JPH0611385A - 横波音速測定装置及びこれを利用したヤング率及び／又はポアソン比測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 横波音速を直接的に測定することなく計算に
よって算出し、これを利用して被測定物の微小領域上の
ヤング率及びポアソン比の測定を可能とする。 【構成】 固体カプラ音響レンズを用いて被測定物の縦
波音速を測定する縦波音速測定手段と、液体カプラ音響
レンズを用いて被測定物の漏洩表面弾性波音速測定手段
と、縦波音速測定手段から得られた縦波音速と、漏洩表
面弾性波音速測定手段から得られた漏洩表面弾性波音速
とを用いて被測定物の横波音速を算出する横波音速計算
手段とを有し、縦波音速、洩表面弾性波音速及び横波音
速を用いて被測定物のヤング率及び／又はポアソン比を
算出する計算手段を有する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、固体試料における弾性
波の横波音速を測定する横波音速測定装置と、これを利
用したヤング率及び／又はポアソン比測定装置に係わ
る。

【０００２】

【従来の技術】ヤング率やポアソン比等の弾性定数を測
定する場合、試料の縦波伝搬速度及び横波伝搬速度を測
定してこれらから計算して求める方法が一般に採られて
おり、例えば被測定物に対して直接的に超音波パルスを
与えて縦波及び横波を測定する超音波パルス法、または
被測定物を機械的に振動させて共振周波数を測定する共
振法などが用いられている。

【０００３】このような従来の方法において、例えば共
振法では被測定物を板状等に加工する必要があるため、
その測定する領域は少なくとも数十ｍｍ〜数ｃｍの長さ
を必要とし、また上述の超音波パルス法でも同様に超音
波パルスを被測定物に与えるために、パルス平面波を供
給するトランスジューサを密着させることから、このト
ランスジューサの大きさによって測定領域の大きさや形
状が限定され、測定領域の大きさを数ｍｍφ程度以下と
することが難しい。従って、これら従来の方法において
は、数十μｍφ程度の微小領域における測定は不可能で
ある。

【０００４】また特に超音波パルス法においてその横波
を測定する場合は、上述したトランスジューサを接着剤
により密着させるため、接着剤の厚さや密着の度合いに
より測定結果にばらつきを生じさせてしまう場合があ
り、精度よく測定を行うためには熟練を要することから
作業性の低下を招く恐れがある。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、横波音速を
直接的に測定することなく求めることのできる横波音速
測定装置を提供し、またこの横波音速測定装置を利用す
ることによって、被測定物上の数μｍφ程度の微小領域
のヤング率及びポアソン比の測定を可能とし、またその
測定に熟練を要することなく簡便に精度良く測定できる
ようにする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明横波音速測定装置
は、固体カプラ音響レンズを用いて被測定物の縦波音速
を測定する縦波音速測定手段と、液体カプラ音響レンズ
を用いて被測定物の漏洩表面弾性波音速を測定する漏洩
表面弾性波音速測定手段と、これら縦波音速測定手段か
ら得られた縦波音速と、漏洩表面弾性波音速測定手段か
ら得られた漏洩表面弾性波とを用いて被測定物の横波音
速を算出する横波音速計算手段とを有する。

【０００７】また本発明による横波音速測定装置を利用
したヤング率及び／又はポアソン比測定装置は、上述の
横波音速測定装置により縦波音速及び漏洩表面弾性波音
速を測定して被測定物の横波音速を算出し、縦波音速、
漏洩表面弾性波音速及び横波音速を用いて被測定物のヤ
ング率及び／又はポアソン比を算出する計算手段を有す
る。

【０００８】また他の本発明は、上述の横波音速測定装
置において、その一例の略線的構成図を図１に示すよう
に、縦波音速測定手段を、電気信号発生手段７と、所定
の周期毎にこの電気信号発生手段７からの信号を抜き取
る抽出手段１５と、この抜き取られた信号を被測定物２
０に接触して設けられた固体カプラ音響レンズ１Ｓに送
るための送出手段８と、被測定物２０からの反射波によ
る信号を抜き取る抽出手段１６と、反射波による信号か
ら縦波音速を計算する計算手段１２とより構成する。

