JP6104070B2 - 切削方法 - Google Patents
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Description
2a 表面
2b 裏面
4 混合樹脂
6 被加工物
6a 表面
6b 裏面
8 樹脂
10 粒子
12 切削装置
14 保持テーブル
14a 保持面
14b 吸引路
16 切削ブレード
16a 先端部分
18 切削溝
20 チップ
Claims (1)
- 両面が平坦面で形成された支持基板の表面に被加工物の裏面側を樹脂で貼着して、被加工物を切削する切削方法であって、
粒子が分散含有した混合樹脂を該支持基板上に供給し、被加工物の裏面側を該混合樹脂側に対面させ被加工物の裏面側の全面に渡って該混合樹脂が広がるまで被加工物を押圧して載置し、該混合樹脂を硬化させて、該支持基板上に所定厚みを規定する該混合樹脂を介して被加工物を貼着する貼着工程と、
該貼着工程を実施した後、該支持基板側を保持テーブルで保持して、切削ブレードによって被加工物の表面から該混合樹脂の厚み方向の途中まで切り込み、被加工物を完全切断して個片化する切削工程と、
該切削工程の後に、該支持基板の表面から該個片化された被加工物及び該混合樹脂を剥離する剥離工程と、を備え、
該所定厚みは、該切削ブレードが被加工物を切断する際に該切削ブレードの先端形状が被加工物に転写せず且つ該支持基板まで切り込まない厚みに規定されていることを特徴とする切削方法。
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