JP6516941B1 - オゾン供給装置およびオゾン供給方法 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は本願の実施の形態1のオゾン供給装置を示す構成図である。
この実施の形態1のオゾン供給装置100は、第1原料ガス源1a、第2原料ガス源1b、オゾン発生部2、オゾン濃縮部3、第1〜第5回路切替器6a〜6e、昇圧ブロア7、および制御部8を備える。
以下、第1〜第5回路切替器6a〜6eを総称するときには単に回路切替器と称して符号6を用いるものとする。また、以下において、酸素、窒素、窒素酸化物等のオゾン以外のガスを原料ガスと、また、原料ガスとオゾンガスとの混合体をオゾン化ガスと称するものとする。
この実施の形態1のオゾン供給装置100は、制御部8からの制御指令により、回路切替器6を開閉制御することにより、吸着動作用ガス回路R0、濃縮動作用ガス回路R1、および供給動作用ガス回路R2が選択的に形成される。
その他の構成は実施の形態1の場合と同じであるので、図1に示した実施の形態1と対応もしくは相当する構成部分には、同一の符号を付してここでは詳しい説明は省略する。
この比較例のオゾン供給装置101においても、実施の形態1の場合と同様に、制御部8からの制御指令により、回路切替器6を開閉制御することにより、吸着動作用ガス回路R0、濃縮動作用ガス回路R1、および供給動作用ガス回路R2が形成される。
以下、このオゾン供給装置101の吸着動作用ガス回路R0、濃縮動作用ガス回路R1、および供給動作用ガス回路R2の構成およびその作用について、図6から図8を用いてさらに詳述する。
図11は本願の実施の形態2のオゾン供給装置を示す構成図であり、実施の形態1(図1)と対応もしくは相当する構成部分に同一の符号を付す。
なお、ここでは、第1吸脱着塔4aと第2吸脱着塔4bはそれぞれ1塔のみとしているが、第1吸脱着領域5aが設けられた第1吸脱着塔4aを複数塔に、また第2吸脱着領域5bが設けられた第2吸脱着塔4bも複数塔にすることも可能である。
その他の構成は、実施の形態1の場合と同様であるから、ここでは詳しい説明は省略する。
この実施の形態2のオゾン供給装置200では、制御部8からの制御指令により、回路切替器6(6a〜6f)を開閉制御することにより、吸着動作用ガス回路R0、濃縮動作用ガス回路R1、および供給動作用ガス回路R2が選択的に形成される。
その他の作用効果は、実施の形態1と同様であるから、ここでは詳しい説明は省略する。
その他の構成、および作用効果は、実施の形態2(図11)の場合と同様であるから、ここでは詳しい説明は省略する。
その他の構成および作用効果は、実施の形態2(図11)と同様であるからここでは詳しい説明は省略する。
図18は本願の実施の形態3のオゾン供給装置を示す構成図であり、実施の形態2(図11)と対応あるいは相当する構成部分には同一の符号を付す。
この実施の形態3のオゾン供給装置300は、実施の形態2のオゾン供給装置200と同様に、第1原料ガス源1a、第2原料ガス源1b、オゾン発生部2、オゾン濃縮部3、第1〜第6回路切替器6a〜6f、昇圧ブロア7、および制御部8を備える。
その他の構成は、実施の形態2(図11)と同様であるから、ここでは詳しい説明は省略する。
この実施の形態3のオゾン供給装置300は、制御部8からの制御指令により、回路切替器6(6a〜6g)を開閉制御することにより、実施の形態2と同様に、吸着動作用ガス回路R0、濃縮動作用ガス回路R1、および供給動作用ガス回路R2が選択的に形成される。
なお、ここでは第1供給動作用ガス回路R21におけるガス処理を第1供給動作、第2供給動作用ガス回路R22におけるガス処理を第2供給動作と称する。
その他の作用効果は、実施の形態2と同様であるから、ここでは詳しい説明は省略する。
図22は、本願の実施の形態4のオゾン供給装置を示す構成図であり、実施の形態1(図1)と対応あるいは相当する構成部分には同一の符号を付す。
ここに、気液混合装置12としてエジェクタを使用する場合には、エジェクタに液体を導入するための液体供給部13を備えることが望ましい。また、気液混合装置12として散気管を使用する場合は、オゾン反応部14の内部に設置されることが望ましい。気液混合装置12で使用する液体としては、主に水を使用することが多いが、場合によっては酸または水酸化物等のpH調整剤を添加した溶液、汚泥等を使用する場合もある。
なお、その他の構成および作用効果は、実施の形態1(図1)の場合と同様であるから、ここでは詳しい説明は省略する。
その他の構成は、実施の形態4(図22)の場合と同様であるから、ここでは詳しい説明は省略する。
その他の作用効果は、実施の形態4(図22)の場合と同様であるから、ここでは詳しい説明は省略する。
従って、例示されていない無数の変形例が、本願に開示される技術の範囲内において想定される。例えば、少なくとも1つの構成要素を変形する場合、追加する場合または省略する場合、さらには、少なくとも1つの構成要素を抽出し、他の実施の形態の構成要素と組み合わせる場合が含まれるものとする。
