JP6484791B2 - 走査型超音波顕微鏡及び走査型超音波顕微鏡を動作させる方法 - Google Patents
走査型超音波顕微鏡及び走査型超音波顕微鏡を動作させる方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6484791B2 JP6484791B2 JP2016247876A JP2016247876A JP6484791B2 JP 6484791 B2 JP6484791 B2 JP 6484791B2 JP 2016247876 A JP2016247876 A JP 2016247876A JP 2016247876 A JP2016247876 A JP 2016247876A JP 6484791 B2 JP6484791 B2 JP 6484791B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- scanning
- part carrier
- transducer
- scan
- carrier
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 30
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 8
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 7
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims 6
- 239000011148 porous material Substances 0.000 claims 2
- 230000003213 activating effect Effects 0.000 claims 1
- 239000000969 carrier Substances 0.000 claims 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 15
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 9
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 9
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 9
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 description 9
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 8
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 8
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 7
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 7
- 230000008569 process Effects 0.000 description 7
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 6
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 5
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 5
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 4
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 2
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 238000000682 scanning probe acoustic microscopy Methods 0.000 description 2
- 238000002604 ultrasonography Methods 0.000 description 2
- 238000012800 visualization Methods 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 208000027418 Wounds and injury Diseases 0.000 description 1
- 238000013019 agitation Methods 0.000 description 1
- 230000000712 assembly Effects 0.000 description 1
- 238000000429 assembly Methods 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 1
- 208000014674 injury Diseases 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 230000001737 promoting effect Effects 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/04—Analysing solids
- G01N29/06—Visualisation of the interior, e.g. acoustic microscopy
- G01N29/0654—Imaging
- G01N29/0681—Imaging by acoustic microscopy, e.g. scanning acoustic microscopy
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/22—Details, e.g. general constructional or apparatus details
- G01N29/26—Arrangements for orientation or scanning by relative movement of the head and the sensor
- G01N29/265—Arrangements for orientation or scanning by relative movement of the head and the sensor by moving the sensor relative to a stationary material
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/22—Details, e.g. general constructional or apparatus details
- G01N29/28—Details, e.g. general constructional or apparatus details providing acoustic coupling, e.g. water
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2291/00—Indexing codes associated with group G01N29/00
- G01N2291/10—Number of transducers
- G01N2291/101—Number of transducers one transducer
