JP6493920B2 - 金属酸化物の薄膜、該薄膜を備えた有機エレクトロルミネッセンス素子、太陽電池、および有機太陽電池 - Google Patents
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Description
本発明の一実施例では、亜鉛(Zn)、ケイ素(Si)および酸素(O)を含み、Zn/(Zn+Si)の原子数比が0.30〜0.95である非晶質金属酸化物の薄膜が提供される。
L=Kλ/(βcosθ) 式(1)
で表される。シェラー定数Kは0.9である。X線波長λは0.154nmである。
本発明の一実施例による非晶質金属酸化物の薄膜は、有機エレクトロルミネッセンス素子の層部材として用いることができる。本発明の一実施例による有機エレクトロルミネッセンス素子は、一対の電極である陽極および陰極と、これらの陽極と陰極の間に配置された発光層とを有し、発光層と陰極の間には、「非晶質金属酸化物の薄膜」が配置される。この「非晶質金属酸化物の薄膜」は、電子輸送層、電子注入層、およびホールブロック層から選ばれる一以上の層として配置されればよい。
非晶質金属酸化物の薄膜が電子輸送層として配置された構造;
非晶質金属酸化物の薄膜が電子注入層として配置された構造;
非晶質金属酸化物の薄膜がホールブロック層として配置された構造;
非晶質金属酸化物の薄膜が電子輸送層と電子注入層とを兼ねて配置された構造;
非晶質金属酸化物の薄膜が電子輸送層とホールブロック層とを兼ねて配置された構造;
非晶質金属酸化物の薄膜が電子輸送層と電子注入層とホールブロック層とを兼ねて配置された構造;のいずれかであってよい。
非晶質金属酸化物の薄膜が陰極に接して配置された構造;
非晶質金属酸化物の薄膜が発光層に接して配置された構造;
非晶質金属酸化物の薄膜が陰極および発光層に接して配置された構造;
非晶質金属酸化物の薄膜が陰極と発光層のいずれにも接せずに配置された構造;
のいずれかであってよい。非晶質金属酸化物の薄膜が発光層に接して配置される場合、非晶質金属酸化物の薄膜は発光層との屈折率差が小さいため、非晶質金属酸化物の薄膜と発光層の界面における全反射による損失が少ないという効果が得られる。
(a)陰極\非晶質金属酸化物の薄膜\発光層\陽極
(b)陰極\電子注入層\非晶質金属酸化物の薄膜\発光層\陽極
(c)陰極\電子注入層\非晶質金属酸化物の薄膜\ホールブロック層\発光層\陽極
(d)陰極\非晶質金属酸化物の薄膜\ホールブロック層\発光層\陽極
(e)陰極\非晶質金属酸化物の薄膜\電子輸送層\発光層\陽極
(f)陰極\非晶質金属酸化物の薄膜\電子輸送層\ホールブロック層\発光層\陽極
(g)陰極\電子輸送層\非晶質金属酸化物の薄膜\発光層\陽極
(h)陰極\電子注入層\電子輸送層\非晶質金属酸化物の薄膜\発光層\陽極
(i)陰極\非晶質金属酸化物の薄膜\電子注入層\発光層\陽極
(j)陰極\非晶質金属酸化物の薄膜\電子注入層\ホールブロック層\発光層\陽極
なお、上記の素子構成は例示であり、本発明の有機エレクトロルミネッセンス素子の構成はこれに限定されるものではない。また、陽極と発光層との間には、陽極側から順に、ホール注入層、ホール輸送層、および電子ブロック層からなる群から選択される一以上の層が設けられていてもよい。
基板110は、上部に有機EL素子100を構成する各層を支持する役割を有する。基板110の材質は特に限られない。図1において、有機EL素子100の光取り出し面を下側(すなわち基板110側)とする場合、基板110は、透明な材料で構成される。例えば、基板110として、ガラス基板またはプラスチック基板等が使用される。
陰極120は、通常、金属で構成される。なお、有機EL素子100の光取り出し面を下側(すなわち基板110側)とする場合、陰極120は、透明な材料で構成される。陰極120として、例えばITO(インジウムスズ酸化物)のような透明金属酸化物薄膜が使用される。
