JP6445164B2 - 液体吐出ヘッドおよびそれを用いた記録装置 - Google Patents

Description

本開示は、液体吐出ヘッドおよびそれを用いた記録装置に関する。

従来、印刷用ヘッドとして、例えば、液体を記録媒体上に吐出することによって印刷を行なう液体吐出ヘッドが知られている。このような液体吐出ヘッドとしては、例えば、液体を吐出する複数の吐出孔と、複数の吐出孔の各々に対応して設けられて吐出孔から液体が吐出されるように液体を加圧する複数の加圧室と、複数の加圧室に液体を供給する共通流路と、を備えたものが知られている（例えば、特許文献１を参照。）。

特開２０１２−１１６２９号公報

本開示の液体吐出ヘッドは、流路部材と、複数の加圧部と、を有している。前記流路部材は、複数の吐出孔と、共通流路と、ダンパー室と、ダンパーと、を有している。前記複数の吐出孔は、液体を吐出する孔である。前記共通流路は、前記複数の吐出孔と繋がっている。前記ダンパー室は、前記共通流路の外側に配置された空間で構成されている。前記ダンパーは、前記共通流路と前記ダンパー室とを仕切る壁によって構成されている。前記複数の加圧部は、前記液体を加圧する。前記流路部材は、積層された複数の平板状のプレートで構成されている。該複数のプレートは、前記複数の吐出孔を有する第１プレートと、該第１プレートに隣り合う第２プレートと、を有している。該第２プレートは、前記第１プレートと前記ダンパー室とで挟まれた第１部分を有している。該第１部分は、前記第１プレートと反対側に位置する第１表面を有している。前記液体吐出ヘッドは、前記第１部分における前記第１表面に不均一に設けられた被覆層を有している。

図１（ａ）は、第１実施形態に係る液体吐出ヘッドを含む記録装置の側面図であり、図１（ｂ）は、第１実施形態に係る液体吐出ヘッドを含む記録装置の平面図である。 図２（ａ）は、図１の液体吐出ヘッドの要部であるヘッド本体の平面図であり、図２（ｂ）は、図２（ａ）から第２流路部材を除いた平面図である。 図３は、図２（ｂ）の一部の拡大平面図である。 図４は、図２（ｂ）の一部の拡大平面図である。 図５は、図４のＶ−Ｖ線に沿った部分縦断面図である。 図６は、図２（ａ）のヘッド本体の部分縦断面図ある。 図７は、第１実施形態に係る液体吐出ヘッドを構成する第２プレート４ｋの一部分を、第１プレート４ｍと反対側から見た状態を示す模式的な平面図である。 図８は、第２実施形態の液体吐出ヘッドにおける、図７と同様の状態を示す模式的な平面図である。 図９は、第３実施形態の液体吐出ヘッドにおける、図７と同様の状態を示す模式的な平面図である。 図１０は、第３実施形態の液体吐出ヘッドにおける、図５と同様の状態を示す模式的な部分断面図である。 図１１は、第４実施形態の液体吐出ヘッドにおける、図９と同様の状態を示す模式的な平面図である。 図１２は、第５実施形態の液体吐出ヘッドにおける、図９と同様の状態を示す模式的な平面図である。

発明者らは、特許文献１に記載されているような液体吐出ヘッドが駆動しているときに、吐出孔が形成された表面に、振幅が２〜３μｍ程度の微小な振動が発生することを確認した。このような振動が液体の吐出特性を悪化させている可能性があり、また、このような振動が大きくなると、液体の吐出特性を更に悪化させることが推測される。

本開示の液体吐出ヘッドは、吐出孔が形成された表面において大きな振動が発生するのを低減することができる。以下、本開示の液体吐出ヘッドおよびそれを用いた記録装置について、詳細に説明する。

（第１実施形態）
図１（ａ）は、第１実施形態に係る液体吐出ヘッド２を含む記録装置であるカラーインクジェットプリンタ１（以下で単にプリンタと言うことがある）の概略の側面図であり、図１（ｂ）は、概略の平面図である。プリンタ１は、記録媒体である印刷用紙Ｐを給紙ローラ８０Ａから回収ローラ８０Ｂへと搬送することにより、印刷用紙Ｐを液体吐出ヘッド２に対して相対的に移動させる。制御部８８は、画像や文字のデータに基づいて、液体吐出ヘッド２を制御して、印刷用紙Ｐに向けて液体を吐出させ、印刷用紙Ｐに液滴を着弾させて、印刷用紙Ｐに印刷などの記録を行なう。

本実施形態では、液体吐出ヘッド２はプリンタ１に対して固定されており、プリンタ１はいわゆるラインプリンタとなっているが、これに限定されるものではない。例えば、液体吐出ヘッド２を、印刷用紙Ｐの搬送方向に交差する方向、例えば、ほぼ直交する方向に往復させるなどして移動させる動作と、印刷用紙Ｐの搬送を交互に行なう、いわゆるシリアルプリンタでも構わない。

プリンタ１には、印刷用紙Ｐとほぼ平行となるように平板状のヘッド搭載フレーム７０（以下で単にフレームと言うことがある）が固定されている。フレーム７０には図示しない２０個の孔が設けられており、２０個の液体吐出ヘッド２がそれぞれの孔の部分に搭載されていて、液体吐出ヘッド２の、液体を吐出する部位が印刷用紙Ｐに面するようになっている。液体吐出ヘッド２と印刷用紙Ｐとの間の距離は、例えば０．５〜２０ｍｍ程度とされる。５つの液体吐出ヘッド２は、１つのヘッド群７２を構成しており、プリンタ１は、４つのヘッド群７２を有している。

液体吐出ヘッド２は、図１（ａ）の手前から奥へ向かう方向、図１（ｂ）の上下方向に細長い長尺形状を有している。この長い方向を長手方向と呼ぶことがある。１つのヘッド群７２内において、３つの液体吐出ヘッド２は、印刷用紙Ｐの搬送方向に交差する方向、例えば、ほぼ直交する方向に沿って並んでいる。他の２つの液体吐出ヘッド２は、搬送方向に沿ってずれた位置で、３つの液体吐出ヘッド２の間にそれぞれ一つずつ並んでいる。液体吐出ヘッド２は、各液体吐出ヘッド２で印刷可能な範囲が、印刷用紙Ｐの幅方向に（印刷用紙Ｐの搬送方向に交差する方向に）繋がるように、あるいは端が重複するように配置されており、印刷用紙Ｐの幅方向に隙間のない印刷が可能になっている。

４つのヘッド群７２は、印刷用紙Ｐの搬送方向に沿って配置されている。各液体吐出ヘッド２には、図示しない液体タンクから液体、例えば、インクが供給される。１つのヘッド群７２に属する液体吐出ヘッド２には、同じ色のインクが供給されるようになっており、４つのヘッド群７２で４色のインクが印刷できる。各ヘッド群７２から吐出されるインクの色は、例えば、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）およびブラック（Ｋ）である。このようなインクを、制御部８８で制御して印刷すれば、カラー画像が印刷できる。

プリンタ１に搭載されている液体吐出ヘッド２の個数は、単色で、１つの液体吐出ヘッド２で印刷可能な範囲を印刷するのなら１つでもよい。ヘッド群７２に含まれる液体吐出ヘッド２の個数や、ヘッド群７２の個数は、印刷する対象や印刷条件により適宜変更できる。例えば、さらに多色の印刷をするためにヘッド群７２の個数を増やしてもよい。また、同色で印刷するヘッド群７２を複数配置して、搬送方向に交互に印刷すれば、同じ性能の液体吐出ヘッド２を使用しても搬送速度を速くできる。これにより、時間当たりの印刷面積を大きくすることができる。また、同色で印刷するヘッド群７２を複数準備して、搬送方向と交差する方向にずらして配置して、印刷用紙Ｐの幅方向の解像度を高くしてもよい。

さらに、色の付いたインクを印刷する以外に、印刷用紙Ｐの表面処理をするために、コーティング剤などの液体を印刷してもよい。

プリンタ１は、記録媒体である印刷用紙Ｐに印刷を行なう。印刷用紙Ｐは、給紙ローラ８０Ａに巻き取られた状態になっており、２つのガイドローラ８２Ａの間を通った後、フレーム７０に搭載されている液体吐出ヘッド２の下側を通り、その後２つの搬送ローラ８２Ｂの間を通り、最終的に回収ローラ８０Ｂに回収される。印刷する際には、搬送ローラ８２Ｂを回転させることで印刷用紙Ｐは、一定速度で搬送され、液体吐出ヘッド２によって印刷される。回収ローラ８０Ｂは、搬送ローラ８２Ｂから送り出された印刷用紙Ｐを巻き取る。このように、給紙ローラ８０Ａ、ガイドローラ８２Ａ、搬送ローラ８２Ｂ、回収ローラ８０Ｂによって、印刷用紙Ｐを液体吐出ヘッド２に対して搬送する搬送部が構成されている。搬送速度は、例えば、５０ｍ／分とされる。各ローラは、制御部８８によって制御されてもよいし、人によって手動で操作されてもよい。

記録媒体は、印刷用紙Ｐ以外に、ロール状の布などでもよい。また、プリンタ１は、印刷用紙Ｐを直接搬送する代わりに、搬送ベルトを直接搬送して、記録媒体を搬送ベルトに置いて搬送してもよい。そのようにすれば、枚葉紙や裁断された布、木材、タイルなどを記録媒体にできる。さらに、液体吐出ヘッド２から導電性の粒子を含む液体を吐出するようにして、電子機器の配線パターンなどを印刷してもよい。またさらに、液体吐出ヘッド２から反応容器などに向けて所定量の液体の化学薬剤や化学薬剤を含んだ液体を吐出させて、反応させるなどして、化学薬品を作製してもよい。

