JP6512390B2 - ポジ型感光性樹脂組成物 - Google Patents
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Description
本発明の感光性樹脂組成物は主要成分としてアルカリ可溶性樹脂を含有する。この樹脂を含有するために、本発明の感光性樹脂組成物は、アルカリ性水溶液に対する溶解性を示し、アルカリ水溶液を用いた現像が可能となる。アルカリ性水溶液に対する溶解性とは、23℃のアルカリ水溶液(通常pH10.0〜15.0)に浸漬することで、10分以内に膜が溶解することをいう。
本発明の感光性樹脂組成物は、感光剤を含む。感光剤は、光の照射を受けて酸を発生する化合物であり、本発明の組成物から形成される膜のうち光照射領域におけるアルカリ性水溶液への可溶性を増大させる機能を有する。
本発明の感光性樹脂組成物は、25℃における粘度が400mPa・s以上であり、エポキシ当量が250以下である液状エポキシ化合物を含有する。この化合物を含有するために、本発明の感光性樹脂組成物は、現像感度に優れ、耐熱変形性に優れた硬化膜を与えることができる。なお、本願において、エポキシ当量の単位は、特に断りのない限り[g/eq]である。
本発明の感光性樹脂組成物には、以上説明した必須成分に加えて、例えば、溶剤、加熱により酸を生成する化合物、溶解促進剤、溶解阻害剤、カップリング剤、界面活性剤、レベリング剤等を配合してもよい。
本発明の感光性樹脂組成物は、基板上に塗布して膜を形成した後、水酸化テトラメチルアンモニウム(TMAH)等のアルカリ水溶液を用いて現像することができる。現像時間は60〜240秒であり、現像の方法としては、例えば、液盛り法、シャワー法、ディッピング法を用いる事が出来る。
アルカリ可溶性樹脂としてクレゾールノボラック樹脂(m−クレゾール60phr/p−クレゾール40phr/ベンズアルデヒド100phrを通常の手法により重縮合させて取り出したフェノール樹脂) 100部、感光剤としてジアゾナフトキノン化合物(4,4’−[1−[4−[1−[4−ヒドロキシフェニル]−1−メチルエチル]フェニル]エチリデン]ビスフェノールと1,2−ナフトキノンジアジドスルホン酸とのエステル化物) 15部、エポキシ化合物としてソルビトールポリグリシジルエーテル(商品名:EX−612、ナガセケムテックス社製、粘度:11800mPa・s、エポキシ当量:166) 10部、メラミン化合物としてヘキサメトキシメチル化メラミン(商品名:MW−100LM、三和ケミカル社製) 5部を配合し、溶剤のポリプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 150部に溶解させて感光性樹脂組成物を製造した。
ソルビトールポリグリシジルエーテル(商品名:EX−612、ナガセケムテックス社製、粘度:11800mPa・s、エポキシ当量:166)をソルビトールポリグリシジルエーテル(商品名:EX−614、ナガセケムテックス社製、粘度:21200mPa・s、エポキシ当量:167)に変更した以外は実施例1と同様にして感光性樹脂組成物を製造した。
ソルビトールポリグリシジルエーテル(商品名:EX−612、ナガセケムテックス社製、粘度:11800mPa・s、エポキシ当量166)をソルビトールポリグリシジルエーテル(商品名:EX−614B、ナガセケムテックス社製、粘度:5000mPa・s、エポキシ当量:173)に変更した以外は実施例1と同様にして感光性樹脂組成物を製造した。
ソルビトールポリグリシジルエーテル(商品名:EX−612、ナガセケムテックス社製、粘度:11800mPa・s、エポキシ当量:166)を1,6−ビス(2,3−エポキシプロポキシ)ナフタレン(商品名:HP4032D、DIC社製、粘度:600mPa・s、エポキシ当量:144)に変更した以外は実施例1と同様にして感光性樹脂組成物を製造した。
ソルビトールポリグリシジルエーテル(商品名:EX−612、ナガセケムテックス社製、粘度:11800mPa・s、エポキシ当量:166)を1,2-シクロヘキサンジカルボン酸ジグリシジル(商品名:EPOX−MK R540、プリンテック社製、粘度:550mPa・s、エポキシ当量:170)に変更した以外は実施例1と同様にして感光性樹脂組成物を製造した。
ソルビトールポリグリシジルエーテル(商品名:EX−612、ナガセケムテックス社製、粘度:11800mPa・s、エポキシ当量:166)を1,2−ベンゼンジカルボン酸ビス(オキシラニルメチル)(商品名:EX−721、ナガセケムテックス社製、粘度:980mPa・s、エポキシ当量:154)に変更した以外は実施例1と同様にして感光性樹脂組成物を製造した。
