JPS6098358A - 超音波顕微鏡用試料台装置 - Google Patents
超音波顕微鏡用試料台装置Info
- Publication number
- JPS6098358A JPS6098358A JP58207142A JP20714283A JPS6098358A JP S6098358 A JPS6098358 A JP S6098358A JP 58207142 A JP58207142 A JP 58207142A JP 20714283 A JP20714283 A JP 20714283A JP S6098358 A JPS6098358 A JP S6098358A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- water
- ultrasonic
- sample stage
- stage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/22—Details, e.g. general constructional or apparatus details
- G01N29/28—Details, e.g. general constructional or apparatus details providing acoustic coupling, e.g. water
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2291/00—Indexing codes associated with group G01N29/00
- G01N2291/26—Scanned objects
- G01N2291/269—Various geometry objects
- G01N2291/2697—Wafer or (micro)electronic parts
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
- Measurement Of Velocity Or Position Using Acoustic Or Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の技術分野］
本発明は、集積回路ウェハー等の薄い板状試月を能串良
く観察あるいは検査可能と覆る超音波顕微鏡用試料台装
置に関する。
く観察あるいは検査可能と覆る超音波顕微鏡用試料台装
置に関する。
［発明の技術的背景とその問題点１
光の代りに超音波を用いて物体の微視的な構造を観察し
ようという考えが古くからあり、最近閂械走査形超音波
顕微鏡が開光された。この超音波顕微鏡は、原理的には
細く絞った超高周波超音波ビームによって試料面を機械
的に走査し、ぞの試１′８１により散乱された超音波を
集音して電気信号に変扮し、その信号を陰極線管等の表
示面に二次元的に表示し、顕１紋鏡像を得るのｒ：ある
。構成としては超音波の検出の仕方によって、すなわち
試Ｆｌ内で散乱あるいは減衰しながら透過してきた超音
波を検出する場合と、試料内の音冑的Ｉｉ買の差によっ
て反射してきた超音波を検出する場合とによって、透過
型と反射型とに分けられる。
ようという考えが古くからあり、最近閂械走査形超音波
顕微鏡が開光された。この超音波顕微鏡は、原理的には
細く絞った超高周波超音波ビームによって試料面を機械
的に走査し、ぞの試１′８１により散乱された超音波を
集音して電気信号に変扮し、その信号を陰極線管等の表
示面に二次元的に表示し、顕１紋鏡像を得るのｒ：ある
。構成としては超音波の検出の仕方によって、すなわち
試Ｆｌ内で散乱あるいは減衰しながら透過してきた超音
波を検出する場合と、試料内の音冑的Ｉｉ買の差によっ
て反射してきた超音波を検出する場合とによって、透過
型と反射型とに分けられる。
第１図は反釦型の超音波顕微鏡の原理図で、高周波発振
器１からの信号は方向性結合器又はサーキュレータ２に
より送受兼用の超音波トランスジューサ３へ１八給され
る。この１ｘ号は超音波に変換されてこれが一方の面（
上端面）に貼着された送受波兼用のサファイア等の超音
波伝搬媒体材から成る超音波集束レンズ（音響レンズ）
４の一面より内部にｔＩｌ剣され、他面側に送波される
