JP6440246B2 - 半導体素子の形成方法 - Google Patents
半導体素子の形成方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6440246B2 JP6440246B2 JP2014182774A JP2014182774A JP6440246B2 JP 6440246 B2 JP6440246 B2 JP 6440246B2 JP 2014182774 A JP2014182774 A JP 2014182774A JP 2014182774 A JP2014182774 A JP 2014182774A JP 6440246 B2 JP6440246 B2 JP 6440246B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- semiconductor substrate
- temperature
- sample
- semiconductor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Description
図1Aに示すMOSFET100は、単結晶のシリコン(Si)半導体基板(シリコンウェーハ)101にソース領域102、ドレイン領域103、これらに挟まれてチャネル領域が形成される半導体領域(活性領域)104が形成されている。
半導体領域104上には、ゲート酸化膜105、ゲート電極106が設けられえてある。図1A,1Bには、半導体領域104とゲート酸化膜105との界面(I)の様子が模式的に拡大して示してある。図1Bには、界面(I)が凹凸性であり、図1Cには、界面(I)が平滑性である場合が一部誇張して記載されてある。MOSFET100が、それ程、微細でない場合は、図1Bに示す界面(I)の凹凸性の影響は、チャネル領域を移動する多量の電荷(electron、hole)に対しては無視できるが、22、14nmと素子サイズが小さくなるにつれ、電荷の移動に対するこの凹凸性の影響が大きくなってくる。そのため、図1Cに示すように、界面(I)の平滑性は、素子サイズが小さくなるにつれ原子オーダーレベルの平滑性までもが要求されてくる。即ち、微細化の要求からMOSFETの素子自体が小さくなるに連れ、前記電流駆動の能力(電流駆動能力)は、前記ゲート酸化膜と前記半導体領域の界面(I)の平坦性の影響が大きくなる。即ち、図1Cに示すように、界面(I)の平滑性が優れていると、電荷はソース領域102からドレイン領域103に向かって、矢印Bで示す様に直進するのに対して、図1Cに示すように、界面(I)に凹凸性があると、電荷は、この凹凸に移動方向を左右されて矢印Aで図示するように依れてドレイン領域103まで移動する。
しかしながら、実際には、半導体領域上にゲート酸化膜を形成する直前までに、Si半導体基板は、種々のプロセス(イオン注入、ウェル形成、素子分離、エッチング、洗浄、リンスなど)が適用されるため、前記半導体領域表面の当初の原子オーダー平坦性をゲート酸化膜形成後までも維持し続けることは極めて難しい。
その解決法の一つとして提案されているのが、洗浄には、光・大気を完全に遮断し室温で実施する無アルカリ洗浄を採用し、ゲート酸化膜形成には、ラジカル酸化法を採用する方法である(従来法A)。
更に、光・大気を完全遮断が必要であるから、そのための製造装置を用意しなければならず製造コスト増は避けられない。そのために製造される半導体装置の営業利益を圧迫することになる。
そこで、素子分離パターン形成後に、従来の原子オーダー平坦化処理のためのアニール処理を施すことも考えられるが、平坦化の原理がシリコン(Si)のマイグレーションによるため、Si表面に加えSiO2表面も共存すると、SiO2膜の膜質が高品質(化学量論的関係を満たしている)でない場合は、プロセス雰囲気中に僅かでも酸素や水分が存在すると、シリコン(Si)が酸素や水分と反応して、SiO若しくはSiH4となって膜から離脱してしまうことが懸念されている。
そのため、素子製造プロセス実施中の処理雰囲気においては、酸素や水分を可能な限り除外する必要がある。
更に、SiO2膜の膜質が高品質でないと、製造プロセス実施過程で、SiO2膜は、処理雰囲気中から酸素や水分を膜中に取り込みやすくなり、また、その表面に水分を吸着しやすくなる傾向がある。
そのため、SiO2膜にアニール処理を施すと、その処理過程で、膜中より酸素や水分を放出し、放出した酸素や水分がSi膜のSiと反応し、SiO若しくはSiH4となって膜から離脱してしまう懸念がある。
一方、高品質のSiO2膜は、今のところ熱酸化膜でないと得られていないが、高品質のSiO2膜としての熱酸化膜は、1000℃以上の高温でないと容易には得られないという課題がある。
しかし、これまではMOSFETの形成においては、このような高温プロセスを適用すると、素子領域も酸化してしまうため、スパッタリング法やCVD法で素子分離膜・ゲート酸化膜を形成しているが、このような方法では、熱酸化膜のような高品質の膜は得られないとされている。
