JP6468357B2 - 弾性波装置 - Google Patents
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Description
2…支持基板
2a,2b…第1,第2の主面
3…積層膜
3a…高音速膜
3b…低音速膜
3d…側面
4…圧電薄膜
5a〜5c…IDT電極
6a〜6d…配線電極
6a1…傾斜面
6e…幅方向一端
6f…幅方向他端
7…中空空間
8…支持層
9…カバー部材
10a,10b…アンダーバンプメタル層
11a,11b…金属バンプ
12…第1の絶縁層
12a,12b…傾斜面
12c…内側端
22…第1の絶縁層
22a,22b…傾斜面
32…第1の絶縁層
32a…上面
32b,32c…傾斜面
52…第2の絶縁層
52c…幅方向一端
52d…幅方向他端
71…積層膜
82…積層膜
82a…高音響インピーダンス膜
82b…低音響インピーダンス膜
Claims (13)
- 支持基板と、
前記支持基板上に設けられており、圧電薄膜を含む複数の膜を有する積層膜と、
前記圧電薄膜の一方面に設けられたIDT電極と、
平面視において、前記IDT電極が設けられている領域の外側の領域において、前記積層膜が部分的に存在せず、前記積層膜が存在しない領域の少なくとも一部から、前記圧電薄膜上に至るように設けられた第1の絶縁層と、
前記IDT電極に電気的に接続されており、前記圧電薄膜上から前記第1の絶縁層上に至り、前記積層膜が存在しない領域に位置している前記第1の絶縁層部分上に至っている、配線電極と、
を備える、弾性波装置。 - 前記第1の絶縁層が前記圧電薄膜上から前記積層膜の側面を通り、前記積層膜が存在しない領域の少なくとも一部に至っている、請求項1に記載の弾性波装置。
- 前記第1の絶縁層上の前記支持基板とは反対側の面が、前記積層膜が存在しない領域から前記圧電薄膜上に位置している部分に近づくにつれて前記圧電薄膜側に近づくように傾斜している傾斜面を有する、請求項1または2に記載の弾性波装置。
- 前記第1の絶縁層の前記傾斜面が、前記支持基板上から前記圧電薄膜上の前記第1の絶縁層部分に至っている、請求項3に記載の弾性波装置。
- 前記第1の絶縁層が、前記傾斜面から前記積層膜が存在しないた領域に至っている、請求項3または4に記載の弾性波装置。
- 前記支持基板上において、前記配線電極が設けられている領域の一部を覆っており、かつ中空空間を構成するための開口部を有する支持層をさらに備え、前記支持層が、前記第1の絶縁層の前記傾斜面を越えて、前記圧電薄膜上の前記第1の絶縁層上に至っている、請求項4に記載の弾性波装置。
- 前記支持基板上に設けられており、中空空間を構成するための開口部を有する支持層をさらに備え、前記支持層が、前記支持基板上において、前記配線電極が設けられている領域から前記傾斜面の前記圧電薄膜側の端部まで至っている、請求項5に記載の弾性波装置。
- 前記配線電極と前記支持基板との間に設けられた第2の絶縁層をさらに備え、前記第2の絶縁層が、前記第1の絶縁層上に至っている、請求項1〜7のいずれか1項に記載の弾性波装置。
- 前記配線電極が延びる方向に対して直交する方向を幅方向とした場合、前記配線電極の前記幅方向における一端及び他端が、前記第2の絶縁層の前記幅方向における一端及び他端よりも前記幅方向において内側にそれぞれ位置している、請求項8に記載の弾性波装置。
- 前記傾斜面が、前記圧電薄膜側から前記積層膜が存在しない領域側に至るにつれて、前記支持基板側から遠ざかるように傾斜しており、前記第1の絶縁層が、前記圧電薄膜上よりも前記積層膜が存在しない領域において厚くされている、請求項4に記載の弾性波装置。
- 前記積層膜が、前記圧電薄膜と、前記圧電薄膜を伝搬する弾性波の音速よりも伝搬するバルク波の音速が低速である低音速膜とを有し、前記低音速膜上に、前記圧電薄膜が積層されている、請求項1〜10のいずれか1項に記載の弾性波装置。
- 前記積層膜が、前記圧電薄膜と、前記圧電薄膜を伝搬する弾性波の音速よりも伝搬するバルク波の音速が高速である高音速膜と、前記高音速膜上に積層されており、前記圧電薄膜を伝搬する弾性波の音速よりも伝搬するバルク波の音速が低速である低音速膜とを有し、前記低音速膜上に前記圧電薄膜が積層されている、請求項1〜10のいずれか1項に記載の弾性波装置。
- 前記積層膜が、前記圧電薄膜と、音響インピーダンスが相対的に高い高音響インピーダンス膜と、前記高音響インピーダンス膜に比べて音響インピーダンスが低い低音響インピーダンス膜とを有する、請求項1〜10のいずれか1項に記載の弾性波装置。
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