【０００９】更にまた他の本発明は上述の横波音速測定
装置を利用したヤング率及び／又はポアソン比測定装置
において、縦波音速測定手段を、電気信号発生手段７
と、所定の周期毎にこの電気信号発生手段７からの信号
を抜き取る抽出手段１５と、抜き取られた信号を被測定
物２０に接触して設けられた固体カプラ音響レンズ１Ｓ
に送るための送出手段８と、被測定物２０からの反射波
による信号を抜き取る抽出手段１６と、反射波による信
号から縦波音速を計算する計算手段１２とより構成す
る。

【００１０】また他の本発明は、前述の横波音速測定装
置において、その一例の略線的構成図を図２に示すよう
に、漏洩表面弾性波音速測定手段を、電気信号発生手段
７と、所定の周期毎にこの電気信号発生手段７からの信
号を抜き取る抽出手段１５と、抜き取られた信号を被測
定物２０に液体を介して設けられた液体カプラ音響レン
ズ１Ｌに送るための送出手段８と、被測定物２０からの
反射波による信号を抜き取る抽出手段１６と、反射波に
よる信号から漏洩表面弾性波音速を計算する計算手段１
２とより構成する。

【００１１】更にまた他の本発明は、前述の横波音速測
定装置を利用したヤング率及び／又はポアソン比測定装
置において、漏洩表面弾性波音速測定手段を、電気信号
発生手段７と、所定の周期毎にこの電気信号発生手段７
からの信号を抜き取る抽出手段１５と、抜き取られた信
号を被測定物２０に液体を介して設けられた液体カプラ
音響レンズ１Ｌに送るための送出手段８と、被測定物２
０からの反射波による信号を抜き取る抽出手段１６と、
反射波による信号から漏洩表面弾性波音速を計算する計
算手段１２とより構成する。

【００１２】また他の本発明は、前述の横波音速測定装
置において、被測定物２０をステージ２上に配置し、固
体カプラ音響レンズ１Ｓ及び／又は液体カプラ音響レン
ズ１Ｌに、これらを被測定物２０に対し近接離間する方
向に移動させる移動手段３を設け、漏洩表面弾性波音速
の測定時には液体カプラ音響レンズ１Ｌと被測定物２０
との間隔を変化させる制御手段１１を移動手段３に連動
して設ける。

【００１３】更にまた他の本発明は、前述の横波音速測
定装置を利用したヤング率及び／又はポアソン比測定装
置において、被測定物２０をステージ２上に配置し、固
体カプラ音響レンズ１Ｓ及び／又は液体カプラ音響レン
ズ１Ｌに、これらを被測定物２０に対し近接離間する方
向に移動させる移動手段３を設け、漏洩表面弾性波音速
の測定時には液体カプラ音響レンズ１Ｌと被測定物２０
との間隔を変化させる制御手段１１を移動手段３に連動
して設ける。

【００１４】

【作用】上述したように本発明横波音速測定装置及びこ
れを利用したヤング率及び／又はポアソン比測定装置に
おいては、固体カプラ音響レンズ及び液体カプラ音響レ
ンズ等を用いるいわゆる超音波顕微鏡によって被測定物
の縦波音速と、漏洩表面弾性波音速とを測定して、この
結果から計算手段（後述の実施例において詳細に説明す
る）によって横波音速を算出するものであり、即ちこの
本発明によればトランスジューサ等を用いて直接的に横
波音速を測定することなく、超音波を被測定物に集束さ
せて振動させる構成としていることから、被測定物の微
小領域上における横波音速、更にヤング率やポアソン比
の測定が可能となる。