加えて、Si層の表面は、フッ酸洗浄後の状態で水素終端されているが、その水素は、温度を上げていくと、380℃〜450℃の領域でSi層の表面から離脱する。終端の水素が無くなるとSi層の表面は非常に酸化されやすくなり、シリコン酸化膜が形成されることが多い。このシリコン酸化膜が形成されると、その後の平坦化処理を阻害することになる。
本発明のもう一つの目的は、素子の微細化が進んでも、形成される素子の上記界面(I)の平坦性は、原子オーダーレベルで形成でき、より一層の高速動作と高機能化が可能な半導体素子の形成方法を提供することである
本発明のもう一つの側面は、 前記アニール処理前に、該アニール処理のアニール温度より低い温度での加熱処理を施す工程を含む半導体素子の形成方法にある。
本発明の更にもう一つの側面は、前記アニール処理前に、プラズマ励起よるラジカル酸化処理を施す工程を含む半導体素子の形成方法にある。
図2に示すMOSFET900は、STI(Shallow trench Isolation)素子分離法によって、各素子(MOSFET)が分離された構造をしている。
MOSFET900は、半導体基版901、フィールド絶縁膜(埋め込み酸化膜)902a、902b、ソース領域906、ドレイン領域907、ゲート絶縁膜904、ゲート電極905、シリサイド膜903a、903b、903c、層間絶縁膜908a、908b、ゲート取り出し電極909、ソ−ス取り出し電極910、ドレイン取り出し電極911、サイドウォール912で構成されている。
図3に示す各工程は、以下の通りである。
工程(A)・・・パッド酸化膜(SiO2膜)301、CVDによる窒化膜302の形成
工程(B)・・・窒化膜(Si3N4)302、酸化膜(SiO2)301、(Si)半導体基板901をエッチングしての浅溝303の形成と、トレンチ酸化膜(SiO2)304の形成
工程(C)・・・フィールド絶縁膜(SiO2膜)902の形成とその上部、トレンチ酸化膜303をCMPで除去
工程(D)・・・自然酸化膜、窒化膜302の除去
工程(E)・・・パッド酸化膜301の除去
工程(F)・・・イオン注入前のWet酸化による酸化膜305の形成
工程(G)・・・ウェル形成(イオン注入)
工程(H)・・・イオン注入前酸化膜305の除去
工程(I)・・・原子オーダー平坦化処理
工程(J)・・・ラジカル酸化によるゲート絶縁膜(酸化膜)904の形成
工程(K)・・・ゲート電極905の形成
次に、素子形成領域を定めるために、半導体基板901表面上にパッドSiO2膜301とSi3N4膜302とを形成し,次いで、半導体基板901の所定部位をエッチングして底が浅い分離溝303(303a、303b)を形成する。
溝303の内壁を熱酸化してトレンチ酸化膜304を形成した後に,必要に応じて溝底面や溝側面にチャネルストッパ不純物を導入する。
その後、CVDによるSiO2で溝303内を埋めるように十分量のSiO2を堆積してフィールド絶縁膜902(902a、902b)を形成する。
この際、CMP(Chemical Mechanical Polishing)などの平坦化技術を用いてCVD−SiO2で構成された余分な領域を平坦に削って窒化膜302を露出させる。
最後に窒化膜302を取り除いて素子分離構造を完成させる(「工程(D)」)。
次いで、パッド酸化膜301を除去する(「工程(E)」)。
その後、イオン注入前に、ウェット酸化を行い(「工程(F)」)、次いで、所定領域にイオン注入を行ってウェルを形成して、ソース領域906とドレイン領域907を設ける(「工程(G)」)。
その次に、工程(F)での酸化処理で形成した酸化膜を除去する(「工程(H)」)。
次いで、本発明に関わる原子オーダー平坦化処理を行う(「工程(I)」)。
その後、ラジカル酸化処理を行って、ゲート絶縁膜904を形成する(「工程(J)」)。
ゲート絶縁膜904上にポリシリコン(Poly-Si)膜を堆積させてゲート電極905を形成する(「工程(K)」)。
その後、必要に応じて、シリコン窒化膜などでサイドウォール912(912a、、912b)を形成する。
その次に、好ましい態様として、ゲート電極905表面、ソース領域906表面、ドレイン領域907表面にシリサイド化処理を施して、CoSi等からなるシリサイド膜903(903a、903b、903c)を設けるのが望ましい。
その後に、層間絶縁膜908を設け、該層間絶縁膜908の所定位置にコンタクトホールを形成し、次いで、該コンタクトホールを所望の金属で埋めて、ゲート取り出し金属電極909、ソース取り出し金属電極910、ドレイン取り出し金属電極911をそれぞれ形成する。
以上の様にして、図2に示すような構造のMOSFETを形成する。
Oxidation of Silicon)素子分離法、SOI(Silicon on Insulator)にMOSFETを形成する際に採用されるメサ分離法、トレンチ分離法、等が用いられる。
