JP6502910B2 - リフロー装置 - Google Patents

Description

本発明は、リフロー装置に関し、特に、液化したフラックスがプリント回路基板等の被加熱物上に垂れることを防止するようにしたものである。

電子部品又はプリント回路基板に対して、予めはんだ組成物を供給しておき、リフロー炉の中にプリント回路基板を搬送コンベヤで搬送するリフロー装置が使用されている。リフロー装置は、被加熱物を搬送する搬送コンベヤと、この搬送コンベヤによって被加熱物が供給されるリフロー炉本体とを備えている。リフロー炉は、例えば、搬入口から搬出口に至る搬送経路に沿って、複数のゾーンに分割されており、これらの複数のゾーンがインライン状に配列されている。複数のゾーンは、その機能によって、加熱ゾーン、冷却ゾーンなどの役割を有する。

はんだ組成物は、例えば粉末はんだ、フラックスとを含む。フラックスは、成分としてロジンなどを含み、はんだ付けされる金属表面の酸化膜を除去し、はんだ付けの際に加熱で再酸化するのを防止し、はんだの表面張力を小さくして濡れを良くする働きをするものである。このフラックスは、加熱により、気化しリフロー炉内に充満する。気化したフラックスは、フラックスヒュームと称される。

加熱ゾーンから冷却ゾーンに基板が搬送される時に、被加熱物と共にフラックスヒュームが冷却ゾーンに持ち込まれる。フラックスヒュームは、温度の低い部位に付着し易く、冷却ゾーンで冷却されると、冷却パネルに付着する。付着している部位からフラックスが滴下し、被加熱物の上面に付着することもあり、被加熱物の品質（性能）を損なうこととなる。

特許第３３８４５８４号公報

特許文献１には噴流式はんだ付け装置において、フラックスヒュームがチャンバ内の内壁に付着、堆積して被加熱物に付着することを防止するために、噴流はんだ付けの後に不活性ガス（例えばＮ２ガス）をチャンバ内に吹き出す吸い込み口と吸い出し口を設ける構成が記載されている。しかしながら、特許文献１は噴流式はんだ付け装置であり、加熱ゾーン及び冷却ゾーンを備えるリフロー装置において、冷却ゾーンにおけるフラックスヒュームの付着により生じる問題を解決する点には記載乃至示唆されていない。

したがって、本発明の目的は、リフロー装置の冷却ゾーンにおけるフラックスヒュームの滴下による被加熱物の品質低下を防止することができるリフロー装置を提供することにある。

本発明は、被加熱物に対してはんだ付けを行う炉体を有する加熱ゾーンと、はんだ付けがされた被加熱物を冷却する冷却ゾーンを有し、加熱ゾーン及び冷却ゾーンを搬送装置によって被加熱物を通過させるリフロー装置において、
加熱ゾーン及び冷却ゾーン間の連結部に、被加熱物に気体を吹き付ける吹き出し手段を配置し、
吹き出し手段の気体の搬送装置の搬送方向に対する吹き出し角度が可変とされ、且つ気体が垂直方向に対して加熱ゾーン側に向かうようになされたリフロー装置である。
本発明は、被加熱物に対して熱風を吹き付けることによってはんだ付けを行う炉体を有する加熱ゾーンと、はんだ付けがされた被加熱物を冷却する冷却ゾーンを有し、加熱ゾーン及び冷却ゾーンを搬送装置によって被加熱物を通過させるリフロー装置において、
加熱ゾーンが第１のパネルの複数の小孔を通じて熱風を被加熱物に吹き付ける構成とされ、冷却ゾーンが第２のパネルの複数の小孔を通じて冷却用気体を被加熱物に吹き付ける構成とされ、
搬送装置の搬送方向と搬送方向と直交する方向がなす平面に対する第１のパネル及び第２のパネルの角度が可変とされたリフロー装置である。
本発明は、被加熱物に対して熱風を吹き付けることによってはんだ付けを行う炉体を有する加熱ゾーンと、はんだ付けがされた被加熱物を冷却する冷却ゾーンを有し、加熱ゾーン及び冷却ゾーンを搬送装置によって被加熱物を通過させるリフロー装置において、
加熱ゾーンが第１のパネルの複数の小孔を通じて熱風を被加熱物に吹き付ける構成とされ、冷却ゾーンが第２のパネルの複数の小孔を通じて冷却用気体を被加熱物に吹き付ける構成とされ、
加熱ゾーン及び冷却ゾーン間の連結部に、被加熱物に気体を吹き付ける吹き出し手段を配置し、
吹き出し手段の気体の搬送装置の搬送方向に対する吹き出し角度が可変とされ、且つ気体が垂直方向に対して加熱ゾーン側に向かうようになされ、
搬送装置の搬送方向と搬送方向と直交する方向がなす平面に対する第１のパネル及び第２のパネルの角度が可変とされたリフロー装置である。