【００１５】また本発明においては、固体カプラ音響レ
ンズにより縦波音速を測定し、また液体カプラ音響レン
ズを用いて漏洩表面弾性波音速を測定してこれら縦波音
速及び漏洩表面弾性波音速により横波音速を計算して求
めることから、前述の超音波法におけるようなトランス
ジューサの接着剤による密着を回避でき、熟練を要する
ことなく簡単に精度良く測定を行うことができる。

【００１６】また本発明においては、上述の本発明横波
音速測定装置又はこれを利用したヤング率及び／又はポ
アソン比測定装置において、縦波音速測定手段又は漏洩
表面弾性波音速測定手段を上述の構成とすることによっ
て、固体カプラ音響レンズ１Ｓ又は液体カプラ音響レン
ズ１Ｌに所定の周波数の振動を与えて、これより得られ
る反射波を精度良く測定して、縦波音速及び漏洩表面弾
性波を確実に精度良く計算することができる。

【００１７】更にまた他の本発明は、上述の本発明横波
音速測定装置又はこれを利用したヤング率及び／又はポ
アソン比測定装置において、被測定物２０をステージ２
上に配置すると共に、固体カプラ音響レンズ１Ｓ及び／
又は液体カプラ音響レンズ１Ｌに、これらを被測定物２
０に対し近接離間する方向に移動させる移動手段３を設
け、漏洩表面弾性波音速の測定時には液体カプラ音響レ
ンズ１Ｌと被測定物２０との間隔を変化させる制御手段
１１を移動手段３に連動して設けることによって、被測
定物の所定位置に精度良くレンズの端面及び焦点を位置
させることができ、精度良く測定を行うことができる。

【００１８】

【実施例】以下図面を参照して本発明横波音速測定装置
及びこれを利用したヤング率及び／又はポアソン比測定
装置の一例を詳細に説明する。この場合、図１に示すよ
うに固体カプラ音響レンズ１Ｓを用いて被測定物２０の
縦波音速Ｖｌを測定する縦波音速測定手段と、図２に示
すように液体カプラ音響レンズ１Ｌを用いて被測定物２
０の漏洩表面弾性波音速Ｖｒを測定する漏洩表面弾性波
音速測定手段とを有する。

【００１９】図３に固体カプラ音響レンズ１Ｓによる縦
波音速Ｖｌの測定態様を示す。固体カプラ音響レンズ１
Ｓは、その被測定物２０に対向する端面が平面状とされ
て構成される。測定の際にはこのレンズ１Ｓを、表面２
０Ａ及び裏面２０Ｂに鏡面研磨加工を施した被測定物２
０にその平面状端面を接触して配置する。この例におい
ては、その界面に空気等を介在させないために、水、ア
ルコール等の液体２１を図示の如く接触界面の周辺部に
付着させるようにしている。そして端子１９からの電気
信号を圧電素子１８により縦波振動に変換して、レンズ
１Ｓにより破線Ｓで示すように集束させ、被測定物２０
の所定領域を振動させる。このとき被測定物２０の表面
２０Ａ及び裏面２０Ｂにおいて反射波Ｒｆ及びＲｒがそ
れぞれ生じる。

【００２０】これら両反射波Ｒｆ及びＲｒのオシロスコ
ープによる波形の模式図と、これら反射波の干渉波の周
波数ｆに対するスペクトラムアナライザによる波形図を
図４Ａ及びＢに示す。図４Ａにおいては各反射波Ｒｆ及
びＲｒの発生する時間範囲と振幅範囲とを模式的に示
す。この図４Ａからわかるように、裏面反射波Ｒｒは表
面反射波Ｒｆに所定時間遅れて発生し、これらが重なっ
た時間範囲Ｓにおいて干渉波が生じる。この干渉波をス
ペクトラムアナライザ１０によって解析すると、図４Ｂ
に示すように所定の周波数間隔Δｆをもって周期的に変
化する波形となる。この周波数間隔Δｆ及び被測定物２
０の厚さｈから、下記の数１によって縦波音速Ｖｌを算
出することができる。