微細化においては、STIが有利であり、SOIの場合は、トレンチ分離、特に、Si層を部分的に残すトレンチ分離が好ましく採用される。
更に、本発明は、FIN−FETなどのマルチ・チャンネルFETにも適用され得ることは、当業者なら容易に想到出来る。
この工程を実施することで、ゲート絶縁膜を形成する活性化領域表面は原子オーダーレベルでの平滑性(平坦性)となる。この平滑性を備えた活性化領域表面にゲート絶縁膜を形成すれば、活性化領域とゲート絶縁膜の接触界面は該平滑性が維持された状態でMOSFETが形成できる。
不活性ガスとしては、Arガスの他、ヘリウム(He)、ネオン(Ne)、クリプトン(Kr)、キセノン(Xe)、窒素(N2)などが使用され得る。
本発明においては、素子分離パターン形成直後であると、半導体基板の被処理表面は、Si表面の他、酸化シリコン(SiO2)表面も存在するため、SiO2膜の膜質が高品質(化学量論的関係を満たしている)でない場合、プロセス雰囲気中に僅かでも酸素や水素が存在すると、シリコン(Si)が酸素や水素と反応して、SiO若しくはSiH4となって膜から離脱してしまうことが考えられるので、素子製造プロセス実施中の処理雰囲気からは、酸素や水分を可能な限り除外する。
本発明においては処理雰囲気形成のために処理雰囲気形成空間に導入される不活性ガス中の酸素・水分濃度は、100ppb以下、好ましくは、30ppb以下、より好ましくは10ppb以下とするのが望ましい。
又、本発明における平坦化処理を実施する前に、素子分離パターンが形成されている半導体基板にプレ・アニール処理を施して、事前に該半導体基板から酸素・水分を除去しておくのが好ましい。
その際、除去時に揮発した酸素・水分がシリコン膜のSiと反応してシリコン酸化膜を作るとその後の平坦化を阻害してしま恐れがあるので、プレ・アニール処理は低温で行うのが好ましい。
更に、原子オーダー平坦化時には、Si膜の表面はフッ酸洗浄後の状態で水素終端されているが、その水素は、温度を上げていくと、380℃〜450℃の温度領域でSi膜から離脱する。そのために、終端の水素がSi膜表面から無くなるとSi膜表面は非常に酸化されやすくなる。
以上の点をトータルに考慮すると、酸素・水分除去処理は、380℃以下で行うことが望ましい。低温すぎると、酸素・水分除去効果が小さくなるので、より好ましくは、300℃〜380℃の温度領域で行うのが望ましい。
プレ・アニール処理の雰囲気は、平坦化処理の雰囲気と同じである必要はないが、望ましくは、煩雑さを避けるために、プレ・アニール処理の雰囲気と平坦化処理の雰囲気と同じにするのが好ましい。
上記の酸素・水分除去のプレ・アニール処理は、排気された不活性ガス中の酸素・水分濃度が好ましくは、100ppb以下、より好ましくは、30ppb以下、更に好ましくは、10ppb以下となるまで行うのが望ましい。
「試料1の作成」
先ず、口径200mmφ、表面が(100)配向のシリコンウェーハ(Si半導体基板)を用意し、以下の手順でシリコンウェーハ(半導体基板)表面の洗浄を行った。
即ち、オゾン(O3)水を用いてシリコンウェーハ表面を10分間洗浄し、希HF(0.5wt%)を用いて1分間洗浄し、最後に、超純水リンスを3分間行った。
このように表面を洗浄処理された半導体基板(1)を利用して、公知のMOSデバイス作成プロセスで、シャロートレンチ分離(STI)を行い、Pウェル、Nウェルをイオン注入で作成し、ゲート絶縁膜を850℃のウェット熱酸化により形成し、その後、ゲート電極形成、ソース領域・ドレイン領域の形成、層間絶縁膜の形成、コンタクトホールの形成、メタルコンタクトの形成等を行い、NMOSTr(ゲート長:0.4μm)を、半導体基板(1)に131072個、作成した。
上記のようにしてNMOSTrを作り込まれた半導体基板は、ラジカル酸化(Kr/O2プラズマによるラジカル酸化)でゲート酸化膜を形成する直前に、希フッ酸(0.5%)処理を1分間施して自然酸化膜を除去した。
次いで、純水リンスを10分間した直後にアニール処理装置の所定位置にセットしてアニール処理(本発明における平坦化処理)を施した。この際のアニール条件は図7に示す温度シーケンスのアニール条件(i)(試料1−1)。
ゲート長Lが、0.28μm(試料1−2)、0.25μm(試料1−3)、0.22μm(試料1−4)とした以外は、試料1−1と同様な手順と条件で、半導体基板にNMOSTrを131072個、それぞれに作り込んだ。
先ず、口径200mmφ、表面が(100)配向のシリコンウェーハ(「半導体基板(2)」)を用意し、半導体基板(2)表面の洗浄とリンスを試料1と同様に行った。
この半導体基板(2)を用いて、試料1と同様に、公知のCMOSデバイス作成プロセスで、シャロートレンチ分離(STI)を行い、Pウェル、Nウェルをイオン注入で作成し、ゲート絶縁膜を850℃のウェット熱酸化により形成し、その後、ゲート電極形成、ソース・ドレイン形成、層間絶縁膜形成、コンタクトホール形成、メタルコンタクト形成等を行い、NMOSTr(ゲート長L 0.40μm)を作成した(試料A)。