電子注入層130は、電子注入性を有する材料から選定される。電子注入層130は、フッ化リチウム、炭酸セシウム、塩化ナトリウム、フッ化セシウム、酸化リチウム、酸化バリウム、炭酸バリウム、および8−キノリノラトリチウムからなる群から選ばれる一以上であってもよい。
なお、電子注入層130は、省略してもよい。
前述のように、有機EL素子100において、電子輸送層140には、非晶質金属酸化物の薄膜が配置される。
ホールブロック層145は、ホールブロック性を有する材料から選定される。ホールブロック層は、例えばHOMO準位の高い材料等であってもよい。あるいは、無機酸化物、金属酸化物等であってもよい。例えば、IGZO(In−Ga−Zn−O)、ITO(In−Sn−O)、ISZO(In−Si−Zn−O)、IGO(In−Ga−O)、ITZO(In−Sn−Zn−O)、IZO(In−Zn−O)、およびIHZO(In−Hf−Zn−O)等であってもよい。
発光層150は、有機エレクトロルミネッセンス素子用の発光材料として知られる材料で構成されてもよい。
電子ブロック層155は、電子ブロック性を有する材料から選定される。
ホール輸送層160は、ホール輸送性を有する材料から選定される。
ホール注入層170は、ホール注入性を有する材料から選定される。
なお、ホール注入層170は、省略してもよい。
陽極180としては、通常、金属または金属酸化物が使用される。使用材料は、仕事関数が4eV以上であるものが好ましい。有機EL素子100の光取り出し面を陽極180側とする場合、陽極180は、透明である必要がある。
(1)基板、陰極、および陽極をこの順に有し、基板側を光取出し面とする構成;
(2)基板、陰極、および陽極をこの順に有し、陽極側を光取出し面とする構成;
(3)基板、陽極、および陰極をこの順に有し、基板側を光取出し面とする構成;
(4)基板、陽極、および陰極をこの順に有し、陰極側を光取出し面とする構成。
前述した本発明の「非晶質金属酸化物の薄膜」は、有機太陽電池の層部材として用いることができる。有機太陽電池は、一対の電極と、一対の電極の間に有機物で構成された光電変換層とを有する。一対の電極は、電子を取り出す側の電極およびホールを取り出す側の電極からなる。本発明の有機太陽電池は、光電変換層と電子を取り出す側の電極の間に、「非晶質金属酸化物の薄膜」が配置される。
各例において、以下の方法により、被成膜基板上に金属酸化物の薄膜を成膜したサンプルを作製し、その特性を評価した。
成膜装置には、RFマグネトロンスパッタ装置(アルバック社製)を使用した。スパッタリングターゲットには、直径Φ2インチで、酸化物換算のモル%表記で、所定の比率でZnOとSiO2の焼結体を含むターゲットをサンプル毎に使用した。
例1〜9における、スパッタの成膜条件を表1に示す。
被成膜基板としてニッケル基板を用いた。ニッケル基板上に成膜された、金属酸化物の薄膜について、原子数比(Zn/(Zn+Si))を求めた。原子数比は、薄膜をSEM−EDX分析することによって求めた。なお、基板の影響を小さくするために、加速電圧は10kVとした。結果を、表2に示す。
被成膜基板として石英ガラス基板を用いた。石英ガラス基板上に成膜された、金属酸化物の薄膜について、RIGAKU製X線回折装置RINT−2000を用いて、ゼーマンボーリン法によりX線回折スペクトルを測定した。ゼーマンボーリン法については、日本金属学会会報第27巻第6号461〜465頁(1988)に示されている。加速電圧50kV、放電電流300mAの条件で電子線をCuに照射し、発生したCuKα線を入射角0.5°に固定してサンプルに照射し、回折パターンを得た。図2に得られた回折パターンを示す。いずれの回折パターンもウルツ型ZnOに由来するハローパターンが認められた。2θが33°付近のウルツ型ZnOの(002)面におけるシェラー径を表2に示す。例1〜7で得られた薄膜は、いずれもシェラー径5nm以下であり、X線回折的に非晶質であることが確認された。一方、例8、9では、シェラー径が5nmより大きく、X線回折的に結晶質であることが確認された。