【００２１】

【数１】

【００２２】次に、図５に液体カプラ音響レンズ１Ｌに
よる漏洩表面弾性波音速の測定態様を示す。このレンズ
１Ｌは、被測定物２０の測定領域に液体２１を介在させ
て接触するようになされ、その端面は凹面状に形成され
て成る。またこの被測定物２０の表面２０Ａ及び裏面２
０Ｂは鏡面加工が施される。この場合においても同様に
端子１９からの電気信号を圧電素子１８により振動に変
換して、レンズ１Ｌを介して被測定物２０に水等の液体
２１を介して伝搬する。このとき、レンズ１Ｌが被測定
物２０に対し焦点からずれた位置にあるとすると、レン
ズ１Ｌの光軸中心での垂直反射波Ｒｃ以外の被測定物２
０への入射波は、表面２０Ａに対し垂直な法線方向（以
下法線方向という）に対し斜めに傾いた成分を有する。
法線方向からある角度θをもって入射した超音波Ｗは漏
洩表面弾性波Ｅｓを励起する。この漏洩表面弾性波Ｅｓ
は、液体２１へ再放射し、放射波Ｒｅを発生しながら被
測定物２０の表面を伝搬する。

【００２３】これら垂直反射波Ｒｃ及び放射波Ｒｅの干
渉波は、レンズ１Ｌの位置を被測定物２０から近接離間
させると周期的に変化する。この変化の様子いわゆるＶ
（ｚ）曲線を図６に示す。この干渉波の測定周波数をｆ
とし、干渉の周期をΔｚとし、更に測定に用いた液体２
１の音速をＶｗとすると、漏洩表面弾性波音速は下記の
数２で表される。

【００２４】

【数２】

【００２５】そしてこの縦波音速測定手段から得られた
縦波音速Ｖｌと、漏洩表面弾性波音速測定手段から得ら
れた漏洩表面弾性波音速Ｖｒとを用いて被測定物２０の
横波音速Ｖｓを以下の数３で示す方程式を用いて求める
ことができる。

【００２６】

【数３】

【００２７】そして更にこれら縦波音速Ｖｌ、漏洩表面
弾性波音速Ｖｒ及び横波音速Ｖｓを用いて、下記の数４
及び数５に示す式を用いて、被測定物２０のヤング率Ｅ
及びポアソン比σを算出することができる。

【００２８】

【数４】

【００２９】

【数５】

【００３０】このような装置の縦波音速測定手段及び漏
洩表面弾性波音速測定手段のそれぞれのシステム構成の
一例を図１及び図２に示す。図２において、図１に対応
する部分には同一符号を付して重複説明を省略する。こ
の例では縦波音速測定手段及び漏洩表面弾性波音速測定
手段共に、電気信号発生手段７としてトラッキングジェ
ネレータを用い、この電気信号発生手段７からの信号は
抽出手段１５に送られ、例えばパルス発生器４からの信
号ｃｈ１によって所定周期毎にゲート回路５により抽出
される。このとき、固体カプラ音響レンズ１Ｓ又は液体
カプラ音響レンズ１Ｌの仕様及び測定に都合のよいバー
スト波に変調する。そしてこのバースト信号を方向性結
合器等の送出手段８によって、例えばスタブチューナ９
等を介して各レンズ１Ｓ又は１Ｌの圧電素子１８に送ら
れる。固体カプラ音響レンズ１Ｓは上述したように、被
測定物２０に接触して設けられ、液体カプラ音響レンズ
１Ｌは、液体２１を介して被測定物２０の所定位置上に
配される。

【００３１】被測定物からの反射波は、再び圧電素子１
８を介してスタブチューナ９、送出手段８を介して、抽
出手段１６へ送られる。ここで例えばパルス発生器４か
らの信号ｃｈ２によりゲート回路６で信号解析に必要な
反射波信号の切り出しが行われる。そして縦波音速測定
手段においてはスペクトラムアナライザ１０によって反
射の解析が行われ、解析結果が計算手段１２に送られて
処理され、この場合画像処理装置１３を通してモニター
１４で表示されるようになされている。

【００３２】またこの例においては、被測定物２０はス
テージ２上に配置される。このステージ２は、図中矢印
ｘ及びｙで示す図１及び図２の紙面に垂直なｘ軸方向
と、これと直交し紙面に沿う横方向に延びるｙ軸方向に
移動可能な、従って水平方向に移動可能とされ、これに
連動して接続されるステッピングモータ制御回路等より
成る制御手段１１よって、所定の被測定位置に設定する
ために水平位置の制御が行われる。そしてこの場合固体
カプラ音響レンズ１Ｓ及び液体カプラ音響レンズ１Ｌ
に、これらを被測定物２０に対し近接離間する方向、即
ち図中矢印ｚで示すｚ軸方向に移動させる移動手段３を
設け、液体カプラ音響レンズ１Ｌと被測定物２０との間
隔を変化させるように上述の制御手段１１を、ステージ
２と同様にこの移動手段３においても連動して設ける。
このような構成とすることによって、漏洩表面弾性波音
速の測定の際に、被測定物２０と液体カプラ音響レンズ
１Ｌの焦点位置との間隔を精度良く制御することができ
る。

【００３３】このような構成による装置を用いて、本実
施例においては、被測定物として表面及び裏面とも鏡面
研磨した溶融石英を用意し、その横波音速と、ヤング率
及びポアソン比とをそれぞれ測定した。この場合、５０
〜２００ＭＨｚ用、ビーム径１００μｍの固体カプラ音
響レンズ１Ｓと、２００ＭＨｚ用でビーム径が１０μｍ
の液体カプラ音響レンズ１Ｌとを用いた。この液体カプ
ラ音響レンズ１Ｌは、点集束型であることから３６０°
方向に表面波が励起されるため、本実施例においては弾
性的に等方な被測定物を用いた。液体カプラ音響レンズ
１Ｌの液体２１としては、水を用いたが、この場合の液
体としては、その音速が明らかである例えばアルコール
などの種々の液体を用いることができる。

【００３４】また上述のｚ軸方向に移動可能な移動手段
３としては、０．１μｍ／ステップの分解能を有するド
ライバを用いて測定を行った。

【００３５】この場合、被測定物の厚さｈは０．９７５
ｍｍ、密度ρは２．２２ｇ／ｃｍ³であった。図７に、
上述の固体カプラ音響レンズ１Ｓにより測定した表面反
射波と裏面反射波の干渉波を、スペクトラムアナライザ
１０で解析した波形を示す。この結果から、周波数間隔
Δｆは３．１ＭＨｚとなり、前述の数１より縦波音速Ｖ
ｌは６０４５ｍ／ｓであった。

【００３６】また、図８は上述の液体カプラ音響レンズ
１Ｌによって前述のＶ（ｚ）曲線を測定した結果を示
す。この結果から、干渉周期Δｚは３６．８μｍとな
り、水の音速が１５００ｍ／ｓ、表面弾性波の音速Ｖｒ
は、前述の数２より３４１１ｍ／ｓとなった。

【００３７】以上の結果から、計算手段１２により縦波
音速Ｖｌ及び表面弾性波音速Ｖｒを前述の数３に示す６
次方程式に代入し、横波音速Ｖｓを求めたところ、３８
０８ｍ／ｓであった。

【００３８】更にこの結果から、前述の数４及び数５に
よってヤング率とポアソン比をそれぞれ求めた。このよ
うにして求めた縦波音速、横波音速、ヤング率及びポア
ソン比を、文献記載値（理科年表昭和６３年）と共に下
記の表１に示す。

【００３９】

【表１】

【００４０】この結果から、本発明によれば、数十μｍ
φ〜１００μｍφ程度の微小な領域においても精度良く
横波音速やヤング率、ポアソン比を求めることができる
ことがわかる。

【００４１】尚、本発明は上述の実施例に限定されるこ
となく、その他種々の材料構成、装置構成を採り得るこ
とはいうまでもない。

【００４２】

【発明の効果】上述したように、本発明によれば、被測
定物上の数十μｍφ〜１００μｍφ程度の微小な領域に
おいて、横波音速を測定することができ、これを利用し
てヤング率及びポアソン比を精度良く求めることができ
る。

【００４３】また、振動の励起源として縦波だけを利用
しているため、従来の横波音速測定法におけるように、
トランスジューサの密着を行う必要がなく従ってその測
定作業に熟練を要することなく確実に測定を行うことが
できる。

【００４４】また本発明においては、上述の本発明横波
音速測定装置又はこれを利用したヤング率及び／又はポ
アソン比測定装置において、縦波音速測定手段又は漏洩
表面弾性波音速測定手段を上述の構成とすることによっ
て、固体カプラ音響レンズ１Ｓ又は液体カプラ音響レン
ズ１Ｌに所定の周波数の振動を与えて、これより得られ
る反射波を精度良く測定して、縦波音速及び漏洩表面弾
性波を確実に精度良く計算することができる。

【００４５】更に本発明によれば、被測定物をステージ
上に配置し、固体カプラ音響レンズ及び／又は液体カプ
ラ音響レンズの被測定物に対する間隔を制御可能とする
ことによって、被測定物の所定位置に精度良く両超音波
レンズの端面及び焦点を位置させることができ、精度良
く測定を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明横波音速測定装置及びこれを利用したヤ
ング率及び／又はポアソン比測定装置の一例の略線的構
成図である。

【図２】本発明横波音速測定装置及びこれを利用したヤ
ング率及び／又はポアソン比測定装置の一例の略線的構
成図である。

【図３】固体カプラ音響レンズの測定態様を示す説明図
である。

【図４】縦波音速測定手段の説明に供する図である。

【図５】液体カプラ音響レンズの測定態様を示す説明図
である。

【図６】漏洩表面弾性波音速測定手段の説明に供する図
である。

【図７】縦波音速測定における反射波のスペクトラムア
ナライザ波形を示す図である。

【図８】漏洩表面弾性波音速測定におけるＶ（ｚ）曲線
を示す図である。

【符号の説明】

１Ｓ 固体カプラ音響レンズ １Ｌ 液体カプラ音響レンズ ２ ステージ ３ 移動手段 ４ パルス発生器 ５ ゲート回路 ６ ゲート回路 ７ 電気信号発生手段 ８ 送出手段 ９ スタブチューナ １０ スペクトラムアナライザ １１ 制御手段 １２ 計算手段 １３ 画像処理装置 １４ モニター １５ 抽出手段 １６ 抽出手段 ２０ 被測定物