。この音響レンズ４の他面は球面状にえぐられて球面レ
ンズ部４ａとされ、球面レンズ部４ａと対向して試料保
持板５が配置されるようになっている。音響レンズ４と
前記保持板５との間には超音波伝搬媒体である水６が介
在され、前記球面し〉″ズ部４ａの焦点位置に、試料７
が保持板５に取付けできるようになっている。上記保持
板５は走査装置８てＸ及びＹ方向に移動され二次元的に
平面を走査でるようになっている。勿論、保持板５の代
りに音響レンズ４をＸ及びＹ方向に移動することも可能
であるし、例えば音響レンズ４をＸ方向に移動し、一方
保持板５をＹ方向に移動するようにづることもできる。
器１からの信号は方向性結合器又はサーキュレータ２に
より送受兼用の超音波トランスジューサ３へ１八給され
る。この１ｘ号は超音波に変換されてこれが一方の面（
上端面）に貼着された送受波兼用のサファイア等の超音
波伝搬媒体材から成る超音波集束レンズ（音響レンズ）
４の一面より内部にｔＩｌ剣され、他面側に送波される
。この音響レンズ４の他面は球面状にえぐられて球面レ
ンズ部４ａとされ、球面レンズ部４ａと対向して試料保
持板５が配置されるようになっている。音響レンズ４と
前記保持板５との間には超音波伝搬媒体である水６が介
在され、前記球面し〉″ズ部４ａの焦点位置に、試料７
が保持板５に取付けできるようになっている。上記保持
板５は走査装置８てＸ及びＹ方向に移動され二次元的に
平面を走査でるようになっている。勿論、保持板５の代
りに音響レンズ４をＸ及びＹ方向に移動することも可能
であるし、例えば音響レンズ４をＸ方向に移動し、一方
保持板５をＹ方向に移動するようにづることもできる。
上記走査装置８は走査回路９によって制御されるように
なっている。
なっている。
上記超音波トランスジューサ３より音響レンズ４に入射
された超音波は集束されて試料７へ到達する。その反射
波は再び音響レンズ４で集音され、トランスジューサ３
で電気信号に変換されて、前記方向性結合器２を通って
表示装置１０へ供給される。
された超音波は集束されて試料７へ到達する。その反射
波は再び音響レンズ４で集音され、トランスジューサ３
で電気信号に変換されて、前記方向性結合器２を通って
表示装置１０へ供給される。
ところで、上述のような超音波顕微鏡においで、音響レ
ンズの球面レンズ部４ａど試料どの間に介在される超音
波伝達用液体として用いられる水の温度が異ると、第２
図及び第３図に示１ように高速Ｃが大きく変化したり、
各周波数すにおいて減衰量αが大きく変化するため、周
囲の瀾度変１し又は観察中の）品度変１ヒによって焦点
位置がずれたり、減衰量αが変化して不鮮明な像になっ
たり、不均一な濃度分布によっても不鮮明な像になる等
の不都合が生じることがあった。
ンズの球面レンズ部４ａど試料どの間に介在される超音
波伝達用液体として用いられる水の温度が異ると、第２
図及び第３図に示１ように高速Ｃが大きく変化したり、
各周波数すにおいて減衰量αが大きく変化するため、周
囲の瀾度変１し又は観察中の）品度変１ヒによって焦点
位置がずれたり、減衰量αが変化して不鮮明な像になっ
たり、不均一な濃度分布によっても不鮮明な像になる等
の不都合が生じることがあった。
上記不都合は、試料保持台を加熱器等で加熱して一定温
度に保持すれば、略解消できるが、集積回路（ＩＣ）ウ
ェハー等のように製造工（？中にあって各工程を終える
ごとに順次移動される試料にあつＣは、上述の加熱器で
は試！３Ｉが音響レンズの直下に設定されても、介在さ
れる水が一定調度に設定されるまでに詩間がかかり、超
音波顕微鏡による迅速なｉ！察あるいは検査できないた
め、製ｊｈラインの速度が低下してしまうという欠点が
あった。又、水滴状にわずかにｆｒ在される水では、加
熱によって熱弁した際に水垢等が残り、試料を汚す−と
いう欠点が生じる。
度に保持すれば、略解消できるが、集積回路（ＩＣ）ウ
ェハー等のように製造工（？中にあって各工程を終える
ごとに順次移動される試料にあつＣは、上述の加熱器で
は試！３Ｉが音響レンズの直下に設定されても、介在さ
れる水が一定調度に設定されるまでに詩間がかかり、超
音波顕微鏡による迅速なｉ！察あるいは検査できないた
め、製ｊｈラインの速度が低下してしまうという欠点が
あった。又、水滴状にわずかにｆｒ在される水では、加
熱によって熱弁した際に水垢等が残り、試料を汚す−と
