JPH063455A - 超音波検査装置 - Google Patents
超音波検査装置Info
- Publication number
- JPH063455A JPH063455A JP16072892A JP16072892A JPH063455A JP H063455 A JPH063455 A JP H063455A JP 16072892 A JP16072892 A JP 16072892A JP 16072892 A JP16072892 A JP 16072892A JP H063455 A JPH063455 A JP H063455A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ultrasonic
- subject
- ultrasonic probe
- scanning
- pearl
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/04—Analysing solids
- G01N29/07—Analysing solids by measuring propagation velocity or propagation time of acoustic waves
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2291/00—Indexing codes associated with group G01N29/00
- G01N2291/04—Wave modes and trajectories
- G01N2291/044—Internal reflections (echoes), e.g. on walls or defects
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Geophysics And Detection Of Objects (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 被検体中の物体の有無を非破壊で自動的に検
査するようにした超音波検査装置を提供する。 【構成】 被検体Ｓの検出不要部分を検査用の容器７の
吸音材で覆い、コンベヤ２のベルト５に保持させて移動
させる。移動する被検体Ｓに送受兼用の走査式超音波プ
ローブ１１により被検体Ｓに超音波ビームを走査する。
被検体Ｓからの反射波を超音波プローブ１１で受信す
る。装置本体１２の判定部により、受信信号の到達時間
が一定の範囲に入っているか否かについて検出し、被検
体Ｓの良、不良について判定する。
査するようにした超音波検査装置を提供する。 【構成】 被検体Ｓの検出不要部分を検査用の容器７の
吸音材で覆い、コンベヤ２のベルト５に保持させて移動
させる。移動する被検体Ｓに送受兼用の走査式超音波プ
ローブ１１により被検体Ｓに超音波ビームを走査する。
被検体Ｓからの反射波を超音波プローブ１１で受信す
る。装置本体１２の判定部により、受信信号の到達時間
が一定の範囲に入っているか否かについて検出し、被検
体Ｓの良、不良について判定する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、非破壊で被検体の内部
を検査する超音波検査装置に関する。
を検査する超音波検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図７は従来の超音波検査装置の構成を示
している。図７において、７１は超音波プローブ、７２
は送信部、７３は受信部、７４は表示部、Ｓは被検体で
ある。
している。図７において、７１は超音波プローブ、７２
は送信部、７３は受信部、７４は表示部、Ｓは被検体で
ある。
【０００３】以上の構成について、以下、その動作とと
もに更に詳細に説明する。送信部７２からプローブ７１
に送信信号が送られると、プローブ７１により超音波に
変換され、このプローブ７１から超音波ビームが被検体
Ｓに向けて放射される。被検体Ｓからは、その表面や、
内部から、反射波が生じ、再び、プローブ７１に達し、
電気信号に変換され、受信信号として受信部７３に送出
される。受信信号は受信部７３で増幅、検波などの処理
が施され、表示部７４にその波形が表示される。
もに更に詳細に説明する。送信部７２からプローブ７１
に送信信号が送られると、プローブ７１により超音波に
変換され、このプローブ７１から超音波ビームが被検体
