JPS5883256A - 超音波非破壊検査装置 - Google Patents
超音波非破壊検査装置Info
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- JPS5883256A JPS5883256A JP56182709A JP18270981A JPS5883256A JP S5883256 A JPS5883256 A JP S5883256A JP 56182709 A JP56182709 A JP 56182709A JP 18270981 A JP18270981 A JP 18270981A JP S5883256 A JPS5883256 A JP S5883256A
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01H—MEASUREMENT OF MECHANICAL VIBRATIONS OR ULTRASONIC, SONIC OR INFRASONIC WAVES
- G01H3/00—Measuring characteristics of vibrations by using a detector in a fluid
- G01H3/10—Amplitude; Power
- G01H3/12—Amplitude; Power by electric means
- G01H3/125—Amplitude; Power by electric means for representing acoustic field distribution
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/02—Analysing fluids
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
の変化を干渉法により検出する超音波非破壊検査装置に
関するものである。
関するものである。
従来、液体や気体の音速を精密に測定する方法として、
干渉の原理を利用する超音波検査法がよく用いられてい
る。この干渉を生じさせる方法としては、超音波の周波
数を変化させる方法と、超音波の伝搬路長を変化させる
方法がある。
干渉の原理を利用する超音波検査法がよく用いられてい
る。この干渉を生じさせる方法としては、超音波の周波
数を変化させる方法と、超音波の伝搬路長を変化させる
方法がある。
第１図は、超音波の伝搬路長を変化させる超音波非破壊
検査装置（著者、菊池喜充、奥山犬太部、日本音響学会
講演論文集、昭和４２年２月、第１８１頁参照）のブロ
ック図を示したもので、■は高周波発振器、２はパルス
変調器、８は送受波器、４は減衰器、５は混合器、６は
検波器（整流器）、７は陰極線管であり、送受波器８は
試料液体８を入れた容器９の底部に装着され、また容器
９の底部に排出口ＩＯが設けられ、容器９の側面に試料
液体８の高さを測定する読取顕微鏡１１が設けられてい
る。
検査装置（著者、菊池喜充、奥山犬太部、日本音響学会
講演論文集、昭和４２年２月、第１８１頁参照）のブロ
ック図を示したもので、■は高周波発振器、２はパルス
変調器、８は送受波器、４は減衰器、５は混合器、６は
検波器（整流器）、７は陰極線管であり、送受波器８は
試料液体８を入れた容器９の底部に装着され、また容器
９の底部に排出口ＩＯが設けられ、容器９の側面に試料
液体８の高さを測定する読取顕微鏡１１が設けられてい
る。
このように構成した従来の超音波非破壊検査装置におい
て、発振周波数ｆの高周波発振器■から発生する連続電
気信号をパルス変調器２で高尚波パルス信号に変調し、
これを超音波トランスジューサである送受波器８に印加
することにより、被測定物である試料液体８の中にパル
ス超音波を発生させる。このパルス超音波は送受波器８
に対向して平行に設けられた反射面、即ち試料液体８の
液面８′によって反射され、再び送受波器３に戻り、電
気的パルス信号に変換され、高量波発振器１から発生す
る連続電気信号の一部が減衰器４で適当な信号に調整さ
れた参照信号と混合器５で混合され、検波器６で検波さ
れ、陰極線管７に表示される。この時、高周波発振器１
の発振川波数ｆを一定に保った′！！マで、超音波の伝
搬路長、即ち２Ｌを変化させると、この伝搬路長が半波
長質わるごとに、陰極線管７上に表示される反射パルス
信号の振幅が極大値と極小値が交互に繰り返し表示され
る。この従来例では、伝搬路長を変化させるために、液
体試料８を入れた容器９の底に設けた排出口１０から試
料液体８を徐々に排出して、試料液面８′を次第に低く
する。この変化量を読取顕微＊１１で読みながら、前述
の反射パルス波の振幅に極大あるいは極小を与える伝搬
路長の変化を精密に測定すれば、周波数ｆが既知である
ので、試料液体中の音速が求められる。
て、発振周波数ｆの高周波発振器■から発生する連続電
気信号をパルス変調器２で高尚波パルス信号に変調し、
これを超音波トランスジューサである送受波器８に印加
することにより、被測定物である試料液体８の中にパル
ス超音波を発生させる。このパルス超音波は送受波器８
に対向して平行に設けられた反射面、即ち試料液体８の
液面８′によって反射され、再び送受波器３に戻り、電
気的パルス信号に変換され、高量波発振器１から発生す
る連続電気信号の一部が減衰器４で適当な信号に調整さ
れた参照信号と混合器５で混合され、検波器６で検波さ
れ、陰極線管７に表示される。この時、高周波発振器１
の発振川波数ｆを一定に保った′！！マで、超音波の伝
搬路長、即ち２Ｌを変化させると、この伝搬路長が半波
長質わるごとに、陰極線管７上に表示される反射パルス
信号の振幅が極大値と極小値が交互に繰り返し表示され
る。この従来例では、伝搬路長を変化させるために、液
体試料８を入れた容器９の底に設けた排出口１０から試
料液体８を徐々に排出して、試料液面８′を次第に低く
する。この変化量を読取顕微＊１１で読みながら、前述
の反射パルス波の振幅に極大あるいは極小を与える伝搬
路長の変化を精密に測定すれば、周波数ｆが既知である
ので、試料液体中の音速が求められる。
第２図は、他の従来例の超音波非破壊検査装置のブロッ
ク図を示したもので、第１図と同一符号の部分は同一の
ものを示しているが、この従来例では、パルス変調器２
に送波器１２が接続され、混合器５に受波器１３が接続
され、送波器１２と受波器１３の間の距離りで与えられ
る伝搬路長を変化させ、移動させた受波器１８の下面の
位置を読み取り顕微鋼１０で読み取ることにより、前述
の従来例と同じ原理で、液体中を伝搬する超音波の音速
を測定することができる。なお、この従来例では、液体