いう欠点が生じる。
［発明の目的］
本発明は上述した点にかｌυがみＣなされｔ＝ シので
、ＩＣウェハー等の薄板状試２３１に対しても能率良く
観察可能にすると共に、温度にょる悪彰空を防止し１ワ
る超音波顕１欣繞用試判台装置を提１バゴることを目的
とする。
、ＩＣウェハー等の薄板状試２３１に対しても能率良く
観察可能にすると共に、温度にょる悪彰空を防止し１ワ
る超音波顕１欣繞用試判台装置を提１バゴることを目的
とする。
［発明の概要コ
本発明は試料全体を試料台と共に、水中に（１ｊＷ可能
にすると共に、水温を一定）温度に保持する調度制御手
段と、水を浄化する手段とを形成することによって、製
造工程中にあって迅速な観察あるいは検査を必要とされ
るＩＣウェハー等の試１′】１にも対処できるようにし
である。
にすると共に、水温を一定）温度に保持する調度制御手
段と、水を浄化する手段とを形成することによって、製
造工程中にあって迅速な観察あるいは検査を必要とされ
るＩＣウェハー等の試１′】１にも対処できるようにし
である。
［発明の実施例コ
以下、図面を参照して本発明を異体的に説明づる。
箸４図は本発明の第１実施例を示す。
カロ振ｔｉＪ１１に、Ｊ＝っＴ、Ｒ７１［Ｉ Ｊｉ ｌ
！１１１ （７） Ｎ ８ ￥＊ １２の端部側に取付
けられた音響レンズ１３を１〈平面内において例えばＸ
方向に）（）って振ｉ＃ＩＩ！Ｉるように走査し、一方
、加振機１１自体が図示しない自動送り装置にてＹ方向
に自動的に送り出されることによって、音響レンズ１３
のＬ部に取ＣＩ目られた圧電振動子１４から送出される
超音波を音響レンズ１３の球面レンズ部１３ａ側から該
球面レンズ部１３ａに対向する下方の試料１５側に２次
元平面を走査するように送出できるようになつ一？ｌ）
る。
！１１１ （７） Ｎ ８ ￥＊ １２の端部側に取付
けられた音響レンズ１３を１〈平面内において例えばＸ
方向に）（）って振ｉ＃ＩＩ！Ｉるように走査し、一方
、加振機１１自体が図示しない自動送り装置にてＹ方向
に自動的に送り出されることによって、音響レンズ１３
のＬ部に取ＣＩ目られた圧電振動子１４から送出される
超音波を音響レンズ１３の球面レンズ部１３ａ側から該
球面レンズ部１３ａに対向する下方の試料１５側に２次
元平面を走査するように送出できるようになつ一？ｌ）
る。
上記試料１５は、例えば′ｔＡ造工程中にある薄板状の
ＩＣウェハーであって、第１実施例に係る超音波顕微鏡
で検査する工程に送られて来ると、１＜キュームチャツ
ク等で第１実施例の試料台装置１６に装着されるように
なっている。
ＩＣウェハーであって、第１実施例に係る超音波顕微鏡
で検査する工程に送られて来ると、１＜キュームチャツ
ク等で第１実施例の試料台装置１６に装着されるように
なっている。
上記第１実施例の試料台装置１Ｇは、試料１５を水平状
に載置可能とする試料台１７を、該試わ１台１７上に載
置された試料１５と共に上部側が開口する容器１８内に
収納できるようになっている。
に載置可能とする試料台１７を、該試わ１台１７上に載
置された試料１５と共に上部側が開口する容器１８内に
収納できるようになっている。
上記容器１８内には、載置された試料１５を完全に浸漬
可能とする高さまで蒸留された清浄な水１９が入れであ
る。
可能とする高さまで蒸留された清浄な水１９が入れであ
る。
上記試料台１７は中空構造にされでいて、試料１５が置
かれる載置面となる上端面には図示のように多数の透孔
２０．２０．・・・が形成され、一方正端側は例えば容
器１８の底部側から可撓性の中空ホース２１を経て吸引
ポンプ２２に接続され、該吸引ポンプ２２にて水１９を
吸引できるようになっている。
かれる載置面となる上端面には図示のように多数の透孔
２０．２０．・・・が形成され、一方正端側は例えば容
器１８の底部側から可撓性の中空ホース２１を経て吸引
ポンプ２２に接続され、該吸引ポンプ２２にて水１９を
吸引できるようになっている。
又、上記容器１８の例えば底部には開口づる口金が形成
され、該口金に接続された可撓性のホース２３を介して
水循環ポンプ２４と連結され、容器１８内の水１９及び
上記吸引ポンプ２２から送り出される水１９を吸引して
出口側から排出し、途中に介装した温度制御手段２５を
経て再び容器１８の側部に戻すことができる循ＦＭ経路
が形成されている。
