JP2015122566A - 弾性波装置 - Google Patents
弾性波装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015122566A JP2015122566A JP2013264193A JP2013264193A JP2015122566A JP 2015122566 A JP2015122566 A JP 2015122566A JP 2013264193 A JP2013264193 A JP 2013264193A JP 2013264193 A JP2013264193 A JP 2013264193A JP 2015122566 A JP2015122566 A JP 2015122566A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- medium layer
- film
- wave device
- laminated
- piezoelectric film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
Description
2…支持基板
3…媒質層
3a…第1の媒質層部分
3b…第2の媒質層部分
4…高音速膜
5…低音速膜
6…圧電膜
7…IDT電極
8,9…反射器
10…誘電体膜
Claims (6)
- 圧電膜を有する弾性波装置であって、
支持基板と、
前記支持基板の上面に形成されている媒質層と、
前記媒質層上に積層されており、前記圧電膜を伝搬する弾性波音速より伝搬するバルク波音速が高速である高音速膜と、
前記高音速膜上に積層されており、前記圧電膜を伝搬するバルク波音速より伝搬するバルク波音速が低速である低音速膜と、
前記低音速膜上に積層された前記圧電膜と、
前記圧電膜の一方面に形成されているIDT電極とを備え、
前記媒質層の厚みが12μm以下である、弾性波装置。 - 前記媒質層の熱伝導率が、前記支持基板の熱伝導率よりも低い、請求項1に記載の弾性波装置。
- 前記支持基板が、LiTaO3、LiNbO3、サファイヤ、ガラス及びシリコンからなる群から選択された少なくとも1種の材料により構成される、請求項1又は2に記載の弾性波装置。
- 前記媒質層が、第1,第2の媒質層部分を有し、前記第1の媒質層部分の上に、前記第2の媒質層部分が積層されている、請求項1〜3のいずれか一項に記載の弾性波装置。
- 前記媒質層が、密着層、下地膜、低音速層及び高音速層からなる群から選択された少なくとも1種である、請求項1〜4のいずれか一項に記載の弾性波装置。
- 前記媒質層が、SiO2、エポキシ樹脂、ポリイミド、SOG、Ta2O5及びAl2O3からなる群から選択された少なくとも1種の材料により構成される、請求項1〜5のいずれか一項に記載の弾性波装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013264193A JP2015122566A (ja) | 2013-12-20 | 2013-12-20 | 弾性波装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013264193A JP2015122566A (ja) | 2013-12-20 | 2013-12-20 | 弾性波装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015122566A true JP2015122566A (ja) | 2015-07-02 |
Family
ID=53533863
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013264193A Pending JP2015122566A (ja) | 2013-12-20 | 2013-12-20 | 弾性波装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2015122566A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2017013968A1 (ja) * | 2015-07-17 | 2017-01-26 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
CN110572135A (zh) * | 2019-09-17 | 2019-12-13 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 高频声波谐振器及其制备方法 |
WO2020184621A1 (ja) * | 2019-03-11 | 2020-09-17 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
CN112054780A (zh) * | 2019-06-06 | 2020-12-08 | 株式会社村田制作所 | 弹性波装置 |
CN112868177A (zh) * | 2018-10-19 | 2021-05-28 | 株式会社村田制作所 | 弹性波装置 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006319679A (ja) * | 2005-05-12 | 2006-11-24 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 複合圧電基板 |
JP2009071183A (ja) * | 2007-09-14 | 2009-04-02 | Oki Semiconductor Co Ltd | 半導体基板の製造方法 |
JP2011066492A (ja) * | 2009-09-15 | 2011-03-31 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性境界波装置 |
JP2011114326A (ja) * | 2009-11-30 | 2011-06-09 | Sony Corp | 接合基板の製造方法、接合基板、固体撮像装置の製造方法、固体撮像装置並びにカメラ |
JP2012085286A (ja) * | 2010-10-06 | 2012-04-26 | Ngk Insulators Ltd | 複合基板の製造方法及び複合基板 |
WO2012086639A1 (ja) * | 2010-12-24 | 2012-06-28 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置及びその製造方法 |
WO2013042381A1 (ja) * | 2011-09-22 | 2013-03-28 | 住友化学株式会社 | 複合基板の製造方法および複合基板 |
WO2013141168A1 (ja) * | 2012-03-23 | 2013-09-26 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置及びその製造方法 |
-
2013
- 2013-12-20 JP JP2013264193A patent/JP2015122566A/ja active Pending
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006319679A (ja) * | 2005-05-12 | 2006-11-24 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 複合圧電基板 |
JP2009071183A (ja) * | 2007-09-14 | 2009-04-02 | Oki Semiconductor Co Ltd | 半導体基板の製造方法 |
JP2011066492A (ja) * | 2009-09-15 | 2011-03-31 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性境界波装置 |
JP2011114326A (ja) * | 2009-11-30 | 2011-06-09 | Sony Corp | 接合基板の製造方法、接合基板、固体撮像装置の製造方法、固体撮像装置並びにカメラ |
JP2012085286A (ja) * | 2010-10-06 | 2012-04-26 | Ngk Insulators Ltd | 複合基板の製造方法及び複合基板 |
WO2012086639A1 (ja) * | 2010-12-24 | 2012-06-28 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置及びその製造方法 |
WO2013042381A1 (ja) * | 2011-09-22 | 2013-03-28 | 住友化学株式会社 | 複合基板の製造方法および複合基板 |
WO2013141168A1 (ja) * | 2012-03-23 | 2013-09-26 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置及びその製造方法 |
Cited By (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10862455B2 (en) | 2015-07-17 | 2020-12-08 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Elastic wave device |
KR20170128505A (ko) * | 2015-07-17 | 2017-11-22 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 탄성파 장치 |
CN107615653A (zh) * | 2015-07-17 | 2018-01-19 | 株式会社村田制作所 | 弹性波装置 |
KR102029744B1 (ko) * | 2015-07-17 | 2019-10-08 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 탄성파 장치 |
WO2017013968A1 (ja) * | 2015-07-17 | 2017-01-26 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
CN107615653B (zh) * | 2015-07-17 | 2021-04-27 | 株式会社村田制作所 | 弹性波装置 |
CN112868177A (zh) * | 2018-10-19 | 2021-05-28 | 株式会社村田制作所 | 弹性波装置 |
CN112868177B (zh) * | 2018-10-19 | 2024-03-05 | 株式会社村田制作所 | 弹性波装置 |
WO2020184621A1 (ja) * | 2019-03-11 | 2020-09-17 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
CN113454912A (zh) * | 2019-03-11 | 2021-09-28 | 株式会社村田制作所 | 弹性波装置 |
JPWO2020184621A1 (ja) * | 2019-03-11 | 2021-12-02 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
JP7264229B2 (ja) | 2019-03-11 | 2023-04-25 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
CN112054780A (zh) * | 2019-06-06 | 2020-12-08 | 株式会社村田制作所 | 弹性波装置 |
CN110572135A (zh) * | 2019-09-17 | 2019-12-13 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 高频声波谐振器及其制备方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6519655B2 (ja) | 弾性波装置 | |
JP6662490B2 (ja) | 弾性波装置 | |
JP4356613B2 (ja) | 弾性境界波装置 | |
JP6481687B2 (ja) | 弾性波装置 | |
JP4894861B2 (ja) | 弾性境界波装置 | |
CN107615653B (zh) | 弹性波装置 | |
WO2017212774A1 (ja) | 弾性波装置及びその製造方法 | |
JP5910763B2 (ja) | 弾性波装置 | |
JP6248600B2 (ja) | 弾性波デバイス | |
JP3892370B2 (ja) | 弾性表面波素子、フィルタ装置及びその製造方法 | |
WO2017043427A1 (ja) | 弾性波装置、高周波フロントエンド回路及び通信装置 | |
JP5648695B2 (ja) | 弾性波装置及びその製造方法 | |
WO2020130128A1 (ja) | 弾性波装置、分波器および通信装置 | |
JP6468357B2 (ja) | 弾性波装置 | |
KR20190110020A (ko) | 탄성파 장치 | |
JP2019114986A (ja) | 弾性波装置 | |
JP7176622B2 (ja) | 弾性波装置 | |
WO2006114930A1 (ja) | 弾性境界波装置 | |
JPWO2005086345A1 (ja) | 弾性境界波装置 | |
JP4760911B2 (ja) | 弾性境界波装置 | |
WO2007007462A1 (ja) | 弾性境界波装置及びその製造方法 | |
KR102111928B1 (ko) | 탄성파 장치 | |
JP2015122566A (ja) | 弾性波装置 | |
JP6360847B2 (ja) | 弾性波デバイス | |
JPWO2006123585A1 (ja) | 弾性境界波装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160907 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170221 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170418 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170829 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20171024 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20180109 |