JPS5815151A - 超音波顕微鏡 - Google Patents
超音波顕微鏡Info
- Publication number
- JPS5815151A JPS5815151A JP56113697A JP11369781A JPS5815151A JP S5815151 A JPS5815151 A JP S5815151A JP 56113697 A JP56113697 A JP 56113697A JP 11369781 A JP11369781 A JP 11369781A JP S5815151 A JPS5815151 A JP S5815151A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- polishing
- polishing liquid
- case
- holder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N17/00—Investigating resistance of materials to the weather, to corrosion, or to light
Landscapes
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Biodiversity & Conservation Biology (AREA)
- Ecology (AREA)
- Environmental & Geological Engineering (AREA)
- Environmental Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
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- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
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- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、超音波顕微鏡、特に所定試料を研摩すること
のできる超音波顕微鏡等に関する。
のできる超音波顕微鏡等に関する。
近年ＩＧＨｚに及ぶ超高周波の音波の発生検出が可能と
なったので、水中で約１μｍの青波長が実現できること
になり、その結果、高い分解能の音波撮像装置が得られ
るようにな′つた。即ち、凹面レンズを用いて集束音波
ビームを作り、１μｍに及ぶ高い分解能を実現するので
ある。
なったので、水中で約１μｍの青波長が実現できること
になり、その結果、高い分解能の音波撮像装置が得られ
るようにな′つた。即ち、凹面レンズを用いて集束音波
ビームを作り、１μｍに及ぶ高い分解能を実現するので
ある。
上記ビーム中に試料をそう人し、試料による反射超音波
を検出して試料の微細領域の弾性的性質全解明したり、
或は試料を機械的に２次元に走査しながら、この信号の
強度をブラウン管の輝度信号とじて表示すれば、試料の
微細構造を拡大してみることができる。
を検出して試料の微細領域の弾性的性質全解明したり、
或は試料を機械的に２次元に走査しながら、この信号の
強度をブラウン管の輝度信号とじて表示すれば、試料の
微細構造を拡大してみることができる。
第１図は、その超音波顕微鏡の主要構成部を示す図であ
る。超音波の集束及び送受は球面レンズ１により行って
いるが、その構造は円柱状の熔融石英等をもちいた物質
の一面を光学研磨し、その上に圧電薄膜（ＺｎＯ）２を
上下電極３によりはさむ、このようにサンドウィッチ構
造になっている圧電薄膜２に、パルス発振器４から発生
されたパルス５ｔ″印加して、超音波６を発生させる。
る。超音波の集束及び送受は球面レンズ１により行って
いるが、その構造は円柱状の熔融石英等をもちいた物質
の一面を光学研磨し、その上に圧電薄膜（ＺｎＯ）２を
上下電極３によりはさむ、このようにサンドウィッチ構
造になっている圧電薄膜２に、パルス発振器４から発生
されたパルス５ｔ″印加して、超音波６を発生させる。
ま念、他端部は口径０．ＩＷφ〜１． Ｏｍφ程度の凹
面状の半球穴が形成されており、この半球穴と試料との
間には、超音波６ｔ−試料７に伝播させるための媒質（
例えば水）８が満されている。
面状の半球穴が形成されており、この半球穴と試料との
間には、超音波６ｔ−試料７に伝播させるための媒質（
例えば水）８が満されている。
圧電薄膜２によって発生した超音波６は円柱の中音平面
波となって伝播する。この平面波が半球穴に達すると石
英（音速ｓｏｏｏｍ／ｓ）と水（音速１５００ｍ／ｓ）
との音速の差によシ屈折作用が生じ、試料７面上に集束
した超音波６を照射することができる。逆に試料７から
反射されてくる超音波は球面レンズにより集音整相され
、平面波となって圧電薄膜２に達し、ここでＲＦ信号９
に変換される。このＲＦ信号９を受信器１０で受信し、
ここでダイオード検波してビデオ信号１１に変換し、Ｃ
ＲＴディスプレイ１２０入力信号として用いている。
波となって伝播する。この平面波が半球穴に達すると石
英（音速ｓｏｏｏｍ／ｓ）と水（音速１５００ｍ／ｓ）
との音速の差によシ屈折作用が生じ、試料７面上に集束
した超音波６を照射することができる。逆に試料７から
反射されてくる超音波は球面レンズにより集音整相され
、平面波となって圧電薄膜２に達し、ここでＲＦ信号９
に変換される。このＲＦ信号９を受信器１０で受信し、
ここでダイオード検波してビデオ信号１１に変換し、Ｃ
ＲＴディスプレイ１２０入力信号として用いている。
この様に構成された装置において、試料７が試料台駆動
電源１３によりｘ−ｙ平面内で２次元に走査していると
試料の走査にともなう試料面からの反射の強弱が２次元
的にＣＲＴ面１面圧２示される。
電源１３によりｘ−ｙ平面内で２次元に走査していると
試料の走査にともなう試料面からの反射の強弱が２次元
的にＣＲＴ面１面圧２示される。
而して、一般に超音波は物体の表面で一部分は反射する
が、かな〕の部分は物体が光学的に透明かどうかに関係
なく、その中にはいってゆき、物体内部に存在する硬さ
一？−密度、粘性の違いや欠陥など管反映したエコーと
なって返ってくる。この性質を利用して試料内部の様相
を検出できるのが超音波顕微鏡である。
が、かな〕の部分は物体が光学的に透明かどうかに関係
なく、その中にはいってゆき、物体内部に存在する硬さ
一？−密度、粘性の違いや欠陥など管反映したエコーと
なって返ってくる。この性質を利用して試料内部の様相
を検出できるのが超音波顕微鏡である。
このように、非破壊で試料内部が観察できることに大き
な特徴をもっている。
な特徴をもっている。
しかしながら、材料研究分野では試料は破壊されてもよ
いから、表面・層から深部までの音響的性質の変化を調
べることが必要な場合が多くある。
いから、表面・層から深部までの音響的性質の変化を調
べることが必要な場合が多くある。
このような場合、観察していた試料を試料台から取りは
ずし、試料を化学研磨で所望の厚さまで表面層をとりの
ぞいた試料を再び試料台に取りつけて、観察する。
ずし、試料を化学研磨で所望の厚さまで表面層をとりの
ぞいた試料を再び試料台に取りつけて、観察する。
このような方法であると、試料を試料台からとりはずし
てしまうために、再度取りつけても同一視野を再現する
のに多くの時間を要することや、試料の着脱時に応力歪
を導入することにより欠陥を増大してしまう場合が多く
ある。
てしまうために、再度取りつけても同一視野を再現する
のに多くの時間を要することや、試料の着脱時に応力歪
を導入することにより欠陥を増大してしまう場合が多く
ある。
本発明はこのような点を鑑みてなされたもので、化学研
摩液中にある試料を機械的に走査し、その研摩課程を連
続的に観察できるようにした試料台を提供することを目
的とする。
摩液中にある試料を機械的に走査し、その研摩課程を連
続的に観察できるようにした試料台を提供することを目
的とする。
以下、図にもとづいて、本発明を説明する。
試料を研摩する方法として、化学研摩法と電解研摩法が
その代表的なものとしてあげられる。化学研摩法は試料
を化学的に溶解し七試料を薄くする方法で、操作が容易
であるので広く利用されている。
その代表的なものとしてあげられる。化学研摩法は試料
を化学的に溶解し七試料を薄くする方法で、操作が容易
であるので広く利用されている。
また、電解研摩法は試料を陽極として電解し、電解液中
に金属を溶解させて試料を薄くする方法である。電解液
と電解条件を適当にえらぺば多くの糧類の金属とその化
合物に応用できる。
に金属を溶解させて試料を薄くする方法である。電解液
と電解条件を適当にえらぺば多くの糧類の金属とその化
合物に応用できる。
本発明では、この二つの研摩法を行、うことができるも
ので、第２図にその構成を示す。
ので、第２図にその構成を示す。
図において、球面レンズの下部に研摩液を貯えることの
できる容器１６會おき、この中に所定の研摩液２１ｔ−
貯える。試料７は、試料ホルダー１５に取シつけられる
が、この試料ホルダー１５はＸ＠Ｙ千面上で機械的に走
査が可能なようになっている。
できる容器１６會おき、この中に所定の研摩液２１ｔ−
貯える。試料７は、試料ホルダー１５に取シつけられる
が、この試料ホルダー１５はＸ＠Ｙ千面上で機械的に走
査が可能なようになっている。
化学研摩の場合には、とのよ゛うな構成で研摩液２１中
で走査している試料７は徐々に研摩される。
で走査している試料７は徐々に研摩される。
この状態を試料７の上部に設けた球面レンズｌによ〕観
察することができる。
察することができる。
つぎに電解研摩法により試料を研摩しようとする場合に
は、試料の上部に設けた電極１４を試料ホルダー１５と