Ｓに向けて放射される。被検体Ｓからは、その表面や、
内部から、反射波が生じ、再び、プローブ７１に達し、
電気信号に変換され、受信信号として受信部７３に送出
される。受信信号は受信部７３で増幅、検波などの処理
が施され、表示部７４にその波形が表示される。
【０００４】このように上記従来の超音波検査装置にお
いても、受信信号の振幅や、伝搬時間などから、被検体
Ｓの内部の構造について、非破壊で検査することができ
る。
いても、受信信号の振幅や、伝搬時間などから、被検体
Ｓの内部の構造について、非破壊で検査することができ
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の超音波検査装置では、超音波プローブ７１を手で操
作して被検体Ｓに超音波を照射していた。このため、照
射位置が精度良く決められず、受信信号の変動が大きく
なり、検査において誤りを生じることがあった。また、
受信信号の中には、検査対象による受信信号のほかに被
検体の表面や、内部の構造から生じる受信信号があり、
これらの区別をするために熟練を要し、検査を自動化す
ることが困難であった。
来の超音波検査装置では、超音波プローブ７１を手で操
作して被検体Ｓに超音波を照射していた。このため、照
射位置が精度良く決められず、受信信号の変動が大きく
なり、検査において誤りを生じることがあった。また、
受信信号の中には、検査対象による受信信号のほかに被
検体の表面や、内部の構造から生じる受信信号があり、
これらの区別をするために熟練を要し、検査を自動化す
ることが困難であった。
【０００６】本発明は、このような従来の問題を解決す
るものであり、被検体からの超音波ビームの反射が再現
性良く得られるようにし、また、不要な反射波を除くこ
とができるようにし、したがって、被検体を自動的に、
しかも、正確に検査することができるようにした超音波
検査装置を提供することを目的とするものである。
るものであり、被検体からの超音波ビームの反射が再現
性良く得られるようにし、また、不要な反射波を除くこ
とができるようにし、したがって、被検体を自動的に、
しかも、正確に検査することができるようにした超音波
検査装置を提供することを目的とするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するために、被検体の検出不要部分を吸音材で覆う検査
用の容器と、この被検体を支持した容器を連続的に移動
させる移動装置と、この移動装置により移動する被検体
に対して超音波ビームを送信走査し、被検体からの反射
波を受信走査する送受兼用の走査式超音波プローブと、
この走査式超音波プローブで受信した信号の到達時間が
一定の範囲に入っているか否かについて検出することに
より、被検体の良、不良を判定する手段とを備えたもの
である。
するために、被検体の検出不要部分を吸音材で覆う検査
用の容器と、この被検体を支持した容器を連続的に移動
させる移動装置と、この移動装置により移動する被検体
に対して超音波ビームを送信走査し、被検体からの反射
波を受信走査する送受兼用の走査式超音波プローブと、
この走査式超音波プローブで受信した信号の到達時間が
一定の範囲に入っているか否かについて検出することに
より、被検体の良、不良を判定する手段とを備えたもの
である。
【０００８】そして、上記超音波ビームの走査ピッチが
波長と同程度になるように、走査式超音波プローブの走
査ピッチと、移動装置の移動速度を調節するように構成
するのが好ましい。
波長と同程度になるように、走査式超音波プローブの走
査ピッチと、移動装置の移動速度を調節するように構成
するのが好ましい。
【０００９】
【作用】したがって、本発明によれば、送受兼用の走査
式プローブと、被検体を連続的に移動させる移動装置を
組み合わせて用い、被検体に超音波ビームを走査するこ
とにより、超音波ビームを被検体上に精度良く位置決め
照射することができる。また、被検体の検出不要部分を
吸音材により覆い、被検体からの余分の反射を除いてい
るので、上記超音波プローブで受けた受信信号は再現性
が良く、かつ単純になり、その受信信号の伝搬時間から
判定部により、被検体が良品であるか不良品であるかに
ついて確実に検査することができる。
式プローブと、被検体を連続的に移動させる移動装置を
組み合わせて用い、被検体に超音波ビームを走査するこ
とにより、超音波ビームを被検体上に精度良く位置決め
照射することができる。また、被検体の検出不要部分を
吸音材により覆い、被検体からの余分の反射を除いてい
るので、上記超音波プローブで受けた受信信号は再現性
が良く、かつ単純になり、その受信信号の伝搬時間から
判定部により、被検体が良品であるか不良品であるかに
ついて確実に検査することができる。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の一実施例について図面を参照
しながら説明する。
しながら説明する。
【００１１】図１（ａ）および（ｂ）はそれぞれ本発明
の一実施例における超音波検査装置を示す概略平面図お
よび一部破断概略側面図である。
の一実施例における超音波検査装置を示す概略平面図お
よび一部破断概略側面図である。
【００１２】図１（ａ）、（ｂ）に示すように、水槽１
内に被検体Ｓを連続的に移動させる装置として、コンベ
ヤ２が設けられている。コンベヤ２はベルト車３、４に
ベルト５が掛けられ、一方のベルト車３がステッピング
モータ等の間歇駆動源（図示省略）により間歇回転され
ることにより、ベルト５が矢印ｘ方向に間歇的に走行さ
れる。ベルト５の外側面には一定間隔ごとに走行方向の
前後に一組の保持具６が取り付けられ、各組の保持具６
は被検体Ｓを離脱可能に保持した検査用の容器７を離脱
可能に保持することができる。コンベヤ２は水槽１内に
満たされた水８に浸されている。コンベヤ２の移送側に
おける上流側には被検体Ｓを保持した検査用の容器７を
ベルト５上の保持具６に保持させる供給装置９が設けら
れ、下流側には被検体Ｓを保持した検査用の容器７を保
持具６から取り出し、良品と不良品に振り分ける選別装
置１０が設けられている。コンベヤ２の移送側における
中間部には超音波ビームの送信走査および受信走査を兼
用するリニア走査式の超音波プローブ１１が設けられて
いる。装置本体１２は超音波プローブ１１へ送信信号を
送るための送信部と、超音波プローブ１１から送出され
る受信信号の増幅などの処理を行う受信部と、受信信号
から被検体Ｓの良、不良の判定を行う判定部と、供給装
置９、選別装置１０、コンベヤ２などを制御するコント
ローラを有している。
内に被検体Ｓを連続的に移動させる装置として、コンベ
ヤ２が設けられている。コンベヤ２はベルト車３、４に
ベルト５が掛けられ、一方のベルト車３がステッピング
モータ等の間歇駆動源（図示省略）により間歇回転され
ることにより、ベルト５が矢印ｘ方向に間歇的に走行さ
れる。ベルト５の外側面には一定間隔ごとに走行方向の
前後に一組の保持具６が取り付けられ、各組の保持具６
は被検体Ｓを離脱可能に保持した検査用の容器７を離脱
可能に保持することができる。コンベヤ２は水槽１内に
満たされた水８に浸されている。コンベヤ２の移送側に
おける上流側には被検体Ｓを保持した検査用の容器７を
ベルト５上の保持具６に保持させる供給装置９が設けら
れ、下流側には被検体Ｓを保持した検査用の容器７を保
持具６から取り出し、良品と不良品に振り分ける選別装
置１０が設けられている。コンベヤ２の移送側における
中間部には超音波ビームの送信走査および受信走査を兼
用するリニア走査式の超音波プローブ１１が設けられて
いる。装置本体１２は超音波プローブ１１へ送信信号を
送るための送信部と、超音波プローブ１１から送出され
る受信信号の増幅などの処理を行う受信部と、受信信号
から被検体Ｓの良、不良の判定を行う判定部と、供給装
置９、選別装置１０、コンベヤ２などを制御するコント
ローラを有している。
【００１３】被検体Ｓが真珠養殖における養殖中の母貝
であり、この母貝の中における真珠の存在の有無を非破
壊で検査する場合について説明する。
であり、この母貝の中における真珠の存在の有無を非破
壊で検査する場合について説明する。
【００１４】図２（ａ）は被検体である母貝を示す平面
図、図２（ｂ）は母貝を示す断面図、図３（ａ）は母貝
を検査用の容器に装填した状態を示す平面図、図３
（ｂ）は同状態を示す断面図である。
図、図２（ｂ）は母貝を示す断面図、図３（ａ）は母貝
を検査用の容器に装填した状態を示す平面図、図３
（ｂ）は同状態を示す断面図である。
【００１５】図２（ａ）、（ｂ）に示すように、被検体
である母貝Ｓは厚み１〜２mmの２枚の貝殻Ｓ１、Ｓ２か
らなり、直径が５〜８mmの真珠Ｓ３が臓器の中に埋め込
まれている。図３（ａ）、（ｂ）に示すように、検査用
の容器７は台枠２１と枠状の吸音材２２とからなる。台
枠２１はベルト５の外側面に支持されてる。台枠２１に
よって母貝Ｓの外周部を一定の高さで支持し、したがっ
て、母貝Ｓと超音波プローブ１１の距離を一定に保つこ
とができる。母貝Ｓ中の真珠Ｓ３の位置はほぼ一定であ
るので、この真珠Ｓ３の超音波プローブ１１に対する距
離とほぼ同じ距離となる貝殻Ｓ１の外周部が吸音材２２
により被覆され、超音波ビームが照射されないようにな
っている。
である母貝Ｓは厚み１〜２mmの２枚の貝殻Ｓ１、Ｓ２か
らなり、直径が５〜８mmの真珠Ｓ３が臓器の中に埋め込
まれている。図３（ａ）、（ｂ）に示すように、検査用
の容器７は台枠２１と枠状の吸音材２２とからなる。台
枠２１はベルト５の外側面に支持されてる。台枠２１に
よって母貝Ｓの外周部を一定の高さで支持し、したがっ
て、母貝Ｓと超音波プローブ１１の距離を一定に保つこ
とができる。母貝Ｓ中の真珠Ｓ３の位置はほぼ一定であ
るので、この真珠Ｓ３の超音波プローブ１１に対する距
離とほぼ同じ距離となる貝殻Ｓ１の外周部が吸音材２２
により被覆され、超音波ビームが照射されないようにな
っている。
【００１６】図４は判定部を示す概略ブロック図、図５
は同判定部の動作説明用のタイミングチャートである。
図４において、３１は受信部により増幅、検波された後
の受信信号で、ＡＮＤ回路３５に入力する。３２は送信
信号トリガで、ゲート信号発生器３３に入力する。ゲー
ト信号発生器３３から出力されたゲート信号３４はＡＮ
Ｄ回路３５に入力する。３６はＡＮＤ回路３５の出力で
ある。
は同判定部の動作説明用のタイミングチャートである。
図４において、３１は受信部により増幅、検波された後
の受信信号で、ＡＮＤ回路３５に入力する。３２は送信
信号トリガで、ゲート信号発生器３３に入力する。ゲー
ト信号発生器３３から出力されたゲート信号３４はＡＮ
Ｄ回路３５に入力する。３６はＡＮＤ回路３５の出力で
ある。
【００１７】以上の構成において、以下、その動作につ
いて説明する。真珠の母貝Ｓを上記のように検査用の容
器７に支持した状態で供給器装置９によりコンベヤ２の
保持具６に保持させ、水８に浸す。母貝Ｓの供給後、コ
ンベヤ２を間歇駆動源により駆動してベルト５を一定の
速度で矢印ｘ方向に間歇的に走行させ、これに伴い、母
貝Ｓ等を移動させる。母貝Ｓが測定範囲に入ると、装置
本体１２の送信部から超音波プローブ１１に送信信号が
送られ、超音波プローブ１１で送信信号から変換された
超音波ビームが母貝Ｓに向けて放射される。送信信号は
一定の繰り返し周期で送られ、それに応じて超音波ビー
ムは母貝Ｓをその移動方向ｘと直角のｙ方向に走査す
る。
いて説明する。真珠の母貝Ｓを上記のように検査用の容
器７に支持した状態で供給器装置９によりコンベヤ２の
保持具６に保持させ、水８に浸す。母貝Ｓの供給後、コ
ンベヤ２を間歇駆動源により駆動してベルト５を一定の
速度で矢印ｘ方向に間歇的に走行させ、これに伴い、母
貝Ｓ等を移動させる。母貝Ｓが測定範囲に入ると、装置
本体１２の送信部から超音波プローブ１１に送信信号が
送られ、超音波プローブ１１で送信信号から変換された
超音波ビームが母貝Ｓに向けて放射される。送信信号は
一定の繰り返し周期で送られ、それに応じて超音波ビー
ムは母貝Ｓをその移動方向ｘと直角のｙ方向に走査す
る。
【００１８】図６は超音波ビームの走査状態を示す説明
図である。図６において、Ｓ１、…、ＳＮは母貝Ｓ上の
超音波ビームの軌跡である。このようにして母貝Ｓの全
面を超音波ビームで走査することができる。超音波ビー
ムが母貝Ｓに照射すると、その表面や、内部から反射さ
れ、再び、超音波プローブ１１に戻った反射波は、超音
波プローブ１１で電気信号に変換され、装置本体１２の
受信部に送られ、増幅、検波等の処理が施される。この
処理された受信信号の到達時間、振幅などから母貝Ｓの
構造についての情報を得ることができる。
図である。図６において、Ｓ１、…、ＳＮは母貝Ｓ上の
超音波ビームの軌跡である。このようにして母貝Ｓの全
面を超音波ビームで走査することができる。超音波ビー
ムが母貝Ｓに照射すると、その表面や、内部から反射さ
れ、再び、超音波プローブ１１に戻った反射波は、超音
波プローブ１１で電気信号に変換され、装置本体１２の
受信部に送られ、増幅、検波等の処理が施される。この
処理された受信信号の到達時間、振幅などから母貝Ｓの
構造についての情報を得ることができる。
【００１９】特に、母貝Ｓにおいては、超音波ビームを
照射すると、超音波ビームは貝殻Ｓ１、Ｓ２の表面と裏
面および真珠Ｓ３の表面と裏面で反射される。そして、
上記のようにそれらの反射波が超音波プローブ１１に戻
り、超音波プローブ１１で電気信号に変換され、装置本
体１２の受信部で処理される。その後、判定部で、受信
信号が真珠Ｓ３によるものであるか否かについて判定す
る。
照射すると、超音波ビームは貝殻Ｓ１、Ｓ２の表面と裏
面および真珠Ｓ３の表面と裏面で反射される。そして、
上記のようにそれらの反射波が超音波プローブ１１に戻
り、超音波プローブ１１で電気信号に変換され、装置本
体１２の受信部で処理される。その後、判定部で、受信
信号が真珠Ｓ３によるものであるか否かについて判定す
る。
【００２０】次に、判定部における判定動作について説
明する。上記のように超音波プローブ１１に対する母貝
Ｓ、すなわち、真珠Ｓ３の位置をほぼ一定にすることが
できるので、真珠Ｓ３による受信信号の到達時間を一定
の範囲に押さえることができる。したがって、受信信号
の到達時間を測定することによって真珠Ｓ３が入ってい
ることを知ることができる。
明する。上記のように超音波プローブ１１に対する母貝
Ｓ、すなわち、真珠Ｓ３の位置をほぼ一定にすることが
できるので、真珠Ｓ３による受信信号の到達時間を一定
の範囲に押さえることができる。したがって、受信信号
の到達時間を測定することによって真珠Ｓ３が入ってい
ることを知ることができる。
【００２１】更に詳細に説明すると、図４、図５に示す
ように、受信信号３１と、送信信号３２でトリガしたゲ
ート発生器３３から得たゲート信号３４（このゲート信
号は真珠Ｓ３による受信信号の到達時間の範囲にＯＮと
なる）とを、ＡＮＤ回路３５に入力し、ゲート信号３４
がＯＮになっている時間に、一定の出力以上の受信信号
３１があれば出力３６がＯＮになるので、真珠Ｓ３によ
る受信信号があることを知ることができる。そして、母
貝Ｓに対する超音波プローブ１１による超音波ビームの
照射に際し、母貝Ｓの上部外周部が吸音材２２により被
覆されている。この吸音材がないと、超音波ビームは母
貝Ｓの全面に照射し、貝殻Ｓ１における真珠Ｓ３と同じ
水平面に位置する部分からのＰ１、Ｐ２など（図３
（ｂ）参照）の反射は真珠Ｓ３の反射と同じ時間で超音
波プローブ１１に到達する。したがって、これらの受信
信号が真珠Ｓ３によるものか、貝殻Ｓ１によるものかを
区別することができなくなる。これを区別するために、
貝殻Ｓ１が真珠Ｓ３と同じ距離になる部分は貝殻Ｓ１の
周辺部であり、この周辺部には真珠Ｓ３が存在しないと
の理由から、上記のように貝殻Ｓ１の周辺部に超音波ビ
ームを照射しないように吸音材２２を被せることによ
り、真珠３による受信信号の到達時間の範囲に入るよう
な受信信号は貝殻Ｓ１からは発生しなくなる。このよう
にして判定した後、それに応じて、選別装置１０（図１
参照）により判定の終った母貝Ｓを停止したコンベヤ２
から取り出して分別することができる。以下、上記動作
を繰り返すことにより、母貝Ｓにおける真珠Ｓ３の存在
の有無について連続的に、かつ自動的に検査して分別す
ることができる。
ように、受信信号３１と、送信信号３２でトリガしたゲ
ート発生器３３から得たゲート信号３４（このゲート信
号は真珠Ｓ３による受信信号の到達時間の範囲にＯＮと
なる）とを、ＡＮＤ回路３５に入力し、ゲート信号３４
がＯＮになっている時間に、一定の出力以上の受信信号
３１があれば出力３６がＯＮになるので、真珠Ｓ３によ
る受信信号があることを知ることができる。そして、母
貝Ｓに対する超音波プローブ１１による超音波ビームの
照射に際し、母貝Ｓの上部外周部が吸音材２２により被
覆されている。この吸音材がないと、超音波ビームは母
貝Ｓの全面に照射し、貝殻Ｓ１における真珠Ｓ３と同じ
水平面に位置する部分からのＰ１、Ｐ２など（図３
（ｂ）参照）の反射は真珠Ｓ３の反射と同じ時間で超音
波プローブ１１に到達する。したがって、これらの受信
信号が真珠Ｓ３によるものか、貝殻Ｓ１によるものかを
区別することができなくなる。これを区別するために、
貝殻Ｓ１が真珠Ｓ３と同じ距離になる部分は貝殻Ｓ１の
周辺部であり、この周辺部には真珠Ｓ３が存在しないと
の理由から、上記のように貝殻Ｓ１の周辺部に超音波ビ
ームを照射しないように吸音材２２を被せることによ
り、真珠３による受信信号の到達時間の範囲に入るよう
な受信信号は貝殻Ｓ１からは発生しなくなる。このよう
にして判定した後、それに応じて、選別装置１０（図１
参照）により判定の終った母貝Ｓを停止したコンベヤ２
から取り出して分別することができる。以下、上記動作
を繰り返すことにより、母貝Ｓにおける真珠Ｓ３の存在
の有無について連続的に、かつ自動的に検査して分別す
ることができる。
【００２２】なお、真珠Ｓ３はほぼ完全な球形をしてい
るので、照射ビームが真珠Ｓ３の中心から外れると、反
射ビームの強度は著しく小さくなり、真珠Ｓ３が存在し
ていても、その受信信号が小さくて検出できなくなる恐
れがある。これを防ぐために、本発明においては、照射
ビームの走査ピッチを波長と同程度になるように、超音
波プローブ１１の走査ピッチと、ベルト５の移動速度を
調節できるようにしている。一例として、３.５MHzのリ
ニアプローブを用いると、約０.５mmのピッチで走査す
ることになる。５０mm×５０mmの被検体（真珠の母貝）
Ｓを５０mmの距離において検査する場合、１検体の検査
に要する時間は約２〜５秒であり、上記のような細かい
走査を行っても迅速に測定することができる。
るので、照射ビームが真珠Ｓ３の中心から外れると、反
射ビームの強度は著しく小さくなり、真珠Ｓ３が存在し
ていても、その受信信号が小さくて検出できなくなる恐
れがある。これを防ぐために、本発明においては、照射
ビームの走査ピッチを波長と同程度になるように、超音
波プローブ１１の走査ピッチと、ベルト５の移動速度を
調節できるようにしている。一例として、３.５MHzのリ
ニアプローブを用いると、約０.５mmのピッチで走査す
ることになる。５０mm×５０mmの被検体（真珠の母貝）
Ｓを５０mmの距離において検査する場合、１検体の検査
に要する時間は約２〜５秒であり、上記のような細かい
走査を行っても迅速に測定することができる。
【００２３】このように上記実施例によれば、走査型の
超音波プローブ１１とコンベヤ２とを組み合わせ、超音
波ビームで一部吸音材２２により覆われた被検体Ｓ上を
走査し、被検体Ｓからの反射から得られる受信信号の到
達時間を判定部により判定することにより、被検体Ｓの
検査を非破壊で連続的に、かつ自動的に行うことができ
る。
超音波プローブ１１とコンベヤ２とを組み合わせ、超音
波ビームで一部吸音材２２により覆われた被検体Ｓ上を
走査し、被検体Ｓからの反射から得られる受信信号の到
達時間を判定部により判定することにより、被検体Ｓの
検査を非破壊で連続的に、かつ自動的に行うことができ
る。
【００２４】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、送
受信兼用の走査式超音波プローブと、被検体を連続的に
移動させる移動装置を組み合わせて用いることにより、
超音波ビームを細かく走査できるので、被検体からの反
射が再現性良く得られ、正確な自動検査を行うことがで
きる。また、被検体の検出不要部分を吸音材により覆
い、必要のない反射成分を除いているので、被検体の
良、不良の判定を簡単に、かつ正確に行うことができ
る。
受信兼用の走査式超音波プローブと、被検体を連続的に
移動させる移動装置を組み合わせて用いることにより、
超音波ビームを細かく走査できるので、被検体からの反
射が再現性良く得られ、正確な自動検査を行うことがで
きる。また、被検体の検出不要部分を吸音材により覆
い、必要のない反射成分を除いているので、被検体の
良、不良の判定を簡単に、かつ正確に行うことができ
る。
【図１】（ａ）は本発明の一実施例における超音波検査
装置を示す概略平面図 （ｂ）は同超音波検査装置を示す一部破断概略側面図
装置を示す概略平面図 （ｂ）は同超音波検査装置を示す一部破断概略側面図
【図２】（ａ）は被検体の一例である真珠の母貝を示す
平面図 （ｂ）は母貝を示す断面図
平面図 （ｂ）は母貝を示す断面図
【図３】（ａ）は母貝を保持した容器を示す平面図 （ｂ）は母貝を保持した容器を示す断面図
【図４】本発明実施例の超音波検査装置に用いる判定部
を示す概略ブロック図
を示す概略ブロック図
【図５】同判定部の動作説明用のタイミングチャート
【図６】本発明実施例の超音波検査装置による被検体上
の超音波ビームの走査軌跡を示す平面図
の超音波ビームの走査軌跡を示す平面図
【図７】従来例の超音波検査装置を示す概略ブロック図
１ 水槽 ２ コンベヤ ６ 保持具 ７ 検査用の容器 ９ 供給装置 １０ 選別装置 １１ 送受信兼用の走査式超音波プローブ １２ 装置本体 Ｓ 被検体
Claims (2)
- 【請求項１】 被検体の検出不要部分を吸音材で覆う検
査用の容器と、この被検体を支持した容器を連続的に移
動させる移動装置と、この移動装置により移動する被検
体に対して超音波ビームを送信走査し、被検体からの反
射波を受信走査する送受兼用の走査式超音波プローブ
と、この走査式超音波プローブで受信した信号の到達時
間が一定の範囲に入っているか否かについて検出するこ
とにより、被検体の良、不良を判定する手段とを備えた
超音波検査装置。 - 【請求項２】 超音波ビームの走査ピッチが波長と同程
度になるように、走査式超音波プローブの走査ピッチ
と、移動装置の移動速度を調節するように構成された請
求項１記載の超音波検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16072892A JPH063455A (ja) | 1992-06-19 | 1992-06-19 | 超音波検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16072892A JPH063455A (ja) | 1992-06-19 | 1992-06-19 | 超音波検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH063455A true JPH063455A (ja) | 1994-01-11 |
Family
ID=15721183
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16072892A Pending JPH063455A (ja) | 1992-06-19 | 1992-06-19 | 超音波検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH063455A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006242820A (ja) * | 2005-03-04 | 2006-09-14 | Dainippon Printing Co Ltd | 紙容器内の異物検査装置、これを用いた充填シール装置、及び充填シール方法 |
| JP2011099810A (ja) * | 2009-11-09 | 2011-05-19 | Shinmaywa Industries Ltd | 超音波探傷装置 |
| JP2013543986A (ja) * | 2010-11-23 | 2013-12-09 | ソノスキャン，インコーポレイテッド | 搭載中走査要素を有する超音波マイクロイメージングデバイス |
| JP2018048858A (ja) * | 2016-09-20 | 2018-03-29 | 日新電機株式会社 | グリース劣化診断装置 |
-
1992
- 1992-06-19 JP JP16072892A patent/JPH063455A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006242820A (ja) * | 2005-03-04 | 2006-09-14 | Dainippon Printing Co Ltd | 紙容器内の異物検査装置、これを用いた充填シール装置、及び充填シール方法 |
| JP2011099810A (ja) * | 2009-11-09 | 2011-05-19 | Shinmaywa Industries Ltd | 超音波探傷装置 |
| JP2013543986A (ja) * | 2010-11-23 | 2013-12-09 | ソノスキャン，インコーポレイテッド | 搭載中走査要素を有する超音波マイクロイメージングデバイス |
| JP2015121564A (ja) * | 2010-11-23 | 2015-07-02 | ソノスキャン，インコーポレイテッド | 走査型超音波顕微鏡及び走査型超音波顕微鏡を動作させる方法 |
| US9170236B2 (en) | 2010-11-23 | 2015-10-27 | Sonoscan, Inc. | Acoustic micro imaging device with a scan while loading feature |
| JP2017053871A (ja) * | 2010-11-23 | 2017-03-16 | ソノスキャン，インコーポレイテッド | 走査型超音波顕微鏡及び走査型超音波顕微鏡を動作させる方法 |
| US9857338B2 (en) | 2010-11-23 | 2018-01-02 | Sonoscan, Inc. | Acoustic micro imaging device with a scan while loading feature |