少なくとも一つの実施形態によれば、冷却ゾーンの第２のパネルを通じて吹き出される冷却用気体によってフラックスヒュームが加熱ゾーンから冷却ゾーンに移動することが阻止される。したがって、冷却ゾーンにおいてフラックスヒュームが液化することが抑制される。なお、ここに記載された効果は必ずしも限定されるものではなく、本開示中に記載されたいずれの効果であってもよい。また、以下の説明における例示された効果により本開示の内容が限定して解釈されるものではない。

本発明を適用できる従来のリフロー装置の概略を示す略線図である。 リフロー時の温度プロファイルの例を示すグラフである。 リフロー装置の一つの加熱ゾーンの構成の一例を示す断面図である。 本発明の第１の実施の形態の説明に用いるリフロー装置の断面の概略を示す略線図である。 加熱パネルの一例の平面図、冷却パネルの一例の平面図、気体吹き出しパイプ並びに気体吹き出しパイプの拡大断面図である。 パネル角度可変機構の一例の正面図である。 本発明の第２の実施の形態の説明に用いる略線図である。 本発明の第３の実施の形態の説明に用いる略線図である。 本発明の第４の実施の形態の説明に用いる略線図である。 本発明の第５の実施の形態の説明に用いる略線図である。

以下、本発明を実施の形態について説明する。なお、説明は、以下の順序で行う。
＜１．リフロー装置の一例＞
＜２．第１の実施の形態＞
＜３．第２の実施の形態＞
＜４．第３の実施の形態＞
＜５．第４の実施の形態＞
＜６．第５の実施の形態＞
＜７．変形例＞
なお、以下に説明する一実施の形態は、本発明の好適な具体例であり、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説明において、特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの実施の形態に限定されないものとする。

＜１．リフロー装置の一例＞
図１は、本発明を適用できる従来のリフロー装置１０１の概略的構成を示す。図１では、説明の便宜上リフロー炉外に配置されるフラックス回収装置の図示が省略されている。プリント回路基板の両面に表面実装用電子部品が搭載された被加熱物が搬送コンベヤの上に置かれ、搬入口１１からリフロー装置の炉体内に搬入される。搬送コンベヤが所定速度で矢印方向（図１に向かって左から右方向）へ被加熱物を搬送し、被加熱物が搬出口１２から取り出される。搬送コンベアの搬送方向が水平方向とされている。

搬入口１１から搬出口１２に至る搬送経路に沿って、リフロー炉が例えば９個のゾーンＺ１からＺ９に順次分割され、これらのゾーンＺ１〜Ｚ９がインライン状に配列されている。入口側から７個のゾーンＺ１〜Ｚ７が加熱ゾーンであり、出口側の２個のゾーンＺ８及びＺ９が冷却ゾーンである。冷却ゾーンＺ８及びＺ９に関連して強制冷却ユニット１４が設けられている。

上述した複数のゾーンＺ１〜Ｚ９がリフロー時の温度プロファイルにしたがって被加熱物の温度を制御する。図２に温度プロファイルの一例の概略を示す。横軸が時間であり、縦軸が被加熱物例えば電子部品が実装されたプリント回路基板の表面温度である。最初の区間が加熱によって温度が上昇する昇温部Ｒ１であり、次の区間が温度がほぼ一定のプリヒート（予熱）部Ｒ２であり、次の区間が本加熱部Ｒ３であり、最後の区間が冷却部Ｒ４である。