中に放射する超音波は連続波でもよく、必ずしもパルス
超音波である必要はない。
ク図を示したもので、第１図と同一符号の部分は同一の
ものを示しているが、この従来例では、パルス変調器２
に送波器１２が接続され、混合器５に受波器１３が接続
され、送波器１２と受波器１３の間の距離りで与えられ
る伝搬路長を変化させ、移動させた受波器１８の下面の
位置を読み取り顕微鋼１０で読み取ることにより、前述
の従来例と同じ原理で、液体中を伝搬する超音波の音速
を測定することができる。なお、この従来例では、液体
中に放射する超音波は連続波でもよく、必ずしもパルス
超音波である必要はない。
以上説明した従来例では、送受波器３と試料液体面８′
の間または送波器１２と受波器１３の間の距離し、即ち
音波の伝搬路長の変化は僅かであり、それを精密に変化
させて読み取ることは極めて熟練を要する技術があり、
かなりの測定時間を要していた。また超音波トランスジ
ューサは平面波用の送受波器を使用しているので、被測
定物の２次元的な音速分布の計測ができないという欠点
があつだ。
の間または送波器１２と受波器１３の間の距離し、即ち
音波の伝搬路長の変化は僅かであり、それを精密に変化
させて読み取ることは極めて熟練を要する技術があり、
かなりの測定時間を要していた。また超音波トランスジ
ューサは平面波用の送受波器を使用しているので、被測
定物の２次元的な音速分布の計測ができないという欠点
があつだ。
本発明は、上記従来例の欠点を解消するために、観察す
べき対象物に集束型超音波発生素子から集束超音波を照
射し、対象物内部で受けた超音波エネルギーの変化を超
音波集音素子で、対象物の微小部分において検出し、集
束型超音波発生素子または超音波集音素子のいずれかを
加振器によって微小に振動させ、超音波集音素子の出力
を陰極線管で表示し、加振器を振動させる低周波発振器
の出力信号によって、陰極線管の水平軸掃引を行なわせ
ることを特徴とし、その目的は音速を正確に、かつ迅速
に測定することができる超音波非破壊検査装置を提供す
るものである。以下、図面により実施例を詳細に説明す
る。
べき対象物に集束型超音波発生素子から集束超音波を照
射し、対象物内部で受けた超音波エネルギーの変化を超
音波集音素子で、対象物の微小部分において検出し、集
束型超音波発生素子または超音波集音素子のいずれかを
加振器によって微小に振動させ、超音波集音素子の出力
を陰極線管で表示し、加振器を振動させる低周波発振器
の出力信号によって、陰極線管の水平軸掃引を行なわせ
ることを特徴とし、その目的は音速を正確に、かつ迅速
に測定することができる超音波非破壊検査装置を提供す
るものである。以下、図面により実施例を詳細に説明す
る。
第３図は、本発−明の一実施例の超音波非破壊検査装置
のブロック図を示したもので、１４は高周波発振器、１
５はパルス変調器、１６は容器１７内の被測定液体１８
の上部に装着された送波器、１９は減衰器、ｚＯは混合
器、２１は容器１７の底部に設けられた受波器、２２は
陰極線管、２８は低川波発振器、２４は送波器１６を加
振する加振器、２５は陰極線管２２に入力する低同波信
号を所定のレベルに減衰する減衰器であり、送波器１６
と受波器２１は焦点深度の深い集束型超音波トランスジ
ューサであり、送波器１６及び受波器２１は共焦点にな
るように配置され、また送受波器１６．２１間の距離を
精度良く、微小に変化させるために、送波器１６に加振
器２４が連結されている。
のブロック図を示したもので、１４は高周波発振器、１
５はパルス変調器、１６は容器１７内の被測定液体１８
の上部に装着された送波器、１９は減衰器、ｚＯは混合
器、２１は容器１７の底部に設けられた受波器、２２は
陰極線管、２８は低川波発振器、２４は送波器１６を加
振する加振器、２５は陰極線管２２に入力する低同波信
号を所定のレベルに減衰する減衰器であり、送波器１６
と受波器２１は焦点深度の深い集束型超音波トランスジ
ューサであり、送波器１６及び受波器２１は共焦点にな
るように配置され、また送受波器１６．２１間の距離を
精度良く、微小に変化させるために、送波器１６に加振
器２４が連結されている。
次に、本実施例の動作を説明する。今、送波器１６は加
振器２４によりＺ方向に変位し、その変位量ΔＺは時間
ｔに対して正弦波的に振動している。即ち、ΔＺ ＝
Ａ ｇｉｎ ωｔである。ここで、Ａは基準位置より
の最大振幅であり、ωは角周波数である。この送波器１
６の変位量ΔＺに同期させて、Ｂｓ１ｎωｔ で陰極線
管２２の水平軸掃引をさせる。一方、高周波発振器１４
から発生する連続電気信号をパルス変調器１５で高周波
パルス信号に変調し、送波器１６に印加すると、試料液
体１７中にパルス超音波が発生し、受波器２１に伝搬さ
れる。また高周波発振器１４からの参照信号は減衰器１
９で受波器２１で受信した透過信号と同レベルにされ、
混合器２０で受波器２１からの電気へ号と混合され、こ
の混合波出力は陰極線管２２の垂直軸に入力される。
振器２４によりＺ方向に変位し、その変位量ΔＺは時間
ｔに対して正弦波的に振動している。即ち、ΔＺ ＝
Ａ ｇｉｎ ωｔである。ここで、Ａは基準位置より
の最大振幅であり、ωは角周波数である。この送波器１
６の変位量ΔＺに同期させて、Ｂｓ１ｎωｔ で陰極線
管２２の水平軸掃引をさせる。一方、高周波発振器１４
から発生する連続電気信号をパルス変調器１５で高周波
パルス信号に変調し、送波器１６に印加すると、試料液
体１７中にパルス超音波が発生し、受波器２１に伝搬さ
れる。また高周波発振器１４からの参照信号は減衰器１
９で受波器２１で受信した透過信号と同レベルにされ、
混合器２０で受波器２１からの電気へ号と混合され、こ
の混合波出力は陰極線管２２の垂直軸に入力される。
このようにすると、陰極線管２２の表示面には、第４図
に示したような極大と極小が周期的に生じる波形が描か
れる。ここで、この陰極線管の水平軸走査の振幅はＢで
あるので、伝搬路長の周期的な変化は陰極線管２２では
、Ｂ／Ａ倍に拡大される。
に示したような極大と極小が周期的に生じる波形が描か
れる。ここで、この陰極線管の水平軸走査の振幅はＢで
あるので、伝搬路長の周期的な変化は陰極線管２２では
、Ｂ／Ａ倍に拡大される。
従って、第４図に示した陰極線管２２の面上で、相隣る
極小間の距離ΔＢを測定すれば、試料液体中の波長は、
ΔＢｘ （Ａ／Ｂ）として計測されることになる。一般
に、比Ｂ／ＡにおけるＡは、従来性なわれているように
予め光学的手法により測定し、所定の値に設定しておく
か、あるいに比Ｂ／Ａ を音速が既知の媒体、例えば水
などによって予め較正しておくことにより、比Ｂ／Ａを
１００程度に設定することは容易である。このようにす