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2291/00—Indexing codes associated with group G01N29/00
- G01N2291/26—Scanned objects
- G01N2291/269—Various geometry objects
- G01N2291/2697—Wafer or (micro)electronic parts
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Description
本出願は、2010年11月23日に出願された、米国仮特許出願第60/416,610号の利益を主張するものであり、当該出願は、ここにその全体が参照によって本明細書中に援用される。
該当せず
該当せず
Claims (21)
- トランスデューサと、
搭載部と走査部とを含む構造と、
前記走査部に配置された第1のパーツキャリアと、
前記搭載部に配置された第2のパーツキャリアと、
コントローラと、
前記コントローラに応答して、前記第1のパーツキャリアに配置された第1の部分を走査するために、3次元に沿って、前記走査部に前記トランスデューサを移動するドライバと、
を備え、
前記構造は、前記搭載部及び前記走査部の間で液体が流れるように前記液体を保持し且つ前記第1の部分を走査するために前記トランスデューサが移動する間、走査のために前記第2のパーツキャリアの準備を許可するように構成され、
前記第2のパーツキャリアの準備は、前記液体に沈められる時に前記第2のパーツキャリアの上に第2の部分を配置すること、及び前記第2の部分に付いている空気の泡を取り除くことを含み、
前記ドライバが前記第1の部分を走査するために前記トランスデューサを移動しながら、前記コントローラは、前記第2のパーツキャリアに関連するトランスデューサ飛行経路に関する情報を受信するように構成されている、
走査型超音波顕微鏡。 - 前記第1の部分を前記第1のパーツキャリアの定位置に保持する保持機構を更に備える、請求項1に記載の走査型超音波顕微鏡。
- 前記保持機構は、前記第1のパーツキャリアの下面への真空の適用を制御するコントローラを含む、請求項2に記載の走査型超音波顕微鏡。
- 前記第1のパーツキャリアは、多孔質の材料を備える、請求項3に記載の走査型超音波顕微鏡。
- 前記保持機構は、フィルムのシートを含み、
前記第1の部分は、前記第1のパーツキャリアと前記フィルムのシートとの間に配置される、請求項2に記載の走査型超音波顕微鏡。 - 前記第1のパーツキャリア及び前記第2のパーツキャリアの少なくとも1つは、超音波エネルギーに対して透過的な材料を備える、請求項1に記載の走査型超音波顕微鏡。
- 前記搭載部及び前記走査部を跨ぐレールを更に備え、
前記第2のパーツキャリアは、前記レールの上に移動可能に配置される、
請求項1に記載の走査型超音波顕微鏡。 - ラッチを更に備え、
前記ラッチは、前記第1のパーツキャリアを前記走査部に固定する、
請求項1に記載の走査型超音波顕微鏡。 - 前記第1のパーツキャリアを前記走査部の既知の位置に位置決めする位置合わせ機構を更に備える、請求項1に記載の走査型超音波顕微鏡。
- 前記位置合わせ機構は、バネ及びピンを含む、請求項9に記載の走査型超音波顕微鏡。
- グラフィックユーザインタフェース及び入力装置を更に含み、
前記グラフィックユーザインタフェース及び前記入力装置は、前記トランスデューサが前記第2の部分を走査するために従うべき経路の指定を可能にし、前記経路は、前記第1の部分が走査されている間、指定される、
請求項1に記載の走査型超音波顕微鏡。 - 搭載部と走査部とを有し、前記搭載部及び前記走査部の間で液体が流れるように前記液体を保持するように構成された構造を含む走査型超音波顕微鏡を作動する方法であって、
前記走査部に第1のパーツキャリアを配置することと、
前記第1のパーツキャリアに配置された第1の部分を走査するために、3次元に沿って、前記走査部にトランスデューサを移動することと、
前記第1の部分を走査するために前記トランスデューサが移動する間、走査のために第2のパーツキャリアを準備することと、
前記第1の部分を走査するために前記トランスデューサを移動しながら、前記第2のパーツキャリアに関連するトランスデューサ飛行経路に関する情報を受信することと、
を含み、
前記第2のパーツキャリアを準備することには、前記液体に沈められる時に前記第2のパーツキャリアの上に第2の部分を配置すること、及び前記第2の部分に付いている空気の泡を取り除くことが含まれる、
方法。 - 前記走査部に前記第1のパーツキャリアを配置することは、前記第1の部分を前記第1のパーツキャリアの定位置に保持することを含む、請求項12に記載の方法。
- 前記走査部に前記第1のパーツキャリアを配置することは、前記第1のパーツキャリアの下面への真空を適用することを含む、請求項13に記載の方法。
- 前記第1のパーツキャリアは、多孔質の材料を備える、請求項14に記載の方法。
- 前記第1の部分を前記第1のパーツキャリアの定位置に保持することは、前記第1の部分を、前記第1のパーツキャリアとフィルムのシートとの間に配置することを含む、請求項14に記載の方法。
- 前記第1のパーツキャリア及び前記第2のパーツキャリアの少なくとも1つは、超音波エネルギーに対して透過的な材料を備える、請求項14に記載の方法。
- 前記第1のパーツキャリアを、前記搭載部及び前記走査部を跨ぐレールの上に移動可能に配置することを更に含む、請求項12に記載の方法。
- 前記第1のパーツキャリアを前記走査部に固定することを更に含む、請求項12に記載の方法。
- 前記第1のパーツキャリアを前記走査部の所定の位置に位置決めすることを更に含む、請求項12に記載の方法。
- 前記トランスデューサが前記第2の部分を走査するために従うべき経路を指定するように、グラフィックユーザインタフェース及び入力装置を作動すること更に含み、
前記経路は、前記第1の部分が走査されている間、指定される、
請求項12に記載の方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US41661010P | 2010-11-23 | 2010-11-23 | |
US61/416,610 | 2010-11-23 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015075504A Division JP6067769B2 (ja) | 2010-11-23 | 2015-04-02 | 走査型超音波顕微鏡及び走査型超音波顕微鏡を動作させる方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017053871A JP2017053871A (ja) | 2017-03-16 |
JP6484791B2 true JP6484791B2 (ja) | 2019-03-20 |
Family
ID=46063065
Family Applications (3)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013541057A Pending JP2013543986A (ja) | 2010-11-23 | 2011-11-23 | 搭載中走査要素を有する超音波マイクロイメージングデバイス |
JP2015075504A Active JP6067769B2 (ja) | 2010-11-23 | 2015-04-02 | 走査型超音波顕微鏡及び走査型超音波顕微鏡を動作させる方法 |
JP2016247876A Active JP6484791B2 (ja) | 2010-11-23 | 2016-12-21 | 走査型超音波顕微鏡及び走査型超音波顕微鏡を動作させる方法 |
