JPS6097267A - 超音波顕微鏡の洗浄装置 - Google Patents
超音波顕微鏡の洗浄装置Info
- Publication number
- JPS6097267A JPS6097267A JP58206763A JP20676383A JPS6097267A JP S6097267 A JPS6097267 A JP S6097267A JP 58206763 A JP58206763 A JP 58206763A JP 20676383 A JP20676383 A JP 20676383A JP S6097267 A JPS6097267 A JP S6097267A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ultrasonic
- lens
- porous
- plastic body
- porous plastic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/04—Analysing solids
- G01N29/06—Visualisation of the interior, e.g. acoustic microscopy
-
- G—PHYSICS
- G10—MUSICAL INSTRUMENTS; ACOUSTICS
- G10K—SOUND-PRODUCING DEVICES; METHODS OR DEVICES FOR PROTECTING AGAINST, OR FOR DAMPING, NOISE OR OTHER ACOUSTIC WAVES IN GENERAL; ACOUSTICS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G10K11/00—Methods or devices for transmitting, conducting or directing sound in general; Methods or devices for protecting against, or for damping, noise or other acoustic waves in general
- G10K11/18—Methods or devices for transmitting, conducting or directing sound
- G10K11/26—Sound-focusing or directing, e.g. scanning
- G10K11/30—Sound-focusing or directing, e.g. scanning using refraction, e.g. acoustic lenses
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- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は超音波顕微鏡に係り、特に超音波集束レンズの
先端面に付着した汚れを洗浄するための洗浄装置に関す
る。
先端面に付着した汚れを洗浄するための洗浄装置に関す
る。
光の代りに超音波を用いて物体の微視的な構造を観察す
る装置として、機械走査形超音波顕微鏡がある。この超
音波顕微鏡は、原理的には細く絞った超音波ビームによ
って試料面を機械的に走査し、その試料により散乱され
た超音波を集音して電気信号に変換し、その信号を陰極
線管の表示画に二次元的に表示し、顕微鏡像を得るもの
である。走査する超音波としては、100■h〜1GH
2位の超音波ビームが用いられ、10μm〜1μm程度
の分解能が得られる。さらに、上記以上の周波数ビーム
を用いれば、さらに分解能を上げることも可能であり、
また超音波によって物体の内部俸を観察し得るという利
点も有している。
る装置として、機械走査形超音波顕微鏡がある。この超
音波顕微鏡は、原理的には細く絞った超音波ビームによ
って試料面を機械的に走査し、その試料により散乱され
た超音波を集音して電気信号に変換し、その信号を陰極
線管の表示画に二次元的に表示し、顕微鏡像を得るもの
である。走査する超音波としては、100■h〜1GH
2位の超音波ビームが用いられ、10μm〜1μm程度
の分解能が得られる。さらに、上記以上の周波数ビーム
を用いれば、さらに分解能を上げることも可能であり、
また超音波によって物体の内部俸を観察し得るという利
点も有している。
構成としては、超音波の検出の仕方によって、すなわち
試料内で散乱あるいは減衰しながら透過してきた超音波
を検出する場、合と、試料内の音響的性質の差によって
反射してきた超音波を検出する場合とによって、透過型
と反射型とに分けられる。
試料内で散乱あるいは減衰しながら透過してきた超音波
を検出する場、合と、試料内の音響的性質の差によって
反射してきた超音波を検出する場合とによって、透過型
と反射型とに分けられる。
第1図は反射型の超音波顕微鏡の構成図で、高周波発振
器1からの信号は方向性結合器2により送受兼用トラン
スジューサ3へ供給される。この信号は超音波に変換さ
れてこれが貼着された送受波兼用のサファイア等の超音
波伝搬媒体材から成る超音波集束レンズ4の一面より内
部に放射される。該超音波集束レンズ4の他面は球面状
にえぐられて球面レンズ部4aとされ、球面レンズ部4
aと対向して試料保持台5が配される。超音波集束レン
ズ4と前記保持台5との間には音場媒体である水6が介