次に、第１実施形態の液体吐出ヘッド２について説明する。図２（ａ）は、図１に示された液体吐出ヘッド２の要部であるヘッド本体２ａを示す平面図である。図２（ｂ）は、ヘッド本体２ａから第２流路部材６を除いた状態の平面図である。図３および図４は、図２（ｂ）の拡大平面図である。図５は、図４のＶ−Ｖ線に沿った縦断面図である。図６は、ヘッド本体２ａの第１共通流路２０の開口２０ａ付近における、第１共通流路２０に沿った部分縦断面図である。図７は、第１実施形態に係る液体吐出ヘッド２を構成する第２プレート４ｋの一部分を、第１プレート４ｍと反対側から見た状態を示す模式的な平面図である。

各図は、図面を分かり易くするために次のように描いている。図２〜４では、他のものの下方にあって破線で描くべき流路などを実線で描いている。図２（ａ）では、第１流路部材４内の流路については、ほとんど省略し、個別電極４４の配置のみを示している。

液体吐出ヘッド２は、ヘッド本体２ａ以外に、金属製の筐体や、ドライバＩＣ、配線基板などを含んでいてもよい。また、ヘッド本体２ａは、第１流路部材４と、第１流路部材４に液体を供給する第２流路部材６と、加圧部５０を有する圧電アクチュエータ基板４０とを含んでいる。ヘッド本体２ａは、一方方向に長い平板形状を有しており、その方向を長手方向と言うことがある。また、第２流路部材６は、支持部材の役割を果たしており、ヘッド本体２ａは、第２流路部材６の長手方向の両端部のそれぞれでフレーム７０に固定される。

ヘッド本体２ａを構成する第１流路部材４は、平板状の形状を有しており、その厚さは０．５〜２ｍｍ程度である。第１流路部材４の第１の主面である加圧室面４−１には、加圧室１０が平面方向に多数並んで配置されている。第１流路部材４の第２の主面であり、加圧室面４−１の反対側の面である吐出孔面４−２には、液体が吐出される吐出孔８が平面方向に多数並んで配置されている。吐出孔８は、それぞれ加圧室１０と繋がっている。以下において、加圧室面４−１は、吐出孔面４−２に対して、上方に位置しているものとして説明をする。

第１流路部材４には、複数の第１共通流路２０および複数の第２共通流路２４が、第１方向に沿って伸びるように配置されている。また、第１共通流路２０と第２共通流路２４とは、第１方向と交差する方向である第２方向に交互に並んでいる。なお、第２方向は、ヘッド本体２ａの長手方向と同じ方向である。

第１共通流路２０の両側に沿って加圧室１０が並んでおり、片側１列ずつ、合計２列の加圧室列１１Ａを構成している。第１共通流路２０とその両側に並んでいる加圧室１０とは、第１個別流路１２を介して繋がっている。

第２共通流路２４の両側に沿って加圧室１０が並んでおり、片側１列ずつ、合計２列の加圧室列１１Ａを構成している。第２共通流路２４とその両側に並んでいる加圧室１０とは、第２個別流路１４を介して繋がっている。なお、以下で、第１共通流路２０と第２共通流路２４とを合わせて、共通流路と言うことがある。

別の表現をすれば、加圧室１０は仮想線上に並んで配置されており、仮想線の一方の側に沿って第１共通流路２０が伸びており、仮想線の他方の側に沿って第２共通流路２４が伸びている。本実施形態では、加圧室１０が並んでいる仮想線は直線状であるが、曲線状や折れ線状であってもよい。

また、第１共通流路２０と第２共通流路２４とは、第１方向における加圧室が繋がっている範囲の外側で、第１接続流路２５Ａおよび第２接続流路２５Ｂ（両者を合わせて単に接続流路と呼ぶことがある）を介して繋がっている。第１共通流路２０には、第１方向の一定範囲で、複数の第１個別流路１２が接続されており、複数の第１個別流路１２を介して複数の加圧室１０と繋がっている。その範囲を個別流路接続領域と呼ぶ。第１共通流路２０は、個別流路接続領域の第１方向の外側で、第２方向に隣り合っている第２共通流路２４と１つの第１接続流路２５Ａを介して繋がっている。さらに、第１共通流路２０の個別流路接続領域の第３方向（第１方向と反対の方向）の外側で、第２方向に隣り合っている第２共通流路２４と１つの第２接続流路２５Ｂを介して繋がっている。すなわち、第１共通流路２０には、個別流路接続領域の第１方向の外側に２つの第１接続流路２５Ａが繋がっており、個別流路接続領域の第３方向の外側に２つの第２接続流路２５Ｂが繋がっており、合計で４本の接続流路が繋がっている。

以上のような構成を有する第１流路部材４において、第２共通流路２４に供給された液体は、第２共通流路２４に沿って並んでいる加圧室１０に流れ込む。そして、一部の液体は吐出孔８から吐出され、他の一部の液体は、加圧室１０に対して第２共通流路２４と反対側に位置している第１共通流路２０に流れ込み、第１流路部材４の外に排出される。また、一部の液体は、いずれの加圧室１０も通らずに、第２共通流路２４から接続流路を介して第１共通流路２０に流れ込む。

接続流路の流路抵抗は、第１共通流路２０および第２共通流路２４よりも大きくなっている。このため、液体の主な流れは、各加圧室１０を通る流れになっている。すなわち、第１共通流路２０においてもっとも流量の大きい部位に流れる流量に対して、接続流路を通ってくる液体の流量の合計は、半分以下である。このようにすることで、各吐出孔８のメニスカスに加わる圧力の差（以下で単にメニスカスの圧力差と言うことがある）を小さくできる。

第１共通流路２０の両側に第２共通流路２４が配置されており、第２共通流路２４の両側に第１共通流路２０が配置されている。これにより、１つの加圧室列１１Ａに対して、１つの第１共通流路２０および１つの第２共通流路２４が繋がっており、別の加圧室列１１Ａに対して、別の第１共通流路２０および別の第２共通流路２４が繋がっている場合と比較して、第１共通流路２０および第２共通流路２４の数を約半分にできる。第１共通流路２０および第２共通流路２４の数が少なくて済む分、加圧室１０の数を増やして高解像度化したり、第１共通流路２０や第２共通流路２４を太くして、吐出孔８からの吐出特性の差を小さくしたり、ヘッド本体２ａの平面方向の大きさを小さくすることができる。

第１共通流路２０に繋がっている第１個別流路１２の第１共通流路２０側の部分に加わる圧力は、圧力損失の影響で、第１共通流路２０に第１個別流路１２が繋がっている位置（主に第１方向における位置）により変わる。第２共通流路２４に繋がっている第２個別流路１４の第２共通流路２４側の部分に加わる圧力は、圧力損失の影響で、第２共通流路２４に第２個別流路１４が繋がっている位置（主に第１方向における位置）により変わる。第１共通流路２０の外部への開口２０ａを第１方向の端部に配置し、第２共通流路２４の外部への開口２４ａを第３方向の端部に配置すれば、各第１個別流路１２および各第２個別流路１４の配置による圧力の差が打ち消されるように作用し、各吐出孔８に加わる圧力の差を小さくできる。なお、第１共通流路２０の開口２０ａ、および第２共通流路２４の開口２４ａはともに、加圧室面４−１に開口している。

吐出しない状態では、吐出孔８には液体のメニスカスが保持されている。吐出孔８において液体の圧力が負圧（液体を第１流路部材４に引き込もうとする状態）になっていることで、液体の表面張力とつり合ってメニスカスを保持できる。液体の表面張力は、液体の表面積を小さくしようとするので、正圧であっても圧力が小さければ、メニスカスを保持できる。正圧が大きくなれば、液体はあふれ出し、負圧が大きくなれば、液体は第１流路部材４内に引き込まれてしまい、液体が吐出可能な状態を維持できない。そのため、第２共通流路２４から第１共通流路２０に液体を流した際における、メニスカスの圧力差が大きくなり過ぎないようにする必要がある。

第１共通流路２０の吐出孔面４−２側の壁面は、第１ダンパー２８Ａとなっている。第１ダンパー２８Ａの一方の面は、第１共通流路２０に面しており、他方の面はダンパー室２９に面している。ダンパー室２９があることにより、第１ダンパー２８Ａは変形可能になっており、変形することで第１共通流路２０の体積を変えることができる。液体を吐出させるために加圧室１０内の液体が加圧されると、その圧力の一部は、液体を通じて第１共通流路２０に伝わってくる。これにより、第１共通流路２０内の液体が振動し、その振動が、元の加圧室１０や、他の加圧室１０に伝わって、液体の吐出特性を変動させる流体クロストークが生じることがある。第１ダンパー２８Ａが存在すると、第１共通流路２０に伝わってきた液体の振動で第１ダンパー２８Ａが振動し、液体の振動が減衰することで、第１共通流路２０内の液体の振動は持続され難くなるので、流体クロストークの影響を小さくできる。すなわち、第１共通流路２０を介した圧力伝達による吐出特性の悪化を低減することができる。また、第１ダンパー２８Ａは、液体の供給および排出を安定化させる役目も果たす。

第２共通流路２４の加圧室面４−１側の壁面は、第２ダンパー２８Ｂとなっている。第２ダンパー２８Ｂの一方の面は、第２共通流路２４に面しており、他方の面はダンパー室２９に面している。第２ダンパー２８Ｂも、第１ダンパー２８Ａと同様に、流体クロストークの影響を小さくできる。すなわち、第２共通流路２４を介した圧力伝達による吐出特性の悪化を低減することができる。また、第２ダンパー２８Ｂは、液体の供給および排出を安定化させる役目も果たす。

加圧室１０は、加圧室面４−１に面して配置されており、加圧部５０からの圧力を受ける加圧室本体１０ａと、加圧室本体１０ａの下から吐出孔面４−２に開口している吐出孔８に繋がる部分流路であるディセンダ１０ｂとを含んだ中空の領域である。加圧室本体１０ａは、直円柱形状であり、平面形状は円形状である。平面形状が円形状であることにより加圧部５０が同じ力で変形させた場合の変位量、および変位により生じる加圧室１０の体積変化を大きくできる。ディセンダ１０ｂは、直径が加圧室本体１０ａより小さい、直円柱形状であり、断面形状は円形状である。また、ディセンダ１０ｂは、加圧室面４−１から見たときに、加圧室本体１０ａ内に納まる位置に配置されている。

複数ある加圧室１０は、加圧室面４−１において、千鳥状に配置されている。複数ある加圧室１０は、第１方向に沿った複数の加圧室列１１Ａを構成している。各加圧室列１１Ａでは、加圧室１０が、ほぼ等間隔で配置されている。隣り合っている加圧室列１１Ａに属する加圧室１０は、第１方向に前記間隔の約半分ずれて配置されている。別の表現をすれば、ある加圧室列１１Ａに属する加圧室１０は、その隣に位置する加圧室列１１Ａに属する、連続する２つの加圧室１０に対して、第１方向のほぼ中央に位置している。

これにより、１つ置きの加圧室列１１Ａに属している加圧室１０は、第２方向に沿って配置されることになり、加圧室行１１Ｂを構成している。

本実施形態では、第１共通流路２０は５１本、第２共通流路２４は５０本であり、加圧室列１１Ａは１００列である。なお、ここでは、後述のダミー加圧室１０Ｄのみで構成されているダミー加圧室列１１Ｄは、上述の加圧室列１１Ａの数に含めていない。また、直接的に繋がっているのがダミー加圧室１０Ｄだけである第２共通流路２４は、上述の第２共通流路２４の数に含めていない。また、各加圧室列１１Ａには１６個の加圧室１０が含まれている。ただし、第２方向の端に位置する加圧室列１１Ａには、８個の加圧室１０および８個のダミー加圧室１０Ｄが含まれている。上述のように、加圧室１０は千鳥状に配置されているため、加圧室行１１Ｂの行数は、３２行である。

複数ある加圧室１０は、吐出孔面４−２において、第１方向および第２方向に沿った格子状に配置されている。複数ある吐出孔８は、第１方向に沿った複数の吐出孔列９Ａを構成している。吐出孔列９Ａと加圧室列１１Ａとは、ほぼ同じ位置に配置されている。

加圧室１０の面積重心と、加圧室１０と繋がっている吐出孔８とは第１方向にずらされて配置されている。１つの加圧室列１１Ａ内では、ずらされる方向は同じ方向であり、隣り合う加圧室列１１Ａでは、ずらされる方向は逆方向になっている。これにより、２行の加圧室行１１Ｂに属する加圧室１０に繋がっている吐出孔８は、第２方向に沿って配置された１行の吐出孔行９Ｂを構成している。

したがって、本実施形態では、吐出孔列９Ａは１００列であり、吐出孔行９Ｂは１６行である。

加圧室本体１０ａの面積重心と、加圧室本体１０ａから繋がっている吐出孔８とは、ほぼ第１方向に位置がずれている。ディセンダ１０ｂは、加圧室本体１０ａに対して、吐出孔８の方向にずれた位置に配置されている。加圧室本体１０ａの側壁と、ディセンダ１０ｂの側壁とは接するように配置されており、これにより加圧室本体１０ａ内での液体の滞留を起き難くすることができる。

吐出孔８は、ディセンダ１０ｂの中央部に配置されている。ここで中央部とは、ディセンダ１０ｂの面積重心を中心とする、ディセンダ１０ｂの直径の半分の円内の領域のことである。

第１個別流路１２と加圧室本体１０ａとの接続部は、加圧室本体１０ａの面積重心に対して、ディセンダ１０ｂとは反対側に配置されている。これにより、第２個別流路１４を介してディセンダ１０ｂから流れ込んだ液体は、加圧室本体１０ａ全体に広がった後、第１個別流路１２に向かうように流れるため、加圧室本体１０ａ内に液体の滞留が生じ難い。

第２個別流路１４は、ディセンダ１０ｂの吐出孔面４−２側の面から、平面方向に引き出されて第２共通流路２４と繋がっている。引き出される方向は、加圧室本体１０ａに対して、ディセンダ１０ｂがずらされる方向と同じである。

第１方向と第２方向とが成す角度は直角からずれている。このため、第１方向に沿って配置されている吐出孔列９Ａに属する吐出孔８同士は、その直角からのずれた角度の分、第２方向にずれて配置される。そして、吐出孔列９Ａが第２方向に並んで配置されるので、異なる吐出孔列９Ａに属する吐出孔８は、その分、第２方向にずれて配置される。これらが合わさって、第１流路部材４の吐出孔８は、第２方向に一定間隔で並んで配置されており、これにより、吐出した液体により形成される画素で所定の範囲を埋めるように印刷ができる。

１つの吐出孔列９Ａに属する吐出孔８の配置は、第１方向に沿って完全に一直線上に配置すれば、上述のように所定範囲を埋め尽くすように印刷が可能である。ただし、そのように配置した場合に、プリンタ１に液体吐出ヘッド２を設置する際に生じる第２方向に直交する方向と搬送方向とのずれが、印刷精度に与える影響が大きくなる。そのため、上述の一直線上の吐出孔８の配置から、隣り合う吐出孔列９Ａの間で、吐出孔８を入れ替えて配置すると良い。

本実施形態では、吐出孔８の配置は次のようになっている。図３において、吐出孔８を第２方向と直交する方向に投影すると、仮想直線Ｒの範囲に３２個の吐出孔８が投影され、仮想直線Ｒ内で各吐出孔８は３６０ｄｐｉの間隔に並ぶ。これにより、仮想直線Ｒに直交する方向に印刷用紙Ｐを搬送して印刷すれば、３６０ｄｐｉの解像度で印刷できる。仮想直線Ｒ内に投影される吐出孔８は、１列の吐出孔列９Ａに属する吐出孔８すべて（１６個）と、その吐出孔列９Ａの両隣に位置する２つの吐出孔列９Ａに属する吐出孔８の半分（８個）ずつである。このような構成にするために、各吐出孔行９Ｂでは、吐出孔８は、２２．５ｄｐｉの間隔で並んでいる。これは、３６０／１６＝２２．５であるからである。

第１共通流路２０および第２共通流路２４は、吐出孔８が直線状に並んでいる範囲では、直線になっており、直線がずれる吐出孔８の間で平行にずれている。第１共通流路２０および第２共通流路２４において、このずれる箇所が少ないので、流路抵抗が小さくなっている。また、この平行にずれる部分は、加圧室１０と重ならない位置に配置されているので、加圧室１０毎に吐出特性の変動を小さくできる。

第２方向の両方の端の１列（すなわち合わせて２列）の加圧室列１１Ａには、通常の加圧室１０とダミー加圧室１０Ｄとが含まれている（そのため、この加圧室列１１Ａをダミー加圧室列１１Ｄと言うことがある）。また、ダミー加圧室列１１Ｄのさらに外側には、ダミー加圧室１０Ｄのみが並んでいる１列（すなわち、両端で合わせて２列）のダミー加圧室列１１Ｄが配置されている。第２方向の両方の端に１本ずつ（すなわち合わせて２本）ある流路は、通常の第１共通流路２０と同じ形状をしているが、直接的には加圧室１０とは繋がっておらず、ダミー加圧室１０Ｄとしか繋がっていない。

第１流路部材４は、第１共通流路２０および第２共通流路２４からなる共通流路群の第２方向の外側に位置していて、第１方向に伸びている、端部流路３０を有している。端部流路３０は、加圧室面４−１に並んでいる第１共通流路２０の開口２０ａのさらに外側に配置されている開口３０ｃと、加圧室面４−１に並んでいる第２共通流路２４の開口２４ａのさらに外側に配置されている開口３０ｄとを繋いでいる流路である。

液体の吐出特性を安定させるために、ヘッド本体２ａは、温度を一定にするようコントロールされる。また、液体の粘度が低くなる方が、吐出や液体の循環が安定するため、温度は、基本的には常温以上にされる。そのため、基本的にはヘッド本体２ａを加熱することになるが、環境温度が高い場合は、ヘッド本体２ａを冷却することもある。

温度を一定に保つためには、液体吐出ヘッド２にヒータを設けたり、供給する液体を温度調節したものにする。いずれにしても、環境温度と、目標とする温度に差がある場合、ヘッド本体２ａの長手方向（第２方向）の端部からの放熱が多くなるため、第２方向の中央部に位置する加圧室１０の中の液体の温度に対して、第２方向の両方の端に位置する加圧室１０の温度は低くなりやすい。端部流路３０を設けることにより、第２方向の両方の端に位置する加圧室１０の温度が下がり難くなり、各加圧室１０から吐出される液体の吐出特性のばらつきを小さくでき、印刷精度を向上させることができる。

端部流路３０は、第１統合流路２２と第２統合流路２６とを繋いでいる流路である。端部流路３０の流路抵抗は、第１共通流路２０および第２共通流路２４の流路抵抗よりも小さくすると良い。そのようにすれば、端部流路３０に流れる液体の量が多くなり、端部流路３０より内側での温度低下をより低減できる。

端部流路３０には、流路の幅が、共通流路の幅よりも広い幅広部３０ａが設けられており、幅広部３０ａの加圧室面４−１側にはダンパーが設けられている。このダンパーは、一方の面が幅広部３０ａに面しており、他方の面がダンパー室に面していて変形可能になっている。ダンパーのダンピング能力は、変形可能な領域の差し渡しが一番狭い部分の影響が大きい。そのため、幅広部３０ａに面してダンパーを設けることで、ダンピング能力の高いダンパーとすることができる。幅広部３０ａの幅は、共通流路の幅の２倍以上、特に３倍以上にすると良い。幅広部３０ａを設けることで、流路抵抗が低くなり過ぎるようであれば、狭窄部３０ｂを設けて、流路抵抗を調性してもよい。

第２流路部材６は、第１流路部材４の加圧室面４−１に接合されている。第２流路部材６は、第２共通流路２４に液体を供給する第２統合流路２６と、第１共通流路２０の液体を回収する第１統合流路２２とを有している。第２流路部材６の厚さは、第１流路部材４よりも厚く、５〜３０ｍｍ程度である。なお、第１統合流路２２と第２統合流路２６とを合わせて統合流路と呼ぶことがある。

第２流路部材６は、第１流路部材４の加圧室面４−１の圧電アクチュエータ基板４０が接続されていない領域で接合されている。より具体的には、圧電アクチュエータ基板４０を囲むように接合されている。このようにすることで、圧電アクチュエータ基板４０に、吐出した液体の一部がミストとなって付着するのを低減できる。また、第１流路部材４を外周で固定することになるので、第１流路部材４が加圧部５０の駆動に伴って振動して、共振などが生じることを低減できる。

また、第２流路部材６の中央部で、貫通孔６ｃが上下に貫通している。貫通孔６ｃは、圧電アクチュエータ基板４０を駆動する駆動信号を伝達するＦＰＣ（Flexible Printed Circuit）などの配線部材が通される。なお、貫通孔６ｃの第１流路部材４側は、短手方向の幅が広くなっている拡幅部６ｃａとなっている。圧電アクチュエータ基板４０から短手方向の両側に伸びる配線部材は、拡幅部６ｃａで曲げられて上方に向かい、貫通孔６ｃを抜ける。なお、拡幅部６ｃａに広がる部分の凸部は、配線部材を傷つけるおそれがあるので、Ｒ形状にしておくと良い。

第１統合流路２２を、第１流路部材４とは別の、第１流路部材４より厚い第２流路部材６に配置することで、第１統合流路２２の断面積を大きくすることができ、それにより第１統合流路２２と第１共通流路２０とが繋がっている位置の差による圧力損失の差を小さくできる。第１統合流路２２の流路抵抗（より正確には第１統合流路２２のうちで、第１共通流路２０と繋がっている範囲の流路抵抗）は、第１共通流路２０の１／１００以下にすると良い。

第２統合流路２６を、第１流路部材４とは別の、第１流路部材４より厚い第２流路部材６に配置することで、第２統合流路２６の断面積を大きくすることができ、それにより第２統合流路２６と第２共通流路２４とが繋がっている位置の差による圧力損失の差を小さくできる。第２統合流路２６の流路抵抗（より正確には第２統合流路２６のうちで、第１統合流路２２と繋がっている範囲の流路抵抗）は、第２共通流路２４の１／１００以下にすると良い。

第１統合流路２２は、第２流路部材６の短手方向の一方の端に位置し、第２統合流路２６は、第２流路部材６の短手方向の他方の端に位置する。そして、第１統合流路２２および第２統合流路２６の両方は、第１流路部材４に面するように配置されており、それぞれ第１共通流路２０および第２共通流路２４と繋がっている。このような構成により、第１統合流路２２および第２統合流路２６の断面積を大きく（つまり流路抵抗を小さく）できるともに、第２流路部材６で、第１流路部材４の外周を固定して剛性を高くし、さらに、配線部材の通る貫通孔６ｃを設けることができる。

第２流路部材６は、第２流路部材のプレート６ａと６ｂとが積層されて構成されている。プレート６ｂの上面には、第１統合流路２２のうち第２方向に伸びている流路抵抗の低い部分である第１統合流路本体２２ａとなる第１溝と、第２統合流路２６のうち第２方向に伸びている流路抵抗の低い部分である第２統合流路本体２６ａとなる第２溝が配置されている。

第１統合流路本体２２ａとなる第１溝の下側（第１流路部材４の方向）は、加圧室面４−１によって大部分が塞がれており、一部は加圧室面４−１上に開口している第１共通流路２０の開口２０ａに繋がっている。

第２統合流路本体２６ａとなる第２溝の下側は、加圧室面４−１によって大部分が塞がれており、一部は加圧室面４−１上に開口している第２共通流路２４の開口２４ａに繋がっている。

プレート６ａには、第１統合流路２２の第２方向の端部に開口２２ｃが設けられている。プレート６ａには、第２統合流路２６の、第２方向と反対方向の第４方向の端部に開口２６ｃが設けられている。液体は、第２統合流路２６の開口２６ｃから供給され、第１統合流路２２の開口２２ｃから回収されるが、これに限らず供給と回収を逆にしてもよい。

第１統合流路２２および第２統合流路２６には、ダンパーを設けて、液体の吐出量の変動に対して液体の供給、あるいは排出が安定するようにしてもよい。また、第１統合流路２２および第２統合流路２６内に、フィルタを設けることにより、異物や気泡が、第１流路部材４に入り込み難くしてもよい。

第１流路部材４の上面である加圧室面４−１には、加圧部５０を含む圧電アクチュエータ基板４０が接合されており、各加圧部５０が加圧室１０上に位置するように配置されている。圧電アクチュエータ基板４０は、加圧室１０によって形成された加圧室群とほぼ同一の形状の領域を占有している。また、各加圧室１０の開口は、第１流路部材４の加圧室面４−１に圧電アクチュエータ基板４０が接合されることで閉塞される。圧電アクチュエータ基板４０は、ヘッド本体２ａと同じ方向に長い長方形状である。また、圧電アクチュエータ基板４０には、各加圧部５０に信号を供給するためのＦＰＣなどの信号伝達部が接続されている。第２流路部材６には、中央で、上下に貫通している貫通孔６ｃがあり、信号伝達部は貫通孔６ｃを通って制御部８８と電気的に繋がれる。信号伝達部は、圧電アクチュエータ基板４０の一方の長辺の端から他方の長辺の端に向かうように短手方向に伸びる形状にし、信号伝達部に配置される配線が短手方向に沿って伸び、長手方向に並ぶようにすれば、配線間の距離をとりやすくなるので良い。

圧電アクチュエータ基板４０の上面における各加圧室１０に対向する位置には個別電極４４がそれぞれ配置されている。

第１流路部材４は、複数のプレートが積層された積層構造を有している。第１流路部材４の加圧室面４−１側から順に、プレート４ａからプレート４ｍまでの１２枚のプレートが積層されている。これらのプレートには多数の孔や溝が形成されている。これらのプレートは、例えば、各種の金属や樹脂等を用いて形成することができる。孔や溝は、例えばエッチングによって形成することができる。また、隣り合うプレート同士は、例えば、接着剤等を用いて接合することができる。各プレートの厚さは１０〜３００μｍ程度であることにより、形成する孔や溝の形成精度を高くできる。各プレートは、これらの孔や溝が互いに連通して第１共通流路２０などの流路を構成するように、位置合わせして積層されている。

平板状の第１流路部材４の加圧室面４−１には、加圧室本体１０ａが開口しており、圧電アクチュエータ基板４０が接合されている。また、加圧室面４−１には、第２共通流路２４に液体を供給する開口２４ａ、および第１共通流路２０から液体を回収する開口２０ａが開口している。第１流路部材４の、加圧室面４−１と反対側の面である吐出孔面４−２には吐出孔８が開口している。なお、加圧室面４−１にさらにプレートを積層して、加圧室本体１０ａの開口を塞ぎ、その上に圧電アクチュエータ基板４０を接合してもよい。そのようにすれば、吐出する液体が圧電アクチュエータ基板４０に接する可能性を低減することができ、信頼性をより高くできる。

液体を吐出する構造としては、加圧室１０と吐出孔８とがある。加圧室１０は、加圧部５０に面している加圧室本体１０ａと、加圧室本体１０ａより断面積が小さいディセンダ１０ｂから成っている。加圧室本体１０ａは、プレート４ａに形成されており、ディセンダ１０ｂは、プレート４ｂ〜ｋに形成された孔が重ねられ、さらに第１プレート４ｍで（吐出孔８以外の部分を）塞がれて成っている。

加圧室本体１０ａには、第１個別流路１２が繋がっており、第１個別流路１２は、第１共通流路２０に繋がっている。第１個別流路１２は、プレート４ｂを貫通する円形状の孔と、プレート４ｃにおいて平面方向に伸びている貫通溝と、プレート４ｄを貫通する円形状の孔とを含んでいる。第１共通流路２０はプレート４ｆ〜ｉに形成された孔が重ねられ、さらに上側をプレート４ｅで、下側をプレート４ｊで塞がれて成っている。

ディセンダ１０ｂには、第２個別流路１４が繋がっており、第２個別流路１４は、第２共通流路２４に繋がっている。第２個別流路１４は、プレート４ｊにおいて平面方向に伸びている貫通溝である。第２共通流路２４はプレート４ｆ〜ｉに形成された孔が重ねられ、さらに上側をプレート４ｅで、下側をプレート４ｊで塞がれて成っている。

液体の流れについて、まとめると、第２統合流路２６に供給された液体は、第２共通流路２４および第２個別流路１４を順に通って加圧室１０に入り、一部の液体は吐出孔８から吐出される。吐出されなかった液体は、第１個別流路１２を通って、第１共通流路２０に入った後、第１統合流路２２に入り、ヘッド本体２の外部に排出される。

圧電アクチュエータ基板４０は、圧電体である２枚の圧電セラミック層４０ａ、４０ｂからなる積層構造を有している。これらの圧電セラミック層４０ａ、４０ｂはそれぞれ２０μｍ程度の厚さを有している。すなわち、圧電アクチュエータ基板４０の圧電セラミック層４０ａの上面から圧電セラミック層４０ｂの下面までの厚さは４０μｍ程度である。圧電セラミック層４０ａと圧電セラミック層４０ｂの厚さの比は、３：７〜７：３、好ましく４：６〜６：４にされる。圧電セラミック層４０ａ、４０ｂのいずれの層も複数の加圧室１０を跨ぐように延在している。これらの圧電セラミック層４０ａ、４０ｂは、例えば、強誘電性を有する、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系、ＮａＮｂＯ_３系、ＢａＴｉＯ_３系、（ＢｉＮａ）ＮｂＯ_３系、ＢｉＮａＮｂ_５Ｏ_１５系などのセラミックス材料からなる。

圧電アクチュエータ基板４０は、Ａｇ−Ｐｄ系などの金属材料からなる共通電極４２およびＡｕ系などの金属材料からなる個別電極４４を有している。共通電極４２の厚さは２μｍ程度であり、個別電極４４の厚さは、１μｍ程度である。

個別電極４４は、圧電アクチュエータ基板４０の上面における各加圧室１０に対向する位置に、それぞれ配置されている。個別電極４４は、平面形状が加圧室本体１０ａより一回り小さく、加圧室本体１０ａとほぼ相似な形状を有している個別電極本体４４ａと、個別電極本体４４ａから引き出されている引出電極４４ｂとを含んでいる。引出電極４４ｂの一端の、加圧室１０と対向する領域外に引き出された部分には、接続電極４６が形成されている。接続電極４６は例えば銀粒子などの導電性粒子を含んだ導電性樹脂であり、５〜２００μｍ程度の厚さで形成されている。また、接続電極４６は、信号伝達部に設けられた電極と電気的に接合されている。

また、圧電アクチュエータ基板４０の上面には、共通電極用表面電極（不図示）が形成されている。共通電極用表面電極と共通電極４２とは、圧電セラミック層４０ａに配置された、図示しない貫通導体を通じて、電気的に接続されている。

詳細は後述するが、個別電極４４には、制御部８８から信号伝達部を通じて駆動信号が供給される。駆動信号は、印刷用紙Ｐの搬送速度と同期して一定の周期で供給される。

共通電極４２は、圧電セラミック層４０ａと圧電セラミック層４０ｂとの間の領域に面方向のほぼ全面にわたって形成されている。すなわち、共通電極４２は、圧電アクチュエータ基板４０に対向する領域内のすべての加圧室１０を覆うように延在している。共通電極４２は、圧電セラミック層４０ａ上に個別電極４４からなる電極群を避ける位置に形成されている共通電極用表面電極に、圧電セラミック層４０ａを貫通して形成されたビアホールを介して繋がっていて、接地され、グランド電位に保持されている。共通電極用表面電極は、複数の個別電極４４と同様に、制御部８８と直接あるいは間接的に接続されている。

圧電セラミック層４０ａの個別電極４４と共通電極４２とに挟まれている部分は、厚さ方向に分極されており、個別電極４４に電圧を印加すると変位する、ユニモルフ構造の変位素子となっている。より具体的には、個別電極４４を共通電極４２と異なる電位にして圧電セラミック層４０ａに対してその分極方向に電界を印加したとき、この電界が印加された部分が、圧電効果により歪む活性部として働く。この構成において、電界と分極とが同方向となるように、制御部８８により個別電極４４を共通電極４２に対して正または負の所定電位にすると、圧電セラミック層４０ａの電極に挟まれた部分（活性部）が、面方向に収縮する。一方、非活性層の圧電セラミック層４０ｂは電界の影響を受けないため、自発的には縮むことがなく活性部の変形を規制しようとする。この結果、圧電セラミック層４０ａと圧電セラミック層４０ｂとの間で分極方向への歪みに差が生じて、圧電セラミック層４０ｂは加圧室１０側へ凸となるように変形（ユニモルフ変形）する。このようにして、圧電セラミック層４０ａの個別電極４４と共通電極４２とに挟まれている部分と、それを挟む個別電極４４および共通電極４２と、によって、加圧室１０内の液体を加圧する加圧部５０が構成されている。

続いて、液体の吐出動作について、説明する。制御部８８からの制御でドライバＩＣなどを介して、個別電極４４に供給される駆動信号により、加圧部５０が駆動（変位）させられる。本実施形態では、様々な駆動信号で液体を吐出させることができるが、ここでは、いわゆる引き打ち駆動方法について説明する。

あらかじめ個別電極４４を共通電極４２より高い電位（以下、高電位と称す）にしておき、吐出要求がある毎に個別電極４４を共通電極４２と一旦同じ電位（以下、低電位と称す）とし、その後所定のタイミングで再び高電位とする。これにより、個別電極４４が低電位になるタイミングで、圧電セラミック層４０ａ、４０ｂが元の（平らな）形状に戻り（始め）、加圧室１０の容積が初期状態（両電極の電位が異なる状態）と比較して増加する。これにより、加圧室１０内の液体に負圧が与えられる。そうすると、加圧室１０内の液体が固有振動周期で振動し始める。具体的には、最初、加圧室１０の体積が増加し始め、負圧は徐々に小さくなっていく。次いで加圧室１０の体積は最大になり、圧力はほぼゼロとなる。次いで加圧室１０の体積は減少し始め、圧力は高くなっていく。その後、圧力がほぼ最大になるタイミングで、個別電極４４を高電位にする。そうすると最初に加えた振動と、次に加えた振動とが重なり、より大きい圧力が液体に加わる。この圧力がディセンダ内を伝搬し、吐出孔８から液体を吐出させる。

つまり、高電位を基準として、一定期間低電位とするパルスの駆動信号を個別電極４４に供給することで、液滴を吐出できる。このパルス幅は、加圧室１０の液体の固有振動周期の半分の時間であるＡＬ（Acoustic Length）とすると、原理的には、液体の吐出速度および吐出量を最大にできる。加圧室１０の液体の固有振動周期は、液体の物性、加圧室１０の形状の影響が大きいが、それ以外に、圧電アクチュエータ基板４０の物性や、加圧室１０に繋がっている流路の特性からの影響も受ける。

次に、第１流路部材４の吐出孔面４−２側の構造について、図５および図７を用いて説明する。図５は、図４のＶ−Ｖ線に沿った縦断面図である。図７は、第１流路部材４を構成する第２プレート４ｋの一部分を、第１プレート４ｍと反対側から見た状態を示す模式的な平面図である。第１流路部材４の吐出孔面４−２側は、吐出孔面４−２側から、第１プレート４ｍ、第２プレート４ｋ、プレート４ｊの順に配置されて構成されている。

プレート４ｊの吐出孔面４−２と反対側の表面は、第１方向に沿って伸びる複数の共通流路（第１共通流路２０および第２共通流路２４）に接しており、プレート４ｊにおける共通流路（２０、２４）に接する部分の反対側（第２プレート４ｋ側）には、それぞれ凹部が形成されている。また、第２プレート４ｋのプレート４ｊ側の表面における、プレート４ｊに形成された凹部に面する部分にも、それぞれ凹部が形成されている。このように、プレート４ｊに形成された複数の凹部と、第２プレート４ｋに形成された複数の凹部と、が互いに向かい合うように配置されて構成された空間によって、複数の共通流路（２０、２４）に沿って第１方向に伸びる複数のダンパー室２９が構成されている。そして、第１共通流路２０とダンパー室２９とを仕切る壁によって第１ダンパー２８Ａが構成されており、第２共通流路２４とダンパー室２９とを仕切る壁によって第２ダンパー２８Ｂが構成されている。

第２プレート４ｋは、ダンパー室２９と第１プレート４ｍとで挟まれた部分である第１部分９１を複数有している。そして、第１部分９１における第１プレート４ｍと反対側の表面である第１表面９１ａに、被覆層９３が不均一に設けられている。

被覆層９３は、金属、樹脂等の既知の種々の材料を用いて構成することができる。例えば、別途作製したプレート状の被覆層９３を、第２プレート４ｋの第１部分９１における第１表面９１ａに、接着剤等の接合部材によって接合することにより、被覆層９３を形成することができる。また、被覆層９３を構成する材料として樹脂を用いる場合には、例えば、第１部分９１における第１表面９１ａに、被覆層９３となる未硬化の樹脂を塗布して硬化させることにより、被覆層９３を形成することができる。なお、被覆層９３は、複数の層の積層体であっても良く、第１プレート４ｍおよび第２プレート４ｋは、複数の部材の複合体であっても構わない。

被覆層は、第１部分９１における第１表面９１ａに、不均一に設けられていることが必要である。「不均一に設けられている」状態とは、「被覆層９３が、第１部分９１における第１表面９１ａの全体に渡って同じ厚さで設けられている」状態ではない状態である。すなわち、「第１部分９１における第１表面９１ａに、被覆層９３が設けられた部分と、被覆層９３が設けられていない部分と、が存在する」状態や、「第１部分９１における第１表面９１ａの全体に渡って被覆層９３が設けられているものの、被覆層９３の厚さが場所によって異なっている」状態を意味する。

なお、「第１部分９１における第１表面９１ａに、被覆層９３が設けられた部分と、被覆層９３が設けられていない部分と、が存在する」状態の方が望ましいが、「第１部分９１における第１表面９１ａの全体に渡って被覆層９３が設けられているものの、被覆層９３の厚さが場所によって異なっている」状態としても良い。その場合には、厚さの差が大きい方が望ましく、厚さが大きい大厚部の厚さは、厚さが小さい小厚部の厚さに対して、１．５倍以上であることが望ましい。なお、大厚部と小厚部との厚さの差は大きい方が望ましく、大厚部の厚さは、小厚部の厚さに対して、２倍以上であることが更に望ましく、３倍以上であることが更に望ましい。

なお、本実施形態では、図７に示すように、第１部分９１における第１表面９１ａに、被覆層９３が設けられた第１領域９３Ａと、被覆層９３が設けられていない第２領域９４と、が存在し、平面形状が異なる複数の第２領域９４が存在するようにされている。

上述したように、本実施形態の液体吐出ヘッド２は、液体を加圧する複数の加圧部５０と、第１流路部材４と、を有している。第１流路部材４は、液体を吐出する複数の吐出孔８と、複数の吐出孔８と繋がっている共通流路（２０、２４）と、共通流路（２０、２４）の外側に配置された空間で構成されたダンパー室２９と、共通流路（２０、２４）とダンパー室２９とを仕切る壁で構成されたダンパー（２８Ａ、２８Ｂ）と、を有している。また、第１流路部材４は、平板状の複数のプレート（４ａ〜４ｍ）が積層されて構成されており、複数のプレート（４ａ〜４ｍ）は、複数の吐出孔８を有する第１プレート４ｍと、第１プレート４ｍに隣り合う第２プレート４ｋと、を有している。第２プレート４ｋは、第１プレート４ｍとダンパー室２９とで挟まれた第１部分９１を有しており、第１部分９１における第１表面９１ａに被覆層９３が不均一に設けられている。このような構成を有する本実施形態の液体吐出ヘッド２は、以下に述べるように、吐出孔８が形成された表面（吐出孔面４−２）に大きな振動が発生するのを低減することができる。

本実施形態の液体吐出ヘッド２のように、共通流路（２０、２４）にダンパー（２８Ａ、２８Ｂ）を形成すると、共通流路（２０、２４）を介した圧力変動の伝達によって生じる吐出特性の悪化を改善することができる。しかし、図５に示すように、ダンパー室２９を吐出孔面４−２に近接して配置すると、吐出孔面４−２とダンパー室２９とで挟まれた第１部分９１の強度が低下して、第１部分９１が吐出孔面４−２の他の部分よりも大きく振動し易くなるという問題が生じる。

本実施形態の液体吐出ヘッド２は、第１部分９１における第１表面９１ａに被覆層９３が不均一に設けられている。これにより、一体的に振動する第１部分９１と被覆層９３との複合体における、剛性や質量分布が不均一となるため、複合体の構造的な対称性を低下させることができる。これにより、共振モードの縮退を解いて、共振周波数を分散させることができるので、第１部分９１と被覆層９３との複合体が特定の周波数において大きく振動するのを低減することが可能となる。

このような振動低減効果を高めるためには、第１部分９１と被覆層９３との複合体における構造的な対称性を低くすることが必要である。よって、被覆層９３が形成された第１領域９３Ａの平面形状は、対称性が低い形状であることが望ましい。すなわち、第１領域９３Ａの平面形状が、線対称、回転対称等の対称性を有さない形状であることが望ましい。

また、本実施形態では、図７に示すように、第１部分９１における第１表面９１ａに、被覆層９３が設けられた第１領域９３Ａと、被覆層９３が設けられていない第２領域９４と、が存在するようにされている。これにより、第１部分９１と被覆層９３との複合体における、第１領域９３Ａと、第２領域９４と、の剛性および質量の差を大きくすることができるので、構造的な対称性を低下させることが可能となり、特定周波数における大きな振動を低減する効果を更に高めることができる。

また、図７に示すように、複数の吐出孔８は、複数の列を成すように配置されており、第１部分９１は、列の間に位置しており、且つ列に沿った方向である第１方向に長い形状を有している。このような場合は、被覆層９３は、第１方向に沿って幅広部と幅狭部とが交互に存在する形状を有しているようにするのが望ましい。これにより、構造的な対称性を低下させることができるので、吐出孔面４−２とダンパー室２９とで挟まれた部分に共振現象に起因する大きな振動が生じて、吐出特性が悪化するのを低減することができる。

また、このとき、隣り合う幅狭部の幅が互いに異なっているようにするのが望ましい。すなわち、図７に示すように、各々の幅狭部の幅を、それぞれＷ１、Ｗ２、Ｗ３、Ｗ４、Ｗ５、Ｗ６としたときに、Ｗ１とＷ２とが異なり、Ｗ２とＷ３とが異なり、Ｗ４とＷ５とが異なり、Ｗ５とＷ６とが異なるようにすることが望ましい。これにより、構造的な対称性を更に低下させることができるので、特定周波数における大きな振動を低減する効果を更に高めることができる。

また、本実施形態では、第１プレート４ｍを構成する材料の線膨張率および被覆層９３を構成する材料の線膨張率を、第２プレート４ｋを構成する材料の線膨張率よりも大きくしてもよい。これにより、第１プレート４ｍと第２プレート４ｋとを接合する接着剤を加熱によって硬化させて常温に戻したときに、第１プレート４ｍおよび被覆層９３が、第２プレート４ｋよりも大きく収縮する。これにより、吐出孔面４−２のダンパー室２９に隣接する部分が僅かに凹部になるように変形させることができるとともに、凹部における凹み量が過剰に大きくなるのを防ぐことができる。これにより、吐出孔面４−２における吐出孔８が形成された部分が相対的に凹部となることが防止できるため、吐出孔８付近に拭き残しが発生するという問題の発生を低減することができる。また、吐出孔面４−２のダンパー室２９に隣接する部分の凹み量が過剰に大きくなることに起因して、吐出孔面４−２のダンパー室２９に隣接する部分に拭き残しが発生するのを防止することができる。

なお、被覆層９３の厚さを、第１プレート４ｍの厚さよりも小さくすると、吐出孔面４−２におけるダンパー室２９に隣接する部分が凸になるように変形するのを容易に防止することができる。

また、図７に示すように、第１部分９１の周縁部に被覆層９３の非形成領域が存在することによって、被覆層９３が第１部分９１の中央部に偏在しているようにしてもよい。これにより、吐出孔面４−２のダンパー室２９に隣接する部分の凹み量が過剰に大きくなるのを防ぐ効果を高めることができる。

第１プレート４ｍを構成する材料の線膨張率および被覆層９３を構成する材料の線膨張率を、第２プレート４ｋを構成する材料の線膨張率よりも大きくするときには、線膨張率の条件を満たすように、既知の種々の材料の中から適宜選択することができる。例えば、１つの例としては、第２プレート４ｋを含むプレート４ａ〜４ｋの材料として、ステンレス合金を選択し、第１プレート４ｍの材料としてニッケルを選択し、被覆層９３の材料としてエポキシ樹脂を選択することができる。また、他の例としては、第２プレート４ｋを含むプレート４ａ〜４ｋの材料として、ステンレス合金を選択し、第１プレート４ｍの材料としてポリイミド樹脂を選択し、被覆層９３の材料としてエポキシ樹脂を選択することができる。また、第２プレート４ｋを含むプレート４ａ〜４ｋの材料としては、例えば炭素鋼のような線膨張率の小さい金属を選択することができ、第１プレート４ｍの材料としては、例えばスズのような線膨張率が大きい金属を選択することができ、被覆層９３の材料として、例えばスズや鉛のような線膨張率が大きく融点が低い金属を選択することも可能である。

被覆層９３を構成する材料としてスズ等の低融点の金属を用いる場合には、例えば、第１プレート４ｍと第２プレート４ｋとを積層した後に、第１部分９１における第１表面９１ａに、ペースト状、粉末状または粒状の金属を配置し、第１プレート４ｍと第２プレート４ｋとを接合するための接着剤を硬化させるときの加熱によって金属を溶かした後に常温に戻すことにより、被覆層９３を形成することができる。

また、被覆層９３を構成する材料としてニッケルやポリイミドを選択した場合には、例えば、プレート状の被覆層９３を、第１部分９１における第１表面９１ａに、接着剤を介して貼付し、その接着剤を、第１プレート４ｍと第２プレート４ｋとを接合するための接着剤を加熱して硬化させるときに、同時に硬化させることにより、被覆層９３を形成することができる。

（第２実施形態）
図８は、第２実施形態の液体吐出ヘッドにおける、図７と同様の状態を示す模式的な平面図である。なお、本実施形態においては、前述した第１実施形態と異なる点について説明し、同様の構成要素には同じ参照符号を付して重複する説明を省略する。

本実施形態では、被覆層９３が複数の領域に分割して配置されている。すなわち、図８に示すように、被覆層９３が設けられた第１領域９３Ａが、複数の領域（９３ａ，９３ｂ，９３ｃ，９３ｄ，９３ｅ，９３ｆ，９３ｇ，９３ｈ）に分割されている。このような構造によっても、吐出孔面４−２とダンパー室２９とで挟まれた部分が特定の周波数で大きく振動するのを低減することができる。

また、このとき、被覆層９３の複数の領域のうち互いに隣り合う領域の面積が互いに異なるようにするのが望ましい。すなわち、図８に示すように、領域９３ａの面積と領域９３ｂの面積とが異なり、領域９３ｂの面積と領域９３ｃの面積とが異なり、領域９３ｃの面積と領域９３ｄの面積とが異なり、領域９３ｅの面積と領域９３ｆの面積とが異なり、領域９３ｆの面積と領域９３ｇの面積とが異なり、領域９３ｇの面積と領域９３ｈの面積とが異なるようにするのが望ましい。これにより、構造的な対称性を更に低下させることができるので、吐出孔面４−２とダンパー室２９とで挟まれた部分に共振現象に起因する大きな振動が生じて、吐出特性が悪化するのを更に低減することができる。

（第３実施形態）
図９は、第３実施形態の液体吐出ヘッドにおける、図７と同様の状態を示す模式的な平面図である。図１０は、第３実施形態の液体吐出ヘッドにおける、図５と同様の状態を示す模式的な部分断面図である。なお、本実施形態においては、前述した第１実施形態と異なる点について説明し、同様の構成要素には同じ参照符号を付して重複する説明を省略する。

本実施形態では、図９および図１０に示すように、第２プレート４ｋの第１部分９１に複数の貫通孔９２を設けるとともに、複数の貫通孔９２の内部に充填材９２ａを設け、充填材９２ａを構成する材料が、第２プレート４ｋを構成する材料と異なるようにしている。これにより、第１部分９１、被覆層９３および充填材９２ａによって構成されて一体的に振動する複合体における、質量及び剛性の不均一性を高め、構造的な対称性を更に低下させることが可能となるので、特定周波数における大きな振動を低減する効果を更に高めることができる。

充填材９２ａを構成する材料としては、金属、樹脂、ガラス等の既知の種々の材料を用いることができる。

充填材９２ａを構成する材料として樹脂を用いる場合には、例えば、充填材９２ａとなる未硬化の樹脂を貫通孔９２に充填し、加熱して硬化させることにより、充填材９２ａを形成することができる。なお、例えば、第１プレート４ｍと第２プレート４ｋとを接合する接着剤を塗布する厚さを通常よりも厚くし、第１プレート４ｍおよび第２プレート４ｋを張り合わせた後に加える圧力を調整することにより、低粘度化した接着剤が、貫通孔９２の内部に充填されるようにし、これを硬化させることによって充填材９２ａを構成しても構わない。また、例えば、例えば、第１プレート４ｍと第２プレート４ｋとを接合する接着剤を塗布する厚さを第２プレート４ｋの厚さの１／２以上とし、第１プレート４ｍおよび第２プレート４ｋを張り合わせた後に加える圧力を調整することにより、低粘度化した接着剤が、貫通孔９２の内部に充填されるとともに第２プレート４ｋのプレート４ｊ側の表面にも染み出すようにし、これを硬化させることによって充填材９２ａと共に被覆層９３を構成しても構わない。このように、被覆層９３と充填材９２ａとを、同じ材料を用いて一体的に形成することにより、製造工程を簡略化し製造を容易にすることができる。

また、図９に示すように、複数の貫通孔９２は、第１部分９１内に不均一に配置されているのが望ましい。これにより、構造的な対称性を低下させることができるので、吐出孔面４−２とダンパー室２９とで挟まれた部分に共振現象に起因する大きな振動が生じて、吐出特性が悪化するのを低減することができる。なお、「貫通孔９２が不均一に配置されている」とは、第１部分９１における貫通孔９２の存在密度が一定でないこと、すなわち、貫通孔９２が密に配置されている部分と、貫通孔９２が疎に配置されている部分と、が存在することを意味する。

また、図９および図１０に示すように、複数の吐出孔８は、複数の列を成すように配置されている。そして、第１部分９１は、列の間に位置しており、且つ列に沿った方向である第１方向に長い形状を有している。そして、複数の貫通孔９２が互いに近接配置されて構成された貫通孔群が、第１方向に沿って互いに間隔を開けて複数配置されている。このような構成により、第１方向に長い第１部分９１の全体に渡って、共振現象に起因する大きな振動を低減することができる。なお、本実施形態では、図９に示すように、４つの貫通孔９２によって１つの貫通孔群が構成されており、このようにして構成された貫通孔群が、第１部分９１の長さ方向である第１方向に沿って、互いに間隔を開けて複数配置されている。

また、本実施形態では、第１プレート４ｍを構成する材料の線膨張率が、第２プレート４ｋを構成する材料の線膨張率よりも大きく、且つ充填材９２ａを構成する材料の線膨張率が、第２プレート４ｋを構成する材料の線膨張率よりも大きいようにしてもよい。これにより、第１プレート４ｍと第２プレート４ｋとを接合する接着剤を加熱によって硬化させて常温に戻したときに、第１プレート４ｍおよび充填材９２ａが、第２プレート４ｋよりも大きく収縮する。これにより、吐出孔面４−２のダンパー室２９に隣接する部分が僅かに凹部になるように変形させることができるとともに、凹部における凹み量が過剰に大きくなるのを防ぐことができる。これにより、吐出孔面４−２における吐出孔８が形成された部分が相対的に凹部となることが防止できるため、吐出孔８付近に拭き残しが発生するという問題の発生を低減することができる。また、吐出孔面４−２のダンパー室２９に隣接する部分の凹み量が過剰に大きくなることに起因して、吐出孔面４−２のダンパー室２９に隣接する部分に拭き残しが発生するのを防止することができる。

このとき、充填材９２ａを構成する具体的な材料については、線膨張率の条件を満たすように、既知の種々の材料の中から適宜選択することができる。例えば、第２プレート４ｋを含むプレート４ａ〜４ｋの材料として、ステンレス合金や炭素鋼を選択した場合には、充填材９２ａの材料として、ニッケル、スズ、鉛等の金属や、ポリイミド、エポキシ樹脂等の樹脂を好適に用いることができる。

また、充填材９２ａを構成する材料としてスズ等の低融点の金属を用いる場合には、例えば、第１プレート４ｍと第２プレート４ｋとを積層した後に、貫通孔９２に粉末状や粒状の金属を充填し、第１プレート４ｍと第２プレート４ｋとを接合するための接着剤を硬化させるときの加熱によって粉末状や顆粒状の金属を溶かした後に常温に戻すことにより、充填材９２ａを構成することができる。

また、図示は省略するが、充填材９２ａの第１プレート４ｍと反対側の表面は、平面視したときに貫通孔９２の中央に位置する部分が、第１プレート４ｍ側に凹んでいるようにするのが望ましい。これにより、充填材９２ａの第１プレート４ｍと反対側の表面に沿って、貫通孔９２の中央に向けて引っ張る応力が第２プレート４ｋに生じるため、吐出孔面４−２のダンパー室２９に隣接する部分の凹み量が過剰に大きくなるのを防止する効果を高めることができる。

（第４実施形態）
図１１は、第４実施形態の液体吐出ヘッドにおける、図９と同様の状態を示す模式的な平面図である。なお、本実施形態においては、前述した第３実施形態と異なる点について説明し、同様の構成要素には同じ参照符号を付して重複する説明を省略する。

本実施形態では、被覆層９３が複数の領域に分割して配置されている。すなわち、図１１に示すように、被覆層９３が設けられた第１領域９３Ａが、複数の領域（９３ａ，９３ｂ，９３ｃ，９３ｄ，９３ｅ，９３ｆ，９３ｇ，９３ｈ）に分割されている。このような構造を有する本実施形態の液体吐出ヘッドも、前述した第３実施形態と同様に、不均一に設けられた被覆層９３および貫通孔９２を有しているので、吐出孔面４−２とダンパー室２９とで挟まれた部分が特定の周波数で大きく振動するのを低減することができる。

また、このとき、被覆層９３の複数の領域のうち互いに隣り合う領域の面積が互いに異なるようにするのが望ましい。すなわち、図１１に示すように、領域９３ａの面積と領域９３ｂの面積とが異なり、領域９３ｂの面積と領域９３ｃの面積とが異なり、領域９３ｃの面積と領域９３ｄの面積とが異なり、領域９３ｅの面積と領域９３ｆの面積とが異なり、領域９３ｆの面積と領域９３ｇの面積とが異なり、領域９３ｇの面積と領域９３ｈの面積とが異なるようにするのが望ましい。これにより、構造的な対称性を更に低下させることができるので、吐出孔面４−２とダンパー室２９とで挟まれた部分に共振現象に起因する大きな振動が生じて、吐出特性が悪化するのを更に低減することができる。

（第５実施形態）
図１２は、第５実施形態の液体吐出ヘッドにおける、図９と同様の状態を示す模式的な平面図である。なお、本実施形態においては、前述した第３実施形態と異なる点について説明し、同様の構成要素には同じ参照符号を付して重複する説明を省略する。

本実施形態では、複数の貫通孔９２が貫通孔群を形成しておらず、第３実施形態における貫通孔９２よりも大きい貫通孔９２が、第１方向に沿って並んでいる。すなわち、互いに直交する２つの方向をＢ方向（第１方向）およびＣ方向とすると、第１部分９１のＢ方向の寸法は、第１部分９１のＣ方向の寸法（図１２においてＬ２で示した部分の長さ）よりも大きく、複数の貫通孔９２は、Ｂ方向に沿って並んでいる。このような構造によっても、吐出孔面４−２とダンパー室２９とで挟まれた部分が特定の周波数で大きく振動するのを低減することができる。

本実施形態では、貫通孔９２によって、第１部分９１と被覆層９３との複合体における、剛性や質量分布を不均一とし、これにより、複合体の構造的な対称性を低下させることができる。そして、これにより、共振モードの縮退を解いて、共振周波数を分散させることができるので、第１部分９１と被覆層９３との複合体が特定の周波数において大きく振動するのを低減することができる。よって、貫通孔９２は、ある程度大きい方が良く、また、貫通孔９２の形状における非対称性が大きい方が良い。

よって、例えば、第１部分９１のＣ方向の寸法（図１２においてＬ２で示した部分の長さ）をＤとし、貫通孔９２のＣ方向の寸法（図１２においてＬ１で示した部分の長さ）をＥとしたときに、Ｅ／Ｄ≧０．２２を満たす程度にすると良く、Ｅ／Ｄ≧０．２５またはＥ／Ｄ≧０．３０を満たす程度とすると更に良い。

また、例えば、貫通孔９２のＢ方向の寸法（図１２においてＬ３で示した部分の長さ）をＦとし、Ｂ方向における隣り合う貫通孔９２の間の間隔（図１２においてＬ４で示した部分の長さ）をＧとしたときに、Ｆ／Ｇ≧０．７９を満たす程度とすると良く、Ｆ／Ｇ≧０．８８またはＦ／Ｇ≧１．０６を満たす程度とすると更に良い。

また、例えば、貫通孔９２のＢ方向の寸法（図１２においてＬ３で示した部分の長さ）をＨとし、貫通孔９２のＣ方向の寸法（図１２においてＬ１で示した部分の長さ）をJとしたときに、Ｈ／J≧１．６０を満たす程度とすると良く、Ｈ／J≧１．８０またはＨ／J≧２．２０を満たす程度とすると更に良い。

なお、図１２では、各々の貫通孔９２は、円がＢ方向に引き延ばされたような形状を有しており、同じ形状および大きさを有する複数の貫通孔９２が、第１部分９１のＢ方向における中央に、Ｃ方向に沿って等間隔で配置された例を示したが、これに限定されるものではない。複数の貫通孔９２の形状および大きさを互いに異ならせても良く、複数の貫通孔９２を第１部分９１におけるＢ方向の中央からずらして配置しても良く、隣り合う貫通孔９２の間隔を場所によって異ならせても良い。また、上述した貫通孔９２に関係する寸法同士の望ましい関係も、必ずしも全ての貫通孔９２がその関係を満たしている必要はない。

１・・・カラーインクジェットプリンタ
２・・・液体吐出ヘッド
２ａ・・・ヘッド本体
４・・・第１流路部材（流路部材）
４ｍ・・・第１プレート
４ｋ・・・第２プレート
４ａ〜４ｊ・・・（第１流路部材の）プレート
４−１・・・加圧室面
４−２・・・吐出孔面
６・・・第２流路部材
６ａ、６ｂ・・・（第２流路部材の）プレート
６ｃ・・・（第２流路部材の）貫通孔
６ｃａ・・・貫通孔の拡幅部
８・・・吐出孔
９Ａ・・・吐出孔列
９Ｂ・・・吐出孔行
１０・・・加圧室
１０ａ・・・加圧室本体
１０ｂ・・・部分流路（ディセンダ）
１０Ｄ・・・ダミー加圧室
１１Ａ・・・加圧室列
１１Ｂ・・・加圧室行
１２・・・第１個別流路
１４・・・第２個別流路
２０・・・第１共通流路（共通流路）
２０ａ・・・（第１共通流路の）開口
２２・・・第１統合流路
２２ａ・・・第１統合流路本体（第１溝）
２２ｃ・・・（第１統合流路の）開口
２４・・・第２共通流路（共通流路）
２４ａ・・・（第２共通流路の）開口
２５Ａ、１２５Ａ・・・第１接続流路
２５Ｂ・・・第２接続流路
２６・・・第２統合流路
２６ａ・・・第２統合流路本体（第２溝）
２６ｃ・・・（第２統合流路の）開口
２８Ａ・・・第１ダンパー
２８Ｂ・・・第２ダンパー
２９・・・ダンパー室
３０・・・端部流路
３０ａ・・・幅広部
３０ｂ・・・狭窄部
３０ｃ、３０ｄ・・・（端部流路の）開口
４０・・・圧電アクチュエータ基板
４０ａ・・・圧電セラミック層
４０ｂ・・・圧電セラミック層（振動板）
４２・・・共通電極
４４・・・個別電極
４４ａ・・・個別電極本体
４４ｂ・・・引出電極
４６・・・接続電極
５０・・・加圧部
６０・・・信号伝達部
７０・・・ヘッド搭載フレーム
７２・・・ヘッド群
８０Ａ・・・給紙ローラ
８０Ｂ・・・回収ローラ
８２Ａ・・・ガイドローラ
８２Ｂ・・・搬送ローラ
８８・・・制御部
９１・・・第１部分
９２・・・貫通孔
９２ａ・・・充填材
９３・・・被覆層
９３Ａ・・・第１領域
９４・・・第２領域
Ｐ・・・印刷用紙

Claims (15)

1. 液体を吐出する複数の吐出孔と、
   該複数の吐出孔と繋がっている共通流路と、
   該共通流路の外側に配置された空間で構成されたダンパー室と、
   前記共通流路と前記ダンパー室とを仕切る壁で構成されたダンパーと、
   を有する流路部材と、
   前記液体を加圧する複数の加圧部と、
   を有しており、
   前記流路部材は、積層された複数の平板状のプレートで構成されており、
   該複数のプレートは、前記複数の吐出孔を有する第１プレートと、該第１プレートに隣り合う第２プレートと、を有しており、
   該第２プレートは、前記第１プレートと前記ダンパー室とで挟まれた第１部分を有しており、
   該第１部分は、前記第１プレートと反対側に位置する第１表面を有しており、
   前記第１部分における前記第１表面に不均一に設けられた被覆層を有している
   ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
2. 前記第１部分における前記第１表面に、前記被覆層が設けられた第１領域と、前記被覆層が設けられていない第２領域と、が存在することを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
3. 前記被覆層が複数の領域に分割して配置されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
4. 前記被覆層の前記複数の領域のうち互いに隣り合う領域の面積が互いに異なることを特徴とする請求項３に記載の液体吐出ヘッド。
5. 前記複数の吐出孔は、複数の列を成すように配置されており、
   前記第１部分は、前記列の間に位置しており、前記列に沿った方向である第１方向に長い形状を有しており、
   前記被覆層は、前記第１方向に長く且つ前記第１方向に沿って幅広部と幅狭部とが交互に存在する形状を有していることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
6. 隣り合う前記幅狭部の幅が互いに異なっていることを特徴とする請求項５に記載の液体吐出ヘッド。
7. 前記第２プレートは、前記第１部分に設けられた複数の貫通孔を有しており、
   該複数の貫通孔の内部には、充填材が設けられており、
   該充填材を構成する材料が、前記第２プレートを構成する材料と異なる
   ことを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
8. 前記被覆層と前記充填材とが、同じ材料を用いて一体的に形成されていることを特徴とする請求項７に記載の液体吐出ヘッド。
9. 前記第１プレートを構成する材料の線膨張率が前記第２プレートを構成する材料の線膨張率よりも大きく、且つ前記充填材を構成する材料の線膨張率が、前記第２プレートを構成する材料の線膨張率よりも大きいことを特徴とする請求項７または請求項８に記載の液体吐出ヘッド。
10. 互いに直交する２つの方向をＢ方向およびＣ方向とすると、前記第１部分の前記Ｂ方向の寸法は、前記第１部分の前記Ｃ方向の寸法よりも大きく、前記複数の貫通孔は、前記Ｂ方向に沿って並んでいることを特徴とする請求項７乃至請求項９のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
11. 前記第１部分の前記Ｃ方向の寸法をＤとし、前記貫通孔の前記Ｃ方向の寸法をＥとすると、Ｅ／Ｄ≧０．２２であることを特徴とする請求項１０に記載の液体吐出ヘッド。
12. 前記貫通孔の前記Ｂ方向の寸法をＦとし、前記Ｂ方向における隣り合う前記貫通孔の間の間隔をＧとすると、Ｆ／Ｇ≧０．７９であることを特徴とする請求項１０または請求項１１に記載の液体吐出ヘッド。
13. 前記貫通孔の前記Ｂ方向の寸法をＨとし、前記貫通孔の前記Ｃ方向の寸法をJとすると、Ｈ／J≧１．６０であることを特徴とする請求項１０乃至請求項１２のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
14. 前記第１プレートを構成する材料の線膨張率および前記被覆層を構成する材料の線膨張率が、前記第２プレートを構成する材料の線膨張率よりも大きいことを特徴とする請求項１乃至請求項１３のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
15. 請求項１乃至請求項１４のいずれかに記載の液体吐出ヘッドと、記録媒体を前記液体吐出ヘッドに対して搬送する搬送部と、前記液体吐出ヘッドを制御する制御部と、を備えていることを特徴とする記録装置。

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