JP6512088B2 - SiC単結晶製造装置 - Google Patents
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Description
前記SiC単結晶製造装置は誘導加熱コイルを有し、そして
前記誘導加熱コイル内部を貫く交番磁束の傾き角度が、鉛直方向に対して±0.9°以内であることを特徴とする、前記SiC単結晶製造装置を対象とする。
溶液法によってSiC単結晶を結晶成長させるためのSiC単結晶製造装置であって、
前記SiC単結晶製造装置は誘導加熱コイルを有し、そして
前記誘導加熱コイル内部を貫く交番磁束の傾き角度が、鉛直方向に対して±0.9°以内であることを特徴とする。
流動ズレ」とは、Si−C溶液の表面における流れが同心円からずれる現象をいい、溶液表面を撮影した画像から、非対称形状を平面的に定量化することによって評価される。
直径が50.8mm(2インチ)、厚みが700μmの円盤状4H−SiC単結晶であって、下面が(000−1)面を有する昇華法により作製したSiC単結晶を用意し、これを種結晶基板として用いた。
サイズ:直径260mm、多価さ138mm
コイル線径:12mm
巻き回数:8ターン
電源周波数:1.1kHz
コイルの捲回状態:螺旋巻き(図2)
誘導加熱コイルを、コイル勾配を0°としてクランク状の折り曲げ部分を有する図4の態様で捲回した他は比較例1と同様の条件で結晶成長を行った。実施例1における交番磁場の傾き角度は±0.9°以下であり、Si−C溶液の流動ズレは0.5mmであり、結晶拡大角差は10.3°であり、そして結晶成長面は均一であった(表1、図6、及び図7)。
誘導コイルを上から見たときに、測定箇所方位0°の位置を任意に定め、0°から45°刻みで6点の測定点を設定した(図9(a))。これら6測定点のうち、0°の測定点と180°の測定点とが180°対向する直径面を規定する対の測定点となり、45°の測定点と225°の測定点とが対の測定点となり、そして90°の測定点と270°の測定点とが対の測定点となる(図9(b))。
10 坩堝
12 種結晶保持軸
14 種結晶基板
18 断熱材
22 誘導加熱コイル
24 Si−C溶液
30 リブ
d 段差
R 誘導加熱コイルの直径
θ1 任意の測定点における磁場の極角
θ2 θ1を対となる測定点における磁場の極角
θ コイル勾配=交番磁場の傾き角度
Claims (1)
- 溶液法によってSiC単結晶を結晶成長させるためのSiC単結晶製造装置であって、
前記SiC単結晶製造装置は誘導加熱コイルを有すること、
前記誘導加熱コイルにおいて、捲回コイルの上若しくは下又はこれらの双方に、交番磁束を引き付ける性質を有する材料から形成されているリブが設けられており、それによって、前記誘導加熱コイル内部を貫く交番磁束の傾き角度が、鉛直方向に対して±0.9°以内であること
を特徴とする、前記SiC単結晶製造装置。
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