昇温部Ｒ１は、常温からプリヒート部Ｒ２（例えば１５０°Ｃ〜１７０°Ｃ）まで基板を加熱する期間である。プリヒート部Ｒ２は、等温加熱を行い、フラックスを活性化し、電極、はんだ粉の表面の酸化膜を除去し、また、プリント回路基板の加熱ムラをなくすための期間である。本加熱部Ｒ３（例えばピーク温度で２２０°Ｃ〜２４０°Ｃ）は、はんだが溶融し、接合が完成する期間である。本加熱部Ｒ３では、はんだの溶融温度を超える温度まで昇温が必要とされる。本加熱部Ｒ３は、プリヒート部Ｒ２を経過していても、温度上昇のムラが存在するので、はんだの溶融温度を超える温度までの加熱が必要とされる。最後の冷却部Ｒ４は、急速にプリント回路基板を冷却し、はんだ組成を形成する期間である。

図２において、曲線１は、鉛フリーはんだの温度プロファイルを示す。Ｓｎ−Ｐｂ共晶はんだの場合の温度プロファイルは、曲線２で示すものとなる。鉛フリーはんだの融点は、共晶はんだの融点より高いので、プリヒート部Ｒ２における設定温度が共晶はんだに比して高いものとされている。

リフロー装置では、図２における昇温部Ｒ１の温度制御を、主としてゾーンＺ１及びＺ２が受け持つ。プリヒート部Ｒ２の温度制御は、主としてゾーンＺ３、Ｚ４及びＺ５が受け持つ。本加熱部Ｒ３の温度制御は、ゾーンＺ６及びＺ７が受け持つ。冷却部Ｒ４の温度制御は、ゾーンＺ８及びゾーンＺ９が受け持つ。

加熱ゾーンＺ１〜Ｚ７のそれぞれは、それぞれ送風機を含む上部炉体１５及び下部炉体３５を有する。例えばゾーンＺ１の上部炉体１５及び下部炉体３５から搬送される被加熱物に対して熱風が吹きつけられる。

図３を参照して加熱装置の一例について説明する。例えばゾーンＺ６を搬送方向に対して直交する面で切断した場合の断面が図３に示されている。上部炉体１５と下部炉体３５との対向間隙内で、プリント回路基板の両面に表面実装用電子部品が搭載された被加熱物（ワークとも称される）Ｗが搬送コンベヤ３１上に置かれて搬送される。上部炉体１５内及び下部炉体３５内は、雰囲気ガスである例えば窒素（Ｎ２）ガスが充満している。上部炉体１５及び下部炉体３５は、被加熱物Ｗに対して熱風（熱せられた雰囲気ガス）を噴出して被加熱物Ｗを加熱する。なお、熱風と共に赤外線を照射しても良い。

上部炉体１５は、例えばターボファンの構成の送風機１６と、ヒータ線を複数回折り返して構成したヒータ１８と、熱風が通過する多数の小孔を有する加熱パネル（蓄熱部材）１９とを有し、加熱パネル１９の小孔を通過した熱風が被加熱物Ｗに対して上側から吹きつけられる。加熱パネル１９は、例えばアルミニウムの金属板に多数の小孔が形成されたものである。

下部炉体３５も上述した上部炉体１５と同様の構成を有する。すなわち、例えばターボファンの構成の送風機２６と、ヒータ線を複数回折り返して構成したヒータ２８と、熱風が通過する多数の小孔を有する加熱パネル（蓄熱部材）２９とを有する。加熱パネル２９の小孔を通過した熱風が被加熱物Ｗに対して下側から吹きつけられる。