Family Applications Before (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013541057A Pending JP2013543986A (ja) | 2010-11-23 | 2011-11-23 | 搭載中走査要素を有する超音波マイクロイメージングデバイス |
JP2015075504A Active JP6067769B2 (ja) | 2010-11-23 | 2015-04-02 | 走査型超音波顕微鏡及び走査型超音波顕微鏡を動作させる方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (5) | US8720273B2 (ja) |
EP (1) | EP2643678A4 (ja) |
JP (3) | JP2013543986A (ja) |
WO (2) | WO2012071550A2 (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2643678A4 (en) | 2010-11-23 | 2017-02-22 | Sonoscan, Inc. | Acoustic micro imaging device with a scan while loading feature |
US10228354B2 (en) | 2012-10-26 | 2019-03-12 | Nordson Corporation | Single channel scanning acoustic microscope with multiple focused ultrasonic transducers |
CN104655735A (zh) * | 2013-11-20 | 2015-05-27 | 西安永电电气有限责任公司 | 一种超声波扫描用工装 |
JP5650339B1 (ja) * | 2014-02-06 | 2015-01-07 | 株式会社日立パワーソリューションズ | 超音波検査装置 |
JP6031074B2 (ja) * | 2014-09-22 | 2016-11-24 | 富士重工業株式会社 | 超音波探傷装置および超音波探傷方法 |
CN104297348B (zh) * | 2014-11-04 | 2017-02-15 | 株洲南车时代电气股份有限公司 | 一种超声扫描探头水杯工装 |
US20190361103A1 (en) * | 2018-05-25 | 2019-11-28 | Pva Tepla Analytical Systems Gmbh | Ultrasonic Microscope and Carrier for carrying an acoustic Pulse Transducer |
US11779940B1 (en) | 2020-10-29 | 2023-10-10 | Sonix, Inc. | Systems, methods and apparatus for dispensing fluid to an object |
Family Cites Families (43)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3762591A (en) * | 1971-03-30 | 1973-10-02 | R Gray | Anti-drip device |
US4021771A (en) | 1975-07-07 | 1977-05-03 | Holosonics, Inc. | Scan acoustical holographic imaging apparatus |
CA1153097A (en) | 1978-03-03 | 1983-08-30 | Jack Jellins | Rotating ultrasonic scanner |
JPS6312537B2 (ja) * | 1979-05-24 | 1988-03-19 | Nat Res Dev | |
US4518992A (en) | 1982-11-17 | 1985-05-21 | Sonoscan, Inc. | Acoustic imaging system and method |
JPS62240856A (ja) | 1985-01-19 | 1987-10-21 | Hitachi Constr Mach Co Ltd | 超音波探傷装置 |
EP0198944B1 (en) * | 1985-04-26 | 1990-03-21 | International Business Machines Corporation | Scanning acoustic microscope |
JPS6275260A (ja) * | 1985-09-30 | 1987-04-07 | Hitachi Constr Mach Co Ltd | 超音波検査用の液槽 |
US4781067A (en) | 1987-04-30 | 1988-11-01 | Sonoscan, Inc. | Balanced scanning mechanism |
JPH01127952A (ja) * | 1987-11-13 | 1989-05-19 | Canon Inc | 超音波映像装置 |
JPH0181567U (ja) * | 1987-11-24 | 1989-05-31 | ||
US4866986A (en) | 1988-09-15 | 1989-09-19 | Sonoscan, Inc. | Method and system for dual phase scanning acoustic microscopy |
US4995259A (en) | 1989-03-09 | 1991-02-26 | The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University | Acoustic microscope surface inspection system and method |
JPH04188058A (ja) | 1990-11-21 | 1992-07-06 | Olympus Optical Co Ltd | 超音波探傷装置 |
JPH04337455A (ja) * | 1991-05-15 | 1992-11-25 | Olympus Optical Co Ltd | レンズスキャナのインターロック装置 |
JPH054007U (ja) * | 1991-07-02 | 1993-01-22 | オリンパス光学工業株式会社 | 超音波顕微鏡 |
US5448399A (en) | 1992-03-13 | 1995-09-05 | Park Scientific Instruments | Optical system for scanning microscope |
EP0746857A4 (en) * | 1992-03-13 | 2001-01-03 | Thermomicroscopes Corp | SCANNING PROBE MICROSCOPE |
JPH063455A (ja) * | 1992-06-19 | 1994-01-11 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 超音波検査装置 |
US5602336A (en) | 1993-11-12 | 1997-02-11 | Tokimec Inc. | Flow detection apparatus employing tire probes having ultrasonic oscilators mounted therein |