され、該口金に接続された可撓性のホース２３を介して
水循環ポンプ２４と連結され、容器１８内の水１９及び
上記吸引ポンプ２２から送り出される水１９を吸引して
出口側から排出し、途中に介装した温度制御手段２５を
経て再び容器１８の側部に戻すことができる循ＦＭ経路
が形成されている。
上記温度制御手段２５は、例えば九十九折り状の管の外
周にヒータを巻き付けた加熱器と、試料台１７に取付け
た温度センサ２６の検出出力にて加熱器へ供給する電力
を制御して容器１８内の水温を一定に保持できるように
しである。
周にヒータを巻き付けた加熱器と、試料台１７に取付け
た温度センサ２６の検出出力にて加熱器へ供給する電力
を制御して容器１８内の水温を一定に保持できるように
しである。
上記吸引ポンプ２２は、水１９を試料台１７内の中空部
側に吸い込むことによって、試ｆ１１５の中央部が上部
側に膨らんだり、周辺部側が上部１１１１に膨らｌυだ
りづる習癖を示す通常のＩＣウェハーに対しても図示の
如く、各透孔２０側に吸引しＣ平面状の上端面に密着さ
せることができ、接着剤等用いることなく簡単に平面状
に設定できるようになっている。
側に吸い込むことによって、試ｆ１１５の中央部が上部
側に膨らんだり、周辺部側が上部１１１１に膨らｌυだ
りづる習癖を示す通常のＩＣウェハーに対しても図示の
如く、各透孔２０側に吸引しＣ平面状の上端面に密着さ
せることができ、接着剤等用いることなく簡単に平面状
に設定できるようになっている。
又、上記循環ポンプ２４を用いて水１９を循環させてい
ると共に、温度１１御手段２５にて容器１８内の水１９
を一定温度に保持づるようにしであるので、周囲の温度
が変化等しても水温は一定に保持され、従って音速Ｃ及
び伝播の際の減衰帛αも一定に保持して鮮明な超音波顕
微鏡像を１りることかできるＪ：うになっている。とこ
ろで、循環経路における例えば循環ポンプ２４の出口側
には図示しないフィルタが介装されており、水１９内の
水垢等を除去して正常な水１９のみを容器１８側に戻し
て浄化された状態に維持でさるＪ：うになつＣいる。
ると共に、温度１１御手段２５にて容器１８内の水１９
を一定温度に保持づるようにしであるので、周囲の温度
が変化等しても水温は一定に保持され、従って音速Ｃ及
び伝播の際の減衰帛αも一定に保持して鮮明な超音波顕
微鏡像を１りることかできるＪ：うになっている。とこ
ろで、循環経路における例えば循環ポンプ２４の出口側
には図示しないフィルタが介装されており、水１９内の
水垢等を除去して正常な水１９のみを容器１８側に戻し
て浄化された状態に維持でさるＪ：うになつＣいる。
尚、加振機１′１は上下方向（２方向）に可動できるよ
うになつＣいる。
うになつＣいる。
、−の上−″ｌｌ−１階−六１＋ １−笛゛１宝飾ｆ側
Ｌ−十りげ一製造工程中にあって迅速な超音波による検
査が必要とされるＩＣウェハー等の試料１５にあっても
、この検査工程に送られて来た試料１５をバキュームチ
ェックで保持して試料台１７に載置すると、吸引ポンプ
２２によって試料台１７の中空部側が負圧にされて試料
１５が上端面に密着されて平面状に保持される。又、こ
の容器１８内の水１９は一定温度に保持されているので
、直ちに超音波顕微鏡による検査を行うことが可能な状
態になる。
Ｌ−十りげ一製造工程中にあって迅速な超音波による検
査が必要とされるＩＣウェハー等の試料１５にあっても
、この検査工程に送られて来た試料１５をバキュームチ
ェックで保持して試料台１７に載置すると、吸引ポンプ
２２によって試料台１７の中空部側が負圧にされて試料
１５が上端面に密着されて平面状に保持される。又、こ
の容器１８内の水１９は一定温度に保持されているので
、直ちに超音波顕微鏡による検査を行うことが可能な状
態になる。
従って、加振機１１を移動して音響レンズ１３の球面レ
ンズ部１３ａを試料１５の上方に手動又は自動的に設定
すれば、あるいは試料台装＠１６側を移動設定すれば温
度による悪影響を受けることなく、常に鮮明な像で検査
することができる。又、試料１５は清浄に保持される水
１９内にあるので塵埃等が付かないで汚れることもなく
、又水垢が付くこともなく迅速に検査でき、次の工程に
移動させることができる。
ンズ部１３ａを試料１５の上方に手動又は自動的に設定
すれば、あるいは試料台装＠１６側を移動設定すれば温
度による悪影響を受けることなく、常に鮮明な像で検査
することができる。又、試料１５は清浄に保持される水
１９内にあるので塵埃等が付かないで汚れることもなく
、又水垢が付くこともなく迅速に検査でき、次の工程に
移動させることができる。
尚、上述の第１実施例は製造工程における検査に広く適
用できるものである。
用できるものである。
第５図は本発明の第２実施例を示す。
この第２実施例の試料台装置３１においては、例えば上
記第１実施例の試料台装置１６において、試料台１７の
上端面に円板状載置板３２が配設され、大きさの異る試
料３３にも対処できるようにしである。
記第１実施例の試料台装置１６において、試料台１７の
上端面に円板状載置板３２が配設され、大きさの異る試
料３３にも対処できるようにしである。
即ち、第６図に示すように、試料台１７には円の中心か
ら適宜距離に対称的に、例えば４個の透孔２０．２０，
２０．２０が設けられ、その内側の対称的な４謹所にも
透孔２０−．２１．２０＋、２０’″が設けられている
。
ら適宜距離に対称的に、例えば４個の透孔２０．２０，
２０．２０が設けられ、その内側の対称的な４謹所にも
透孔２０−．２１．２０＋、２０’″が設けられている
。
一方、＠！：置板３２にも、上記各透孔２０，２０′に
対応する位置にそれぞれ同形状の透孔３４゜３４′がそ
れぞれ形成されていると共に、載置板３２を若干回動じ
た各位置には内側の各透孔２０′Ｊ−りも小さい円形状
の各透孔３５が形成されＣいる。従って、載置板３２の
外周の適宜箇所に設けた取手３Ｇが破線の位置にある場
合には、試ｒＩ１台１７側の各透孔２０．２０−は開口
づる状態（二保持され、この場合には上記第１実施例の
ように大きい形状の試Ｆ１１５を用いる場合に適づる。
対応する位置にそれぞれ同形状の透孔３４゜３４′がそ
れぞれ形成されていると共に、載置板３２を若干回動じ
た各位置には内側の各透孔２０′Ｊ−りも小さい円形状
の各透孔３５が形成されＣいる。従って、載置板３２の
外周の適宜箇所に設けた取手３Ｇが破線の位置にある場
合には、試ｒＩ１台１７側の各透孔２０．２０−は開口
づる状態（二保持され、この場合には上記第１実施例の
ように大きい形状の試Ｆ１１５を用いる場合に適づる。
一方、取手３６を実線の位置に回動づると、外側の各透
孔２０は閉塞され、内側の各透孔２０−が透孔３４′の
面積だけ開口する状態になり、小さい形状の試料３３に
適したものとなる。その他の構成は上記第１実施例と略
同様であり、同一部材には同符号が付けである。上記第
２実施例によれば、上記第１実施例の作用効果の他に、
大きさの異る試料に対しても対処できるものとなる。
孔２０は閉塞され、内側の各透孔２０−が透孔３４′の
面積だけ開口する状態になり、小さい形状の試料３３に
適したものとなる。その他の構成は上記第１実施例と略
同様であり、同一部材には同符号が付けである。上記第
２実施例によれば、上記第１実施例の作用効果の他に、
大きさの異る試料に対しても対処できるものとなる。
尚、各透孔２０，２０＝、３４．３４−．３５等の形状
及び大きさは上述のものに限定されるものではない。
及び大きさは上述のものに限定されるものではない。
又、上記第２実施例において、ざらに透孔２０゜２０−
．３４．３４′等を増加させたりし−（心良いし、取手
３６をさらに回動することによってより細かく、大きさ
の異る試料に対９Ｂできるようにすることもできる。又
、上記載置板３２を回動操作によって、大きさの異る試
料に対処できるようにするものに限定されるものでなく
、適宜方向１・二移動することによって開口する部分を
８１節できるようにすることもできる。
．３４．３４′等を増加させたりし−（心良いし、取手
３６をさらに回動することによってより細かく、大きさ
の異る試料に対９Ｂできるようにすることもできる。又
、上記載置板３２を回動操作によって、大きさの異る試
料に対処できるようにするものに限定されるものでなく
、適宜方向１・二移動することによって開口する部分を
８１節できるようにすることもできる。
尚、容器′１８．試石台１７等の形状も上述のものに限
定されるものではない。
定されるものではない。
尚、本発明は製造工程等に用いるものでなく、大きさの
異るもの等個々の試料に用いる場合にも適用できるもの
であるし、さらに非常に小さな試料に用いる場合には試
料を板状部↑イに接着等すれば、上述と同様に用いるこ
とができる。
異るもの等個々の試料に用いる場合にも適用できるもの
であるし、さらに非常に小さな試料に用いる場合には試
料を板状部↑イに接着等すれば、上述と同様に用いるこ
とができる。
又、上述のように板状部材に固定した場合・とか、平面
状であって、載置したのみでも平面状に保持するものに
あっては吸引して平板状に保持する手段を必ずしも必要
どするものでなく、本発明はその場合も含むものである
。
状であって、載置したのみでも平面状に保持するものに
あっては吸引して平板状に保持する手段を必ずしも必要
どするものでなく、本発明はその場合も含むものである
。
又、上述の各実施例においては、容器１８内の水１９は
循環されて且つフィルタ等の浄化手段で塵埃、水垢等を
除去して浄化された状態に維持できるようにしであるが
、一方ｆ）１１ろ水を補充し、他方から排水して循環さ
せることなく浄化された状ｇを維持しＣ乞食いし、小さ
な試料等に用いたり、観察する試料の数量が多くない場
合には試料に対し容器１８内の水１９の量は充分多いの
で循環して、浄化する等の１９化手段を形成しなくでも
充分有効であり、この場合も本発明に属づるらのＣある
。
循環されて且つフィルタ等の浄化手段で塵埃、水垢等を
除去して浄化された状態に維持できるようにしであるが
、一方ｆ）１１ろ水を補充し、他方から排水して循環さ
せることなく浄化された状ｇを維持しＣ乞食いし、小さ
な試料等に用いたり、観察する試料の数量が多くない場
合には試料に対し容器１８内の水１９の量は充分多いの
で循環して、浄化する等の１９化手段を形成しなくでも
充分有効であり、この場合も本発明に属づるらのＣある
。
尚、上記超音波伝達用の液体としては水に限定されるも
のでなく、水溶液その池の液体にも利用できるしのであ
る。
のでなく、水溶液その池の液体にも利用できるしのであ
る。
［発明の効果コ
以上述べたように本発明によれは、試料台を試料と共に
容器内の超音波伝達用液体に１１るＪ、うにしであるの
で、温度による悪彰胃を受りることなく、迅速に観察あ
るいは検査することができる。又、吸引手段にてＩＣウ
ェハー等の薄板払晶Ｉ：利の場合にも迅速に観察可能な
状態にリフ定できる。
容器内の超音波伝達用液体に１１るＪ、うにしであるの
で、温度による悪彰胃を受りることなく、迅速に観察あ
るいは検査することができる。又、吸引手段にてＩＣウ
ェハー等の薄板払晶Ｉ：利の場合にも迅速に観察可能な
状態にリフ定できる。
【図面の簡単な説明】
負〕１図は超音波顕微鏡の原理を示づ説明図、第２図は
水中を伝播させた場合における音ｊＩ及び訂衰但の温度
依存性を示づ特性図、第３図は温巴をパラメータとする
各周波数にお（ブる減衰特性を示す特性図、第４図は本
発明の第１実施例の４ｎ成を一部切欠いて示す概略側面
図、第５図及び第６図は本発明の第２実施例に係り、第
５図は第２実施例の一部を切欠いて示す概略側面図、第
６図は第５図にお（プる試料台装置を示ツ平面図である
。 １１・・・加振機 １２・・・駆動軸 １３・・・音響レンズ １４・・・圧電振動子１５．３
３・・・試料 １６．３１・・・試料台装置１７・・・
試料台 １８・・・容器 １９・・・水 ２０．２０＝、３４．３４−．３５・・・透孔２１．２
３・・・ホース ２２・・・吸引ポンプ２４・・・循環
ポンプ ２５・・・）品度制胛手段２６・・・温度セン
サ ３２・・・載置機３６・・・取手
水中を伝播させた場合における音ｊＩ及び訂衰但の温度
依存性を示づ特性図、第３図は温巴をパラメータとする
各周波数にお（ブる減衰特性を示す特性図、第４図は本
発明の第１実施例の４ｎ成を一部切欠いて示す概略側面
図、第５図及び第６図は本発明の第２実施例に係り、第
５図は第２実施例の一部を切欠いて示す概略側面図、第
６図は第５図にお（プる試料台装置を示ツ平面図である
。 １１・・・加振機 １２・・・駆動軸 １３・・・音響レンズ １４・・・圧電振動子１５．３
３・・・試料 １６．３１・・・試料台装置１７・・・
試料台 １８・・・容器 １９・・・水 ２０．２０＝、３４．３４−．３５・・・透孔２１．２
３・・・ホース ２２・・・吸引ポンプ２４・・・循環
ポンプ ２５・・・）品度制胛手段２６・・・温度セン
サ ３２・・・載置機３６・・・取手
Claims (4)
- （１）超音波顕微鏡用の試料台１置において、超音波を