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 固体カプラ音響レンズを用いて被測定物
   の縦波音速を測定する縦波音速測定手段、 液体カプラ音響レンズを用いて被測定物の漏洩表面弾性
   波音速を測定する漏洩表面弾性波音速測定手段と、 上記縦波音速測定手段から得られた縦波音速と、上記漏
   洩表面弾性波音速測定手段から得られた漏洩表面弾性波
   とを用いて被測定物の横波音速を算出する横波音速計算
   手段とを有することを特徴とする横波音速測定装置。
2. 【請求項２】 固体カプラ音響レンズを用いて被測定物
   の縦波音速を測定する縦波音速測定手段と、 液体カプラ音響レンズを用いて被測定物の漏洩表面弾性
   波音速測定手段と、 上記縦波音速測定手段から得られた縦波音速と、上記漏
   洩表面弾性波音速測定手段から得られた漏洩表面弾性波
   音速とを用いて被測定物の横波音速を算出する横波音速
   計算手段とを有し、 上記縦波音速、上記漏洩表面弾性波音速、上記横波音速
   を用いて被測定物のヤング率及び／又はポアソン比を算
   出する計算手段を有することを特徴とする横波音速測定
   装置を利用したヤング率及び／又はポアソン比測定装
   置。
3. 【請求項３】 上記請求項１に記載の横波音速測定装置
   において、 上記縦波音速測定手段は、 電気信号発生手段と、 所定の周期毎に上記電気信号発生手段からの信号を抜き
   取る抽出手段と、 上記抜き取られた信号を上記被測定物に接触して設けら
   れた固体カプラ音響レンズに送るための送出手段と、 上記被測定物からの反射波による信号を抜き取る抽出手
   段と、 上記反射波による信号から縦波音速を計算する計算手段
   とを有して成ることを特徴とする横波音速測定装置。
4. 【請求項４】 上記請求項２に記載の横波音速測定装置
   を利用したヤング率及び／又はポアソン比測定装置にお
   いて、 上記縦波音速測定手段は、 電気信号発生手段と、 所定の周期毎に上記電気信号発生手段からの信号を抜き
   取る抽出手段と、 上記抜き取られた信号を上記被測定物に接触して設けら
   れた固体カプラ音響レンズに送るための送出手段と、 上記被測定物からの反射波による信号を抜き取る抽出手
   段と、 上記反射波による信号から縦波音速を計算する計算手段
   とを有して成ることを特徴とする横波音速測定装置を用
   いたヤング率及び／又はポアソン比測定装置。
5. 【請求項５】 上記請求項１に記載の横波音速測定装置
   において、 上記漏洩表面弾性波音速測定手段は、 電気信号発生手段と、 所定の周期毎に上記電気信号発生手段からの信号を抜き
   取る抽出手段と、 上記抜き取られた信号を上記被測定物に液体を介して設
   けられた液体カプラ音響レンズに送るための送出手段
   と、 上記被測定物からの反射波による信号を抜き取る抽出手
   段と、 上記反射波による信号から漏洩表面弾性波音速を計算す
   る計算手段とを有して成ることを特徴とする横波音速測
   定装置。
6. 【請求項６】 上記請求項２に記載の横波音速測定装置
   を利用したヤング率及び／又はポアソン比測定装置にお
   いて、 上記漏洩表面弾性波音速測定手段は、 電気信号発生手段と、 所定の周期毎に上記電気信号発生手段からの信号を抜き
   取る抽出手段と、 上記抜き取られた信号を上記被測定物に液体を介して設
   けられた液体カプラ音響レンズに送るための送出手段
   と、 上記被測定物からの反射波による信号を抜き取る抽出手
   段と、 上記反射波による信号から漏洩表面弾性波音速を計算す
   る計算手段とを有して成ることを特徴とする横波音速測
   定装置を利用したヤング率及び／又はポアソン比測定装
   置。
7. 【請求項７】 上記請求項１に記載の横波音速測定装置
   において、 上記被測定物はステージ上に配置され、 上記ステージは２次元方向に移動可能とされ、 上記固体カプラ音響レンズ又は上記液体カプラ音響レン
   ズの焦点位置近傍に、上記被測定物を移動させる制御手
   段が上記ステージに連動して設けられ、 上記固体カプラ音響レンズ及び／又は上記液体カプラ音
   響レンズには、これを上記被測定物に対し近接離間する
   方向に移動させる移動手段が設けられ、 上記漏洩表面弾性波音速の測定時には上記液体カプラ音
   響レンズと上記被測定物との間隔を変化させる制御手段
   が上記移動手段に連動して設けられることを特徴とする
   横波音速測定装置。
8. 【請求項８】 上記請求項２に記載の横波音速測定装置
   を利用したヤング率及び／又はポアソン比測定装置にお
   いて、 上記被測定物はステージ上に配置され、 上記固体カプラ音響レンズ及び／又は上記液体カプラ音
   響レンズには、これを上記被測定物に対し近接離間する
   方向に移動させる移動手段が設けられ、 上記漏洩表面弾性波音速の測定時には上記液体カプラ音
   響レンズと上記被測定物との間隔を変化させる制御手段
   が上記移動手段に連動して設けられることを特徴とする
   横波音速測定装置を利用したヤング率及び／又はポアソ
   ン比測定装置。