JP6030525B2 - SiC単結晶の製造方法 - Google Patents
SiC単結晶の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6030525B2 JP6030525B2 JP2013191186A JP2013191186A JP6030525B2 JP 6030525 B2 JP6030525 B2 JP 6030525B2 JP 2013191186 A JP2013191186 A JP 2013191186A JP 2013191186 A JP2013191186 A JP 2013191186A JP 6030525 B2 JP6030525 B2 JP 6030525B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- solution
- crystal
- growth
- single crystal
- sic single
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B19/00—Liquid-phase epitaxial-layer growth
- C30B19/10—Controlling or regulating
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B19/00—Liquid-phase epitaxial-layer growth
- C30B19/02—Liquid-phase epitaxial-layer growth using molten solvents, e.g. flux
- C30B19/04—Liquid-phase epitaxial-layer growth using molten solvents, e.g. flux the solvent being a component of the crystal composition
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B19/00—Liquid-phase epitaxial-layer growth
- C30B19/06—Reaction chambers; Boats for supporting the melt; Substrate holders
- C30B19/062—Vertical dipping system
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B19/00—Liquid-phase epitaxial-layer growth
- C30B19/12—Liquid-phase epitaxial-layer growth characterised by the substrate
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B29/00—Single crystals or homogeneous polycrystalline material with defined structure characterised by the material or by their shape
- C30B29/10—Inorganic compounds or compositions
- C30B29/36—Carbides
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Description
(000−1)面を成長面としてSiC単結晶を成長させている際に、Si−C溶液の表面領域の温度勾配を少なくとも1回大きくして、10mm以上の成長厚みを有するSiC単結晶を成長させる、
SiC単結晶の製造方法である。
温度勾配(℃/cm)=(B−A)/D
によって算出することができる。
直径25mm及び厚み0.7mmの円盤状の4H−SiC単結晶であって、下面が(000−1)面(ジャスト面)を有する昇華法により作製したSiC単結晶を用意して種結晶基板として用いた。種結晶基板の上面を、円柱形状の黒鉛軸の端面の略中央部に、黒鉛の接着剤を用いて接着した。
例1で成長させた5.3mm厚のSiC結晶を、そのまま研磨を施すことなく種結晶として用いて、成長時間を15時間としたこと以外は、例1と同じ条件にて、(000−1)面成長を行った。
例2で成長させた8.0mm厚のSiC結晶を、そのまま研磨を施すことなく種結晶として用いて、例1と同じ条件にて、(000−1)面成長を行った。
例3で成長させた8.8mm厚のSiC結晶を、そのまま研磨を施すことなく種結晶として用いて、成長時間を40時間としたこと以外は、例1と同じ条件にて、(000−1)面成長を行った。
例4で成長させた10.0mm厚のSiC結晶を、そのまま研磨を施すことなく種結晶として用いて、例1と同じ条件にて、(000−1)面成長を行った。
例1と同じ条件で成長させた5.3mm厚のSiC結晶を、そのまま研磨を施すことなく種結晶として用いて、温度勾配を31℃/cmとしたこと以外は例1と同じ条件にて、(000−1)面成長を行った。
例6で成長させた9.7mm厚のSiC結晶を、そのまま研磨を施すことなく種結晶として用いて、温度勾配を31℃/cmとし、成長時間を6時間としたこと以外は例1と同じ条件にて、(000−1)面成長を行った。
例7で得られた12.2mm厚のSiC結晶を、そのまま研磨を施すことなく種結晶として用いて、温度勾配を31℃/cmとしたこと以外は例1と同じ条件にて、(000−1)面成長を行った。
例8で得られた16.0mm厚のSiC結晶を、そのまま研磨を施すことなく種結晶として用いて、温度勾配を31℃/cmとし、成長時間を5時間としたこと以外は例1と同じ条件にて、(000−1)面成長を行った。
例9で得られた17.5mm厚のSiC結晶を、そのまま研磨を施すことなく種結晶として用いて、温度勾配を31℃/cmとしたこと以外は例1と同じ条件にて、(000−1)面成長を行った。
直径25mm及び厚み0.7mmの円盤状の4H−SiC単結晶であって、下面が(000−1)面(ジャスト面)を有する昇華法により作製したSiC単結晶を用意して種結晶基板として用いた。温度勾配を31℃/cmとしたこと以外は、例1と同じ条件にて(000−1)面成長させた。
各例で成長させたSiC単結晶のマクロ欠陥有無の評価を行った。図6〜10に、例1、5、6、10、及び11で成長させたSiC単結晶の外観写真を示す。例1、5、6、10で成長させたSiC結晶にはマクロ欠陥はみられなかった。例2〜4及び7〜9で成長させたSiC結晶にもマクロ欠陥はみられなかった。例11で成長させたSiC結晶には、破線で囲んだ部分に雑結晶がみられた。
12 黒鉛軸
14 種結晶基板
16 Si−C溶液の表面領域の温度勾配
18 断熱材
22 高周波コイル
22A 上段高周波コイル
22B 下段高周波コイル
24 Si−C溶液
26 石英管
100 単結晶製造装置
Claims (4)
- 内部から表面に向けて温度低下する温度勾配を有するSi−C溶液にSiC種結晶基板を接触させてSiC単結晶を成長させる、SiC単結晶の製造方法であって、
(000−1)面を成長面としてSiC単結晶を成長させている際に、前記Si−C溶液の表面領域の温度勾配を少なくとも1回大きくして、10mm以上の成長厚みを有するSiC単結晶を成長させる、
SiC単結晶の製造方法。 - 前記SiC単結晶の成長厚みが10mmに到達する前に、前記Si−C溶液の表面領域の温度勾配を大きくする、請求項1に記載のSiC単結晶の製造方法。