在され、前記球面レンズ部4aの焦点において試料Tが
保持台5に取付けられる。
器1からの信号は方向性結合器2により送受兼用トラン
スジューサ3へ供給される。この信号は超音波に変換さ
れてこれが貼着された送受波兼用のサファイア等の超音
波伝搬媒体材から成る超音波集束レンズ4の一面より内
部に放射される。該超音波集束レンズ4の他面は球面状
にえぐられて球面レンズ部4aとされ、球面レンズ部4
aと対向して試料保持台5が配される。超音波集束レン
ズ4と前記保持台5との間には音場媒体である水6が介
在され、前記球面レンズ部4aの焦点において試料Tが
保持台5に取付けられる。
X及びY方向に移動することも可能である。走査装置8
は走査回路9により制御される。
は走査回路9により制御される。
上記構成においては、トランスジューサ3より超音波集
束レンズ4に入射された超音波は集束されて試料Tへ到
達し、その反射波は再び超音波集束レンズ4で集音され
、トランスジューサ3で電気信号に変換されて、前記方
向性結合器2を通って表示装置10へ供給されるように
なっている。
束レンズ4に入射された超音波は集束されて試料Tへ到
達し、その反射波は再び超音波集束レンズ4で集音され
、トランスジューサ3で電気信号に変換されて、前記方
向性結合器2を通って表示装置10へ供給されるように
なっている。
ところで、上述のような超音波顕微鏡では、観察時、前
記保持台5に試料7を載置し、超音波集束レンズ4と前
記保持台5との間に音場媒体となる水6を介在させて観
察を行うので、特に生体を観察した場合水6に混入した
成分が汚れとなって超音波集束レンズ4の球面レンズ部
4aに付着したり、またかびが発生したりして超音波出
力が低下し画像が劣化して正常な観察を行えないという
問題があった。
記保持台5に試料7を載置し、超音波集束レンズ4と前
記保持台5との間に音場媒体となる水6を介在させて観
察を行うので、特に生体を観察した場合水6に混入した
成分が汚れとなって超音波集束レンズ4の球面レンズ部
4aに付着したり、またかびが発生したりして超音波出
力が低下し画像が劣化して正常な観察を行えないという
問題があった。
従来、上記のような汚れが付着した場合は、超音波洗浄
によって球面レンズ部4aを洗浄するか或いは細い棒状
の部材で擦って汚れを取り去るようにしていた。
によって球面レンズ部4aを洗浄するか或いは細い棒状
の部材で擦って汚れを取り去るようにしていた。
しかしながら、球面レンズ部4aは凹面であり例えば超
音波周波数が1GHzの場合、球面が0゜1■ア一ル程
度であるため超音波洗浄によっては付着した汚れを充分
に取り去ることができず、このため棒状のもので球面部
分を人手によって擦って汚れを取り去るしかなく洗浄作
業が煩しかった。
音波周波数が1GHzの場合、球面が0゜1■ア一ル程
度であるため超音波洗浄によっては付着した汚れを充分
に取り去ることができず、このため棒状のもので球面部
分を人手によって擦って汚れを取り去るしかなく洗浄作
業が煩しかった。
本発明は上述した点にかんがみ、超音波集束レンズのレ
ンズ端面を機械的な操作によって容易に洗浄することが
できる超音波顕微鏡の洗浄装置を提供することである。
ンズ端面を機械的な操作によって容易に洗浄することが
できる超音波顕微鏡の洗浄装置を提供することである。
本発明の超音波顕微鏡の洗浄装置は、超音波集束レンズ
のレンズ端面に付着した汚れを洗浄するための装置であ
って、多孔質体より洗浄水を噴出させると共にこの多孔
質体を回転させながらレンズ端面に押し当てて洗浄する
ものである。
のレンズ端面に付着した汚れを洗浄するための装置であ
って、多孔質体より洗浄水を噴出させると共にこの多孔
質体を回転させながらレンズ端面に押し当てて洗浄する
ものである。
以下、図面に基づいて本発明の詳細な説明する0
第2図は本発明に係る超音波顕微鏡の洗浄装置を示す構
成図である。
成図である。
第2図において、符号4は第1図に示した超音波集束レ
ンズで、はぼ円柱状を成し、レンズ下方は円錐状となっ
ていて、その先端は球面状にえぐられて球面レンズ部4
aとされている。一方、この球面レンズ部4aの球面形
状に合うように先端面11aが球面状に形成された多孔
質プラスチック体11を21方向に棒状に構成し、この
棒状体11を台座部12を介在してモータ13の回転軸
に連結した構成となっている。台座部12は多孔質プラ
スチック体11及びモータ13回転軸の軸受の役目をし
ていて、モータ13の回転に伴ない多孔質プラスチック
体11は台座部12内で回転できるようになっている。
ンズで、はぼ円柱状を成し、レンズ下方は円錐状となっ
ていて、その先端は球面状にえぐられて球面レンズ部4
aとされている。一方、この球面レンズ部4aの球面形
状に合うように先端面11aが球面状に形成された多孔
質プラスチック体11を21方向に棒状に構成し、この
棒状体11を台座部12を介在してモータ13の回転軸
に連結した構成となっている。台座部12は多孔質プラ
スチック体11及びモータ13回転軸の軸受の役目をし
ていて、モータ13の回転に伴ない多孔質プラスチック
体11は台座部12内で回転できるようになっている。
台座部12の内部にはポンプ14より洗浄水が導入され
るようになっていて、導入された洗浄水は台座部12の
内部で多孔質プラスチック体11の下端面に供給され、
先端面11a及び外周面の細孔より外方へ噴出するよう
になっている。さらに、台座部12の側面にはZ方向に
ラック部15が配設された構成となっていて、このラッ
ク部15に噛合するピニオン16の回動によって台座部
12はZ方向に上下動可能とされ、洗浄時は多孔質プラ
スチック体11の先端面11aを超音波集束レンズ4の
球面レンズ部4aに押し当てることができるようになっ
ている。ピニオン16はその回転軸をモータなどの回転
手段に連結した構成とすることもでき、又その回転軸に
連結したつまみを人手によって回転するように構成して
もよい。
るようになっていて、導入された洗浄水は台座部12の
内部で多孔質プラスチック体11の下端面に供給され、
先端面11a及び外周面の細孔より外方へ噴出するよう
になっている。さらに、台座部12の側面にはZ方向に
ラック部15が配設された構成となっていて、このラッ
ク部15に噛合するピニオン16の回動によって台座部
12はZ方向に上下動可能とされ、洗浄時は多孔質プラ
スチック体11の先端面11aを超音波集束レンズ4の
球面レンズ部4aに押し当てることができるようになっ
ている。ピニオン16はその回転軸をモータなどの回転
手段に連結した構成とすることもでき、又その回転軸に
連結したつまみを人手によって回転するように構成して
もよい。
このような構成では、観察終了後又は前に、超音波集束
レンズ4下方の試料保持台5をX方向か又はY方向に移
動させた後、ビニオン16を回動させて多孔質プラスチ
ック体11の先端面11aを超音波集束レンズ4の球面
レンズ部4aに当接させ、ポンプ14より多孔質プラス
チック体11へ洗浄水を供給してその先端面11a及び
外周面より噴出させると共にモーター13を回して多孔
質ブラ体11の回転及び洗浄水によって洗浄される。
レンズ4下方の試料保持台5をX方向か又はY方向に移
動させた後、ビニオン16を回動させて多孔質プラスチ
ック体11の先端面11aを超音波集束レンズ4の球面
レンズ部4aに当接させ、ポンプ14より多孔質プラス
チック体11へ洗浄水を供給してその先端面11a及び
外周面より噴出させると共にモーター13を回して多孔
質ブラ体11の回転及び洗浄水によって洗浄される。
なお、多孔質プラスチック体11に代え、その他の多孔
質材料例えばガラス繊維9石綿なとの鉱物繊維材料を用
いて構成することも可能である。
質材料例えばガラス繊維9石綿なとの鉱物繊維材料を用
いて構成することも可能である。
以上述べたように本発明によれば、超音波集束レンズの
レンズ面に、多孔質体を押し当てて回転すると共に、こ
の多孔質体より洗浄水を噴射する装置を構成したので、
レンズ面に付着した汚れを機械的に取り去ることが可能
となり、従来の洗浄方法では落ちなかったかび等の汚れ
を人手をかけずに取り去ることができるという効果があ
る。
レンズ面に、多孔質体を押し当てて回転すると共に、こ
の多孔質体より洗浄水を噴射する装置を構成したので、
レンズ面に付着した汚れを機械的に取り去ることが可能
となり、従来の洗浄方法では落ちなかったかび等の汚れ
を人手をかけずに取り去ることができるという効果があ
る。
第1図は従来の超音波顕微鏡の一例を示す構成図、第2
図は本発明に係る超音波顕微鏡の洗浄装置を示す構成図
である。 4・・・超音波集束レンズ、4a・・・球面レンズ部、
11・・・多孔質体、 11a・・・先端面、12・・
・台座部、13・・・モータ、14・・・ポンプ、 1
5・・・ラック、16・・・ピニオン、
図は本発明に係る超音波顕微鏡の洗浄装置を示す構成図
である。 4・・・超音波集束レンズ、4a・・・球面レンズ部、
11・・・多孔質体、 11a・・・先端面、12・・
・台座部、13・・・モータ、14・・・ポンプ、 1
5・・・ラック、16・・・ピニオン、
Claims (1)
- 超音波集束レンズを用いて超音波を集束し、集束した超
音波ビームを走査して試料に対する反射波又は透過波を
受波し超音波画像として表示可能とする超音波顕微鏡に
おいて、超音波集束レンズのレンズ面に押し当てて洗浄
を行うための多孔質体と、この多孔質体を回転させるた
めの回転手段と、前記多孔質体へ洗浄水を供給するため
の供給手段とを具備したことを特徴とする超音波顕微鏡
の洗浄装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58206763A JPS6097267A (ja) | 1983-11-01 | 1983-11-01 | 超音波顕微鏡の洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58206763A JPS6097267A (ja) | 1983-11-01 | 1983-11-01 | 超音波顕微鏡の洗浄装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6097267A true JPS6097267A (ja) | 1985-05-31 |
Family
ID=16528680
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP58206763A Pending JPS6097267A (ja) | 1983-11-01 | 1983-11-01 | 超音波顕微鏡の洗浄装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6097267A (ja) |
-
1983
- 1983-11-01 JP JP58206763A patent/JPS6097267A/ja active Pending
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