被成膜基板として、無アルカリ基板上に150nmのITOが成膜されたITO基板を用いた。ITO基板(ITOが成膜された面)上に、厚さ10nmの金属酸化物の薄膜を成膜した。この薄膜について、紫外光電子分光(UPS)によってイオン化ポテンシャルを測定した。測定は10−7Pa以上の高真空中で、薄膜にHeランプの紫外線(He(I)、21.22eV)を照射した。例1において得られた薄膜のスペクトルを図3、図4に示す。図3は光電子のカウント数と光電子の運動エネルギーの関係であり、仕事関数は3.9eVと見積もられた。図4は光電子のカウント数と結合エネルギーの関係であり、イオン化ポテンシャルは、結合エネルギーと仕事関数の和で求められ、6.6eVと見積もられた。
評価2と同様に、被成膜基板として石英ガラス基板を用いた。石英ガラス基板上に成膜された、金属酸化物の薄膜について、反射率および透過率を測定することで光吸収係数を求めた。さらに、得られた光吸収係数のTaucプロットから光学バンドギャップを求めた。一例として、図5、図6に例1、2で成膜された非晶質金属酸化物の薄膜のTaucプロットを示す。例1〜7について得られた光学バンドギャップは3.2〜4.0であった。表2に得られた光学バンドギャップを示す。UPSで得られたイオン化ポテンシャルの結果とあわせると、例1で成膜された非晶質金属酸化物の薄膜の電子親和力は2.6eVと見積もられる。例2〜7で成膜された非晶質金属酸化物の薄膜においても、同程度のイオン化ポテンシャルとすると電子親和力は3.3〜3.4eV程度と見積もられる。
評価2と同様に、被成膜基板として石英ガラス基板を用いた。石英ガラス基板上に成膜された、非晶質金属酸化物の薄膜について、4端子法で抵抗率を測定した。なお、金属酸化物の薄膜上に、幅1mm、2mm間隔でNd含有アルミニウムをスパッタ成膜し、電極とした。ターゲットには、コベルコ科研製の直径2インチの2mol%Nd含有アルミニウム(製品名:AD20)ターゲットを用いた。例2〜7で成膜された非晶質金属酸化物の薄膜について、4端子法で抵抗率を測定した。表2に、抵抗率の測定結果を示す。
一方、以下の方法により、電子オンリー素子10を作製し、その特性を評価した。電子オンリー素子10は、ガラス基板上にボトム電極として陰極を配置し、ボトム電極上に電子輸送層を厚さ150nmで配置し、電子輸送層上にトップ電極として陽極を、ボトム電極と直交するように配置した。陰極は、コベルコ科研製の直径2インチの2mol%Nd含有アルミニウム(製品名:AD20)ターゲットを用い、Nd含有アルミニウムを厚さ80nm、幅1mmとなるようにスパッタ成膜して形成した。電子輸送層として、厚さ150nmのAlq3の層を形成した。陽極は、アルミニウムを厚さ80nmとなるように真空蒸着して形成した。電子オンリー素子10の陰極と陽極に電圧を印加し、流れる電流値を測定した。図7に、得られた電流−電圧特性を、「Alq3」の曲線として示す。
I/A=E/(ρ・L) 式(2)
図7から、印加電圧20Vの範囲において、例2〜7は、電子輸送層にAlq3を用いた電子オンリー素子10に比べ数桁以上電流が流れやすいことがわかる。また、例2〜7の非晶質金属酸化物の薄膜を電子輸送層に用いた場合、厚さが150nmであっても有機EL素子として充分な電子輸送性を有することがわかる。なお、20V以上の電圧印加は、素子が劣化するため実用的でない。