上部炉体１５に対して、フラックス回収装置４１が設けられる。フラックス回収装置４１は、例えば外板で囲まれた空間内で上部炉体１５の背面側に設置される。下部炉体３５に対して、フラックス回収装置６１が設けられる。フラックス回収装置６１は、例えば外板で囲まれた空間内で下部炉体３５の背面側に設置される。フラックス回収装置４１は、上部炉体１５から導出された雰囲気ガスを冷却させるラジエター部４２と、冷却によって液化されたフラックスを回収する回収容器４３とからなる。同様に、フラックス回収装置６１は、下部炉体３５から導出された雰囲気ガスを冷却させるラジエター部６２と、冷却によって液化されたフラックスを回収する回収容器６３とからなる。

送風機１６によって熱風が循環する経路中に雰囲気ガスをフラックス回収装置４１に導出するための導出口としての穴が設けられる。穴は、炉内において圧力が高い箇所に設けられる。圧力が低い箇所には、フラックス回収装置４１からのガスを上部炉体１５内に導入するための導入口としての穴が設けられる。これらの穴は、実際には、接続用管５４及び５５のそれぞれの一端側の開口に対応している。接続用管５４及び５５のそれぞれとフラックス回収装置４１の接続用管とが図示を省略したホースによって接続されている。下部炉体３５においても、炉内において圧力が高い箇所に設けられた穴から雰囲気ガスがフラックス回収装置６１に導出され、フラックス回収装置６１からのフラックス成分が減少したガスが炉内において圧力が低い箇所に設けられた穴から導入される。

なお、フラックス回収装置４１及び６１は、リフロー装置の各ゾーンの中で雰囲気ガスの汚れが大きいゾーンに設けられる。但し、リフロー装置の全ゾーンにフラックス回収装置４１及び６１を配置しても良い。

冷却ゾーンＺ８、Ｚ９は、加熱ゾーンと異なり、ヒータ１８及び２８を有しない構成とされ、上下に設けられている送風機によって冷却用気体（Ｎ２ガス等の不活性ガス又はエアー）が冷却パネルを介して被加熱物Ｗに吹きつけられる構成とされている。冷却パネルは、アルミニウム等の金属板に多数の小孔が形成されたものである。

フラックス回収装置４１及び６１を設置した場合でも、フラックス成分を完全に除去できず、フラックスヒュームが冷却ゾーンＺ８、Ｚ９まで移動し、冷却ゾーンＺ８、Ｚ９において冷却されることによってフラックスヒュームが液化し、フラックスが被加熱物上に滴下（垂れる）等で付着する問題を無くすことができない。本発明は、フラックスが被加熱物に付着することを有効に防止するものである。

＜２．第１の実施の形態＞
図４を参照して本発明の第１の実施の形態について説明する。加熱ゾーンＺ７及び冷却ゾーンＺ８の間に連結部としての連結ゾーンＺ７８を設ける。図４は、加熱ゾーンＺ７、連結ゾーンＺ７８及び冷却ゾーンＺ８を搬送コンベア３１の搬送方向と平行する面で切断した断面図であり、各ゾーンの構成を簡略化して示す。

加熱ゾーンＺ７では、加熱パネルＰ１（図３における加熱パネル１９）及び加熱パネルＰ２（図３における加熱パネル２９）（個々の加熱パネルを区別する必要がない場合は単に加熱パネルＰと称する）の小孔を通じて熱風が斜線矢印で示すように、被加熱物Ｗの上面及び下面に吹き付けられる。搬送コンベア３１の搬送方向と搬送方向に直交する方向がなす平面（すなわち、搬送面と平行な面を意味する。以下同様）と加熱パネルＰが平行な場合には、加熱パネルと垂直な方向（法線方向）に熱風が吹き出される。

冷却ゾーンＺ８において、冷却パネルＱ１及びＱ２（個々の冷却パネルを区別する必要がない場合は単に冷却パネルＱと称する）の小孔を通じて冷却用気体が矢印で示すように、被加熱物Ｗの上面及び下面に吹き付けられ、被加熱物Ｗが冷却される。搬送コンベア３１の搬送方向と搬送方向に直交する方向がなす平面と冷却パネルＱが平行な場合には、冷却パネルＱと垂直な方向（法線方向）に冷却用気体が吹き出される。