- 前記SiC単結晶を10時間連続で成長をしたときの平均成長速度が、0μm/hより大きく600μm/h未満である、請求項1または2に記載のSiC単結晶の製造方法。
- 前記Si−C溶液の表面領域の温度勾配を少なくとも1回大きくするときに、前記SiC単結晶の成長初期の成長速度を上回らない範囲で前記温度勾配を大きくする、請求項1〜3のいずれか一項に記載のSiC単結晶の製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013191186A JP6030525B2 (ja) | 2013-09-13 | 2013-09-13 | SiC単結晶の製造方法 |
US14/483,651 US20150075419A1 (en) | 2013-09-13 | 2014-09-11 | METHOD FOR PRODUCING SiC SINGLE CRYSTAL |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013191186A JP6030525B2 (ja) | 2013-09-13 | 2013-09-13 | SiC単結晶の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015054813A JP2015054813A (ja) | 2015-03-23 |
JP6030525B2 true JP6030525B2 (ja) | 2016-11-24 |
Family
ID=52666777
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013191186A Expired - Fee Related JP6030525B2 (ja) | 2013-09-13 | 2013-09-13 | SiC単結晶の製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20150075419A1 (ja) |
JP (1) | JP6030525B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6172169B2 (ja) * | 2015-01-16 | 2017-08-02 | トヨタ自動車株式会社 | SiC単結晶の製造方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7520930B2 (en) * | 2002-04-15 | 2009-04-21 | Sumitomo Metal Industries, Ltd. | Silicon carbide single crystal and a method for its production |
JP4100228B2 (ja) * | 2002-04-15 | 2008-06-11 | 住友金属工業株式会社 | 炭化珪素単結晶とその製造方法 |
JP2007197274A (ja) * | 2006-01-27 | 2007-08-09 | Toyota Motor Corp | 炭化珪素単結晶の製造方法 |
JP5803519B2 (ja) * | 2011-09-29 | 2015-11-04 | トヨタ自動車株式会社 | SiC単結晶の製造方法及び製造装置 |
-
2013
- 2013-09-13 JP JP2013191186A patent/JP6030525B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2014
- 2014-09-11 US US14/483,651 patent/US20150075419A1/en not_active Abandoned
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2015054813A (ja) | 2015-03-23 |
US20150075419A1 (en) | 2015-03-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5821958B2 (ja) | SiC単結晶及びその製造方法 | |
JP5839117B2 (ja) | SiC単結晶及びその製造方法 | |
JP5803519B2 (ja) | SiC単結晶の製造方法及び製造装置 | |
JP6046405B2 (ja) | SiC単結晶のインゴット、その製造装置及びその製造方法 | |
JP5434801B2 (ja) | SiC単結晶の製造方法 | |
JP5801730B2 (ja) | 単結晶の製造装置に用いられる種結晶保持軸及び単結晶の製造方法 | |
JP5890377B2 (ja) | SiC単結晶の製造方法 | |
JP5905864B2 (ja) | SiC単結晶及びその製造方法 | |
JP2014047096A (ja) | SiC単結晶の製造方法 | |
JP6119732B2 (ja) | SiC単結晶及びその製造方法 | |
JP6344374B2 (ja) | SiC単結晶及びその製造方法 | |
JP6354615B2 (ja) | SiC単結晶の製造方法 | |
JP6040866B2 (ja) | SiC単結晶の製造方法 | |
JP6030525B2 (ja) | SiC単結晶の製造方法 | |
JP2017202969A (ja) | SiC単結晶及びその製造方法 | |
JP6060863B2 (ja) | SiC単結晶及びその製造方法 | |
JP6390628B2 (ja) | SiC単結晶の製造方法及び製造装置 | |
JP2018150193A (ja) | SiC単結晶の製造方法 | |
JP2017226583A (ja) | SiC単結晶の製造方法 | |
JP6597113B2 (ja) | SiC単結晶の製造方法 | |
JP2018043898A (ja) | SiC単結晶の製造方法 | |
JP6500828B2 (ja) | SiC単結晶の製造方法 | |
JP6390684B2 (ja) | SiC単結晶の製造方法 | |
JP2017202957A (ja) | SiC単結晶及びその製造方法 | |
JP2017019686A (ja) | SiC単結晶及びその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20150625 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150728 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160301 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160428 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160927 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20161020 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 6030525 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313117 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |