JPS5811850A - 超音波顕微鏡 - Google Patents
超音波顕微鏡Info
- Publication number
- JPS5811850A JPS5811850A JP56109342A JP10934281A JPS5811850A JP S5811850 A JPS5811850 A JP S5811850A JP 56109342 A JP56109342 A JP 56109342A JP 10934281 A JP10934281 A JP 10934281A JP S5811850 A JPS5811850 A JP S5811850A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- medium
- container
- sound wave
- base
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/22—Details, e.g. general constructional or apparatus details
- G01N29/26—Arrangements for orientation or scanning by relative movement of the head and the sensor
- G01N29/265—Arrangements for orientation or scanning by relative movement of the head and the sensor by moving the sensor relative to a stationary material
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、高周波音波エネルギーを利用する顕微鏡に用
いて良好な音響レンズに関する。
いて良好な音響レンズに関する。
近年、ＩＧＨ２に及ぶ高周波の発生、検出が可能となっ
たために、水中での音波波長として約１ミクロンが得ら
れ、したがって音波エネルギーを利用した顕微鏡が検討
されるようになった。
たために、水中での音波波長として約１ミクロンが得ら
れ、したがって音波エネルギーを利用した顕微鏡が検討
されるようになった。
このような超音波顕微鏡の構成を第１図に示す。
パルス発振器１から発生された高圧パルス２は球面レン
ズ３の上面に蒸着等で形成された圧電物質−４に印加さ
れる。この圧電物質４は高圧パルス２によって励振され
超音波を発生する。この超音波は球面レンズ３の中を伝
播し、他端面に設けられた凹面部により細く集束される
。この超音波ビームを媒質５を介して、２次元に機゛械
走査されている試料６（試料台１０上に設置される）の
面上に照射する。試料６よ如反射されてくる音波を同じ
球面レンズ３によシ受信し、受信器７で電気信号に変換
してＣＲ，Ｔ８の画面上に試料台１０の走査装置９の走
査と同期させて表示することができる。
ズ３の上面に蒸着等で形成された圧電物質−４に印加さ
れる。この圧電物質４は高圧パルス２によって励振され
超音波を発生する。この超音波は球面レンズ３の中を伝
播し、他端面に設けられた凹面部により細く集束される
。この超音波ビームを媒質５を介して、２次元に機゛械
走査されている試料６（試料台１０上に設置される）の
面上に照射する。試料６よ如反射されてくる音波を同じ
球面レンズ３によシ受信し、受信器７で電気信号に変換
してＣＲ，Ｔ８の画面上に試料台１０の走査装置９の走
査と同期させて表示することができる。
このような方式の超音波顕微鏡を便用すると、光学的に
不透明な物体でも音波は伝播するので、その内部構造を
却ることができる。その上物体の弾性、密度、粘性など
の物理的性質會反映した微細悄造を描画できるので、他
の顕微鏡では不可能な情報を得ることができるなど、新
しい観察装置として有効である。
不透明な物体でも音波は伝播するので、その内部構造を
却ることができる。その上物体の弾性、密度、粘性など
の物理的性質會反映した微細悄造を描画できるので、他
の顕微鏡では不可能な情報を得ることができるなど、新
しい観察装置として有効である。
上述のように構成された超音波顕微鏡をもちいて、金属
材料内部の欠陥を検出しようとする場合、たとえば、試
料表面層から深さ方向に数日程度までに存在する内部欠
陥を検出する場合において、・１更用する超音波の周波
数は、金属材料中の伝播距離などを考慮すると、ＩＯＭ
Ｈ２〜１００ＭＩ（Ｚ程度となり、このような超音波を
効率よく集束させるための球面レンズは、直径数■の凹
面穴をもったものが最適である。
材料内部の欠陥を検出しようとする場合、たとえば、試
料表面層から深さ方向に数日程度までに存在する内部欠
陥を検出する場合において、・１更用する超音波の周波
数は、金属材料中の伝播距離などを考慮すると、ＩＯＭ
Ｈ２〜１００ＭＩ（Ｚ程度となり、このような超音波を
効率よく集束させるための球面レンズは、直径数■の凹
面穴をもったものが最適である。
したがって、このような球面レンズを使用して試４＋全
捩察しようとする場合の１例として第２図に示すような
構成が用いられている。すなわち、ｘ −ｙ平面に走査
できる試料台１０−ヒに媒質５を貯えるための容器１１
をおき、この中に試料６を固定する。さらに容器内には
媒質５を貯えた状態で、試料台１０を高速に走査するｄ 上述のような構成において試料台１０を走査するとき、