Claims (12)
- 原料ガス源から供給される原料ガスによりオゾンを発生させるオゾン発生部と、上記オゾン発生部で発生したオゾンを含むオゾン化ガスを吸着剤で吸脱着させる第1吸脱着領域および第2吸脱着領域からなる2つの領域を有するオゾン濃縮部とを備えるとともに、
上記オゾン発生部で発生したオゾン化ガスを上記第1吸脱着領域と上記第2吸脱着領域の内の少なくとも上記第1吸脱着領域の吸着剤に吸着させる吸着動作用ガス回路と、上記オゾン濃縮部の上記第1吸脱着領域の吸着剤に吸着させたオゾン化ガスを脱着させて上記第2吸脱着領域の吸着剤に吸着させて回収する濃縮動作用ガス回路と、上記原料ガス源からの原料ガスを搬送しながら上記第2吸脱着領域の吸着剤で回収したオゾン化ガスを脱着させ、この脱着したオゾン化ガスを上記第1吸脱着領域を経由して上記オゾン濃縮部の外部に供給する供給動作用ガス回路と、をそれぞれ選択的に形成するためのガス回路形成用の回路切替器を備えるオゾン供給装置。 - 上記回路切替器の切り替え動作を自動的に制御する制御部を備える請求項1に記載のオゾン供給装置。
- 上記オゾン濃縮部と上記オゾン発生部との間には、上記回路切替器の回路切替により上記吸着動作用ガス回路が形成された場合に上記オゾン濃縮部から漏出したオゾン化ガスを上記オゾン発生部に導入するための昇圧ブロワが設けられている請求項2に記載のオゾン供給装置。
- 上記オゾン濃縮部は、上記第1吸脱着領域が設けられた第1吸脱着塔と、上記第2吸脱着領域が設けられた第2吸脱着塔を備え、上記第1吸脱着塔と上記第2吸脱着塔とは互いに分離独立して設けられている請求項2または請求項3に記載のオゾン供給装置。
- 上記第1吸脱着塔および上記第2吸脱着塔には、内部温度調節用の温度調整部が設けられている請求項4に記載のオゾン供給装置。
- 上記回路切替器の回路切替により上記吸着動作用ガス回路が形成される場合には、上記オゾン発生部で発生したオゾン化ガスが上記第1吸脱着塔の上記第1吸脱着領域のみを通過するように構成される請求項4または請求項5に記載のオゾン供給装置。
- 上記第1吸脱着塔と上記第2吸脱着塔とを結ぶガス回路にはオゾン計または圧力計が設けられ、上記オゾン計で測定されるオゾン化ガスに含まれるオゾンの濃度が予め設定した基準値に達した場合、または上記圧力計で測定されるオゾン化ガスの圧力が予め設定した基準値に達した場合には、これに応じて上記制御部は、上記回路切替器を制御して上記濃縮動作用ガス回路から上記供給動作用ガス回路の形成に移行させる請求項4から請求項6のいずれか1項に記載のオゾン供給装置。
- 上記回路切替器の回路切替により上記供給動作用ガス回路が形成される場合には、上記原料ガス源からの原料ガスを上記第2吸脱着塔から上記第1吸脱着塔を経由した搬送に先だって、上記第1吸脱着塔にのみ搬送して上記第1吸脱着領域から脱着したオゾン化ガスを外部に搬出するように構成される請求項4から請求項7のいずれか1項に記載のオゾン供給装置。
- 上記オゾン濃縮部から外部に搬出されるオゾン化ガスに含まれるオゾンの濃度を測定するオゾン計を備え、上記オゾン計で測定されたオゾン濃度が予め設定した基準値に達した場合には、これに応じて上記制御部は、上記回路切替器を制御して原料ガスの搬送を上記第1吸脱着塔から上記第2吸脱着塔に切り替える請求項8に記載のオゾン供給装置。
- 上記オゾン濃縮部から外部に搬出されるオゾン化ガスに含まれるオゾンを液体と混合する気液混合装置と、上記気液混合装置によりオゾンが溶解した液体をオゾン処理対象に接触させるオゾン反応部とを備える請求項1から請求項9のいずれか1項に記載のオゾン供給装置。
- 上記オゾン濃縮部から外部にオゾン化ガスを搬出するガス回路の途中に、オゾン化ガスをオゾン処理対象に接触させるオゾン反応部が設けられている請求項1から請求項10のいずれか1項に記載のオゾン供給装置。
- 原料ガス源から供給される原料ガスによりオゾンを含むオゾン化ガスを発生させるオゾン発生部と、上記オゾン発生部で発生した上記オゾン化ガスを吸着剤で吸脱着させる第1吸脱着領域および第2吸脱着領域からなる2つの領域を有するオゾン濃縮部と、を備えたオゾン供給装置を用いて、
上記オゾン発生部で発生したオゾン化ガスを上記第1吸脱着領域と上記第2吸脱着領域の内の少なくとも上記第1吸脱着領域の吸着剤に吸着させる吸着動作の処理ステップと、
上記オゾン濃縮部の上記第1吸脱着領域の吸着剤に吸着させたオゾン化ガスを脱着させて上記第2吸脱着領域の吸着剤に吸着させて回収する濃縮動作の処理ステップと、
上記原料ガス源からの原料ガスを搬送しながら上記第2吸脱着領域の吸着剤で回収したオゾン化ガスを脱着させ、この脱着したオゾン化ガスを上記第1吸脱着領域を経由して上記オゾン濃縮部の外部に供給する供給動作の処理ステップと、
を含むオゾン供給方法。
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