JP7204380B2 - テーブル - Google Patents
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Description
よって、ワークを加熱又は冷却するテーブルにおいては、テーブルに温度変化が生じているか否かを外観から判別できるようにするという課題がある。
図1に示す本発明に係るテーブル3は、例えば半導体ウェーハ等の板状ワーク又はワークに貼着されたテープを加熱するホットプレートである。テーブル3は、例えば、直方体状の基台31を備えており、基台31の上面には、凹部が形成され、この凹部に温調手段32が埋設されており、基台31の上面と温調手段32の上面とは例えば面一の状態になっている。
温調手段32には、図示しない電源が電気的に接続されており、温調手段32に所定の電力が通電されることで、ワークが載置される載置面300を含むプレート体30を所定の温度まで加熱することができる。
塗料36は、図1~図3に示すように、温調手段32の面積に合わせて載置面300に矩形状に塗布されていてもよいが、載置面300全面に塗布されていてもよい。なお、塗料36の第1の色及び第2の色は、上記例に限定されるものではなく、例えば、塗料36はプレート体30が加熱されていない第1の温度のときに無色であるとともに、温調手段32による加熱でプレート体30の温度が変化(上昇)し載置面300が第1の温度と異なる第2の温度のときに発色(例えば、赤色になる)してもよい。
塗料36は、プレート体30が加熱されることで第2の温度に達した時点で第1の色から第2の色に急激に変色してもよいし、プレート体30が加熱されることで第1の温度から第2の温度まで温度変化していくに伴って、徐々に第1の色(灰色)の明度が下がり第2の温度に達した時点で第2の色(黒色)となってもよい。
塗料37からなる「高温」の文字は、図4、図5に示すように、載置面300の中央に大きく書かれていてもよいが、例えば、載置面300の四隅にそれぞれ書かれていてもよい。「高温」の文字の代わりに、塗料37で「加熱中」の文字を載置面300に書いてもよい。
このように、図4、図5に示すテーブル3は、載置面300が、図4に示すプレート体30加熱前の第1の温度と異なる図5に示すプレート体30加熱後の第2の温度のときに、塗料37によって載置面300に第1の色とは異なる第2の色の文字「高温」が発現することで、プレート体30が加熱されているか否かが外観から容易に判別できる。
図6に示す本発明に係るテーブル4は、例えば半導体ウェーハ等の板状ワーク又はワークに貼着されたテープを加熱できる吸引テーブルであり、テープマウンタやテープ剥離装置等に配設される。テーブル4は、例えば、円形板状の基台41を備えており、基台41の上面には、凹部が形成され、この凹部に温調手段42が埋設されており、基台41の上面(環状面)と温調手段42の上面とは例えば面一の状態になっている。
断熱材421は、ヒーター420の発する熱が基台41に伝わることを防ぎ、テーブル4が取り付けられる装置ベース等に対する熱による悪影響が及ばないようにする。また、高熱伝導材であるアルミプレート422は、ヒーター420が生み出した熱を損失を少なくアルミプレート422上に配設されたプレート体40に伝熱する。
ヒーター420の温度は、基台41の凹部に配設された熱電対424により検出可能となっている。
プレート体40の載置面400には、図7に示すように、径方向外側に向かって直線状に延びる直線状吸引溝403aと、載置面400の中心を中心とする同心円状に形成される複数の円環状の環状吸引溝403bとが配設されている。直線状吸引溝403aの底及び環状吸引溝403bの底には、複数の吸引孔404が形成されており、該吸引孔404は図6に示す吸引空間402に連通している。
さらに、第1の塗料46上には、プレート体40が加熱されていない第1の温度(例えば、常温である20度)のときに第1の色(図6においては無色)を呈する一点鎖線で示す第2の塗料47が一様な厚さで各吸引溝403a、403bを避けて塗布されている。よって、温調手段42によってプレート体40が加熱されていない状態を示す図6、及び図7においては、第1の塗料46及び第2の塗料47を透かしてプレート体40自体の色(例えば、図7においては灰色)が目視できる。
プレート体40の温度が変化(上昇)し載置面400が第1の温度と異なる第2の温度のときに、第2の塗料47は、変色せずに無色のままである。しかし、第2の塗料47は、加熱によってプレート体40の温度が変化(上昇)し載置面400が第1の温度及び第2の温度とは異なる第3の温度(例えば、第2の温度よりも高温)のときに、第1の色(無色)及び第1の塗料46の第2の色(黒色)とは異なる第3の色(図8においては白色)に変色する。図8においては、載置面400の紙面右斜め下の領域が第3の温度となっており、白色に変色した第2の塗料47を目視できる。
例えば、第1の温度、第2の温度、及び第3の温度とは異なる第4の温度のときに、第1の色(無色)、第1の塗料46の第2の色(黒色)、及び第2の塗料47の第3の色(白色)とは異なる第4の色(例えば、赤色)に変色する塗料を、第2の塗料47上にさらに塗布してもよい。
図9に示す本発明に係るテーブル5は、例えば半導体ウェーハ等の板状ワーク又はワークに貼着されたテープを冷却する冷却テーブルであり、テープマウンタ、テープ剥離装置、又はテープをエキスパンドしてワークをチップに分割するエキスパンド装置等に配設される。テーブル5は、ワークが載置される載置面500を含むプレート体50と、プレート体50を冷却する温調手段52と、を備えている。
該載置面500には、温調手段52によってプレート体50が冷却されていない第1の温度(例えば、常温である20℃)のときに第1の色(図9においては灰色)を呈する塗料56が一様な厚さで塗布されている。塗料56からなる塗料層の上面は、平坦面となっている。
32:温調手段 36、37:塗料
4:テーブル(吸引テーブル) 40:プレート体 400:載置面 402:吸引空間
403a:直線状吸引溝 403b:環状吸引溝 404:吸引孔
41:基台
42:温調手段 421:断熱材 420:ヒーター 422:アルミプレート 424:熱電対
44:貫通孔 45:吸引源 450:吸引路 451:ソレノイドバルブ
46:第1の塗料 47:第2の塗料
5:テーブル(冷却テーブル) 50:プレート体 500:載置面
52:温調手段 520:放熱プレート 521:ペルチェ素子層
55:電力供給手段 551:第1直流電源 552:第2直流電源
56:塗料
Claims (3)
- 半導体ウェーハを含む板状ワーク又は該板状ワークに貼着されたテープを吸引保持するとともに加熱または冷却する吸引テーブルであって、
ワークが載置される載置面を含むプレート体と、
該プレート体を加熱または冷却する温調手段と、
該プレート体に形成され該プレート体の該載置面において開口するとともに吸引源に連通する吸引溝と、
を備え、
該温調手段によって該プレート体が加熱または冷却されていない第1の温度のときに該載置面に第1の色を呈するとともに、該温調手段によって該プレート体の温度が変化し該載置面が該第1の温度と異なる第2の温度のときに該第1の色とは異なる第2の色に変色する塗料が該載置面に塗布されている、吸引テーブル。 - 前記温調手段により前記プレート体の温度が変化し前記載置面が前記第1の温度と異なる前記第2の温度のときに前記塗料によって該載置面に前記第2の色の文字が発現する、請求項1に記載の吸引テーブル。
- 前記載置面は、前記第1の温度及び前記第2の温度とは異なる第3の温度のときに前記第1の色及び前記第2の色とは異なる第3の色に変色する、請求項1、又は2に記載の吸引テーブル。
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