ソルビトールポリグリシジルエーテル(商品名:EX−612、ナガセケムテックス社製、粘度:11800mPa・s、エポキシ当量:166)をペンタエリスリトールポリグリシジルエーテル(商品名:EX−411、ナガセケムテックス社製、粘度:800mPa・s、エポキシ当量:229)に変更した以外は実施例1と同様にして感光性樹脂組成物を製造した。
ソルビトールポリグリシジルエーテル(商品名:EX−612、ナガセケムテックス社製、粘度:11800mPa・s、エポキシ当量:166)をジグリセロールポリグリシジルエーテル(商品名:EX−421、ナガセケムテックス社製、粘度:650mPa・s、エポキシ当量:159)に変更した以外は実施例1と同様にして感光性樹脂組成物を製造した。
ソルビトールポリグリシジルエーテル(商品名:EX−612、ナガセケムテックス社製、粘度:11800mPa・s、エポキシ当量:166)を下記式(7)に示すポリプロピレングリコールジグリシジルエーテル(商品名:EX−992L、ナガセケムテックス社製、粘度:631mPa・s、エポキシ当量:1988)に変更した以外は実施例1と同様にして感光性樹脂組成物を製造した。
ソルビトールポリグリシジルエーテル(商品名:EX−612、ナガセケムテックス社製、粘度:11800mPa・s、エポキシ当量:166)を下記式(8)に示すポリエチレングリコールジグリシジルエーテル(商品名:EX−861、ナガセケムテックス社製、固体(25℃)、エポキシ当量:551)に変更した以外は実施例1と同様にして感光性樹脂組成物を製造した。
ソルビトールポリグリシジルエーテル(商品名:EX−612、ナガセケムテックス社製、粘度:11800mPa・s、エポキシ当量:166)を下記式(9)に示すエチレングリコールジグリシジルエーテル(商品名:EX−810、ナガセケムテックス社製、粘度:20mPa・s、エポキシ当量:113)に変更した以外は実施例1と同様にして感光性樹脂組成物を製造した。
ソルビトールポリグリシジルエーテル(商品名:EX−612、ナガセケムテックス社製、粘度:11800mPa・s、エポキシ当量:166)を下記式(10)に示すα,α,α'−トリス(4−ヒドロキシフェニル)−1−エチル−4−イソプロピルベンゼン(商品名:VG−3101L、プリンテック社製、固体(25℃)、エポキシ当量:210)に変更した以外は実施例1と同様にして感光性樹脂組成物を製造した。
実施例1−8又は比較例1−4で得られた感光性樹脂組成物について、以下に示す方法により現像感度および耐熱変形性の評価を行った。結果は表1に示す。
感光性樹脂組成物をシリコンウエハ上にスピンコートして、乾燥膜厚が5μmの塗膜を形成した。得られた塗膜に超高圧水銀灯を用いて、露光量100〜1500mJ/cm2のi線を、孤立したφ15μmのホールパターン(パターンが密集していない)に照射し、露光を行った。
○:膜厚5μmにおいて、パターンが形成できる露光量が1000mJ/cm2以下のもの。
×:膜厚5μmにおいて、パターンが形成できる露光量が1000mJ/cm2超のもの。
30μm幅のラインパターンを作成したパターン膜付ウエハをオーブンを用いて窒素雰囲気下、150℃で30分加熱した後、200℃で1時間加熱してパターン硬化膜を得た。得られたパターン形状のSEM観察を行い、以下の基準で評価を行った。なお、レジスト側壁角度は、パターン硬化膜表面と、ウエハ表面とがなす角度であり、図1に示す部分の角度である。
◎:30μm幅のラインパターンにおけるレジスト側壁角度が70度以上
○:30μm幅のラインパターンにおけるレジスト側壁角度が60度以上70度未満
×:30μm幅のラインパターンにおけるレジスト側壁角度が60度未満
また、実施例5およびその他の実施例を比較すると、エポキシ化合物として、1,2−シクロヘキサンジカルボン酸ジグリシジルを使用することで、耐熱変形性が特に優れることが分かる。