以下の方法により、有機EL素子200を作製し、その特性を評価した。有機EL素子は、ガラス基板110上にボトム電極として陰極120を配置し、その上に順に、電子輸送層140、発光層150、ホール輸送層160、ホール注入層170およびトップ電極としての陽極180を配置し、陽極側から光を取り出す構造とした。なお、上述の記号は、図1を参照している。ただし、有機エレクトロルミネッセンス素子100を有機EL素子200と読み替える。また、例11においては、電子注入層130、ホールブロック層145および電子ブロック層155の形成は省略した。
次に、得られた有機EL素子200について、直流電圧を印加し、電流および輝度を測定した。測定は、窒素パージしたグローブボックス内において、有機EL素子200の陰極120と陽極180の間に所定の値の電圧を印加した際に得られる輝度および電流値を測定することにより実施した。輝度測定には、TOPCOM社製の輝度計(BM−7A)を使用した。
以下の方法により、有機EL素子300を作製し、その特性を評価した。有機EL素子300は、ガラス基板110上に、ボトム電極として陰極120を配置し、その上に順に、電子注入層130、電子輸送層140、発光層150、ホール輸送層160、ホール注入層170およびトップ電極としての陽極180を配置し、陽極側から光を取り出す構造とした。なお、上述の記号は、図1を参照している。ただし、有機エレクトロルミネッセンス素子100を有機EL素子300と読み替える。また、例12においては、ホールブロック層145および電子ブロック層155の形成は省略した。
例12と同様の方法で、有機EL素子400を作製し、その特性を評価した。ただし、例12では、厚さが約100nmの非晶質金属酸化物の薄膜からなる電子輸送層、および厚さ30nmのAlq3層を形成したのに対し、例13では、非晶質金属酸化物の薄膜からなる電子輸送層を形成せず、厚さ50nmのAlq3からなる電子輸送層兼発光層を形成した点が異なる。
有機EL素子300、400について、直流電圧を印加し、輝度の長期安定性を評価した。測定は、窒素パージしたグローブボックス内において、有機EL素子300、400の陰極と陽極の間に定電流を流したときの輝度が半減するまでの時間を測定することにより実施した。輝度測定には、TOPCOM社製の輝度計(BM−7A)を使用した。電子輸送層に非晶質金属酸化物の薄膜を用いた有機EL素子300は、電子輸送層にAlq3を用いた有機EL素子400に比べ、輝度半減時間が有意に長く、信頼性が改善することが確認された。
例12と同様の方法で、有機EL素子500を作製し、その特性を評価した。ただし、例12では、電子注入層として厚さ0.5nmのLiFからなる層を形成したのに対し、例14では、電子注入層として厚さ約2nmのエレクトライドの薄膜とした点が異なる。
次に、例14と同様の方法で、有機EL素子600を作製し、その特性を評価した。ただし、例14では、厚さが約100nmの非晶質金属酸化物の薄膜からなる電子輸送層、および厚さ30nmのAlq3層を形成したのに対し、例15では、非晶質金属酸化物の薄膜からなる電子輸送層を形成せず、厚さ50nmのAlq3からなる電子輸送層兼発光層を形成した点が異なる。
次に、有機EL素子500、600について、直流電圧を印加し、電流および輝度を測定した。測定は、窒素パージしたグローブボックス内において、各有機EL素子の陰極と陽極の間に所定の値の電圧を印加した際に得られる輝度および電流を測定することにより実施した。輝度測定には、TOPCOM社製の輝度計(BM−7A)を使用した。電子輸送層に非晶質金属酸化物の薄膜を用いた有機EL素子500は、電子輸送層(兼発光層)にAlq3を用いた有機EL素子600に比べ、単位電流あたりの輝度が高く、すなわち電流効率(cd/A)が改善することが確認された。