ることにより、超音波の周波数をＦとすると、試料液体
ｖ＝Ｆｘ ΔＢｘ（Ａ／Ｂ） として求められる。
極小間の距離ΔＢを測定すれば、試料液体中の波長は、
ΔＢｘ （Ａ／Ｂ）として計測されることになる。一般
に、比Ｂ／ＡにおけるＡは、従来性なわれているように
予め光学的手法により測定し、所定の値に設定しておく
か、あるいに比Ｂ／Ａ を音速が既知の媒体、例えば水
などによって予め較正しておくことにより、比Ｂ／Ａを
１００程度に設定することは容易である。このようにす
ることにより、超音波の周波数をＦとすると、試料液体
ｖ＝Ｆｘ ΔＢｘ（Ａ／Ｂ） として求められる。
次に、具体例を説明する。
試料液体として水を使用し、超音波の周波数Ｆを２ Ｍ
Ｈ２、加振器の振幅Ａを１ｍｍ、加振器の振動の角内波
数ωを、ω＝２π・５０Ｈ２、送受波器の性愛が１閣以
上の凹面トランスジューサを対向させ、共焦点に配置す
ると、陰極線管の表示面上の水平１１！！１１穫幅Ｂが
５αとなるので、比Ｂ／Ａは５０となる。第４図に示し
たような波形からΔＢを測定すると、ΔＢは８７．７ｍ
ｍであった。従って、音速Ｖは、 ｖ−Ｆ×ΔＢｘ （Ａ／Ｂ）＝２ｘｌＯｘ８？、７ｘｌ
Ｏｘ （１１５）−１５０８（ｍ／５ｅｃ） となる。 ′１ 次に、第３図に示した本実施例の超音波非破壊検査装置
において、試料液体１７中に、この試料液体と音速が異
なり、厚さが一様な物質２６を第５図に示したように挿
入すると、陰極線管２２で表示された混合波の出力に極
大または極小を与える送波器１６と受波器２■の間の距
離は、試料液体のみの場合より僅かにシフトする。従っ
て、この挿入する物質２６の厚さを１１音速をυ、とし
、前述の方法で測定した既知の試料液体１７の音速をυ
。とすると、シフト量ΔＬは、 ΔＩ・−ｌ（１−ｖｏ／、、、） となる。ここで、物質２６の厚さが分かつていれば、そ
の音速Ｖ工は、 ｖ１＝ ｖｏ ／（１１ｅ／ｌ） として計算することができるが、このΔＢを精密に計算
することは容易ではない。
Ｈ２、加振器の振幅Ａを１ｍｍ、加振器の振動の角内波
数ωを、ω＝２π・５０Ｈ２、送受波器の性愛が１閣以
上の凹面トランスジューサを対向させ、共焦点に配置す
ると、陰極線管の表示面上の水平１１！！１１穫幅Ｂが
５αとなるので、比Ｂ／Ａは５０となる。第４図に示し
たような波形からΔＢを測定すると、ΔＢは８７．７ｍ
ｍであった。従って、音速Ｖは、 ｖ−Ｆ×ΔＢｘ （Ａ／Ｂ）＝２ｘｌＯｘ８？、７ｘｌ
Ｏｘ （１１５）−１５０８（ｍ／５ｅｃ） となる。 ′１ 次に、第３図に示した本実施例の超音波非破壊検査装置
において、試料液体１７中に、この試料液体と音速が異
なり、厚さが一様な物質２６を第５図に示したように挿
入すると、陰極線管２２で表示された混合波の出力に極
大または極小を与える送波器１６と受波器２■の間の距
離は、試料液体のみの場合より僅かにシフトする。従っ
て、この挿入する物質２６の厚さを１１音速をυ、とし
、前述の方法で測定した既知の試料液体１７の音速をυ
。とすると、シフト量ΔＬは、 ΔＩ・−ｌ（１−ｖｏ／、、、） となる。ここで、物質２６の厚さが分かつていれば、そ
の音速Ｖ工は、 ｖ１＝ ｖｏ ／（１１ｅ／ｌ） として計算することができるが、このΔＢを精密に計算
することは容易ではない。
従って、本発明では、物質２６を挿入する前と、挿入し
たときの干渉波形のシフト量を同じ陰極線管２２の表示
面上で比較することにより、このΔＢを簡単に測定する
ことができるものである。即ち、第６図において、送波
器１６及び受波器２１としては、集束超音波トランスジ
ューサを用い、参照媒体となる音速が既知の試料液体か
らなる超音波の伝搬経路を超音波ビームが透過するよう
に送受波器１．６．２１を設定しく第６図（Ａ）参照）
、前述の実殉例のように陰極線管２２の表示面上に波形
をかかせ、この波形をメモリスコープなどに記録してお
き、次に、第６図（Ｂ）に示したように送受波器１６．
２１を被測定物２６を介在させた伝搬経路に移動させ、
同様に同じ陰極線管２２の表示面上に波形を描かせると
、第７図（Ａ）に示したように被゛測定物質を介在させ
ない伝搬経路における波形において、混合波出力が最小
となるΔＺ＝ΔＺ１の値を示すＸ□の点では、第７図（
Ｂ）に示したように被測定物質を介在させた波形は最小
にならず、ｘ２の点において最小になる。ここで、送波
器１６を受波器２１に近ずけると、陰極線管２２のＸ（
水平）軸上で出力の極大または極小が第７図の左方に移
動するように設定すれば、第７図（Ｂ）の極小点ｘ２は
、被測定物体２６を通過する超音波の音速が速い場合は
、第７図（Ａ）の波形の極小点Ｘ工の呑気にずれ、遅い
場合は、左側にずれる。この差Δｘ ＝＝ ｘｌ−χ２
を測定することによって、ΔＢが求められる。
たときの干渉波形のシフト量を同じ陰極線管２２の表示
面上で比較することにより、このΔＢを簡単に測定する
ことができるものである。即ち、第６図において、送波
器１６及び受波器２１としては、集束超音波トランスジ
ューサを用い、参照媒体となる音速が既知の試料液体か
らなる超音波の伝搬経路を超音波ビームが透過するよう
に送受波器１．６．２１を設定しく第６図（Ａ）参照）
、前述の実殉例のように陰極線管２２の表示面上に波形
をかかせ、この波形をメモリスコープなどに記録してお
き、次に、第６図（Ｂ）に示したように送受波器１６．
２１を被測定物２６を介在させた伝搬経路に移動させ、
同様に同じ陰極線管２２の表示面上に波形を描かせると
、第７図（Ａ）に示したように被゛測定物質を介在させ
ない伝搬経路における波形において、混合波出力が最小
となるΔＺ＝ΔＺ１の値を示すＸ□の点では、第７図（
Ｂ）に示したように被測定物質を介在させた波形は最小
にならず、ｘ２の点において最小になる。ここで、送波
器１６を受波器２１に近ずけると、陰極線管２２のＸ（
水平）軸上で出力の極大または極小が第７図の左方に移
動するように設定すれば、第７図（Ｂ）の極小点ｘ２は
、被測定物体２６を通過する超音波の音速が速い場合は
、第７図（Ａ）の波形の極小点Ｘ工の呑気にずれ、遅い
場合は、左側にずれる。この差Δｘ ＝＝ ｘｌ−χ２
を測定することによって、ΔＢが求められる。
なお、上記実施例の説明では、加振器２４を送波器■６
に接続したが、受波器２１に接続してもよいことは云う
までもない。
に接続したが、受波器２１に接続してもよいことは云う
までもない。
以上説明したように、本発明によれば、送波器または受
波器を加振器で振動させ、また加振器を駆動する像間波
数の信号で、被測定伝搬経路を通過した超音波ビームを
陰極線管のＸ（水平）軸方向に走査することにより、陰
極線管の表示面上で被測定物体の音速の違いを容易に知
ることができ、測定が非常に簡単になるという利点があ