半導体基板(2)に作り込まれたNMOSTrは、131072個である。
後で詳述するように、口径200mmφ、表面が(100)配向のシリコンウェーハ(「半導体基板(3)」))を用意し、半導体基板(3)表面の洗浄とリンスを行い、次いで、このように洗浄処理した半導体基板(3)を、図7に示す温度シーケンスに従って、850度で300分(「工程(5)」)アニール処理して平坦化を図った。加熱中のアルゴン(Ar)流量は、28L/分であった。
先ず、口径200mmφ、表面が(100)配向の半導体基板(3)を用意し、
オゾン(O3)水を用いて半導体基板(3)表面を10分間洗浄し、その後、希HF(0.5wt%)を用いて1分間洗浄し、最後に、超純水リンスを3分間行った。
その後、上記のように洗浄・リンス処理を施した半導体基板(3)を熱処理装置内に載置した。次いで、該熱処理装置内の熱処理空間に、水分が0.2ppb以下、酸素(O2)が0.1ppb以下のアルゴン(Ar)ガスを20L/min流しながら、熱処理温度850℃、熱処理時間300分の条件下で前記半導体基板(3)に対し熱処理を行った。
この際の熱処理の温度シーケンスが、図7に示される。
即ち、先ず、シリコンウェーハの温度が30℃の状態を60分間維持した(「工程(1)」)。その後、5℃/分の昇温スピードでシリコンウェーハの温度が200℃になるまで昇温し、200℃で120分保持した(「工程(2)」)。
次いで、4℃/分の昇温スピードでシリコンウェーハの温度が600℃になるまで昇温し、600℃で20分保持した(「工程(3)」)。
引き続き、3℃/分の昇温スピードでシリコンウェーハの温度が800℃になるまで昇温し、800℃で20分保持した(「工程(4)」)。
次いで、1.5℃/分の昇温スピードでシリコンウェーハの温度が850℃になるまで昇温し、850℃で300分保持した(「工程(5)」)。
その後、図7に示す温度シーケンスでシリコンウェーハの温度が30℃になるまで降温した。
即ち、工程(5)の後、1℃/分の降温スピードでシリコンウェーハの温度が800℃になるまで降温し、800℃で20分保持した(「工程(6)」)。
その後、1.5℃/分の降温スピードで、シリコンウェーハの温度が30度になるまで降温させた。その後、熱処理装置のヒータをOFFにした。
このようにして準備した半導体基板(3)に、以下のようにして、131072個のNMOSトランジスタ(Tr)を作り込んだ。
先ず、上記のようにして準備した半導体基板(3)の表面を、T. Ohmi, "Total room temperature wet cleaning Si substrate
surface,” J. Electrochem. Soc., Vol. 143, No. 9,
pp.2957-2964, Sep. 1996.に記載された、アルカリ溶液を用いない洗浄法によって洗浄した。
次いで、図2,3で説明した手順と条件に従って、また、図2,3の説明にはないことは、当業者が容易に実施できる他の公知の方法を用いて、図2に示すような構造のNMOSTrを131072個、半導体基板(3)に形成した。
尚、試料1−1〜1−4、試料A,B共に、ゲート酸化膜は、原子オーダー平坦面を荒らさない、Kr/O2プラズマによるラジカル酸化により形成した。
試料1−1、試料A,Bにおいて、131072個のNMOSTrの、ドレイン電流5μAの時のノイズ電圧(ゲート-ソース間電圧の揺らぎ)を評価し、累積頻度確率が99%のNMOSTrのノイズ電圧を評価したところ、図5に示される結果が得られた。
この結果から、試料1−1、試料B共に、試料Aよりノイズ低減が実現されたことが判る。
しかし、試料Bの場合は、平坦化アニールの後、原子オーダー平坦面を維持するのに、アルカリ洗浄を用いることが出来ない(アルカリ洗浄すると平坦面が荒れる傾向がある)ために、水素水超音波洗浄等でパーティクルを除去する必要があった。そのために、除去効率が悪く、長時間の洗浄が必要で、生産効率が著しく下がった。又、形成した平坦面を荒らさないために、ウェット洗浄時に完全遮光しなくてはならず、プロセス工程が煩雑となった。
以上のことから、試料1−1に実施した本発明に関わる半導体素子の形成方法が格段に優れていることが示された。
「試料2−1〜2−3の作成」
アニール条件を、図7に示す温度シーケンスのアニール条件(i)にした以外は、試料1−2〜1−4と同様の手順と条件で、試料2−1〜2−3を作成した。
・試料2−1:ゲート長L・・・0.28μm
・試料2−2:ゲート長L・・・0.25μm
・試料2−3:ゲート長L・・・0.22μm
図8に示す温度シーケンスは、工程(c)が加わった以外は、図7に示す温度シーケンスの場合と本質的に同じである。
本実施例において、この工程(c)を導入した理由は、図7に示す温度シーケンスで平坦化アニール処理を施した場合に、Ar排ガス中の水分濃度を、350℃に昇温した直後に計測すると、サンプルによっては、1ppm程度観測されたので、この水分の影響を極力避けるためである。
その理由は、観測された水分は、純水リンス時にSi半導体基板上の素子分離用のSiO2膜に付着した水と考えられ、この状態で更に昇温すると、水とSi表面が反応して平坦化を阻害する恐れがあると推察されたことによる。
図8に示すように、350℃で300分加熱維持する工程(c)を設けた場合は、工程(c)以降の工程での、Ar排ガス中の水分濃度は、10ppb以下まで下げることが出来た。
これにより、その後850℃まで昇温しても、水分を殆ど放出することなく、平坦化処理を完了することが出来た。
試料1−1と同様の評価を、試料1−2〜1−4、試料2−1〜2−3にも適用した。
すると、トランジスタのゲート長Lを短くしていくと、図6のグラフCに示すように、試料1の素子作成方法だと、微細化が進むに連れ、ノイズ電圧の低減効果が低減する様子が見られる様になった。
これに対して、試料2−1〜2−3の場合は、図6のグラフEに示されるように、微細化が進むに連れても、ノイズ電圧の低減効果が低減する様子は見られなかった。
原因を調べてみると、試料1−2〜1−4の場合は、素子分離パターンのエッジに問題があり、素子の微細化が進むとその影響が効いてくるのではないかと推測された。
「試料3−1〜3−3の作成」
平坦化アニール処理の前に、2.45GHzのマイクロ波励起のプラズマ(Kr/O2プラズマ)により、ラジカル酸化する処理工程を加えた以外は、試料1−2〜1−4と同様の手順と条件で、試料3−1〜3−3を作成した。
この際のラジカル酸化の条件は、以下の通りであった。
・半導体基板:200mmウェーハ
・ガス流量:クリプトン(Kr)・・・1000sccm
酸素(O2)ガス・・・10sccm
・マイクロ波パワー:3500W
・マイクロ波パワー投入時間:4分
・試料3−1:ゲート長L・・・0.28μm
・試料3−2:ゲート長L・・・0.25μm
・試料3−3:ゲート長L・・・0.22μm
図6の結果から明らかなように、試料3−1〜3−3の場合は、微細化が進むに連れて、ノイズ電圧の低減効果の向上が継続される様子が見られる。
これは、平坦化アニール処理の前にラジカル酸化処理を行うことにより、Si領域部分の表面には、4nm程度の酸化膜が形成され、また、SiO2膜の部分は、弱い結合がラジカルにより酸化されて脱ガスの少ない膜となったものと推察される。
「試料4−1〜3−4の作成」
実施例1において、平坦化処理のアニール条件を、工程(4)の経過後の1.5℃/分のスピードでの昇温の時間を、実施例1の場合より延ばして900℃まで昇温し、この温度で工程(5)を実施した以外は、実施例の場合と同様の手順と条件で、4つの試料、試料4−1〜4−4を作成した。
試料1−1〜1−4と同様の評価をしたら、試料1−1〜1−4よりやや効果は下がるものの、比較例A,Bと比べると遥かに優れた結果を示した。
・試料4−1:ゲート長L・・・0.40μm
・試料4−2:ゲート長L・・・0.28μm
・試料4−3:ゲート長L・・・0.25μm
・試料4−4:ゲート長L・・・0.22μm
また、これまでの本発明の説明においては、ゲート絶縁膜の形成は、典型的ということで、ラジカル酸化、ラジカル窒化、ラジカル酸・窒化の場合について記したが、本発明はこれに限定される訳ではない。この他、CVD、スパッター、蒸着等の方法で、堆積による膜形成を行う場合も本発明の範疇であることは、当分野の当業者なら容易想到のことであることは断わるまでもないことが理解される。
例えば、FIN−FET等で採用されている、ALD(Atomic Layer Deposition:,原子層堆積法)等で酸化ハフニウム等を形成している場合にも、有効に本発明は適用され得る。
以上の説明から容易に推察されるように、本発明は、半導体に関わる多くの分野に大いに貢献し得るものである。
102・・・ソ−ス領域
103・・・ドレイン領域
104・・・半導体領域
105・・・ゲート酸化膜
106・・・ゲート電極
301・・・SiO2膜
302・・・Si3N4膜
303・・・浅溝
304・・・トレンチ酸化膜
305・・・酸化膜
900・・・MOSFET
901・・・半導体基板
902・・・フィールド絶縁膜
903・・・シリサイド膜
904・・・ゲート絶縁膜
905・・・ゲート電極
906・・・ソ−ス領域
907・・・ドレイン領域
908・・・層間絶縁膜
909・・・ゲート取り出し電極
910・・・ソース取り出し電極
911・・・ドレイン取り出し電極
912・・・サイドウォール
Claims (3)
- FETの形成過程において、表面に素子分離パターンが形成されているSi半導体基板を不活性ガス雰囲気中に配し、900℃以下で所定時間アニール処理する工程を含み、前記アニール処理は、ゲート絶縁膜を形成すべきシリコン表面の酸化膜を除去した状態で、ゲート絶縁膜形成の直前に行ない、