連結ゾーンＺ７８において、吹き出し手段としての気体吹き出しパイプＲ１１，Ｒ１２，Ｒ２１及びＲ２２（個々の気体吹き出しパイプを区別する必要がない場合は単に気体吹き出しパイプＲと称する）が配置されている。気体吹き出しパイプＲは、搬送コンベア３１の搬送方向と直交する方向に延長する管状部材の周面に複数の小孔が延長方向に形成されたものである。

気体吹き出しパイプＲは、固定のベース部に対して回転自在に支持され、小孔から吹き出される気体の吹き出し角度が可変とされている。気体は、エアーや不活性ガスであるＮ２（窒素）等を用いることができ、不活性ガスを用いることがより好ましい。図４の例では、搬送コンベア３１を挟んで気体吹き出しパイプＲ１１及びＲ２１が対向配置され、搬送コンベア３１を挟んで気体吹き出しパイプＲ１２及びＲ２２が対向配置されている。そして、それぞれの吹き出し口が向き合う回転位置とされている。この場合では、気体吹き出しパイプＲから気体が矢印で示すように、搬送コンベア３１に対して垂直方向に吹き出す。

図５に、冷却パネルＱ（図５Ａ）、加熱パネルＰ（図５Ｂ）、気体吹き出しパイプＲ（図５Ｃ）からなるリフロー装置の一部の構成例を示す。矢印が搬送コンベア３１の搬送方向を示している。冷却パネルＱ及び加熱パネルＰは、それぞれ多数の小孔が金属板に形成された構成である。気体吹き出しパイプＲは、図５Ｄに拡大して示すように、金属の管状の形状であり、周面に小孔ｒが整列して形成されたものである。この小孔ｒを通じて気体が吹き出す。なお、小孔ｒを周面に２列以上形成し、同時に２箇所の小孔ｒから異なる吹き出し角度でもって気体を吹き出すようにしてもよい。

図６は、加熱パネルＰの角度可変機構の一例を示す。加熱パネルＰの一端側に取り付け部７１が固着されている。固定のベース部７２に二つの長穴７３ａ及び７３ｂが形成されている。長穴７３ａ及び７３ｂは、円弧の一部をなすように弧状とされている。この長穴７３ａ内に、取り付け部７１と固着されたロックピン７４ａが挿入され、長穴７３ｂ内に、取り付け部７１と固着されたロックピン７４ｂが挿入される。

図示のように、長穴７３ａ及び７３ｂの下端にロックピン７４ａ及び７４ｂが位置している状態では、加熱パネルＰが水平位置に保持される。この状態からロックピン７４ａ及び７４ｂを緩めて加熱パネルＰを上方向に起こせば、図６において仮想線で示すように、加熱パネルＰの取り付け部７１の設けられていない端部が上方向に回転し、加熱パネルＰが傾いたものとされる。所望の位置でロックピン７４ａ及び７４ｂを締めつけることで、加熱パネルＰの位置を保持できる。なお、図６に示される長穴７３ａ及び７３ｂの長さを長くしてロックピン７３ａ及び７３ｂがより下方向に変位可能とすれば、加熱パネルＰを水平位置より下側まで回転させることができる。図６は、加熱パネルＰの傾斜角可変機構であるが、冷却パネルＱに関しても同様の傾斜角可変機構が設けられている。

加熱パネルＰの傾斜は、搬送コンベア３１の搬送方向と搬送方向と直交する方向がなす平面に対する角度で規定される。例えば水平面に対する加熱パネルＰの回転角で加熱パネルＰの傾斜が規定される。加熱パネルＰの前後の端部に関して、搬入口１１に近い端部を前端とし、搬入口１１から遠い端部を後端とすると、図６に示す仮想線の状態は、矢印を搬送方向とすると、前端が後端より高くなる状態である。この状態を上昇と定義する。逆に加熱パネルＰの前端が後端より低くなる状態を下降と定義する。冷却パネルＱに関しても同様に傾斜を定義する。