の間に電圧を印加し、所定の電流を流すことにより試料
を研摩することができる。
は、試料の上部に設けた電極１４を試料ホルダー１５と
の間に電圧を印加し、所定の電流を流すことにより試料
を研摩することができる。
この場合、電極１４の一部には、球面レンズ１により放
射される超音波ビームの通路となるべき微細な穴がもう
けである。
射される超音波ビームの通路となるべき微細な穴がもう
けである。
回路構成中に設けられている電圧計１７および電流計１
８は電源１９から供給される電力を読みとるためのもの
である。
８は電源１９から供給される電力を読みとるためのもの
である。
また、研摩速度は電解液の温度にも大きく影響するなめ
に、容器１６は温度調節器２０の上面に設置されており
、電解液２１の温度を調節することが可能である。
に、容器１６は温度調節器２０の上面に設置されており
、電解液２１の温度を調節することが可能である。
上述のような構成により、研摩の過程全観察しながら、
試料内部までの情報を取得できるようになったことは、
金属材料研究上大きな効果が得られることがわかった。
試料内部までの情報を取得できるようになったことは、
金属材料研究上大きな効果が得られることがわかった。
Claims (1)
- １、音波伝搬体と、この伝搬体の端部に形成され、かつ
所定焦点を有する音波レンズとからなり、上記焦点近傍
に設けられた所嫌試料からのしよう乱音波により、上記
試料を撮影する超音波顕微鏡において、上記試料を研摩
液中で走査する手段を具備したことを特徴とした超音波
顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56113697A JPS5815151A (ja) | 1981-07-22 | 1981-07-22 | 超音波顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56113697A JPS5815151A (ja) | 1981-07-22 | 1981-07-22 | 超音波顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5815151A true JPS5815151A (ja) | 1983-01-28 |
Family
ID=14618882
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56113697A Pending JPS5815151A (ja) | 1981-07-22 | 1981-07-22 | 超音波顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5815151A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6030279U (ja) * | 1983-08-09 | 1985-03-01 | 京楽産業株式会社 | パチンコ玉の揚送リフト |
| JPS6030280U (ja) * | 1983-08-09 | 1985-03-01 | 京楽産業株式会社 | パチンコ玉の揚送リフト |
| JPS6090583A (ja) * | 1983-10-24 | 1985-05-21 | 狭山精密工業株式会社 | パチンコ球の揚送清浄装置 |
| JPS6098358A (ja) * | 1983-11-02 | 1985-06-01 | Olympus Optical Co Ltd | 超音波顕微鏡用試料台装置 |
-
1981
- 1981-07-22 JP JP56113697A patent/JPS5815151A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6030279U (ja) * | 1983-08-09 | 1985-03-01 | 京楽産業株式会社 | パチンコ玉の揚送リフト |
| JPS6030280U (ja) * | 1983-08-09 | 1985-03-01 | 京楽産業株式会社 | パチンコ玉の揚送リフト |
| JPS6090583A (ja) * | 1983-10-24 | 1985-05-21 | 狭山精密工業株式会社 | パチンコ球の揚送清浄装置 |
| JPH0355150B2 (ja) * | 1983-10-24 | 1991-08-22 | ||
| JPS6098358A (ja) * | 1983-11-02 | 1985-06-01 | Olympus Optical Co Ltd | 超音波顕微鏡用試料台装置 |
| JPH0465978B2 (ja) * | 1983-11-02 | 1992-10-21 | Olympus Optical Co |
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