄した。表5に洗浄条件と評価結果を示した。この洗浄液ではタングステンを含む材料のダメージを抑制することはできるが、フォトレジストを除去することはできず、Low−k膜にダメージを与えた。よって、2Pの洗浄液は、本発明の対象である半導体素子の製造工程において、タングステンを含む材料とLow−k膜のダメージを抑制し、被処理物の表面のフォトレジストを除去する目的には使用できないことがわかる(表5)。
ヒドロキシルアミン硫酸塩2質量%、水酸化テトラメチルアンモニウム3.4質量%、クエン酸2質量%、ソルビトール0.5質量%、および水92.1質量%を含む洗浄液(表4、洗浄液2Q)で図1に示した半導体素子を洗浄した。表5に洗浄条件と評価結果を示した。この洗浄液ではLow−k膜のダメージを抑制することはできるが、フォトレジストを除去することはできず、タングステンを含む材料にダメージを与えた。よって、2Qの洗浄液は、本発明の対象である半導体素子の製造工程において、タングステンを含む材料とLow−k膜のダメージを抑制し、被処理物の表面のフォトレジストを除去する目的には使用できないことがわかる(表5)。
酢酸アンモニウム5質量%、グリシン0.8質量%、アンモニア0.18質量%、ジメチルスルホキシド3.6質量%、および水90.42質量%を含む洗浄液(表4、洗浄液2R)で図1に示した半導体素子を洗浄した。表5に洗浄条件と評価結果を示した。この洗浄液ではタングステンを含む材料のダメージを抑制することはできるが、フォトレジストを除去することはできず、Low−k膜にダメージを与えた。よって、2Rの洗浄液は、本発明の対象である半導体素子の製造工程において、タングステンを含む材料とLow−k膜のダメージを抑制し、被処理物の表面のフォトレジストを除去する目的には使用できないことがわかる(表5)。
TMAH3.35質量%、CyDTA0.11質量%、過酸化水素1.64質量%、ヘキサフルオロケイ酸0.23質量%、および水94.67質量%を含む洗浄液(表4、洗浄液2S)で図1に示した半導体素子を洗浄した。表5に洗浄条件と評価結果を示した。この洗浄液ではフォトレジストを除去することはできず、タングステンを含む材料とLow−k膜にダメージを与えた。よって、2Sの洗浄液は、本発明の対象である半導体素子の製造工程において、タングステンを含む材料とLow−k膜のダメージを抑制し、被処理物の表面のフォトレジストを除去する目的には使用できないことがわかる(表5)。
KOH1質量%、ヘキサフルオロケイ酸0.5質量%、および水98.5質量%を含む洗浄液(表4、洗浄液2T)で図1に示した半導体素子を洗浄した。表5に洗浄条件と評価結果を示した。この洗浄液では、フォトレジストを除去することはできるが、タングステンを含む材料とLow−k膜にダメージを与えた。よって、2Tの洗浄液は、本発明の対象である半導体素子の製造工程において、タングステンを含む材料とLow−k膜のダメージを抑制し、被処理物の表面のフォトレジストを除去する目的には使用できないことがわかる(表5)。
NH3:アンモニア
TMAH:水酸化テトラメチルアンモニウム
TEA:トリエチルアミン
Ba(NO3)2:硝酸バリウム
Ba(OH)2:水酸化バリウム
BaCl2:塩化バリウム
Ca(NO3)2:硝酸カルシウム
SrCl2:塩化ストロンチウム
ダメージII: タングステン系の材料1のダメージ
ダメージIII: Low−k膜2のダメージ
NH3:アンモニア
TMAH:水酸化テトラメチルアンモニウム
TEA:トリエチルアミン
TMAH:水酸化テトラメチルアンモニウム
DGME:ジエチレングリコールモノメチルエーテル
エソカードO/12;[オレイルビス(2‐ヒドロキシエチル)メチルアンモニウム‐ビス(トリフルオロメタンスルホニル)イミド](ライオン株式会社製)
DMSO:ジメチルスルホキシド
CyDTA:trans−1,2−ジアミノシクロヘキサン−N,N,N‘,N’―四酢酸1水和物
ダメージII: タングステン系の材料1のダメージ
ダメージIII: Low−k膜2のダメージ
2:層間絶縁膜(Low−k膜)
3:フォトレジスト
Claims (7)
- 低誘電率膜(Low-k膜)と10原子%以上のタングステンを含む材料とを有する半導体素子の表面上のフォトレジストを除去する洗浄液であって、
アルカリ土類金属化合物0.001〜5質量%、無機アルカリおよび/または有機アルカリ0.1〜30質量%、並びに水を含み、
前記アルカリ土類金属化合物が、カルシウム化合物、ストロンチウム化合物、およびバリウム化合物からなる群より選択される少なくとも1種である、前記洗浄液。 - 前記洗浄液のpH値が10〜14である請求項1に記載の洗浄液。
- 前記10原子%以上のタングステンを含む材料が、酸化タングステン、窒化タングステン、タングステン、およびタングステンシリサイドからなる群より選択される少なくとも1種である請求項1または2に記載の洗浄液。
- 前記アルカリ土類金属化合物が、硝酸バリウム、水酸化バリウム、塩化バリウム、酢酸バリウム、酸化バリウム、臭化バリウム、炭酸バリウム、フッ化バリウム、ヨウ化バリウム、硫酸バリウム、リン酸バリウム、硝酸カルシウム、塩化カルシウム、酢酸カルシウム、水酸化カルシウム、臭化カルシウム、炭酸カルシウム、フッ化カルシウム、ヨウ化カルシウム、硫酸カルシウム、リン酸カルシウム、炭酸ストロンチウム、塩化ストロンチウム、酢酸ストロンチウム、水酸化ストロンチウム、臭化ストロンチウム、フッ化ストロンチウム、ヨウ化ストロンチウム、硫酸ストロンチウム、及びリン酸ストロンチウムからなる群より選択される少なくとも1種である、請求項1から3のいずれかに記載の洗浄液。
- 前記無機アルカリが、水酸化リチウム、炭酸リチウム、炭酸水素リチウム、酢酸リチウム、水酸化ナトリウム、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、酢酸ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸カリウム、炭酸水素カリウム、酢酸カリウム、水酸化セシウム、炭酸セシウム、炭酸水素セシウム、酢酸セシウム、およびアンモニアからなる群より選択される1種以上であり、
前記有機アルカリが、水酸化テトラメチルアンモニウム、水酸化テトラエチルアンモニウム、水酸化テトラプロピルアンモニウム、水酸化テトラブチルアンモニウム、コリン、メチルアミン、ジメチルアミン、トリメチルアミン、エチルアミン、ジエチルアミン、トリエチルアミン、プロピルアミン、ジプロピルアミン、ブチルアミン、ジブチルアミン、ペンチルアミン、へキシルアミン、ヘプチルアミン、オクチルアミン、エタノールアミン、2−メチルエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン、および1−アミノ−2−プロパノールからなる群より選択される1種以上である請求項1から4のいずれかに記載の洗浄液。 - 実質的に過酸化物、過塩素酸および過塩素酸塩を含まない請求項1から5のいずれかに記載の洗浄液。
- 低誘電率膜(Low-k膜)と10原子%以上のタングステンを含む材料とを有する半導体素子の表面上のフォトレジストを除去する洗浄方法であって、請求項1から6のいずれかに記載の洗浄液を用いることを特徴とする洗浄方法。
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