JP2009071183A - 半導体基板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】SiCウェハ12をワックス20でSiウェハ18に仮留めする。Siウェハ18に仮留めされたSiCウェハ12を、SOG膜16Pを介してSiウェハ18と同じ口径のSiウェハ14に重ね合わせる。オリフラ14Aとオリフラ18Aとを揃えて、Siウェハ14とSiウェハ18とが重ね合わされた状態で、加圧下で加熱されてSOG膜16Pが固化し、SOG固化膜16Sが形成される。このSOG固化膜16Sにより、SiCウェハ12がSiウェハ14に接着される。SiCウェハ12は、Siウェハ18からSiウェハ14に転写されるように、対向するSiウェハ14の所定位置に接着される。不要になったSiウェハ18を取り外し、ワックス20を除去する。
【選択図】図2
Description
まず、本発明の実施の形態で製造される貼り合せ型の半導体基板(以下、「貼り合せ基板」という。)の構成を説明する。図1(A)は貼り合せ基板を表面側からみたときの平面図であり、図1(B)は(A)のA−A線による断面図である。
図2(A)〜(D)は本発明の実施の形態に係る製造工程を示す概略図である。図面を参照して製造工程の概略を簡単に説明する。なお、オリフラについては図示されていないが、各ウェハにはオリフラが設けられている。
図4はワックスが塗布される工程を示す図である。図4(A)は作業台上に載置されたSiウェハにワックスが塗布される様子を示す側面図であり、図4(B)はこれを上から見たときの平面図である。
図12はSOG塗布液が塗布される工程を示す図である。図12(A)は仮留めされたSiCウェハにSOG塗布液が塗布された状態での断面図であり、図12(B)は同じ状態を表面側からみたときの平面図である。なお、図12(A)は図12(B)のB−B線による断面図である。
図13はSiCウェハを貼り付け対象のSiウェハに重ねる工程を示す図である。図13(A)は作業台上でSiCウェハをSiウェハに重ねる様子を示す側面図であり、図13(B)はこれを上から見たときの平面図である。
図15は不要になったSiウェハを除去する工程を示す図である。図15(A)は作業台上で不要なSiウェハが取り外された様子を示す側面図であり、図15(B)はこれを上から見たときの平面図である。
(後処理工程での高温熱処理)
なお、上記の実施の形態では、350℃で熱処理を行ってSiCウェハをSiウェハに接着する例につい説明したが、貼り合せ基板について350℃以上の半導体プロセスを行う場合には、洗浄によりワックスを除去した後に、後処理として、半導体プロセス温度以上の温度での熱処理を行うことが望ましい。接着剤として用いているSOG固化膜は、熱処理の温度に応じて塑性変形するためであり、十分に昇温速度を低くして後処理を行うことで、剥がれの発生を抑制し、SiCウェハ又はSiウェハが応力により破損するのを予防することができる。
なお、SOG固化膜によりSiウェハに接着されたSiCウェハをSiウェハから剥離するには、貼り合せ基板をフッ硝酸溶液に浸漬すればよい。フッ硝酸溶液とは、HF+HNO3を少なくとも含み、必要に応じて水、酢酸が加えられた溶液である。Siウェハはフッ硝酸溶液に容易に溶解し、フッ硝酸溶液に溶けないSiCウェハのみが残存する。但し、素子作製工程中でSiCウェハ上に既に各種の膜が成膜されている場合には、既に成膜された膜がフッ硝酸で腐食されないように、SiCウェハの表面を保護する必要がある。例えば、仮留めに用いたワックスを、SiCウェハの表面に塗って、表面を保護すればよい。
また、上記の実施の形態では、小口径のSiCウェハを大口径のSiウェハ(シリコン基板)に貼り付けて、貼り付け基板を作製する例について説明したが、小口径のSiCウェハを貼り付ける対象は、シリコン基板には限定されない。SiCウェハを貼り付けた状態で、既存の半導体デバイス製造装置で処理できる基板であればよい。例えば、シリコン基板に代えて、石英(SiO2)基板やサファイア基板を用いることができる。貼り付け対象となる基板は、口径が5インチ〜8インチであることが好ましい。また、膜厚は300μm〜2mmの範囲が好ましい。
また、上記の実施の形態では、小口径のSiCウェハを貼り付けて、貼り付け基板を作製する例について説明したが、貼り付ける半導体ウェハは、炭化ケイ素の単結晶基板には限定されない。結晶成長が非常に難しく、大口径化が難しい他の半導体結晶からなるウェハを貼り付けることもできる。
12 SiCウェハ
12A オリフラ
12B 外縁部
14 Siウェハ
14A オリフラ
14B 外縁部
16P SOG膜
16S SOG固化膜
18 Siウェハ
18A オリフラ
18B 外縁部
20 ワックス
22 作業台
24 プレート
26 ガイド
28 ガイド
30 抵抗加熱ヒータ
32 交流電源
34 合わせ治具
36 第1板材
38 第2板材
40 補強板
42 ガイド部
44 第1アーム
46 第2アーム
48 載置台
52 観察台
54 ステージ
58 Siウェハ
58A オリフラ
58B 外縁部
60 錘
62 錘
70 押し付け治具
72 プレート
74 プレート
76 ボルト
78 ナット
80 緩衝ばね
82 グラファイトフィルム
84 Siウェハ
Claims (14)
- 半導体単結晶からなるウェハと前記ウェハより大口径の第1基板とを用意し、前記ウェハの表面と前記第1基板とが対向するように前記ウェハと前記第1基板とを重ね合わせ、前記ウェハのオリエンテーションフラットと前記第1基板に設けられた第1マークとを基準に前記ウェハの位置合わせを行い、前記ウェハを前記第1基板の所定位置に位置調整可能に仮留めする仮留め工程と、
前記第1基板に仮留めされた前記ウェハの裏面に接着剤を塗布する塗布工程と、
更に前記第1基板と同じ口径及び形状で且つ前記第1基板と同じ位置に第2マークを備えた第2基板を用意し、前記第1マーク及び前記第2マークを基準に前記第1基板と前記第2基板とが重なるように位置合わせを行い、前記ウェハの裏面と前記第2基板とが対向するように前記ウェハと前記第2基板とを重ね合わせて、前記第1基板に仮留めされた前記ウェハを前記接着剤により前記第2基板に接着する接着工程と、
前記ウェハを仮留めしている前記第1基板を取り外す除去工程と、
を含むことを特徴とする半導体基板の製造方法。 - 前記仮留め工程において、所定融点のワックスを前記第1基板に塗布し、前記第1基板を前記融点以上に加熱して前記ワックスを融解し、前記ウェハの位置合わせ後に前記第1基板を前記融点未満に冷却して、前記ウェハを前記第1基板に仮留めすることを特徴とする請求項1に記載の半導体基板の製造方法。
- 前記ワックスは、融点が100℃以上で且つ耐熱温度が400℃以上であることを特徴とする請求項2に記載の半導体基板の製造方法。
- 前記仮留め工程において、前記ウェハを裏面側から均等に押圧した状態で、前記ウェハを前記第1基板に仮留めすることを特徴とする請求項1から3までのいずれか1項に記載の半導体基板の製造方法。
- 前記塗布工程において、接着剤としてスピンオングラス(SOG)溶液を塗布してSOG膜を形成すると共に、前記接着工程において、前記ウェハと前記第2基板とを重ね合わせた後に、前記SOG膜を加圧下で加熱して前記SOG膜を固化させ、前記ウェハを前記第2基板に接着することを特徴とする請求項1から4までのいずれか1項に記載の半導体基板の製造方法。
- 前記半導体単結晶が、炭化ケイ素(SiC)単結晶であることを特徴とする請求項1から5までのいずれか1項に記載の半導体基板の製造方法。
- 前記前記第1基板及び前記第2基板の口径が、5インチ〜8インチであることを特徴とする請求項1から6までのいずれか1項に記載の半導体基板の製造方法。
- 前記第1基板及び前記第2基板が、シリコン基板、石英基板、及びサファイア基板からなる群から選択されるいずれか1つであることを特徴とする請求項1から7までのいずれか1項に記載の半導体基板の製造方法。
- 前記前記第1基板及び前記第2基板の膜厚が、300μm〜2mmであることを特徴とする請求項1から8までのいずれか1項に記載の半導体基板の製造方法。
- 前記第1マーク及び前記第2マークが、オリエンテーションフラットであることを特徴とする請求項1から9までのいずれか1項に記載の半導体基板の製造方法。
- 前記ウェハのオリエンテーションフラットが、前記第1基板のオリエンテーションフラットに平行になるように、前記ウェハの位置合わせを行うことを特徴とする請求項10に記載の半導体基板の製造方法。
- 長手方向の一方の側面に前記第1基板のオリエンテーションフラットが突き当てられる長尺状の第1板材、及び前記第1板材と共にL字を成すように一端面が前記第1板材の一端側の前記側面に接合され、長手方向の一方の側面に前記第1基板の外縁部が突き当てられる長尺状の第2板材を有するL字型のガイド部と、
前記ガイド部の前記第1板材と交差するように重ね合わせた状態で接合され、一端面に前記ウェハのオリエンテーションフラットが突き当てられる長尺状の第1アームと、
前記ガイド部の前記第2板材と交差するように重ね合わせた状態で接合され、一端面に前記ウェハの円弧状の外縁部が突き当てられる長尺状の第2アームと、
を備えた位置合せ治具を用い、
前記ウェハの位置合わせを行うことを特徴とする請求項10又は11に記載の半導体基板の製造方法。 - 前記ウェハに前記ウェハのオリエンテーションフラットに平行又は垂直な直線を含むパターンを予め形成し、前記仮留め工程において、前記直線と前記第1基板のオリエンテーションフラットとが為す角度を観察して、前記ウェハの位置合わせを行うことを特徴とする請求項10から12までのいずれか1項に記載の半導体基板の製造方法。
- 前記直線と前記第1基板のオリエンテーションフラットとが為す角度が0.3°以下となるように、前記ウェハの位置合わせを行うことを特徴とする請求項13に記載の半導体基板の製造方法。
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