る。
波器を加振器で振動させ、また加振器を駆動する像間波
数の信号で、被測定伝搬経路を通過した超音波ビームを
陰極線管のＸ（水平）軸方向に走査することにより、陰
極線管の表示面上で被測定物体の音速の違いを容易に知
ることができ、測定が非常に簡単になるという利点があ
る。
第１図、第２図は、従来の超音波非破壊検査装置のブロ
ック図、第８図は、本発明の一実施例の超音波非破壊検
を装置のブロック図、第４図は、第３図の陰極線管に表
示した超音波の波形図、第５図は、第３図の送受波器の
間に被測定物体を介在させて測定する状態を示した図、
第６図は、本発明の他の測定方法を示した図、績７図は
、第６図の測定方法により陰極線管に表示した波形を示
した図である。 ■４・・・高周波発振器、１５・・・ノ（ルス変調器、
１６・・・送波器、１７・・・試料液体、１８・・・容
器、１９・・・減衰器、２０・・・混合器、２１・・・
受波器、２２・・・陰極線管、２３・・・低周波発振器
、２４・・・加振器、２５・・・減衰器、２６・・・被
測定物体。 特許出願人 中 鉢 憲 賢 本 多 敬 介 第４図 第 ５ 図 ８ 第 ６ 図 二二二＝＝コー２５ 第 ７ 図 １、事件の表示 昭和５６年特許願第１８２７０９号 ２発明の名称 超音波非破壊検査装置３補正をする者 事件との関係 特許出願人 センタイ ゾカタヒラ 住 所 宮城県仙台市片平１丁目４番６−２０３号チュ
ク ／サ ノリ ヨシ 氏名 中鉢憲賢（外１名） ４代理人 〒２７２ 住 所 千葉県市用市国分４丁目１３番１ｏ号６、補正
により増加する発明の数 ０７、補正の対象 明細書 全文補正 明 細 書 １、発明の名称 超音波非破壊検査装置２、特許請求
の範囲 観察すべき対象物に集束超音波を照射するだめの集束型
超音波発生素子と、前記対象物内部で変化を受けた超音
波エネルギーを、前記対象物内の微小部分において検出
する超音波集音素子と、前記集束型超音波発生素子また
は前記超音波集音素子のいずれかを微小に振動させる加
振器と、前記超音波集音素子の出力を表示する陰極線管
とからなり、前記加振器を振動させる低周波発振器の出
力信号によって、前記陰極線管の水平軸掃引を行なわせ
ることを特徴とする超音波非破壊検査装置。 ３、発明の詳細な説明 本発明は、観察すべき対象物を通過する超音波の変化を
干渉法により検出する超音波非破壊検査装置に関するも
のである。 従来、液体や気体の音速を精密に測定する方法として、
干渉の原理を利用する超音波検査法がよく用いられてい
る。この干渉を生じさせる方法としては、超音波の周波
数を変化させる方法と、超音波の伝搬路長を変化させる
方法がある。 第１図は、超音波の伝搬路長を変化させる超音波非破壊
検査装置（著者、菊池喜充、奥山大太部、日本音響学会
講演論文集、昭和４２年２月、第１８１頁参照 ）のブ
ロック図を示したもので、１は高周波発振器、２はパル
ス変調器、３は送受波器、４は減衰器、５は混合器、６
は検波器（整流器）、７は陰極線管であシ、送受波器３
は試料液体８を入れた容器９の底部に装着され、また容
器９の底部に排出口１０が設けられ、容器９の側面に試
料液体８の高さを測定する読取顕微鏡１１が設けられて
いる。 このように構成した従来の超音波非破壊検査装置におい
て、発振周波数ｆの高周波発振器１から発生する連続電
気信号をパルス変調器２で高周波パルス信号に変調し、
これを超音波トランスジューサである送受波器３に印加
することに、より、被測定物である試料液体８の中にパ
ルス超音波を発生させる。こ、のパルス超音波は送受波
器３に対向して平行に設けられた反射面、即ち試料液体
８の液面８′によって反射され、再び送受波器８に戻り
、電気的パルス信号に変換され、高周波発振器１から発
生する連続電気信号の一部が減衰器４等で適当な信号強
度に調整された参照信号と混合器５で混合され、検波器
６で検波され、陰極線管７に表示される。この時、高周
波発振器１の発振周波数ｆを一定に保ったままで、超音
波の伝搬路長、即ち２Ｌを変化させると、この伝搬路長
が半波長変わるごとに、陰極線管７上に表示される反射
パルス信号の振幅が極大値と極小値が交互に繰り返し表
示される。この従来例では、伝搬路長を変化させるだめ
に：液体試料８を入れた容器９の底に設けた排出口１０
から試料液体８を徐々に排出して、試料液面８′を次第
に低くする。この変化量を読取顕微鏡１１で読みながら
、前述の反射パルス波の振幅に極大あるいは極小を与え
る伝搬路長の変化を精密に測定すれば、周波数ｆが既知
であるので、試料液体中の音速が求められる。 第２図は、他の従来例の超音波非破壊検査装置のブロッ
ク図を示したもので、第１図と同一符号の部分は同一の
ものを示しているが、この従来例では、パルス変調器２
に送波器１２が接続され、混合器５に受波器１８が接続
され、送波器１２と受波器１３の間の距離りで与えられ
る伝搬路長を変化させ、移動させた受波器１Ｂの下面の
位置を読み取り顕微鏡１０で読み取ることにより、前述
の従来例と同じ原理で、液体中を伝搬する超音波の音速
を測定することができる。なお、この従来例では、液体
中に放射する超音波は連続波でもよく、必ずしもパルス
超音波である必要はない。 以上説明した従来例では、送受波器３と試料液体面８′
の間または送波器１２と受波器１３の間の距離Ｌ１即ち
音波の伝搬路長の変化は僅かであり、それを精密に変化
″させて読み取ることは極めて熟練を要する技術であり
、かなりの測定時間を要していた。また超音波トランス
ジューサは平面波用の送受波器を使用しているので、被
測定物の２次元的々音速分布の計測ができない吉いう欠
点があった。 本発明は、上記従来例の欠点を解消するために、観算す
べき対象物に集束型超音波発生素子から集束超音波を照
射し、対象物内部で受けた超音波エネルギーの変化を超
音波集音素子で、対象物の微小部分において検出し、集
束型超音波発生素子または超音波集音素子のいずれかを
加振器によって微小に振動させ、超音波集音素子の出力
を陰極線管で表示し、加振器を振動させる低周波発振器
の出力信号によって、陰極線管の水平軸掃引を行なわせ
ることを特徴とし、その目的は音速を正確に、かつ迅速
に測定することができる超音波非破壊検査装置を提供す
るものである。以下、図面により実施例を詳細に説明す
る。 第３図は、本発明の一実施例の超音波非破壊検査装置の
ブロック図を示したもので、１４は高周波発振器、１５
はパルス変調器、１６は容器１７内の被測定液体１８の
上部に装着された送波器、１９は減衰器、２０は混合器
、２１は容器１７の底部に設けられだ受波器、２２は陰
極線管、２３は低周波発振器、２４は送波器１６を加振
する加振器、２５は陰極線管２２に入力する低周波信号
を所定のレベルに減衰する減衰器であり、送波器１６と
受波器２１は焦点深度の深い集束型超音波トランスジュ
ーサであり、送波器１６及び受波器２１は共焦点になる
ように配置され、また送受波器１６．２１間の距離を精
度良く、微小に変化させるために、送波器１６に加振器
２４が連結されている。 次に、本実施例の動作を説明する。今、送波器１６は加
振器２４により２方向に変位し、その変位量Δ２は時間
ｔに対して正弦波的に振動している。即ち、Δ２−λｓ
ｉｎωｔである。ここで、Ａは基準位置よりの最大振幅
であシ、ωは角周波数である。この送波器１６の変位置
Δ２に同期させて、Ｂ ｓｉｎωｔで陰極線管２２の水
平軸掃引をさせる。 一方、高周波発振器１４から発生する連続電気信号をパ
ルス変調器１５で高周波パルス信号に変調し、送波器１
６に印加すると、試料液体１７中にパルス超音波が発生
し、受波器２１に伝搬される。 また高周波発振器１４からの参照信号は減衰器１９で受
波器２１で受信した透過信号と同レベルにされ、混合器
２０で受波器２１からの電気信号と混合され、この混合
波出力は陰極線管２２の垂直軸に入力される。 このようにすると、陰極線管２２の表示面には、第４図
に示しだような極大と極小が周期的に生じる波形が描か
れる。ここで、この陰極線管の水平軸走査の振幅はＢで
あるので、伝搬路長の周期的な変化は陰極線管２２では
、Ｂ／Ａ倍に拡大される。従って、第４図に示しだ陰極
線管２２の面上で、相隣る極小間の距離ΔＢを測定すれ
ば、試料液体中の波長は、ΔＢｘ（Ａ／Ｂ３ として計
測されることになる。一般に、比Ｂ／ＡにおけるＡは、
従来性々われているように予め光学的手法により測定し
、所定の値に設定しておくか、あるいは比Ｂ／Ａを音速
が既知の媒体、例えば水などによって予め較正しておく
ことにより、比Ｂ／Ａを１００程度に設定することは容
易である。このようにすることにより、超音波の周波数
をＦとすると、試料液体１７中の超音波の速度υは、 υ−Ｆ×ΔＢＸ （Ａ／Ｂ） として求められる。 次に、具体例を説明する。 〔具体例〕 試料液体として水を使用し、超音波の周波数Ｆを２ Ｍ
Ｈｚ、加振器の振幅Ａを１朋、加振器の振動の角周波
数ωを、ω＝２π・５０ Ｈｚ、送受波器の深度が１朋
以上の凹面トランスジューサを対向させ、共焦点に配置
すると、陰極線管の表示面上の水平軸振幅Ｂが５ｃＩＩ
Ｌとなるので、比Ｂ／Ａは５０となる。第４図に示した
ような波形からΔＢを測定すると、ΔＢは３７．７ ｍ
であった。従って、音速υは、 υ＝ＦＸΔＢ Ｘ （Ａ／Ｂ） ＝２ Ｘ １０”Ｘ
３７．７ｘ １０−”ｘ （１１５０） ＝１５０８
（ｍ／５ｅｃ）となる。 次に、第３図に示した本実施例の超音波非破壊検査装置
において、試料液体１７中に、この試料液体と音速が異
なり、厚さが一様な物質２６を第５図に示したように挿
入すると、陰極線管２２で表示された混合波の出力に極
大または極小を与える送波器１６と受波器２１の間の距
離は、試料液体のみの場合より僅かにシフトする。従っ
て、この挿入する物質２６の厚さを１１音速をυ１とし
、前述の方法で測定した既知の試料液体１７の音速をυ
。とすると、シフト量ΔＬは、 ΔＬ＝ｌ （１−’／、） となる。ここで、物質２６の厚さが分がっていれば、そ
の音速υ１は、 υ、＝ｕ。／（１−ΔＬ／、 ） として計算することができるが、とのΔＢを精密に計算
することは容易ではない。 従って、本発明では、物質２６を挿入する前と、挿入し
たときの干渉波形のシフト量を同じ陰極線管２２の表示
面一４＝で比較することにより、とのΔＢを簡単に測定
することができるものである。即ち、第６図において、
送波器１６及び受波器２１としては、集束超音波トラン
スジューサを用い、参照媒体となる音速が既知の試料液
体からなる超音波の伝搬経路を超音波ビームが透過する
ように送受波器１６．２１を設定しく第６図（Ａ）参照
）、前述の実施例のように陰極線管２２の表示面上に波
形をかかせ、この波形をメモリスコープなどに記録して
おき、次に、第６図（Ｂ）に示しだように送受波器１６
．２１を被測定物２６を介在させた伝搬経路に移動させ
、同様に同じ陰極線管２２の表示面上に波形を描かせる
と、第７図（Ａ）に示したように被測定物質を介在させ
ない伝搬経路における波形において、混合波出力が最小
となるΔＺ−Δｚ１の値を示すＸ、の点では、第７図（
Ｂ）に示したように被測定物質を介在させた波形は最小
にならず、Ｘ、の点において最小になる。ここで、送波
器１６を受波器２１に近ずけると、陰極線管２２のＸ（
水乎）軸上で出力の極大または極小が第７図の左方に移
動するように設定すれば、第７図（Ｂ）の極小点Ｘ、は
、被測定物体２６を通過する超音波の音速が速い場合は
、第７図（Ａ）の波形の極小点Ｘ１の左側にずれ、遅い
場合は、右側にずれる。この差ΔＸ ＝ Ｘ、 −Ｘ、
を測定することによって、ΔＬが求められる。 なお、上記実施例の説明では、加振器２４を送波器１６
に接続したが、受波器２１に接続してもよいことは云う
までもない。 以上説明したように、本発明によれば、送波器または受
波器を加振器で振動させ、また加振器を駆動する低周波
数の信号で、被測定伝搬経路を通過した超音波ビームを
陰極線管のＸ（水平）軸方向に走査することにより、陰
極線管の表示面上で被測定物体の音速の違いを容易に知
ることができ、測定が非常に簡単になるという利点があ
る。 ４、図面の簡単な説明 第１図、第２図は、従来の超音波非破壊検査装置のブロ
ック図、第３図は、本発明の一実施例の超音波非破壊検
査装置のブロック図、第４図は、第３図の陰極線管に表
示した超音波の波形図、第５図は、第３図の送受波器の
間に被測定物体を介在させて測定する状態を示した図、
第６図は、本発明の他の測定方法を示した図、第７図は
、第６図の測定方法により陰極線管に表示した波形を示
した図である。 １４・・・高周波発振器、１５・・・ノ（ルス変調器、
１６・・・送波器、１７・・・試料液体、１８・・・容
器、１９・・・減衰器、２０・・・混合器、２１・・・
受波器、２２・・・陰極線管、２３・・・低周波発振器
、２４・・・加振器、２５・・・減衰器、２６・・・被
測定物体。 特許出願人 中 鉢 憲 賢
ック図、第８図は、本発明の一実施例の超音波非破壊検
を装置のブロック図、第４図は、第３図の陰極線管に表
示した超音波の波形図、第５図は、第３図の送受波器の
間に被測定物体を介在させて測定する状態を示した図、
第６図は、本発明の他の測定方法を示した図、績７図は
、第６図の測定方法により陰極線管に表示した波形を示
した図である。 ■４・・・高周波発振器、１５・・・ノ（ルス変調器、
１６・・・送波器、１７・・・試料液体、１８・・・容
器、１９・・・減衰器、２０・・・混合器、２１・・・
受波器、２２・・・陰極線管、２３・・・低周波発振器
、２４・・・加振器、２５・・・減衰器、２６・・・被
測定物体。 特許出願人 中 鉢 憲 賢 本 多 敬 介 第４図 第 ５ 図 ８ 第 ６ 図 二二二＝＝コー２５ 第 ７ 図 １、事件の表示 昭和５６年特許願第１８２７０９号 ２発明の名称 超音波非破壊検査装置３補正をする者 事件との関係 特許出願人 センタイ ゾカタヒラ 住 所 宮城県仙台市片平１丁目４番６−２０３号チュ
ク ／サ ノリ ヨシ 氏名 中鉢憲賢（外１名） ４代理人 〒２７２ 住 所 千葉県市用市国分４丁目１３番１ｏ号６、補正
により増加する発明の数 ０７、補正の対象 明細書 全文補正 明 細 書 １、発明の名称 超音波非破壊検査装置２、特許請求
の範囲 観察すべき対象物に集束超音波を照射するだめの集束型
超音波発生素子と、前記対象物内部で変化を受けた超音
波エネルギーを、前記対象物内の微小部分において検出
する超音波集音素子と、前記集束型超音波発生素子また
は前記超音波集音素子のいずれかを微小に振動させる加
振器と、前記超音波集音素子の出力を表示する陰極線管
とからなり、前記加振器を振動させる低周波発振器の出
力信号によって、前記陰極線管の水平軸掃引を行なわせ
ることを特徴とする超音波非破壊検査装置。 ３、発明の詳細な説明 本発明は、観察すべき対象物を通過する超音波の変化を
干渉法により検出する超音波非破壊検査装置に関するも
のである。 従来、液体や気体の音速を精密に測定する方法として、
干渉の原理を利用する超音波検査法がよく用いられてい
る。この干渉を生じさせる方法としては、超音波の周波
数を変化させる方法と、超音波の伝搬路長を変化させる
方法がある。 第１図は、超音波の伝搬路長を変化させる超音波非破壊
検査装置（著者、菊池喜充、奥山大太部、日本音響学会
講演論文集、昭和４２年２月、第１８１頁参照 ）のブ
ロック図を示したもので、１は高周波発振器、２はパル
ス変調器、３は送受波器、４は減衰器、５は混合器、６
は検波器（整流器）、７は陰極線管であシ、送受波器３
は試料液体８を入れた容器９の底部に装着され、また容
器９の底部に排出口１０が設けられ、容器９の側面に試
料液体８の高さを測定する読取顕微鏡１１が設けられて
いる。 このように構成した従来の超音波非破壊検査装置におい
て、発振周波数ｆの高周波発振器１から発生する連続電
気信号をパルス変調器２で高周波パルス信号に変調し、
これを超音波トランスジューサである送受波器３に印加
することに、より、被測定物である試料液体８の中にパ
ルス超音波を発生させる。こ、のパルス超音波は送受波
器３に対向して平行に設けられた反射面、即ち試料液体
８の液面８′によって反射され、再び送受波器８に戻り
、電気的パルス信号に変換され、高周波発振器１から発
生する連続電気信号の一部が減衰器４等で適当な信号強
度に調整された参照信号と混合器５で混合され、検波器
６で検波され、陰極線管７に表示される。この時、高周
波発振器１の発振周波数ｆを一定に保ったままで、超音
波の伝搬路長、即ち２Ｌを変化させると、この伝搬路長
が半波長変わるごとに、陰極線管７上に表示される反射
パルス信号の振幅が極大値と極小値が交互に繰り返し表
示される。この従来例では、伝搬路長を変化させるだめ
に：液体試料８を入れた容器９の底に設けた排出口１０
から試料液体８を徐々に排出して、試料液面８′を次第
に低くする。この変化量を読取顕微鏡１１で読みながら
、前述の反射パルス波の振幅に極大あるいは極小を与え
る伝搬路長の変化を精密に測定すれば、周波数ｆが既知
であるので、試料液体中の音速が求められる。 第２図は、他の従来例の超音波非破壊検査装置のブロッ
ク図を示したもので、第１図と同一符号の部分は同一の
ものを示しているが、この従来例では、パルス変調器２
に送波器１２が接続され、混合器５に受波器１８が接続
され、送波器１２と受波器１３の間の距離りで与えられ
る伝搬路長を変化させ、移動させた受波器１Ｂの下面の
位置を読み取り顕微鏡１０で読み取ることにより、前述
の従来例と同じ原理で、液体中を伝搬する超音波の音速
を測定することができる。なお、この従来例では、液体
中に放射する超音波は連続波でもよく、必ずしもパルス
超音波である必要はない。 以上説明した従来例では、送受波器３と試料液体面８′
の間または送波器１２と受波器１３の間の距離Ｌ１即ち
音波の伝搬路長の変化は僅かであり、それを精密に変化
″させて読み取ることは極めて熟練を要する技術であり
、かなりの測定時間を要していた。また超音波トランス
ジューサは平面波用の送受波器を使用しているので、被
測定物の２次元的々音速分布の計測ができない吉いう欠
点があった。 本発明は、上記従来例の欠点を解消するために、観算す
べき対象物に集束型超音波発生素子から集束超音波を照
射し、対象物内部で受けた超音波エネルギーの変化を超
音波集音素子で、対象物の微小部分において検出し、集
束型超音波発生素子または超音波集音素子のいずれかを
加振器によって微小に振動させ、超音波集音素子の出力
を陰極線管で表示し、加振器を振動させる低周波発振器
の出力信号によって、陰極線管の水平軸掃引を行なわせ
ることを特徴とし、その目的は音速を正確に、かつ迅速
に測定することができる超音波非破壊検査装置を提供す
るものである。以下、図面により実施例を詳細に説明す
る。 第３図は、本発明の一実施例の超音波非破壊検査装置の
ブロック図を示したもので、１４は高周波発振器、１５
はパルス変調器、１６は容器１７内の被測定液体１８の
上部に装着された送波器、１９は減衰器、２０は混合器
、２１は容器１７の底部に設けられだ受波器、２２は陰
極線管、２３は低周波発振器、２４は送波器１６を加振
する加振器、２５は陰極線管２２に入力する低周波信号
を所定のレベルに減衰する減衰器であり、送波器１６と
受波器２１は焦点深度の深い集束型超音波トランスジュ
ーサであり、送波器１６及び受波器２１は共焦点になる
ように配置され、また送受波器１６．２１間の距離を精
度良く、微小に変化させるために、送波器１６に加振器
２４が連結されている。 次に、本実施例の動作を説明する。今、送波器１６は加
振器２４により２方向に変位し、その変位量Δ２は時間
ｔに対して正弦波的に振動している。即ち、Δ２−λｓ
ｉｎωｔである。ここで、Ａは基準位置よりの最大振幅
であシ、ωは角周波数である。この送波器１６の変位置
Δ２に同期させて、Ｂ ｓｉｎωｔで陰極線管２２の水
平軸掃引をさせる。 一方、高周波発振器１４から発生する連続電気信号をパ
ルス変調器１５で高周波パルス信号に変調し、送波器１
６に印加すると、試料液体１７中にパルス超音波が発生
し、受波器２１に伝搬される。 また高周波発振器１４からの参照信号は減衰器１９で受
波器２１で受信した透過信号と同レベルにされ、混合器
２０で受波器２１からの電気信号と混合され、この混合
波出力は陰極線管２２の垂直軸に入力される。 このようにすると、陰極線管２２の表示面には、第４図
に示しだような極大と極小が周期的に生じる波形が描か
れる。ここで、この陰極線管の水平軸走査の振幅はＢで
あるので、伝搬路長の周期的な変化は陰極線管２２では
、Ｂ／Ａ倍に拡大される。従って、第４図に示しだ陰極
線管２２の面上で、相隣る極小間の距離ΔＢを測定すれ
ば、試料液体中の波長は、ΔＢｘ（Ａ／Ｂ３ として計
測されることになる。一般に、比Ｂ／ＡにおけるＡは、
従来性々われているように予め光学的手法により測定し
、所定の値に設定しておくか、あるいは比Ｂ／Ａを音速
が既知の媒体、例えば水などによって予め較正しておく
ことにより、比Ｂ／Ａを１００程度に設定することは容
易である。このようにすることにより、超音波の周波数
をＦとすると、試料液体１７中の超音波の速度υは、 υ−Ｆ×ΔＢＸ （Ａ／Ｂ） として求められる。 次に、具体例を説明する。 〔具体例〕 試料液体として水を使用し、超音波の周波数Ｆを２ Ｍ
Ｈｚ、加振器の振幅Ａを１朋、加振器の振動の角周波
数ωを、ω＝２π・５０ Ｈｚ、送受波器の深度が１朋
以上の凹面トランスジューサを対向させ、共焦点に配置
すると、陰極線管の表示面上の水平軸振幅Ｂが５ｃＩＩ
Ｌとなるので、比Ｂ／Ａは５０となる。第４図に示した
ような波形からΔＢを測定すると、ΔＢは３７．７ ｍ
であった。従って、音速υは、 υ＝ＦＸΔＢ Ｘ （Ａ／Ｂ） ＝２ Ｘ １０”Ｘ
３７．７ｘ １０−”ｘ （１１５０） ＝１５０８
（ｍ／５ｅｃ）となる。 次に、第３図に示した本実施例の超音波非破壊検査装置
において、試料液体１７中に、この試料液体と音速が異
なり、厚さが一様な物質２６を第５図に示したように挿
入すると、陰極線管２２で表示された混合波の出力に極
大または極小を与える送波器１６と受波器２１の間の距
離は、試料液体のみの場合より僅かにシフトする。従っ
て、この挿入する物質２６の厚さを１１音速をυ１とし
、前述の方法で測定した既知の試料液体１７の音速をυ
。とすると、シフト量ΔＬは、 ΔＬ＝ｌ （１−’／、） となる。ここで、物質２６の厚さが分がっていれば、そ
の音速υ１は、 υ、＝ｕ。／（１−ΔＬ／、 ） として計算することができるが、とのΔＢを精密に計算
することは容易ではない。 従って、本発明では、物質２６を挿入する前と、挿入し
たときの干渉波形のシフト量を同じ陰極線管２２の表示
面一４＝で比較することにより、とのΔＢを簡単に測定
することができるものである。即ち、第６図において、
送波器１６及び受波器２１としては、集束超音波トラン
スジューサを用い、参照媒体となる音速が既知の試料液
体からなる超音波の伝搬経路を超音波ビームが透過する
ように送受波器１６．２１を設定しく第６図（Ａ）参照
）、前述の実施例のように陰極線管２２の表示面上に波
形をかかせ、この波形をメモリスコープなどに記録して
おき、次に、第６図（Ｂ）に示しだように送受波器１６
．２１を被測定物２６を介在させた伝搬経路に移動させ
、同様に同じ陰極線管２２の表示面上に波形を描かせる
と、第７図（Ａ）に示したように被測定物質を介在させ
ない伝搬経路における波形において、混合波出力が最小
となるΔＺ−Δｚ１の値を示すＸ、の点では、第７図（
Ｂ）に示したように被測定物質を介在させた波形は最小
にならず、Ｘ、の点において最小になる。ここで、送波
器１６を受波器２１に近ずけると、陰極線管２２のＸ（
水乎）軸上で出力の極大または極小が第７図の左方に移
動するように設定すれば、第７図（Ｂ）の極小点Ｘ、は
、被測定物体２６を通過する超音波の音速が速い場合は
、第７図（Ａ）の波形の極小点Ｘ１の左側にずれ、遅い
場合は、右側にずれる。この差ΔＸ ＝ Ｘ、 −Ｘ、
を測定することによって、ΔＬが求められる。 なお、上記実施例の説明では、加振器２４を送波器１６
に接続したが、受波器２１に接続してもよいことは云う
までもない。 以上説明したように、本発明によれば、送波器または受
波器を加振器で振動させ、また加振器を駆動する低周波
数の信号で、被測定伝搬経路を通過した超音波ビームを
陰極線管のＸ（水平）軸方向に走査することにより、陰
極線管の表示面上で被測定物体の音速の違いを容易に知
ることができ、測定が非常に簡単になるという利点があ
る。 ４、図面の簡単な説明 第１図、第２図は、従来の超音波非破壊検査装置のブロ
ック図、第３図は、本発明の一実施例の超音波非破壊検
査装置のブロック図、第４図は、第３図の陰極線管に表
示した超音波の波形図、第５図は、第３図の送受波器の
間に被測定物体を介在させて測定する状態を示した図、
第６図は、本発明の他の測定方法を示した図、第７図は
、第６図の測定方法により陰極線管に表示した波形を示
した図である。 １４・・・高周波発振器、１５・・・ノ（ルス変調器、
１６・・・送波器、１７・・・試料液体、１８・・・容
器、１９・・・減衰器、２０・・・混合器、２１・・・
受波器、２２・・・陰極線管、２３・・・低周波発振器
、２４・・・加振器、２５・・・減衰器、２６・・・被
測定物体。 特許出願人 中 鉢 憲 賢
Claims (1)
- 観察すべき対象物に集束超音波を照射するための集束型
超音波発生素子と、前記対象物内部で変化を受けた超音
波エネルギーを、前記対象物内の微小部分において検出
する超音波集音素子と、前記集束型超音波発生素子また
は前記超音波集音素子のいずれかを微小に振動させる加
振器と、前記超音波集音素子の出力を表示する陰極線管
とがらなり、前記加振器を振動させる低周波発振器の出
力信号によって、前記陰極線管の水平軸掃引を行なわせ
ることを特徴とする超音波非破壊検査装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56182709A JPS5883256A (ja) | 1981-11-13 | 1981-11-13 | 超音波非破壊検査装置 |
| US06/439,581 US4492117A (en) | 1981-11-13 | 1982-11-05 | Ultrasonic nondestructive test apparatus |
| DE3241815A DE3241815C2 (de) | 1981-11-13 | 1982-11-11 | Ultraschall-Prüfvorrichtung |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56182709A JPS5883256A (ja) | 1981-11-13 | 1981-11-13 | 超音波非破壊検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5883256A true JPS5883256A (ja) | 1983-05-19 |
| JPH0211866B2 JPH0211866B2 (ja) | 1990-03-16 |
Family
ID=16123056
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56182709A Granted JPS5883256A (ja) | 1981-11-13 | 1981-11-13 | 超音波非破壊検査装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4492117A (ja) |
| JP (1) | JPS5883256A (ja) |
| DE (1) | DE3241815C2 (ja) |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5024091A (en) * | 1986-03-25 | 1991-06-18 | Washington State University Research Foundation, Inc. | Non-destructive evaluation of structural members |
| US4838085A (en) * | 1986-03-25 | 1989-06-13 | Washington State University Research Foundation, Inc. | Methods and appartaus for non-destructing evaluation of the mechanical properties of composite materials |
| US5293870A (en) * | 1989-11-17 | 1994-03-15 | Board Of Regents The University Of Texas System | Method and apparatus for elastographic measurement and imaging |
| US5143070A (en) * | 1989-11-17 | 1992-09-01 | The University Of Texas Systems Board Of Regents | Transaxial compression technique for sound velocity estimation |
| US5699274A (en) * | 1995-11-16 | 1997-12-16 | Timberco, Inc. | Panel performance test system |
| US6053052A (en) * | 1995-11-16 | 2000-04-25 | Timberco, Inc. | Panel performance test system |
| FI103439B (fi) * | 1997-01-27 | 1999-06-30 | Janesko Oy | Menetelmä ja laite äänennopeuden mittaamiseksi nesteessä |
| US6422081B1 (en) * | 1999-06-07 | 2002-07-23 | Kyoto Electronics Manufacturing Co., Ltd. | Ultrasonic sound velocity measuring method and its apparatus |
| US6829940B2 (en) * | 2002-05-31 | 2004-12-14 | General Electric Company | Method and apparatus for measuring surface wave traveling time |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| US2700894A (en) * | 1949-04-30 | 1955-02-01 | Gen Electric | Apparatus for ultrasonic investigation |
| US3519985A (en) * | 1951-06-12 | 1970-07-07 | Robert M Page | Random modulation obstacle locator system |
| US3690155A (en) * | 1970-10-30 | 1972-09-12 | Gen Motors Corp | Apparatus for measuring sound velocity in a workpiece |
| US3844163A (en) * | 1973-04-17 | 1974-10-29 | Automation Ind Inc | Ultrasonic velocity meter |
| SU892290A2 (ru) * | 1980-03-07 | 1981-12-23 | Предприятие П/Я Г-4126 | Устройство дл измерени коэффициента звукопоглощени |
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1981
- 1981-11-13 JP JP56182709A patent/JPS5883256A/ja active Granted
-
1982
- 1982-11-05 US US06/439,581 patent/US4492117A/en not_active Expired - Fee Related
- 1982-11-11 DE DE3241815A patent/DE3241815C2/de not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE3241815A1 (de) | 1983-05-26 |
| US4492117A (en) | 1985-01-08 |
| JPH0211866B2 (ja) | 1990-03-16 |
| DE3241815C2 (de) | 1986-08-14 |
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