| JP2018048858A (ja) * | 2016-09-20 | 2018-03-29 | 日新電機株式会社 | グリース劣化診断装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7694568B2 (en) | Method for the nondestructive material testing of highly pure polycrystalline silicon | |
| CA2052389A1 (en) | Apparatus and method of discriminating flaw depths in the inspection of tubular products | |
| US3910124A (en) | Non-destructive testing procedures | |
| GB1453065A (en) | Method of testing a workpiece for internal defects | |
| US6591680B2 (en) | System and method for ultrasonic immersion inspection of components | |
| US2593127A (en) | Electronic inspection of glass containers | |
| US5359895A (en) | Process and device for the ultrasonic testing for welds between plastics packaging and cover foils | |
| JPH063455A (ja) | 超音波検査装置 | |
| JPH11118775A (ja) | 超音波検査装置 | |
| US3140600A (en) | Liquid immersion ultrasonic apparatus and method for the non-destructive testing of solid bodies | |
| JPH063456A (ja) | 超音波検査装置 | |
| JP2001208729A (ja) | 欠陥検出装置 | |
| JP4633268B2 (ja) | 超音波探傷装置 | |
| US5046363A (en) | Apparatus for rapid non-destructive measurement of die attach quality in packaged integrated circuits | |
| US4380929A (en) | Method and apparatus for ultrasonic detection of near-surface discontinuities | |
| JPH05232093A (ja) | 超音波検査装置 | |
| JP3629908B2 (ja) | ラインフォーカス型超音波探傷方法および装置 | |
| JPS61160053A (ja) | 超音波探傷試験方法 | |
| RU2256907C1 (ru) | Способ измерения высоты непровара в сварных швах тонкостенных изделий | |
| RU2084889C1 (ru) | Способ ультразвукового контроля изделий, имеющих сложную форму тел вращения с наличием напрессованных деталей | |
| JPH09257759A (ja) | Ｃスキャン超音波探傷方法および装置 | |
| JPH04166761A (ja) | 超音波探触子 | |
| JPS6027853A (ja) | 超音波探傷装置 | |
| SU1486918A1 (ru) | Способ контроля .качества многослойных листовых изделий | |
| Knam et al. | RAWIS: The Next Generation of Automated Inspection Systems for Railway Wheels |