JPS61105457A - 超音波顕微鏡 - Google Patents
超音波顕微鏡Info
- Publication number
- JPS61105457A JPS61105457A JP60237282A JP23728285A JPS61105457A JP S61105457 A JPS61105457 A JP S61105457A JP 60237282 A JP60237282 A JP 60237282A JP 23728285 A JP23728285 A JP 23728285A JP S61105457 A JPS61105457 A JP S61105457A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- support base
- cleaning
- recessed surface
- surface part
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/04—Analysing solids
- G01N29/06—Visualisation of the interior, e.g. acoustic microscopy
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、超音波顕微鏡、特に所定試料を研摩すること
のできる超音波顕微鏡等に関する。
のできる超音波顕微鏡等に関する。
近年Ｉ Ｇ Ｈｚに及ぶ超音周波の音波の発生検出がｉ
ｉＪ能となったので、水中で約１μｍの音波長が実現で
きることになり、その結果、高い分解能の音波撮像装置
が得られるようになった。即ち、凹面レンズを用いて集
束音波ビームを作り、１μｍに及ぶ高い分解能を実現す
るのである。
ｉＪ能となったので、水中で約１μｍの音波長が実現で
きることになり、その結果、高い分解能の音波撮像装置
が得られるようになった。即ち、凹面レンズを用いて集
束音波ビームを作り、１μｍに及ぶ高い分解能を実現す
るのである。
上記ビーム中に試料をそう人し、試料による反射超音波
を検出して試料の微細領域の弾性的性質を解明したり、
或は試料を機械的に２次元に走査しながら、この信号の
強度をブラウン管の輝度信号として表示すれば、試料の
微細構造を拡大して第１図は、その超音波顕微鏡の主要
構成部を示す図である。超音波の集束及び送受・は球面
レンズ１により行っているが、その構造は円柱状の熔融
石英等をもちいた物質の一面を光学研磨し、その上に上
下電極３によりはさまれたＺｎＯなとの圧電薄膜２を形
成する。このようにサンドウィッチ構造になっている圧
電薄膜２に、パルス発振器４から発生されたパルス５を
印加して、超音波６を発生させる。また、他端部は口径
０．１−φ〜１、Ｏｍφ程・度の凹面状の半球穴が形成
されており、この半球穴と試料との間には、超音波６を
試料７に伝播させるための媒質（例えば水）８が満され
ている。
を検出して試料の微細領域の弾性的性質を解明したり、
或は試料を機械的に２次元に走査しながら、この信号の
強度をブラウン管の輝度信号として表示すれば、試料の
微細構造を拡大して第１図は、その超音波顕微鏡の主要
構成部を示す図である。超音波の集束及び送受・は球面
レンズ１により行っているが、その構造は円柱状の熔融
石英等をもちいた物質の一面を光学研磨し、その上に上
下電極３によりはさまれたＺｎＯなとの圧電薄膜２を形
成する。このようにサンドウィッチ構造になっている圧
電薄膜２に、パルス発振器４から発生されたパルス５を
印加して、超音波６を発生させる。また、他端部は口径
０．１−φ〜１、Ｏｍφ程・度の凹面状の半球穴が形成
されており、この半球穴と試料との間には、超音波６を
試料７に伝播させるための媒質（例えば水）８が満され
ている。
圧電薄膜２によって発生した超音波６は円柱の中を平面
波となって伝播する。この平面波が半球穴に達すると石
英（音速６００ｍ／ｓ）と水（音速１５００ｍ／ｓ）と
の音速の差により屈折作用が生じ、試料７面上に集束し
た超音波６を照射することができる。逆に試料７から反
射されてくる超音波は球面レンズにより集音整相され、
平面波となって圧電薄膜２に達し、ここでＲＦ信号９に
変換される。このＲＦ信号９を受信器１０で受信し、こ
こでダイオード検波してビデオ信号１１に変換し、ＣＲ
Ｔディスプレイ１２の入力信号として用いている。
波となって伝播する。この平面波が半球穴に達すると石
英（音速６００ｍ／ｓ）と水（音速１５００ｍ／ｓ）と
の音速の差により屈折作用が生じ、試料７面上に集束し
た超音波６を照射することができる。逆に試料７から反
射されてくる超音波は球面レンズにより集音整相され、
平面波となって圧電薄膜２に達し、ここでＲＦ信号９に
変換される。このＲＦ信号９を受信器１０で受信し、こ
こでダイオード検波してビデオ信号１１に変換し、ＣＲ
Ｔディスプレイ１２の入力信号として用いている。
この様に構成された装置において、試料７が試料台駆動
電源１３によりｘ−ｙ平面内で２次元に走査していると
試料の走査にともなう試料面からの反射の強弱が２次元
的にＣ，Ｒ’Ｉ’而１面に表示される。
電源１３によりｘ−ｙ平面内で２次元に走査していると
試料の走査にともなう試料面からの反射の強弱が２次元
的にＣ，Ｒ’Ｉ’而１面に表示される。
而して、一般に超音波は物体の表面で一部分は反射する
が、かなりの部分は物体が光学的に透明かどうかに関係
なく、その中にはいってゆき、物体内部に存在する硬さ
や、密度、粘性の違いや欠陥などを反映したエコーとな
って返ってくる。この性質を利用して試料内部の様相を
検出できるのが超音波顕微鏡である。
が、かなりの部分は物体が光学的に透明かどうかに関係
なく、その中にはいってゆき、物体内部に存在する硬さ
や、密度、粘性の違いや欠陥などを反映したエコーとな
って返ってくる。この性質を利用して試料内部の様相を
検出できるのが超音波顕微鏡である。
上述のように構成された超音波顕微鏡を長時間にわたっ
て移動°させ、試料の観察を試みていると、圧電物質か
ら発生される超音波の強度は装置製作当初と変りないが
、取得される信号強度が徐々に減衰していることが判明
した。
て移動°させ、試料の観察を試みていると、圧電物質か
ら発生される超音波の強度は装置製作当初と変りないが
、取得される信号強度が徐々に減衰していることが判明
した。
この原因を究明してみると球面レンズの凹面部１に、媒
質中に含まれている不純物や、試料から放］ 射された物質（生物試料などの観察時に多い）な ゛ど
が付着するために凹球レンズ凹面境界での超音波の減衰
があることが判明した。
質中に含まれている不純物や、試料から放］ 射された物質（生物試料などの観察時に多い）な ゛ど
が付着するために凹球レンズ凹面境界での超音波の減衰
があることが判明した。
本発明は、以上の点を鑑みてなされたもので、その目的
は球面レンズの凹面部に付着した物質をとりのぞくこと
ができ、常に高い信号強度で試料の観察が行なえる超音
波顕微Ａを提供するにある。
は球面レンズの凹面部に付着した物質をとりのぞくこと
ができ、常に高い信号強度で試料の観察が行なえる超音
波顕微Ａを提供するにある。
本発明は超音波探触子の凹面部に対向して、洗浄用軟弱
物質を対向して移動可能に配置し、これに洗浄用液体及
び圧縮空気を供給するようにした構成に特徴を有する。
物質を対向して移動可能に配置し、これに洗浄用液体及
び圧縮空気を供給するようにした構成に特徴を有する。
第２図は本発明の一実施例を示す図である。図において
、試料７を搭載する試料台の下部に軟弱繊維束１４を支
持台１５に固定する。また支持台１５にはパイプ１６に
より、常時水などの洗浄用液体を供給している。また同
じく支持台に取りつけられているパイプ１７からは圧縮
空気が吐出できるような構成になっている１図では省略
したが、支持台１５は上下機構及び回転機械をもってい
る。
、試料７を搭載する試料台の下部に軟弱繊維束１４を支
持台１５に固定する。また支持台１５にはパイプ１６に
より、常時水などの洗浄用液体を供給している。また同
じく支持台に取りつけられているパイプ１７からは圧縮
空気が吐出できるような構成になっている１図では省略
したが、支持台１５は上下機構及び回転機械をもってい
る。
第３図は、本実施例により球面レンズの凹面部を洗浄し
ている状態を示すもので、試料７を搭載する試料台は側
方に退けられ支持台１５が矢印Ｒ□で示す如く上昇して
、その先端部に取りつけである繊維束１４が凹面部に接
触すると、支持台１５は矢印Ｒ２で示すように回転する
。所定時間回転すると、支持台１５は下がり、それと同
時にパイプ１７から圧縮空気（その強さはＩＫｇ／ｃ＋
＃）が吐出し、瞬時に凹面部に附着している水滴及び附
着部を吹きとばしてしまう。
ている状態を示すもので、試料７を搭載する試料台は側
方に退けられ支持台１５が矢印Ｒ□で示す如く上昇して
、その先端部に取りつけである繊維束１４が凹面部に接
触すると、支持台１５は矢印Ｒ２で示すように回転する
。所定時間回転すると、支持台１５は下がり、それと同
時にパイプ１７から圧縮空気（その強さはＩＫｇ／ｃ＋
＃）が吐出し、瞬時に凹面部に附着している水滴及び附
着部を吹きとばしてしまう。
以上述べた如く、本発明によれば、試料ｗｔ察中に球面
レンズの凹面部に附着した汚れの影響により、音波を適
確に集音することが困難であったものが容易に解決する
ことができる。
レンズの凹面部に附着した汚れの影響により、音波を適
確に集音することが困難であったものが容易に解決する
ことができる。
第１図は超音波顕微鏡の構成を示す図、第２図は本発明
の一実施例の構成を示す図、第３図は。 その動作を説明する図である。
の一実施例の構成を示す図、第３図は。 その動作を説明する図である。
Claims (1)
- １、音波伝播体の一端に凹面状の半球穴を設けて成り、
所定の焦点を有する音波レンズと、該音波レンズの焦点
近接に試料を保持する試料台を有し、前記音波レンズか
ら液体媒質を介して前記試料に超音波を照射し、前記試
料からのじょう乱音波により前記試料を撮像する超音波
顕微鏡において、洗浄用軟弱物質と、該洗浄軟弱物質を
保持し、かつ前記音波レンズの半球穴に向って移動して
前記半球穴に洗浄用軟弱物質を接触させるとともに回転
させる移動手段を有する支持台と、前記洗浄用軟弱物質
に洗浄用液体及び圧縮空気を供給する手段を備えたこと
を特徴とする超音波顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60237282A JPS61105457A (ja) | 1985-10-25 | 1985-10-25 | 超音波顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60237282A JPS61105457A (ja) | 1985-10-25 | 1985-10-25 | 超音波顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61105457A true JPS61105457A (ja) | 1986-05-23 |
| JPH0210379B2 JPH0210379B2 (ja) | 1990-03-07 |
Family
ID=17013078
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60237282A Granted JPS61105457A (ja) | 1985-10-25 | 1985-10-25 | 超音波顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61105457A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05169173A (ja) * | 1991-12-16 | 1993-07-09 | Honda Motor Co Ltd | カップ状歯付製品の成形方法 |
-
1985
- 1985-10-25 JP JP60237282A patent/JPS61105457A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05169173A (ja) * | 1991-12-16 | 1993-07-09 | Honda Motor Co Ltd | カップ状歯付製品の成形方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0210379B2 (ja) | 1990-03-07 |
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