前記アニール処理前に、前記Si半導体基板を不活性ガス雰囲気中で、300〜380℃で所定時間加熱するプレ・アニール処理を実施し、そのまま昇温して前記アニール処理を実施する、
半導体素子の形成方法。 - 前記プレ・アニール処理は、排気された不活性ガス中の酸素濃度及び水分濃度が100ppb以下になるまで実施する、請求項1に記載の半導体素子の形成方法。
- 前記不活性ガスが、アルゴン(Ar)、クリプトン(Kr)、キセノン(Xe)の少なくともいずれか1つである、請求項1に記載の半導体素子の形成方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014182774A JP6440246B2 (ja) | 2014-09-08 | 2014-09-08 | 半導体素子の形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014182774A JP6440246B2 (ja) | 2014-09-08 | 2014-09-08 | 半導体素子の形成方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016058500A JP2016058500A (ja) | 2016-04-21 |
JP6440246B2 true JP6440246B2 (ja) | 2018-12-19 |
Family
ID=55758815
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014182774A Active JP6440246B2 (ja) | 2014-09-08 | 2014-09-08 | 半導体素子の形成方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6440246B2 (ja) |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6240746A (ja) * | 1985-08-16 | 1987-02-21 | Nec Corp | 半導体装置 |
JPH0350823A (ja) * | 1989-07-19 | 1991-03-05 | Nec Corp | 半導体装置の製造方法 |
JPH04373177A (ja) * | 1991-06-24 | 1992-12-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体装置およびその製造方法 |
JP3770954B2 (ja) * | 1995-11-13 | 2006-04-26 | エイ・ティ・アンド・ティ・コーポレーション | 装置の製造方法 |
JP3612144B2 (ja) * | 1996-06-04 | 2005-01-19 | 株式会社ルネサステクノロジ | 半導体装置の製造方法 |
JP3033526B2 (ja) * | 1997-06-13 | 2000-04-17 | 日本電気株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
JP4651172B2 (ja) * | 1999-11-25 | 2011-03-16 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
JP3969057B2 (ja) * | 2001-10-26 | 2007-08-29 | 松下電工株式会社 | 絶縁薄膜の形成方法、絶縁薄膜の形成装置、電界放射型電子源およびmosfet |
US20090029564A1 (en) * | 2005-05-31 | 2009-01-29 | Tokyo Electron Limited | Plasma treatment apparatus and plasma treatment method |
JP2007221058A (ja) * | 2006-02-20 | 2007-08-30 | Toshiba Corp | 半導体装置の製造方法 |
US9153658B2 (en) * | 2011-11-17 | 2015-10-06 | Tohoku University | Semiconductor device and method of manufacturing the same |
JP6065366B2 (ja) * | 2012-01-30 | 2017-01-25 | 富士通セミコンダクター株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
-
2014
