JP6474048B2 - エピタキシャルウェーハの製造方法 - Google Patents
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Description
法線が[100]軸に対して[001]又は[00−1]方向に角度θ、かつ、[100]軸に対して[010]又は[0−10]方向に角度φ、傾斜する主表面を有するシリコン単結晶基板を準備する工程と、
前記シリコン単結晶基板にエピタキシャル層を成長する工程と、
を備え、
前記準備する工程は、前記角度θ又は前記角度φの一方が20´を超え、かつ、30´未満であり、他方が30´未満である前記シリコン単結晶基板を準備し、
前記エピタキシャル層の成長速度が1μm/minより大きいことを特徴とする。
法線が[100]軸に対して[011]又は[0−1−1]方向に角度α、かつ、[100]軸に対して[0−11]又は[01−1]方向に角度β、傾斜する主表面を有するシリコン単結晶基板を準備する工程と、
前記シリコン単結晶基板にエピタキシャル層を成長する工程と、
を備え、
前記準備する工程は、前記角度α又は前記角度βの一方が20´を超え、かつ、30´未満であり、他方が30´未満である前記シリコン単結晶基板を準備し、
前記エピタキシャル層の成長速度が2μm/min以上、かつ3μm/min以下であることを特徴とする。
実施例1は、図1の角度θが21′、角度φが1′となるオフアングルの基板Wを複数作製し、作製した各基板Wに成長速度を変える以外は同じ条件でエピタキシャル層を成長したエピタキシャルウェーハを使用した。具体的には、エピタキシャル層の成長速度を0.5〜2.5μm/minの範囲において、偏りがないように8つ選択して作製したエピタキシャルウェーハを使用した。
比較例1は、図1の角度θが15′、角度φが−2′となるオフアングルの基板Wを使用する以外は、実施例1と同じように作製したエピタキシャルウェーハを使用した。
Wa 主表面
Claims (8)
- 法線が[100]軸に対して[001]又は[00−1]方向に角度θ、かつ、[100]軸に対して[010]又は[0−10]方向に角度φ、傾斜する主表面を有するシリコン単結晶基板を準備する工程と、
前記シリコン単結晶基板にエピタキシャル層を成長する工程と、
を備え、
前記準備する工程は、前記角度θ又は前記角度φの一方が20´を超え、かつ、30´未満であり、他方が30´未満である前記シリコン単結晶基板を準備し、
前記エピタキシャル層の成長速度が1μm/minより大きいことを特徴とするエピタキシャルウェーハの製造方法。 - 前記準備する工程は、前記角度θ又は前記角度φの少なくとも一方が21´以上25´以下である前記シリコン単結晶基板を準備する請求項1に記載のエピタキシャルウェーハの製造方法。
- ウェーハ高さをウェーハの半径方向の長さで2階微分した指標をZDDとして、
前記シリコン単結晶基板に前記エピタキシャル層を成長させて得られるエピタキシャルウェーハの表面の、中心から半径方向に148mmの位置における前記ZDDの値から、前記エピタキシャル層を成長する前の前記シリコン単結晶基板の表面の、中心から半径方向に148mmの位置における前記ZDDの値を減算した値であるΔZDDが−80nm/mm 2 よりプラス方向側の値である請求項1または2に記載のエピタキシャルウェーハの製造方法。 - 法線が[100]軸に対して[011]又は[0−1−1]方向に角度α、かつ、[100]軸に対して[0−11]又は[01−1]方向に角度β、傾斜する主表面を有するシリコン単結晶基板を準備する工程と、
前記シリコン単結晶基板にエピタキシャル層を成長する工程と、
を備え、
前記準備する工程は、前記角度α又は前記角度βの一方が20´を超え、かつ、30´未満であり、他方が30´未満である前記シリコン単結晶基板を準備し、
前記エピタキシャル層の成長速度が2μm/min以上、かつ3μm/min以下であることを特徴とするエピタキシャルウェーハの製造方法。 - ウェーハ高さをウェーハの半径方向の長さで2階微分した指標をZDDとして、
前記シリコン単結晶基板に前記エピタキシャル層を成長させて得られるエピタキシャルウェーハの表面の、中心から半径方向に148mmの位置における前記ZDDの値から、前記エピタキシャル層を成長する前の前記シリコン単結晶基板の表面の、中心から半径方向に148mmの位置における前記ZDDの値を減算した値であるΔZDDが−40nm/mm 2 よりプラス方向側の値である請求項4に記載のエピタキシャルウェーハの製造方法。 - 前記成長する工程は、ドーパントをドープして前記エピタキシャル層を成長する請求項1ないし5のいずれか1項に記載のエピタキシャルウェーハの製造方法。
- 前記準備する工程は、導電型がP−型である前記シリコン単結晶基板を準備し、
前記成長する工程は、導電型がN++型の前記エピタキシャル層を成長する請求項1ないし6のいずれか1項に記載のエピタキシャルウェーハの製造方法。 - 前記シリコン単結晶基板に前記エピタキシャル層を成長させて得られるエピタキシャルウェーハは貼り合わせSOIウェーハのベース基板として用いられる請求項1ないし7のいずれか1項に記載のエピタキシャルウェーハの製造方法。
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