JPH09257758A - 水浸式超音波欠陥検査方法 - Google Patents
水浸式超音波欠陥検査方法Info
- Publication number
- JPH09257758A JPH09257758A JP8066251A JP6625196A JPH09257758A JP H09257758 A JPH09257758 A JP H09257758A JP 8066251 A JP8066251 A JP 8066251A JP 6625196 A JP6625196 A JP 6625196A JP H09257758 A JPH09257758 A JP H09257758A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inspection
- case
- water
- specimen
- subject
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 水との接触を嫌う被検体でも容易に精度良く
検査できる超音波欠陥検査方法を提供する。 【解決手段】 水浸式超音波欠陥検査方法において、上
面が高分子シートで構成された検査ケースを用い、検査
ケース内に設置した被検体と高分子シートの間に有機溶
媒を介在させた後、検査ケース内を減圧にして高分子シ
ートと被検体を密着させ、検査ケースを水没させて行う
ことによって、水との接触を嫌う被検体でも被検体を直
接水没させて検査すると同様に、容易に精度良く欠陥を
検査することができる。
検査できる超音波欠陥検査方法を提供する。 【解決手段】 水浸式超音波欠陥検査方法において、上
面が高分子シートで構成された検査ケースを用い、検査
ケース内に設置した被検体と高分子シートの間に有機溶
媒を介在させた後、検査ケース内を減圧にして高分子シ
ートと被検体を密着させ、検査ケースを水没させて行う
ことによって、水との接触を嫌う被検体でも被検体を直
接水没させて検査すると同様に、容易に精度良く欠陥を
検査することができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は水浸式超音波欠陥検
査方法の改良に関する。詳しくは水との接触を嫌う被検
体の超音波欠陥検査方法に関する。
査方法の改良に関する。詳しくは水との接触を嫌う被検
体の超音波欠陥検査方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】電子材料であるターゲット等の材料の超
音波欠陥検査方法として、被検体を水没させて行う水浸
式超音波欠陥検査方法（以下、超音波Ｃスキャン法と称
する）が知られている。超音波Ｃスキャン法は、被検体
を水没させて超音波を発信する超音波探触子を被検体の
形状に合わせて走査し、被検体の欠陥分布を得る方法で
ある。
音波欠陥検査方法として、被検体を水没させて行う水浸
式超音波欠陥検査方法（以下、超音波Ｃスキャン法と称
する）が知られている。超音波Ｃスキャン法は、被検体
を水没させて超音波を発信する超音波探触子を被検体の
形状に合わせて走査し、被検体の欠陥分布を得る方法で
ある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来の超音波Ｃスキャ
ン法は、超音波探触子をスムーズに走査し、かつ超音波
の伝播媒質がいつも探触子と被検体の間に満たされてい
る必要があることから、被検体を水没させて行う必要が
ある。しかし、被検体を水没させるために、水との接触
を嫌う被検体の場合には問題がある。例えば、チタンと
銅を貼り合わせたボンディングタイプのターゲットの場
合、水没させることによって、ターゲット面およびボン
ディング面に腐食が発生して好ましくない。ボンディン
グ面に腐食が発生するとボンディングが剥がれるという
問題も起きる。
ン法は、超音波探触子をスムーズに走査し、かつ超音波
の伝播媒質がいつも探触子と被検体の間に満たされてい
る必要があることから、被検体を水没させて行う必要が
ある。しかし、被検体を水没させるために、水との接触
を嫌う被検体の場合には問題がある。例えば、チタンと
銅を貼り合わせたボンディングタイプのターゲットの場
合、水没させることによって、ターゲット面およびボン
ディング面に腐食が発生して好ましくない。ボンディン
グ面に腐食が発生するとボンディングが剥がれるという
問題も起きる。
【０００４】水の変わりに非腐食性の液体を用いて行う
ことが考えられるが、超音波探触子にかかる大電圧（２
００〜１２００ＫＶ）を考えた場合の安全性、被検体を
汚さないこと、検査後の被検体の洗浄等の処理等を考え
た場合に、適当な液体はない。
ことが考えられるが、超音波探触子にかかる大電圧（２
００〜１２００ＫＶ）を考えた場合の安全性、被検体を
汚さないこと、検査後の被検体の洗浄等の処理等を考え
た場合に、適当な液体はない。
【０００５】本発明者はかかる事情に鑑み、水との接触
を嫌う被検体でも容易に精度良く検査できる超音波欠陥
検査方法について鋭意検討した結果、上面が柔軟性のあ
る高分子シートで構成された検査ケースを用い、検査ケ
ース内に設置した被検体と高分子シートの間に有機溶媒
を介在させた後、検査ケース内を減圧にして高分子シー
トと被検体を密着さることによって、容易に精度よく欠
陥を検査できることを見出し、本発明に至った。
を嫌う被検体でも容易に精度良く検査できる超音波欠陥
検査方法について鋭意検討した結果、上面が柔軟性のあ
る高分子シートで構成された検査ケースを用い、検査ケ
ース内に設置した被検体と高分子シートの間に有機溶媒
を介在させた後、検査ケース内を減圧にして高分子シー
トと被検体を密着さることによって、容易に精度よく欠
陥を検査できることを見出し、本発明に至った。
【０００６】
【課題を解決するための手段】すなわち本発明は、水浸
式超音波欠陥検査方法において、上面が高分子シートで
構成された検査ケースを用い、検査ケース内に設置した
被検体と高分子シートの間に有機溶媒を介在させた後、
検査ケース内を減圧にして高分子シートと被検体を密着
させ、検査ケースを水没させて行うことを特徴とする水
浸式超音波欠陥検査方法である。
式超音波欠陥検査方法において、上面が高分子シートで
構成された検査ケースを用い、検査ケース内に設置した
被検体と高分子シートの間に有機溶媒を介在させた後、
検査ケース内を減圧にして高分子シートと被検体を密着
させ、検査ケースを水没させて行うことを特徴とする水
浸式超音波欠陥検査方法である。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下、本発明を図面で詳細に説明
する。図１は本発明の超音波Ｃスキャン法の概念図であ
る。検査ケースは金属またはプラスチックのケース２と
上面の高分子シート１およびシート押さえ３から構成さ
れ、検査ケース内には被検体７、ここではボンディング
タイプのターゲットが設置されている。被検体７と高分
子シート１の間には僅かの有機溶媒が介在している。検
査ケース内への被検体の設置方法は、ケース２に被検体
を入れ、被検体が浸るぐらい有機溶媒を入れるか、また
は被検体の上面に有機溶媒を載せ、次いで高分子シート
を置いてシート押さえで固定する。
する。図１は本発明の超音波Ｃスキャン法の概念図であ
る。検査ケースは金属またはプラスチックのケース２と
上面の高分子シート１およびシート押さえ３から構成さ
れ、検査ケース内には被検体７、ここではボンディング
タイプのターゲットが設置されている。被検体７と高分
子シート１の間には僅かの有機溶媒が介在している。検
査ケース内への被検体の設置方法は、ケース２に被検体
を入れ、被検体が浸るぐらい有機溶媒を入れるか、また
は被検体の上面に有機溶媒を載せ、次いで高分子シート
を置いてシート押さえで固定する。
【０００８】検査ケース内にはノズル４が設けられてお
り、これが真空系に接続されて検査ケース内が減圧にな
り、大部分の有機溶媒と空気は排出され、高分子シート
と被検体が極僅かの有機溶媒を介して密着している。
り、これが真空系に接続されて検査ケース内が減圧にな
り、大部分の有機溶媒と空気は排出され、高分子シート
と被検体が極僅かの有機溶媒を介して密着している。
【０００９】この状態で検査ケースを水没させ、探触子
５を走査して、通常の方法と同様にして欠陥検査を行
う。探触子からの信号は探傷器で反射波形として、更に
それを処理した画像として示され、それによって欠陥の
有無、大きさ等が判断される。
５を走査して、通常の方法と同様にして欠陥検査を行
う。探触子からの信号は探傷器で反射波形として、更に
それを処理した画像として示され、それによって欠陥の
有無、大きさ等が判断される。
【００１０】高分子シートとしては、柔軟性のある高分
子シートまたはフィルムであれば特に制限されるもので
はなく、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィル
ム、ポリエステルフィルム、ポリアミドフィルム、ポリ
塩化ビニールフィルム、ポリ塩化ビニリデンフィルム、
ポリブタジエンフィルム、ポリネオプレンフィルム、ポ
リシリコーンフィルム等が挙げられる。高分子シートの
厚さは種類にもよるが、約０．０１ｍｍ〜１ｍｍであ
る。これより薄過ぎると弱くなり、減圧した際に破れる
恐れがあり、また厚過ぎると被検体と密着し難くなり好
ましくない。
子シートまたはフィルムであれば特に制限されるもので
はなく、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィル
ム、ポリエステルフィルム、ポリアミドフィルム、ポリ
塩化ビニールフィルム、ポリ塩化ビニリデンフィルム、
ポリブタジエンフィルム、ポリネオプレンフィルム、ポ
リシリコーンフィルム等が挙げられる。高分子シートの
厚さは種類にもよるが、約０．０１ｍｍ〜１ｍｍであ
る。これより薄過ぎると弱くなり、減圧した際に破れる
恐れがあり、また厚過ぎると被検体と密着し難くなり好
ましくない。
【００１１】有機溶媒としては被検体に不活性で、被検
体に付着して除き難いものでなければ特に制限されるも
のではなく、脂肪族炭化水素類、芳香族炭化水素類、ア
ルコール類、ケトン類、エーテル類、脂肪族ハロゲン化
炭化水素類等が挙げられるが、取り扱い易さの点から、
メチルアルコール、エチルアルコール、プロピルアルコ
ール等の低級アルコールが好ましく用いられる。
体に付着して除き難いものでなければ特に制限されるも
のではなく、脂肪族炭化水素類、芳香族炭化水素類、ア
ルコール類、ケトン類、エーテル類、脂肪族ハロゲン化
炭化水素類等が挙げられるが、取り扱い易さの点から、
メチルアルコール、エチルアルコール、プロピルアルコ
ール等の低級アルコールが好ましく用いられる。
【００１２】用いる高分子フィルムによっては、有機溶
媒を介在させなくても欠陥を検出できる場合があるが、
検出感度が低い。有機溶媒を介在させることによって、
感度が高くなり精度が向上する。
媒を介在させなくても欠陥を検出できる場合があるが、
検出感度が低い。有機溶媒を介在させることによって、
感度が高くなり精度が向上する。
【００１３】
【発明の効果】本発明の方法により、水との接触を嫌う
被検体でも、従来の超音波Ｃスキャン法と同等の精度で
容易に欠陥の検査を行うことができる。
被検体でも、従来の超音波Ｃスキャン法と同等の精度で
容易に欠陥の検査を行うことができる。
【００１４】
【実施例】以下、実施例により本発明を更に詳細に説明
するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではな
い。 実施例１ 被検体として、チタンと銅裏板をボンディングしたチタ
ンターゲットの２ｍｍφ、３ｍｍφ、５ｍｍφの平底穴
を加工したテストピース（平底穴は銅板に貫通穴を設け
た）を図１に示すアルミニウム製のケースに入れ、更に
テストピースが浸るまでメチルアルコールを入れた。次
に厚さ０．０３ｍｍのポリエステルフィルムを載せてシ
ート押さえでケースに固定した。そして検査ケース内を
減圧にしてメチルアルコール及び空気を排出してポリエ
ステルフィルムとテストピースの上面を密着させた。こ
の状態で検査ケースを水没させ、常法に従って探触子を
走査して欠陥検査を行った。反射波形を画像処理して得
られる映像を図２に示す。比較例１に示す従来法と同様
に精度良く欠陥を検出している。
するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではな
い。 実施例１ 被検体として、チタンと銅裏板をボンディングしたチタ
ンターゲットの２ｍｍφ、３ｍｍφ、５ｍｍφの平底穴
を加工したテストピース（平底穴は銅板に貫通穴を設け
た）を図１に示すアルミニウム製のケースに入れ、更に
テストピースが浸るまでメチルアルコールを入れた。次
に厚さ０．０３ｍｍのポリエステルフィルムを載せてシ
ート押さえでケースに固定した。そして検査ケース内を
減圧にしてメチルアルコール及び空気を排出してポリエ
ステルフィルムとテストピースの上面を密着させた。こ
の状態で検査ケースを水没させ、常法に従って探触子を
走査して欠陥検査を行った。反射波形を画像処理して得
られる映像を図２に示す。比較例１に示す従来法と同様
に精度良く欠陥を検出している。
【００１５】比較例１ 同じテストピースを直接水没させて欠陥検査を行った。
結果を図３に示す。
結果を図３に示す。
【００１６】実施例２、比較例２ メチルアルコールの加えた場合（実施例２）と加えない
場合（比較例２）について、実施例１と同様にして検査
した。その反射波形を図４（実施例２）、図５（比較例
２）に示す。メチルアルコールを添加しないと被検体底
面からの反射エコーが現れていない。
場合（比較例２）について、実施例１と同様にして検査
した。その反射波形を図４（実施例２）、図５（比較例
２）に示す。メチルアルコールを添加しないと被検体底
面からの反射エコーが現れていない。
【図１】本発明の超音波Ｃスキャン法を示す概念図であ
る。
る。
【図２】実施例１の検査結果を示す反射波形を画像処理
して得られる映像である。
して得られる映像である。
【図３】比較例１の検査結果を示す反射波形を画像処理
して得られる映像である。
して得られる映像である。
【図４】実施例２の検査結果を示す反射波形を示す図で
ある。
ある。
【図５】比較例２の検査結果を示す反射波形を示す図で
ある。
ある。
１ 高分子シート ２ ケース ３ シート押さえ ４ ノズル ５ 探触子 ６ 水 ７ 被検体
Claims (3)
- 【請求項１】 水浸式超音波欠陥検査方法において、上
面が高分子シートで構成された検査ケースを用い、検査
ケース内に設置した被検体と高分子シートの間に有機溶
媒を介在させた後、検査ケース内を減圧にして高分子シ
ートと被検体を密着させ、検査ケースを水没させて行う
ことを特徴とする水浸式超音波欠陥検査方法。 - 【請求項２】 被検体がボンディングタイプのターゲッ
トである請求項１記載の方法。 - 【請求項３】 有機溶媒が低級アルコールである請求項
１記載の方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8066251A JPH09257758A (ja) | 1996-03-22 | 1996-03-22 | 水浸式超音波欠陥検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8066251A JPH09257758A (ja) | 1996-03-22 | 1996-03-22 | 水浸式超音波欠陥検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09257758A true JPH09257758A (ja) | 1997-10-03 |
Family
ID=13310468
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8066251A Pending JPH09257758A (ja) | 1996-03-22 | 1996-03-22 | 水浸式超音波欠陥検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09257758A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011519046A (ja) * | 2008-05-01 | 2011-06-30 | エアバス オペレーションズ リミティド | 超音波検査方法および超音波検査装置 |
| CN103543199A (zh) * | 2013-09-12 | 2014-01-29 | 云南钛业股份有限公司 | 一种纯钛板坯铸件缺陷探伤方法 |
| KR101465075B1 (ko) * | 2014-02-28 | 2014-11-26 | 성균관대학교산학협력단 | 수침 초음파 탐상시험 장치 |
| JP2015121564A (ja) * | 2010-11-23 | 2015-07-02 | ソノスキャン，インコーポレイテッド | 走査型超音波顕微鏡及び走査型超音波顕微鏡を動作させる方法 |
| CN114166939A (zh) * | 2021-11-02 | 2022-03-11 | 安徽佳力奇先进复合材料科技股份公司 | 复合材料蜂窝夹层结构件内部质量检测方法 |
-
1996
- 1996-03-22 JP JP8066251A patent/JPH09257758A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011519046A (ja) * | 2008-05-01 | 2011-06-30 | エアバス オペレーションズ リミティド | 超音波検査方法および超音波検査装置 |
| JP2015121564A (ja) * | 2010-11-23 | 2015-07-02 | ソノスキャン，インコーポレイテッド | 走査型超音波顕微鏡及び走査型超音波顕微鏡を動作させる方法 |
| US9857338B2 (en) | 2010-11-23 | 2018-01-02 | Sonoscan, Inc. | Acoustic micro imaging device with a scan while loading feature |
| CN103543199A (zh) * | 2013-09-12 | 2014-01-29 | 云南钛业股份有限公司 | 一种纯钛板坯铸件缺陷探伤方法 |
| KR101465075B1 (ko) * | 2014-02-28 | 2014-11-26 | 성균관대학교산학협력단 | 수침 초음파 탐상시험 장치 |
| CN114166939A (zh) * | 2021-11-02 | 2022-03-11 | 安徽佳力奇先进复合材料科技股份公司 | 复合材料蜂窝夹层结构件内部质量检测方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6823736B1 (en) | Nondestructive acoustic emission testing system using electromagnetic excitation and method for using same | |
| US6591680B2 (en) | System and method for ultrasonic immersion inspection of components | |
| JPH09257758A (ja) | 水浸式超音波欠陥検査方法 | |
| JPH11118775A (ja) | 超音波検査装置 | |
| JP2003254953A (ja) | 超音波映像検査装置 | |
| JP2007327914A (ja) | 超音波検査方法 | |
| JP2005043107A (ja) | 超音波映像検査装置 | |
| JP2003177117A (ja) | 乾接触高周波数超音波伝達方法とそのための装置、及び乾接触高周波数超音波探傷方法とそのための装置 | |
| CN218099014U (zh) | 超声检测装置 | |
| KR101654296B1 (ko) | 압전소자 구비형 초음파검사 탐촉자 | |
| JP4151888B2 (ja) | 超音波映像検査装置とその試料保持具ケース | |
| US4380929A (en) | Method and apparatus for ultrasonic detection of near-surface discontinuities | |
| US10955386B2 (en) | Compact immersion scanning system for high-frequency sound waves | |
| JPH06148144A (ja) | 超音波映像装置 | |
| JPH0680169U (ja) | 超音波探傷器 | |
| JP3662231B2 (ja) | 鋼製ドラム缶の検査方法 | |
| JP2004233180A (ja) | 超音波探傷法及び超音波探傷用構造物 | |
| RU2812181C1 (ru) | Способ ультразвукового неразрушающего контроля изделий из нитридной керамики на наличие дефектов | |
| JPS63285438A (ja) | 液中空気漏れ試験方法 | |
| JP2003185640A (ja) | 試料保持具ケース、超音波映像検査装置、および超音波映像検査方法 | |
| JP2004077340A (ja) | 超音波映像検査装置とその試料保持具ケース | |
| JP2007024662A (ja) | ドライ式超音波映像方法とそのための装置 | |
| JPH06308097A (ja) | 超音波探傷方法 | |
| JP2004077341A (ja) | 超音波映像検査方法および超音波映像検査装置 | |
| JPS5815151A (ja) | 超音波顕微鏡 |