US5600068A (en) | 1995-08-16 | 1997-02-04 | Sonoscan, Inc. | Controlled-immersion inspection |
JPH09257758A (ja) * | 1996-03-22 | 1997-10-03 | Sumitomo Chem Co Ltd | 水浸式超音波欠陥検査方法 |
US5684252A (en) | 1996-07-15 | 1997-11-04 | Sonoscan, Inc. | Method and apparatus for ultrasonic inspection of electronic components |
JP3323152B2 (ja) * | 1999-06-28 | 2002-09-09 | 九州日本電気株式会社 | はんだボールの接合検査方法及び検査装置 |
JP3621609B2 (ja) * | 1999-08-02 | 2005-02-16 | 株式会社マキ製作所 | 農産物の内部品質検査装置 |
US6357136B1 (en) | 2000-10-12 | 2002-03-19 | Sonoscan, Inc. | Scanning acoustic microscope system and method for handling small parts |
WO2002039085A2 (en) | 2000-11-13 | 2002-05-16 | Sonoscan, Inc. | Frequency domain processing of acoustic micro imaging signals |
US6460414B1 (en) | 2000-11-17 | 2002-10-08 | Sonoscan, Inc. | Automated acoustic micro imaging system and method |
US6895820B2 (en) | 2001-07-24 | 2005-05-24 | Sonoscan, Inc. | Acoustic micro imaging method and apparatus for capturing 4D acoustic reflection virtual samples |
US6880387B2 (en) | 2001-08-22 | 2005-04-19 | Sonoscan, Inc. | Acoustic micro imaging method providing improved information derivation and visualization |
US6981418B1 (en) | 2002-02-08 | 2006-01-03 | Metscan Technologies, Llc | Scanning acoustic microscopy |
US6981417B1 (en) | 2002-04-26 | 2006-01-03 | Sonoscan, Inc. | Scanning acoustic micro imaging method and apparatus for non-rectangular bounded files |
JP3855928B2 (ja) * | 2002-12-27 | 2006-12-13 | 日立エンジニアリング株式会社 | 水浸超音波探傷装置 |
US7013732B2 (en) | 2003-02-19 | 2006-03-21 | Sonix, Inc. | Method and apparatus for temperature-controlled ultrasonic inspection |
US7530271B2 (en) * | 2003-03-13 | 2009-05-12 | Sonix, Inc. | Method and apparatus for coupling ultrasound between an integral ultrasonic transducer assembly and an object |
WO2004092779A2 (en) | 2003-04-10 | 2004-10-28 | Sonoscan, Inc. | An improved tray-fed scanning acoustic microscope system and method primarily for immobilizing parts during inspection |
US7661315B2 (en) * | 2004-05-24 | 2010-02-16 | Sonix, Inc. | Method and apparatus for ultrasonic scanning of a fabrication wafer |
JP2005351723A (ja) * | 2004-06-10 | 2005-12-22 | Hitachi Eng Co Ltd | 超音波探傷装置 |
WO2007016605A2 (en) | 2005-08-01 | 2007-02-08 | Covaris, Inc. | An apparatus and a method for processing a sample using acoustic energy |
US7584664B2 (en) | 2006-02-07 | 2009-09-08 | Sonoscan Inc. | Acoustic micro imaging device having at least one balanced linear motor assembly |
US20090180931A1 (en) | 2007-09-17 | 2009-07-16 | Sequenom, Inc. | Integrated robotic sample transfer device |
US8794072B2 (en) * | 2007-10-10 | 2014-08-05 | Sonoscan, Inc. | Scanning acoustic microscope with profilometer function |
EP2643678A4 (en) | 2010-11-23 | 2017-02-22 | Sonoscan, Inc. | Acoustic micro imaging device with a scan while loading feature |
-
2011
- 2011-11-23 EP EP11842478.7A patent/EP2643678A4/en active Pending
- 2011-11-23 US US13/304,070 patent/US8720273B2/en active Active
- 2011-11-23 JP JP2013541057A patent/JP2013543986A/ja active Pending
- 2011-11-23 WO PCT/US2011/062116 patent/WO2012071550A2/en active Application Filing
- 2011-11-23 WO PCT/US2011/062101 patent/WO2012071541A2/en active Application Filing
- 2011-11-23 US US13/304,125 patent/US9170236B2/en active Active
-
2014
- 2014-03-17 US US14/216,429 patent/US9377443B2/en active Active
-
2015
- 2015-04-02 JP JP2015075504A patent/JP6067769B2/ja active Active