伝達でる液体を収容する容器内に、試料ど共に試料台を
浸漬可能に収納し、且つ前記容器内。 の液体の湿度を一定に保持する温度制御手段を設けたこ
とを特徴とする超音波顕微鏡用試料台装置。 - （２）前記試料台は、試料かｒＩｙ、置される端面に透
孔を形成して内側の中空部と連通ずると共に、該中空部
内の液体を吸引ポンプにて吸引可能に形成づることによ
って、前記端面に載置される薄板状試ｔ１を平板状に吸
引保持可能としたことを特徴とする特許請求の範囲第１
項記載の超音波顕微鏡用試料台装置。 - （３）前記試ｒ１台は、上記端面に移動可能な載置板を
介装して試ｒ１を１１−ると其に、ｎ・Ｊ記載＠板は移
動にＪ、って、試料台に形成された透孔における開閉さ
れる部分を制器可能どすることを特徴とする特許請求の
範囲第２項記載の超音波顕１放鎮用試オ′」自装置。 - （４）前記容器に収容される液１本は、循ｌ嘆ボンノに
よって循環され、且つ途中のフィルタ等の）７化手段に
て水垢、塵埃等を除去して浄化された状態に維持される
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の超音波顕
微鏡用試料台装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58207142A JPS6098358A (ja) | 1983-11-02 | 1983-11-02 | 超音波顕微鏡用試料台装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58207142A JPS6098358A (ja) | 1983-11-02 | 1983-11-02 | 超音波顕微鏡用試料台装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6098358A true JPS6098358A (ja) | 1985-06-01 |
| JPH0465978B2 JPH0465978B2 (ja) | 1992-10-21 |
Family
ID=16534896
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58207142A Granted JPS6098358A (ja) | 1983-11-02 | 1983-11-02 | 超音波顕微鏡用試料台装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6098358A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63111455A (ja) * | 1986-10-30 | 1988-05-16 | Olympus Optical Co Ltd | 超音波顕微鏡 |
| EP2807069A4 (en) * | 2012-02-28 | 2015-09-30 | Sperry Rail Inc | SYSTEM AND METHOD FOR THE NON-DESTRUCTIVE TESTING OF RAILWAY RAILS USING LIQUID-FILLED ULTRASONIC EQUIPMENT MOUNTED AT TEMPERATURE CONSTANT TEMPERATURES |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5655017B2 (ja) * | 2012-02-20 | 2015-01-14 | 株式会社日立パワーソリューションズ | ワーク吸着固定装置および超音波検査システム |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5113774U (ja) * | 1974-07-19 | 1976-01-31 | ||
| JPS57182645A (en) * | 1981-05-07 | 1982-11-10 | Olympus Optical Co Ltd | Ultrasonic microscope |
| JPS5815151A (ja) * | 1981-07-22 | 1983-01-28 | Hitachi Ltd | 超音波顕微鏡 |
-
1983
- 1983-11-02 JP JP58207142A patent/JPS6098358A/ja active Granted
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5113774U (ja) * | 1974-07-19 | 1976-01-31 | ||
| JPS57182645A (en) * | 1981-05-07 | 1982-11-10 | Olympus Optical Co Ltd | Ultrasonic microscope |
| JPS5815151A (ja) * | 1981-07-22 | 1983-01-28 | Hitachi Ltd | 超音波顕微鏡 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63111455A (ja) * | 1986-10-30 | 1988-05-16 | Olympus Optical Co Ltd | 超音波顕微鏡 |
| EP2807069A4 (en) * | 2012-02-28 | 2015-09-30 | Sperry Rail Inc | SYSTEM AND METHOD FOR THE NON-DESTRUCTIVE TESTING OF RAILWAY RAILS USING LIQUID-FILLED ULTRASONIC EQUIPMENT MOUNTED AT TEMPERATURE CONSTANT TEMPERATURES |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0465978B2 (ja) | 1992-10-21 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7530271B2 (en) | Method and apparatus for coupling ultrasound between an integral ultrasonic transducer assembly and an object | |
| US20020189359A1 (en) | System and method for ultrasonic immersion inspection of components | |
| JPS6129509B2 (ja) | ||
| JPS6098358A (ja) | 超音波顕微鏡用試料台装置 | |
| US4563900A (en) | Acoustic microscope | |
| JPH08146299A (ja) | 液中検体検出装置 | |
| JPH0330105B2 (ja) | ||
| WO2021149127A1 (ja) | 赤血球分化モニタリング装置および赤血球分化モニタリング方法 | |
| JP2005043107A (ja) | 超音波映像検査装置 | |
| JP2005351723A (ja) | 超音波探傷装置 | |
| CN1034694C (zh) | 透明材料无损检测的光散射层析术及其装置 | |
| JPS61241659A (ja) | 検査装置 | |
| JPS5928361Y2 (ja) | 超音波顕微鏡用試料保持台 | |
| JPS5928362Y2 (ja) | 超音波顕微鏡 | |
| JPS61105457A (ja) | 超音波顕微鏡 | |
| JPS60171456A (ja) | 超音波顕微鏡等の試料処理方法 | |
| JP2003185640A (ja) | 試料保持具ケース、超音波映像検査装置、および超音波映像検査方法 | |
| JPS5815151A (ja) | 超音波顕微鏡 | |
| JPH04249761A (ja) | 異物検査装置 | |
| JPH0365495B2 (ja) | ||
| JPS6342742B2 (ja) | ||
| JP2006055396A (ja) | 蛍光断層画像計測装置 | |
| JP2004077341A (ja) | 超音波映像検査方法および超音波映像検査装置 | |
| JPS60111152A (ja) | 超音波顕微鏡 | |
| JPS6188144A (ja) | 超音波顕微鏡 |