次のような問題があることを見い出した。
捩察しようとする場合の１例として第２図に示すような
構成が用いられている。すなわち、ｘ −ｙ平面に走査
できる試料台１０−ヒに媒質５を貯えるための容器１１
をおき、この中に試料６を固定する。さらに容器内には
媒質５を貯えた状態で、試料台１０を高速に走査するｄ 上述のような構成において試料台１０を走査するとき、
次のような問題があることを見い出した。
即ち、その第１としては、大量の媒質５を貯えた試料台
１０を走査するための駆動系に大容量のものが必要とな
り、装置が大型になってしまうこと。
１０を走査するための駆動系に大容量のものが必要とな
り、装置が大型になってしまうこと。
その第２としては、試料台１０の走査にともなって第２
図の点線で示す如く媒質５がゆれるために超音波の試料
への送受に障害を生じ、映像が不鮮明になる。
図の点線で示す如く媒質５がゆれるために超音波の試料
への送受に障害を生じ、映像が不鮮明になる。
本発明は、このような点を鑑みてなされたものであシ、
媒質貯蔵容器内部で、試料のみを走査するような構成に
より、試料台の走査を容易にしたことを特徴とする。
媒質貯蔵容器内部で、試料のみを走査するような構成に
より、試料台の走査を容易にしたことを特徴とする。
以下、本発明を図面によシ説明する。第３図は本発明の
一実施例の構成を示す図である。図において、固定台１
２の上面に容器１１を固定し、その中に媒質５を所定量
だけ貯える。この容器１１内に、容器１１の上部に設定
されたｘ、ｙ走査の可能な試料移動台１３より支柱１４
によって支えられた試料台１５が媒買水５の中に浸され
ている。
一実施例の構成を示す図である。図において、固定台１
２の上面に容器１１を固定し、その中に媒質５を所定量
だけ貯える。この容器１１内に、容器１１の上部に設定
されたｘ、ｙ走査の可能な試料移動台１３より支柱１４
によって支えられた試料台１５が媒買水５の中に浸され
ている。
この試料台１５には試料６が取シつけられている。
したがって、試料６は試料移動台１３の動きにともなっ
て、媒質５の中で、Ｘ、ｙ平面内での動きを行うことが
できる。
て、媒質５の中で、Ｘ、ｙ平面内での動きを行うことが
できる。
上述の動きを行うことが可能な試料６に対して、その上
面に球面レンズ３がと９つけられる構造となシ、これは
第１図で示した超音波顕微鏡の構成と同一のものとなる
。
面に球面レンズ３がと９つけられる構造となシ、これは
第１図で示した超音波顕微鏡の構成と同一のものとなる
。
以上述べた如く試料走査部を本発明に示しだような構成
にすることによ）、従来装置に比較して、試料移動部は
、軽量化され、試料走査は容易にかつ安定に行うことが
できるとともに、走査中の媒５ｔ５のゆらぎは発生しな
いために、像観察に何ら障害を生じないなどの効果があ
り、従来の問題点を容易に解決することができた。
にすることによ）、従来装置に比較して、試料移動部は
、軽量化され、試料走査は容易にかつ安定に行うことが
できるとともに、走査中の媒５ｔ５のゆらぎは発生しな
いために、像観察に何ら障害を生じないなどの効果があ
り、従来の問題点を容易に解決することができた。
第１図は従来の超音波顕微鏡の構成を示す図、第２図は
その従来装置の試料台の詳細を示した図、第３図は本発
明の一実施例の構成を示す図である。 代理人 弁理士 薄田利幸 第 １ 目 ２ ・
その従来装置の試料台の詳細を示した図、第３図は本発
明の一実施例の構成を示す図である。 代理人 弁理士 薄田利幸 第 １ 目 ２ ・
Claims (1)
- １、音波ビームを発生する手段と、上記音波ビームを所
定焦点に集束する音響レンズと上記焦点を包囲する音波
伝播体とからなシ、上記焦点近傍に配置される対象物で
しよう乱された音波エネルギーを検出する超音波顕微鏡
において、上記対称物を音波伝播体中で走査することを
特徴とする超音波顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56109342A JPS5811850A (ja) | 1981-07-15 | 1981-07-15 | 超音波顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56109342A JPS5811850A (ja) | 1981-07-15 | 1981-07-15 | 超音波顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5811850A true JPS5811850A (ja) | 1983-01-22 |
Family
ID=14507789
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56109342A Pending JPS5811850A (ja) | 1981-07-15 | 1981-07-15 | 超音波顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5811850A (ja) |
-
1981
- 1981-07-15 JP JP56109342A patent/JPS5811850A/ja active Pending
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