スパッタリング法により、シリカガラス製の基板上に、Zn−Si−O系の非晶質金属酸化物の薄膜を形成し、その特性を評価した。
スパッタリング法により、シリカガラス製の基板上に、金属酸化物の薄膜を形成し、その特性を評価した。
以下の方法により、有機EL素子を模擬したサンプルAを作製した。サンプルAは、ガラス基板、陽極(ITO)、電子輸送層(非晶質金属酸化物の薄膜)、電子注入層(LiF)、陰極(Al:厚さ80nm)をこの順に有する。
以下の方法により、非晶質金属酸化物の薄膜と、陰極材料との間の接合特性を評価した。なお、陰極材料には、Al金属の他、一般に陽極材料として用いられるFTOおよびITOを使用した。
以下の方法により、有機EL素子を模擬したサンプルDを作製した。サンプルDは、ガラス基板、陰極(ITO)、電子輸送層(非晶質金属酸化物の薄膜)、発光層(CBP+Ir(ppy)3)、ホール輸送層(α−NPD)、ホール注入層(MoOx)、および陽極(Ag)をこの順に有する。
以下の方法により、有機EL素子を模擬したサンプルFを作製した。サンプルFは、ガラス基板、陰極(ITO)、電子輸送層(非晶質金属酸化物の薄膜)、発光層(Alq3)、ホール輸送層(α−NPD)、ホール注入層(MoOx)、および陽極(Ag)をこの順に有する。
以下の方法により、有機EL素子を模擬したサンプルGを作製した。サンプルGは、ガラス基板、陰極(ITO)、電子輸送層(非晶質金属酸化物の薄膜)、電子注入層(非晶質C12A7エレクトライド薄膜)、発光層(Alq3)、ホール輸送層(α−NPD)、ホール注入層(MoOx)、および陽極(Ag)をこの順に有する。
以下の方法により、有機EL素子を模擬したサンプルH〜Mを作製した。これらのサンプルは陰極から電子が注入されるが、陽極から正孔は注入されにくい構成になっており、電子の流れやすさを評価している。以下に各サンプルの構成を示す。
110 基板
120 陰極
130 電子注入層
140 電子輸送層
145 ホールブロック層
150 発光層
155 電子ブロック層
160 ホール輸送層
170 ホール注入層
180 陽極
Claims (5)
- 有機エレクトロルミネッセンス素子であって、
陽極および陰極と、
該陽極および陰極の間に設置された発光層と、
該発光層と前記陰極の間に設置された薄膜と、
を有し、
前記薄膜は、亜鉛(Zn)、ケイ素(Si)および酸素(O)を含み、アルミニウム(Al)を含まず、Zn/(Zn+Si)の原子数比が0.30〜0.95である非晶質金属酸化物で構成され、
電子注入層を有さない、有機エレクトロルミネッセンス素子。 - 前記薄膜は、スズ(Sn)、チタン(Ti)、インジウム(In)、ガリウム(Ga)、およびニオブ(Nb)からなる群から選択される一以上のその他の金属成分を含み、その他の金属成分の含有量は、酸化物換算で、ZnO、SiO2、およびその他の金属成分の酸化物の合計100mol%に対して、15mol%以下である、請求項1に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。
- 前記薄膜は、屈折率が1.50〜2.00である、請求項1または2に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。
- 前記薄膜が電子輸送層、およびホールブロック層から選ばれる一以上の層である、請求項1乃至3のいずれか一つに記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。
- 前記薄膜の厚さが70nm〜2000nmである請求項1乃至4のいずれか一つに記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。
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