第１の実施の形態では、気体吹き出しパイプＲによって気体の吹き出し方向を可変することができる。第１の実施形態では、気体を垂直方向に対して加熱ゾーンＺ７側に向かうように、斜めに吹き出すようになされる。このようにすれば、加熱ゾーンＺ７から被加熱物Ｗと一緒に冷却ゾーンＺ８に持ち込まれようとするフラックスヒュームの進入を抑え、冷却ゾーンＺ８に進入するフラックスヒュームの量を減少させ、冷却ゾーンＺ８において液化するフラックスの量を減少できる。したがって、冷却ゾーンＺ８において、液化したフラックスが被加熱物Ｗ上に付着する問題を防止することができる。

＜３．第２の実施の形態＞
図７を参照して本発明の第２の実施の形態について説明する。図７に示すように、加熱ゾーンＺ７において、加熱パネルＰ１の前端が上昇し、加熱パネルＰ２の前端が下降する。なお、上述したように、前端を被加熱物Ｗが到来する入口側の端部と定義し、後端を被加熱物Ｗが出て行く出口側の端部と定義する。この定義は、冷却パネルＱ１及びＱ２についても同様である。したがって、加熱パネルＰ１及びＰ２を通じて被加熱物Ｗに吹き付けられる熱風が垂直方向に対して加熱ゾーンＺ７の入口側に向かうように傾いたものとなる。その結果、フラックスヒュームが連結ゾーンＺ７８に移動することを抑えることができる。

また、連結ゾーンＺ７８において、気体吹き出しパイプＲが気体を加熱ゾーンＺ７の出口方向に斜めに吹き出す。その結果、フラックスヒュームが連結ゾーンＺ７８に移動することを抑えることができると共に、フラックスヒュームが冷却ゾーンＺ８に移動することを抑えることができる。

さらに、冷却ゾーンＺ８において、冷却パネルＱ１が上昇し、冷却パネルＱ２が下降する。したがって、冷却パネルＱ１及びＱ２を通じて被加熱物Ｗに吹き付けられる冷却用気体が垂直方向に対して連結ゾーンＺ８の入口側に向かうように傾いたものとなる。その結果、フラックスヒュームが連結ゾーンＺ８に移動することを抑えることができる。このように、第２の実施の形態によれば、加熱パネルＰ、気体吹き出しパイプＲ及び冷却パネルＱが協働してフラックスヒュームが冷却ゾーンＺ８に移動することを抑えるので、フラックスヒュームが冷却ゾーンＺ８で液化して被加熱物Ｗに付着することを防止することができる。

＜４．第３の実施の形態＞
図８を参照して本発明の第３の実施の形態について説明する。図８に示すように、加熱ゾーンＺ７において、加熱パネルＰ１が下降し、加熱パネルＰ２が上昇する。したがって、加熱パネルＰ１及びＰ２を通じて被加熱物Ｗに吹き付けられる熱風が垂直方向に対して加熱ゾーンＺ７の出口側に向かうように傾いたものとなる。その結果、フラックスヒュームが連結ゾーンＺ７８に移動することを促進することができる。

また、連結ゾーンＺ７８において、気体吹き出しパイプＲが気体を冷却ゾーンＺ８の入口方向に斜めに吹き出す。その結果、フラックスヒュームが冷却ゾーンＺ８に移動することを促進することができる。

さらに、冷却ゾーンＺ８において、冷却パネルＱ１が下降し、冷却パネルＱ２が上昇する。したがって、冷却パネルＱ１及びＱ２を通じて被加熱物Ｗに吹き付けられる冷却用気体が垂直方向に対して冷却ゾーンＺ８の出口側に向かうように傾いたものとなる。その結果、フラックスヒュームが冷却ゾーンＺ８に移動することを促進することができる。このように、第３の実施の形態によれば、加熱パネルＰ、気体吹き出しパイプＲ及び冷却パネルＱが協働してフラックスヒュームを連結ゾーンＺ７８及び冷却ゾーンＺ８を通過することを促進するで、フラックスヒュームを終段のフラックス除去装置又は炉外の排気系統に迅速に移動させることができ、フラックスヒュームによる影響を防止することができる。

＜５．第４の実施の形態＞
図９を参照して本発明の第４の実施の形態について説明する。図９に示すように、加熱ゾーンＺ７において、加熱パネルＰ１が上昇し、加熱パネルＰ２が上昇する。したがって、加熱パネルＰ１を通じて被加熱物Ｗに吹き付けられる熱風が垂直方向に対して加熱ゾーンＺ７の入口側に向かうように傾いたものとなり、加熱パネルＰ２を通じて被加熱物Ｗに吹き付けられる熱風が垂直方向に対して加熱ゾーンＺ７の出口側に向かうように傾いたものとなる。

また、連結ゾーンＺ７８において、気体吹き出しパイプＲ１１及びＲ１２が気体を加熱ゾーンＺ７の出口方向に斜めに吹き出し、気体吹き出しパイプＲ２１及びＲ２２が気体を冷却ゾーンＺ８の入口方向に斜めに吹き出す。

さらに、冷却ゾーンＺ８において、冷却パネルＱ１が上昇し、冷却パネルＱ２が上昇する。したがって、冷却パネルＱ１を通じて被加熱物Ｗに吹き付けられる冷却用気体が垂直方向に対して冷却ゾーンＺ８の入口側に向かうように傾いたものとなり、冷却パネルＱ２を通じて被加熱物Ｗに吹き付けられる冷却用気体が垂直方向に対して冷却ゾーンＺ８の出口側に向かうように傾いたものとなる。

＜６．第５の実施の形態＞
図１０を参照して本発明の第５の実施の形態について説明する。図１０に示すように、加熱ゾーンＺ７において、加熱パネルＰ１が上昇し、加熱パネルＰ２が下降する。したがって、加熱パネルＰ１及びＰ２を通じて被加熱物Ｗに吹き付けられる熱風が垂直方向に対して加熱ゾーンＺ７の入口側に向かうように傾いたものとなる。その結果、フラックスヒュームが連結ゾーンＺ７８に移動することを抑えることができる。

また、連結ゾーンＺ７８において、対向する気体吹き出しパイプＲ１１及びＲ２１が気体を加熱ゾーンＺ７の出口方向に斜めに吹き出す。その結果、フラックスヒュームが連結ゾーンＺ７８に移動することを抑えることができると共に、フラックスヒュームが冷却ゾーンＺ８に移動することを抑えることができる。さらに、対向する気体吹き出しパイプＲ１２及びＲ２２が気体を垂直方向に吹き出す。

さらに、冷却ゾーンＺ８において、冷却パネルＱ１が上昇し、冷却パネルＱ２が下降する。したがって、冷却パネルＱ１及びＱ２を通じて被加熱物Ｗに吹き付けられる冷却用気体が垂直方向に対して冷却ゾーンＺ８の入口側に向かうように傾いたものとなる。その結果、フラックスヒュームが冷却ゾーンＺ８に移動することを抑えることができる。このように、第５の実施の形態によれば、加熱パネルＰ、気体吹き出しパイプＲ及び冷却パネルＱが協働してフラックスヒュームが冷却ゾーンＺ８に移動することを抑えるので、フラックスヒュームが冷却ゾーンＺ８で液化して被加熱物Ｗに付着することを防止することができる。さらに、気体吹き出しパイプＲ１２及びＲ２２の吹き出す気体によってエアカーテンが形成されるので、フラックスヒュームが冷却ゾーンＺ８に移動することを抑えることができる。

＜７．変形例＞
以上、本発明の実施の形態について具体的に説明したが、上述の各実施の形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想に基づく各種の変形が可能である。例えば加熱パネルＰ及び冷却パネルＱの傾斜角度可変機構としては、図６に示す機構以外にパネルの中心部に回転軸を設ける構成等の他の構成が可能である。また、冷却ゾーンの前側の加熱ゾーンとして、被加熱物Ｗを加熱するゾーンに限らず、はんだ付けされた被加熱物Ｗを加熱しないで搬送するゾーンを設け、このゾーンに上述した加熱パネルを設けるようにしてもよい。さらに、気体吹き出しパイプは、搬送面の上下方向に配置する場合に限らず、搬送面の左右両側に配置するようにしてもよい。この場合に、上下方向及び左右両側方向の両方から気体を吹き出してもよい。なお、上述の実施の形態において挙げた構成、方法、工程、形状、材料及び数値などはあくまでも例に過ぎず、必要に応じてこれと異なる構成、方法、工程、形状、材料及び数値などを用いてもよい。また、上述の実施の形態の構成、方法、工程、形状、材料及び数値などは、本発明の主旨を逸脱しない限り、互いに組み合わせることが可能である。

１１・・・搬入口
１２・・・搬出口
１４・・・強制冷却ユニット
１５・・・上部炉体
１６，２６・・・送風機
１８，２８・・・ヒータ
１９，２９，Ｐ・・・加熱パネル
３１・・・搬送コンベヤ
３５・・・下部炉体
Ｑ・・・冷却パネル
Ｒ・・・気体吹き出しパイプ

Claims (7)

1. 被加熱物に対してはんだ付けを行う炉体を有する加熱ゾーンと、前記はんだ付けがされた被加熱物を冷却する冷却ゾーンを有し、前記加熱ゾーン及び冷却ゾーンを搬送装置によって前記被加熱物を通過させるリフロー装置において、
   前記加熱ゾーン及び冷却ゾーン間の連結部に、前記被加熱物に気体を吹き付ける吹き出し手段を配置し、
   前記吹き出し手段の前記気体の前記搬送装置の搬送方向に対する吹き出し角度が可変とされ、且つ前記気体が垂直方向に対して前記加熱ゾーン側に向かうようになされたリフロー装置。
2. 前記吹き出し手段は、前記搬送装置の搬送方向と直交する方向に延長し、周面に複数の小孔が延長方向に形成された管状部材である請求項１に記載のリフロー装置。
3. 前記搬送装置の搬送方向と前記搬送方向と直交する方向がなす平面を挟んで、第１の前記管状部材及び第２の前記管状部材が対向して配置された請求項２に記載のリフロー装置。
4. 複数の前記第１の前記管状部材及び複数の前記第２の前記管状部材を有し、それぞれの吹き出し角度が可変とされた請求項３に記載のリフロー装置。
5. 被加熱物に対して熱風を吹き付けることによってはんだ付けを行う炉体を有する加熱ゾーンと、前記はんだ付けがされた被加熱物を冷却する冷却ゾーンを有し、前記加熱ゾーン及び冷却ゾーンを搬送装置によって前記被加熱物を通過させるリフロー装置において、
   前記加熱ゾーンが第１のパネルの複数の小孔を通じて熱風を前記被加熱物に吹き付ける構成とされ、前記冷却ゾーンが第２のパネルの複数の小孔を通じて冷却用気体を前記被加熱物に吹き付ける構成とされ、
   前記搬送装置の搬送方向と前記搬送方向と直交する方向がなす平面に対する前記第１のパネル及び前記第２のパネルの角度が可変とされたリフロー装置。
6. 被加熱物に対して熱風を吹き付けることによってはんだ付けを行う炉体を有する加熱ゾーンと、前記はんだ付けがされた被加熱物を冷却する冷却ゾーンを有し、前記加熱ゾーン及び冷却ゾーンを搬送装置によって前記被加熱物を通過させるリフロー装置において、
   前記加熱ゾーンが第１のパネルの複数の小孔を通じて熱風を前記被加熱物に吹き付ける構成とされ、前記冷却ゾーンが第２のパネルの複数の小孔を通じて冷却用気体を前記被加熱物に吹き付ける構成とされ、
   前記加熱ゾーン及び冷却ゾーン間の連結部に、前記被加熱物に気体を吹き付ける吹き出し手段を配置し、
   前記吹き出し手段の前記気体の前記搬送装置の搬送方向に対する吹き出し角度が可変とされ、且つ前記気体が垂直方向に対して前記加熱ゾーン側に向かうようになされ、
   前記搬送装置の搬送方向と前記搬送方向と直交する方向がなす平面に対する前記第１のパネル及び前記第２のパネルの角度が可変とされたリフロー装置。
7. 前記気体が不活性ガスである請求項１又は６に記載のリフロー装置。

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