アルカリ可溶性樹脂としてクレゾールノボラック樹脂(m−クレゾール60phr/p−クレゾール40phr/ベンズアルデヒド100phrを通常の手法により重縮合させて取り出したフェノール樹脂) 100部、感光剤としてジアゾナフトキノン化合物(4,4’−[1−[4−[1−[4−ヒドロキシフェニル]−1−メチルエチル]フェニル]エチリデン]ビスフェノールと1,2−ナフトキノンジアジドスルホン酸とのエステル化物) 15部、エポキシ化合物としてソルビトールポリグリシジルエーテル(商品名:EX−614、ナガセケムテックス社製、粘度:21200mPa・s、エポキシ当量:167) 13部、メラミン化合物としてヘキサメトキシメチル化メラミン(商品名:MW−100LM、三和ケミカル社製) 5部、およびポリプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 150部に溶解させて感光性樹脂組成物を製造した。
ソルビトールポリグリシジルエーテル(商品名:EX−614、ナガセケムテックス社製、粘度:21200mPa・s、エポキシ当量:167)をソルビトールポリグリシジルエーテル(商品名:EX−612、ナガセケムテックス社製、粘度:11800mPa・s、エポキシ当量:166)に変更した以外は実施例9と同様にして感光性樹脂組成物を製造した。
ソルビトールポリグリシジルエーテル(商品名:EX−614、ナガセケムテックス社製、粘度:21200mPa・s、エポキシ当量:167)をソルビトールポリグリシジルエーテル(商品名:EX−614B、ナガセケムテックス社製、粘度:5000mPa・s、エポキシ当量:173)に変更した以外は実施例9と同様にして感光性樹脂組成物を製造した。
ソルビトールポリグリシジルエーテル(商品名:EX−614、ナガセケムテックス社製、粘度:21200mPa・s、エポキシ当量:167)をペンタエリスリトールポリグリシジルエーテル(商品名:EX−411、ナガセケムテックス社製、粘度:800mPa・s、エポキシ当量:229)に変更した以外は実施例9と同様にして感光性樹脂組成物を製造した。
ソルビトールポリグリシジルエーテル(商品名:EX−614、ナガセケムテックス社製、粘度:21200mPa・s、エポキシ当量:167)を1,2−シクロヘキサンジカルボン酸ジグリシジル(商品名:EPOX−MK R540、プリンテック社製、粘度:550mPa・s、エポキシ当量:170)に変更した以外は実施例9と同様にして感光性樹脂組成物を製造した。
ソルビトールポリグリシジルエーテル(商品名:EX−614、ナガセケムテックス社製、粘度:21200mPa・s、エポキシ当量:167)をポリエチレングリコールジグリシジルエーテル(商品名:EX−861、ナガセケムテックス社製、固体(25℃)、エポキシ当量:551)に変更した以外は実施例9と同様にして感光性樹脂組成物を製造した。
ソルビトールポリグリシジルエーテル(商品名:EX−614、ナガセケムテックス社製、粘度:21200mPa・s、エポキシ当量:167)をα,α,α'−トリス(4−ヒドロキシフェニル)−1−エチル−4−イソプロピルベンゼン(商品名:VG−3101L、プリンテック社製、固体(25℃)、エポキシ当量:210)に変更した以外は実施例8と同様にして感光性樹脂組成物を製造した。
実施例9−13又は比較例5−6で得られた感光性樹脂組成物について、上記の方法により現像感度および耐熱変形性の評価を行い、以下に示す方法により耐アルカリ性の評価を行った。結果は表2に示す。
感光性樹脂組成物をアルミウエハ上にスピンコートして、乾燥膜厚が5μmの塗膜を形成した。得られた塗膜に超高圧水銀灯を用いて、露光量100〜1500mJ/cm2のi線を、孤立したφ15μmのホールパターン(パターンが密集していない)に照射し、露光を行った。
○:ジンケート処理前後で膜厚変動のないもの。
×:ジンケート処理前後で膜厚変動があったもの。
2 ウエハ
Claims (3)
- アルカリ可溶性樹脂、感光剤、メラミン化合物、及び
25℃における粘度が400mPa・s以上であり、エポキシ当量が250以下である液状エポキシ化合物を含有し、
前記メラミン化合物の含有量が、前記アルカリ可溶性樹脂100重量部に対して、3〜10重量部、
前記エポキシ化合物の含有量が、前記アルカリ可溶性樹脂100重量部に対して、10〜20重量部であり、
前記エポキシ化合物が、ソルビトールポリグリシジルエーテル、ペンタエリスリトールポリグリシジルエーテル、及び1,2−シクロヘキサンジカルボン酸ジグリシジルからなる群から選ばれた少なくとも1種である、ポジ型感光性樹脂組成物。 - 前記エポキシ化合物が、1,2−シクロヘキサンジカルボン酸ジグリシジルである、請求項1に記載のポジ型感光性樹脂組成物。
- 請求項1又は2に記載のポジ型感光性樹脂組成物から形成された膜。
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