- 2014-09-08 JP JP2014182774A patent/JP6440246B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2016058500A (ja) | 2016-04-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100741442B1 (ko) | 반도체 장치 및 반도체 장치의 제조 방법 | |
US7078282B2 (en) | Replacement gate flow facilitating high yield and incorporation of etch stop layers and/or stressed films | |
JP5401244B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP4485754B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
US6953727B2 (en) | Manufacture method of semiconductor device with gate insulating films of different thickness | |
TWI604562B (zh) | 選擇性氮化方法 | |
CN104810368B (zh) | Cmos晶体管及其形成方法 | |
TW200409238A (en) | Method for fabricating a nitrided silicon-oxide gate dielectric | |
KR101157747B1 (ko) | 불소 부동태화 방법 및 장치 | |
JP2006041337A (ja) | 窒化珪素膜の製造方法及び半導体装置の製造方法 | |
TW201705232A (zh) | 半導體元件及其製造方法 | |
US7514376B2 (en) | Manufacture of semiconductor device having nitridized insulating film | |
US9831084B2 (en) | Hydroxyl group termination for nucleation of a dielectric metallic oxide | |
JP3593340B2 (ja) | 集積回路デバイスの製造方法 | |
JP2010177265A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
CN103855213B (zh) | 具有界面层的半导体器件及其制造方法 | |
US11289330B2 (en) | Semiconductor-on-insulator (SOI) substrate and method for forming | |
CN104253047B (zh) | 晶体管的形成方法 | |
CN105097534B (zh) | 一种制作半导体器件的方法 | |
JP4694782B2 (ja) | 半導体装置、その製造方法、及び、半導体表面の処理方法 | |
JP6440246B2 (ja) | 半導体素子の形成方法 | |
CN107591363B (zh) | 半导体器件的形成方法 | |
JP2008072001A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP4007864B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
CN104051245B (zh) | 一种半导体器件的制备方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170704 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180604 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180723 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180830 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180926 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20181115 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20181116 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6440246 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |