JP6534871B2 - 板状ワークの貼り合わせ方法 - Google Patents
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図1−図5を参照しながら、支持基板1と板状ワーク2とをワックス3によって貼り合わせる板状ワークの貼り合わせ方法の第1例について説明する。
図1に示すように、支持基板1を保持テーブル12に搬入する。保持テーブル12は、その上面が支持基板1を吸引保持する保持面12aとなっており、保持面12aは吸引源13に連通しており、吸引源13の吸引力によって支持基板1を保持面12aにおいて吸引保持する。支持基板1は、上下面が平坦面に形成された平板であり、例えばガラス基板や樹脂基板から構成されている。また、支持基板1は、保持テーブル12の保持面12aにおいて吸引保持可能なサイズに形成され、板状ワーク2よりも大きく形成されている。したがって、支持基台1の外周上面1bが、板状ワーク2の外周側からはみ出した状態となっている。なお、板状ワーク2は、被加工物の一例であって、特に材質等が限定されるものではない。
図1に示したように、粘着テープ保持部15の保持面15aにおいて、粘着面を下に向けた状態で粘着テープ4を保持する。そして、図2に示すように、扉開閉手段101によって扉101aを閉めて空間5を密閉する。そして、減圧手段11によって減圧口103を通じて減圧チャンバ10の空間5を減圧して真空状態の減圧空間を形成する。この減圧環境下で、昇降手段18が粘着テープ保持部15を降下させていき、粘着テープ4を板状ワーク2に接近させ、粘着テープ4を板状ワーク2の上面2aに貼着する。これにより、板状ワーク2が粘着テープ4によって覆われるとともに、板状ワーク2の上面2aに載置された粘着テープ4の外周部4aが、板状ワーク2の外周部からはみ出した状態となる。なお、本実施形態では、粘着テープ4を板状ワーク2の上面2aに載置した状態となっているが、これに限定されるものではなく、板状ワーク2の側面側を粘着テープ4で覆うようにしてもよい。また、粘着テープ4は、粉末ワックス配置工程の前から粘着テープ配置工程の前までに減圧チャンバ10の内部に搬入すればよい。
粘着テープ配置工程を実施した後、図3に示すように、エアー供給源20から送られるエアーによって昇降軸191がエアシリンダ190内を下方に移動し、押付部17を下降させる。そして、押付部17が粘着テープ4の外周部4aを支持基板1に対して押し付け、外周部4aを支持基板1の外周上面1bに貼着する。これにより、板状ワーク2及びワックス3を板状ワーク1と粘着テープ4とによって囲んだ減圧密閉室6を形成する。減圧密閉室6は、支持基板1と板状ワーク2との間を減圧環境下で密閉しワックス3の内部に空気を入れない密閉空間として機能する。
減圧空間形成工程を実施した後、図4に示すように、昇降手段18によって粘着テープ保持部15を粘着テープ4から離反させる。そして、電源スイッチ140をオンにしてヒータ14を加熱させワックス3を加温し、ワックス3を溶かして粘着テープ4の内側で拡張させ、支持基板1と板状ワーク2との間にワックス3を満たす。
ワックス拡張工程を実施した後、拡張されたワックス3を冷却し固化させて板状ワーク2と支持基板1とを貼り合わせる。冷却する方法は、特に限定されるものではなく、例えば、電源スイッチ140をオフにしてヒータ14を停止しワックス3を常温に戻す方法や、エアーを噴きかけてワックス3から除熱する方法などがある。このようにして、ワックス3を冷却し、ワックス3を固化させて板状ワーク2と支持基板1とを貼り合わせる。このとき、粉末状のワックス3の内部には気泡が発生することがないことから、板状ワーク2と支持基板1とを隙間なく貼り合わせることができる。
貼り合わせ工程を実施した後、図4に示した減圧チャンバ10から、ワックス3によって支持基板1に貼り合わせられた板状ワーク2を取り出し、図5に示す別の保持テーブル21の保持面21aに載置する。そして、吸引源22の吸引力が保持テーブル21の保持面21aにおいて作用し、支持基板1を保持面21aで吸引保持する。
次に、図6−図11を参照しながら、支持基板1と板状ワーク2とをワックス3によって貼り合わせる板状ワークの貼り合わせ方法の第2例について説明する。
図6に示すように、支持基板1を、保持テーブル33に搬入する。保持テーブル33は、その上面が支持基板1を吸引保持する保持面33aとなっており、保持テーブル33に支持基板1を載置し保持面33aにおいて支持基板1を吸引保持したら、支持基板1の上面1aに粉末状のワックス3を敷設する。そして、ワックス3の上に板状ワーク2の下面2bを重ね、支持基板1と板状ワーク3との間にワックス3を挟みこみ、板状ワーク2の上面2aを露出させる。
図7に示すように、粘着テープ4を板状ワーク2の上面2aに配置する。すなわち、図6に示した開口部32から粘着テープ4を減圧チャンバ30の内部に搬入し、保持テーブル33に保持された板状ワーク2の上面2aに粘着テープ4を載置する。その後、レバー31によってカバー300を下げて空間5aを密閉するとともに、減圧手段39によって減圧口38を通じて空間5aを減圧して真空状態の減圧空間を形成する。
粘着テープ配置工程を実施した後、減圧チャンバ30の内部に配設された貼着ローラ34によって、板状ワーク2の外周縁からはみ出た粘着テープ4の外周部4aを支持基板1に貼着する。ここで、貼着ローラ34は、軸部350を有する支持部35に対して回転可能に構成されている。支持部35には、昇降手段36が接続されており、昇降手段36を構成する昇降軸360が上下に昇降することにより、貼着ローラ34を昇降させることができる。
減圧空間形成工程を実施した後、減圧チャンバ30から、ワックス3によって支持基板1に貼り合わせられた板状ワーク2を取り出し、図10に示すように、ヒータテーブル40に載置する。ヒータテーブル40の上面は、支持基板1を保持する保持面40aとなっており、保持面40aは吸引源42に連通している。また、ヒータテーブル40の内部にはヒータ41が配設されており、保持面40a側を加温することができる。
ワックス拡張工程を実施した後、拡張されたワックス3を冷却して固化させて板状ワーク2と支持基板1とを貼り合わせる。第1例の貼り合わせ工程と同様の動作によってワックス3を冷却し、ワックス3を固化させる。このとき、粉末状のワックス3の内部に気泡が発生することがなく、板状ワーク2と支持基板1とを隙間なく貼り合わせることができる。
貼り合わせ工程を実施した後、図11に示すように、粘着テープ4を板状ワーク2から剥離する。本工程においても、第1例の剥離工程と同様に、例えば挟持部23aが挟持した剥離テープ24aを粘着テープ4の外周部4aに貼り付けた状態で、挟持部23aを上昇させ、粘着テープ4を支持基板1の外周上面1b及び板状ワーク2の上面2aから剥がす。その後、支持基板1に貼り合わせられた板状ワーク2は、例えば切削装置に搬送され、個々のチップに分割される。
10:減圧チャンバ 100:カバー 101:扉開閉手段 101a:扉
102:開口部 11:減圧手段 12:保持テーブル 12a:保持面 13:吸引源14:ヒータ 140:電源スイッチ 15:粘着テープ保持部 15a:保持面
150:吸引路 16:吸引源 17:押付部
18:昇降手段 180:シリンダ 181:昇降軸 182:アーム部
19:押付部昇降手段 190:エアシリンダ 191:昇降軸 192:バルブ
20:エアー供給源 21:保持テーブル 21a:保持面 22:吸引源
23,23a:挟持部 24,24a:剥離テープ
30:減圧チャンバ 300:カバー 31:レバー 32:開口部
33:保持テーブル 33a:保持面
34:貼着ローラ 35:支持部 350:軸部 36:昇降手段 360:昇降軸
37:水平移動手段 38:減圧口 39:減圧手段 40:ヒータテーブル
40a:保持面 41:ヒータ 410:電源スイッチ 42:吸引源
Claims (2)
- 支持基板と板状ワークとを熱可塑性の樹脂からなるワックスで固定する板状ワークの貼り合わせ方法であって、
該支持基板と該板状ワークとの間に粉末状のワックスを配置する粉末ワックス配置工程と、
該粉末ワックス配置工程の後、減圧環境下で該支持基板と該板状ワークとの間を密閉して形成された減圧密閉室を減圧する減圧空間形成工程と、
該減圧空間形成工程の後、該ワックスを加温して溶かし該支持基板と該板状ワークとの間をワックスで満たすワックス拡張工程と、
該ワックス拡張工程の後、該ワックスを冷却し固化させ該板状ワークと該支持基板とを貼り合わせる貼り合わせ工程と、からなる板状ワークの貼り合わせ方法。 - 前記減圧空間形成工程は、
前記支持基板を保持する保持テーブルと、前記板状ワークより面積の大きい粘着テープと、該粘着テープを保持する粘着テープ保持部と、該粘着テープを該支持基板に貼着する貼着手段と、該保持テーブルと該粘着テープ保持部と該貼着手段とを包囲した空間を減圧する減圧チャンバと、を用い、
該減圧チャンバ内を減圧するとともに、該粘着テープ保持部が保持する該粘着テープを該板状ワークに接近させ該板状ワークを該粘着テープで覆う粘着テープ配置工程と、
該粘着テープ配置工程の後、該貼着手段によって、該板状ワークからはみ出した該粘着テープの外周部を該支持基板に貼着し前記減圧密閉室を形成する減圧密閉室形成工程とからなり、
前記貼り合わせ工程の後、該粘着テープを該板状ワークから剥離する剥離工程を含む請求項1記載の板状ワークの貼り合わせ方法。
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