- 2015-10-19 US US14/886,897 patent/US9857338B2/en active Active
-
2016
- 2016-06-20 US US15/186,879 patent/US10241085B2/en active Active
- 2016-12-21 JP JP2016247876A patent/JP6484791B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2013543986A (ja) | 2013-12-09 |
EP2643678A4 (en) | 2017-02-22 |
EP2643678A2 (en) | 2013-10-02 |
US20160290968A1 (en) | 2016-10-06 |
US20140196543A1 (en) | 2014-07-17 |
JP6067769B2 (ja) | 2017-01-25 |
US20160041128A1 (en) | 2016-02-11 |
WO2012071550A3 (en) | 2012-06-28 |
US20120125109A1 (en) | 2012-05-24 |
US8720273B2 (en) | 2014-05-13 |
US10241085B2 (en) | 2019-03-26 |
US9857338B2 (en) | 2018-01-02 |
WO2012071550A2 (en) | 2012-05-31 |
US9377443B2 (en) | 2016-06-28 |
JP2015121564A (ja) | 2015-07-02 |
JP2017053871A (ja) | 2017-03-16 |
WO2012071541A3 (en) | 2014-04-10 |
WO2012071541A2 (en) | 2012-05-31 |
US9170236B2 (en) | 2015-10-27 |
US20120125110A1 (en) | 2012-05-24 |
WO2012071550A4 (en) | 2012-07-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6484791B2 (ja) | 走査型超音波顕微鏡及び走査型超音波顕微鏡を動作させる方法 | |
JP4814511B2 (ja) | パルス渦電流センサプローブ及び検査方法 | |
EP2053391B1 (en) | Apparatus and method for nondestructive inspection of parts | |
EP3770902B1 (en) | Acoustic micro imaging device having at least first and second balanced linear motor assemblies | |
WO2013127990A1 (en) | Method and system for distributing and agitating an amount of liquid over a microscope slide | |
JP2011064660A (ja) | 検体処理装置及び検体処理方法 | |
JP5689481B2 (ja) | 磁気ばねバランス式ストリンガプローブを備える非破壊検査装置 | |
Koskelo et al. | Scanning laser ultrasound and wavenumber spectroscopy for in-process inspection of additively manufactured parts | |
JP2006220546A (ja) | ケミカルセンサ | |
CN103837472A (zh) | 基于多角度平面透射镜的微悬臂梁阵列传感器的微悬臂梁偏转扫描系统及扫描方法 | |
US20130063139A1 (en) | Method and its apparatus for inspecting a magnetic head device | |
US10955386B2 (en) | Compact immersion scanning system for high-frequency sound waves | |
Mitri et al. | Improved vibroacoustography imaging for nondestructive inspection of materials | |
JP2002257707A (ja) | 画像解析用セル | |
Marchioro et al. | Surface and subsurface layers characterization in artworks using conoscopic laser holography and acoustic microscopy | |
JP4583550B2 (ja) | 炭素繊維強化プラスチック積層板のマトリックスクラック検出方法 | |
CN110186816A (zh) | 一种测试颗粒材料微观动力学特性的试验装置 | |
JPH07104430B2 (ja) | 燃料棒超音波探傷方法及び探傷装置 | |
JPH08136518A (ja) | 超音波検査装置 | |
JP2013181767A (ja) | 超音波探傷装置及びこれを用いた超音波探傷方法 | |
CN108955587A (zh) | 一种基片表面检测设备和方法 | |
CN109211733A (zh) | 一种基片表面检测方法和设备 | |
JP2004309258A (ja) | 表面欠陥検出方法及び装置 | |
JP2007085805A (ja) | 自動分析装置 | |
JP2011226788A (ja) | 音響パラメータ測定装置用試料支持体及び音響パラメータ測定装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20161221 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170104 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170112 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20171124 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180109 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20180409 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180611 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20181120 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20181219 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190117 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20190205 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20190205 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6484791 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |