JP6439625B2 - タンク密閉弁および蒸発燃料処理装置 - Google Patents

Description

本発明は、タンク密閉弁および蒸発燃料処理装置に関わる。

従来から、例えば、自動車等の車両では、燃料タンクで発生した蒸発燃料が大気中に漏れるのを防止するため、蒸発燃料処理装置が設けられているものが周知である。また、蒸発燃料処理装置では、燃料タンクとキャニスタとの間を開閉するタンク密閉弁が配置されているものが周知である。さらに、タンク密閉弁には、例えば、電磁ソレノイドにより開閉弁する２つの弁ユニットを備えるものが公知である（例えば、特許文献１参照。）。

そして、このタンク密閉弁によれば、これらの２つの弁ユニットは、例えば、内燃機関の動作を制御する電子制御ユニット（ＥＣＵ）により通電制御されて開閉弁する。
また、タンク密閉弁は、一方の弁ユニットを開弁させて大流量を実現するとともに、一方の弁ユニットを閉弁させ、かつ、他方の弁ユニットを開弁させて大流量よりも小さい小流量を実現する。

すなわち、燃料タンクとキャニスタとの間に形成される流路網には、大流量用の大流量路、および、小流量用の小流量路が設けられている。そして、一方の弁ユニットにより大流量路を開閉させるとともに、他方の弁ユニットにより小流量路を開閉させる。これにより、ＥＣＵは、燃料タンクとキャニスタとの間で流体を流通させるときに、大流量、小流量の一方の流量を選択することができる。
ところで、車両では、燃費低減、および、スペース削減に対する要請は高まる一方であり、上記のような２つの弁ユニットを備えるタンク密閉弁に関しても、これらの要請が高い。

この点、大流量路を開閉する弁ユニットでは、燃料タンクの内部を弁体により確実に封鎖するべく、付勢力が高いスプリングを採用しているものと考えられる。さらに、このような高い付勢力に抗して弁体を駆動するべく、大型の電磁ソレノイドを採用しているものと考えられる。このため、上記のタンク密閉弁では、燃費低減、および、スペース削減に対する改善の余地が大きいものと考えられる。

特開２００１−２０６０８２号公報

本発明は、上記の問題点を解決するためになされたものであり、その目的は、タンク密閉弁において、燃費低減、および、スペース削減に寄与する構造を提供することにある。

本願発明によれば、タンク密閉弁は、所定の制御部により通電制御されて開閉弁する２つの弁ユニットを備え、燃料タンクとキャニスタとの間で流体を流通させる流路網に配置される。また、タンク密閉弁は、一方の弁ユニットを開弁させて大流量を実現するとともに、一方の弁ユニットを閉弁させ、かつ、他方の弁ユニットを開弁させて大流量よりも小さい小流量を実現する。

また、一方の弁ユニットは、次の外郭体、弁体、スプリング、電磁ソレノイド、および、ダイヤフラムまたはベローズを有する。
まず、外郭体は、流体の流出入口として少なくとも３つのポートを具備する。次に、弁体は、外郭体に移動可能に収容される。また、弁体は、３つのポートの内の第１のポートを開閉する弁部、および、弁部から伸びる柱部を具備する。また、スプリングは、第１のポートを閉じる側に弁体を付勢し、電磁ソレノイドは、スプリングの付勢力に抗して、第１のポートを開く側に弁体を駆動する。さらに、ダイヤフラムまたはベローズは、柱部と外郭体との間に張り渡されて外郭体の内部を少なくとも２室に分割する。

そして、弁部が２室の内の一方の室に収容されるとともに他方の室に柱部が突き出し、かつ、３つのポートの内の第１のポート、および、第２のポートが一方の室に開口するとともに第３のポートが他方の室に開口する。また、弁体は、弁部および柱部を貫通する貫通路を有し、弁部が第１のポートを閉じているときでも、貫通路により第１のポートと他方の室とが連通している。さらに、他方の弁ユニットは第３のポートを開閉する。

まず、柱部と外郭体との間にダイヤフラムまたはベローズを張り渡すとともに弁体に貫通路を設けることで、第１ポートの閉鎖時、燃料タンクの内部圧力およびキャニスタの内部圧力が弁体に作用しても、打ち消しあうように設定することができる。このため、弁部による第１ポートの封鎖能力を高めるために、スプリングの付勢力を高める必要がなくなる。
また、第３のポートを他方の弁ユニットにより開閉することで、燃料タンクの内部に発生した負圧または正圧を逃すときに、弁体の開側への移動をアシストすることができる。

以上により、大流量路を開閉する一方の弁ユニットにおいて、スプリングの付勢力を低減することができ、さらに、電磁ソレノイドを小型にすることができる。この結果、タンク密閉弁において、燃費低減、および、スペース削減に寄与する構造を提供することができる。

蒸発燃料処理装置の構成図である（実施例１）。 閉弁時のタンク密閉弁の構成図である（実施例１）。 開弁時のタンク密閉弁の構成図である（実施例１）。 閉弁時のタンク密閉弁の構成図である（実施例２）。 開弁時のタンク密閉弁の構成図である（実施例２）。 タンク密閉弁の構成図である（変形例）。 タンク密閉弁の構成図である（変形例）。 タンク密閉弁の構成図である（変形例）。 タンク密閉弁の構成図である（変形例）。

以下、発明を実施するための形態を実施例に基づいて説明する。

〔実施例１の構成〕
実施例１の蒸発燃料処理装置１およびタンク密閉弁２の構成を、図１〜図３を用いて説明する。
蒸発燃料処理装置１は、自動車等の車両において、燃料タンク３で発生した蒸発燃料が外気に漏れるのを防止するために設けられ、例えばタンク密閉弁２、キャニスタ４、パージ弁５、大気開放弁６、電子制御ユニット（ＥＣＵ）７、圧力センサ８等を備える。

キャニスタ４は、燃料タンク３で発生した燃料を吸着保持するものであり、タンク密閉弁２は、燃料タンク３とキャニスタ４との間を開閉する。また、パージ弁５は、キャニスタ４を内燃機関の吸気ライン９に対して開閉し、大気開放弁６は、キャニスタ４を外気に対して開閉する。

また、ＥＣＵ７は、圧力センサ８等の各種センサから入力される信号に基づき、内燃機関の動作を制御するものである。ここで、タンク密閉弁２、パージ弁５および大気開放弁６は、電磁ソレノイドにより開閉弁するものであり、ＥＣＵ７により通電制御されて開閉弁する。
さらに、圧力センサ８は、燃料タンク３の内部圧力を検出する。そして、ＥＣＵ７は、圧力センサ８から得られる検出値に基づき、タンク密閉弁２、パージ弁５および大気開放弁６等に指令を与えて、各種の制御モードを実行する。

以下、タンク密閉弁２の構成について詳述する。
タンク密閉弁２は、それぞれ個別の電磁ソレノイド１１Ａ、１１Ｂにより開閉弁する２つの弁ユニット２Ａ、２Ｂを備え、燃料タンク３とキャニスタ４との間で流体を流通させる流路網１３に配置される。そして、弁ユニット２Ａ、２Ｂは、ＥＣＵ７により通電制御されて開閉弁する。

また、ＥＣＵ７は、燃料タンク３とキャニスタ４との間で流体を流通させるときに、大流量、小流量の一方の流量を選択する。すなわち、流路網１３には、大流量用の大流量路１３Ａと、小流量用の小流量路１３Ｂとが存在し、弁ユニット２Ａ、２Ｂは、それぞれ、開弁して大、小流量路１３Ａ、１３Ｂを開くことにより、大流量、小流量を実現する。そして、ＥＣＵ７は、大流量が必要な時に弁ユニット２Ａを開弁させ、小流量が必要な時に弁ユニット２Ａを閉弁させるとともに弁ユニット２Ｂを開弁させる。
以下、弁ユニット２Ａ、２Ｂの構成を詳述する。

まず、弁ユニット２Ａは、次の外郭体１４Ａ、弁体１５Ａ、スプリング１６Ａ、電磁ソレノイド１１Ａおよびダイヤフラム１７を有する。
外郭体１４Ａは、例えば、樹脂材料により設けられており、弁体１５Ａ、スプリング１６Ａおよび電磁ソレノイド１１Ａ等を収容し、流体の流出入口として少なくとも３つのポート１８Ａ、１８Ｂ、１８Ｃを具備する。

弁体１５Ａは、外郭体１４Ａに移動可能に収容されポート１８Ａを開閉する。ここで、弁体１５Ａは、ポート１８Ａの周囲に設けられた弁座１９Ａに着座する弁部１５Ａａ、および、弁部１５Ａａよりも細い柱部１５Ａｂを具備する。
まず、弁部１５Ａａは、ポート１８Ａを閉じるときに弁座１９Ａに圧接する環状の突起２０を有する。そして、突起２０が弁座１９Ａに圧接することで、ポート１８Ａを経由する外郭体１４Ａの内外間の流体の流通が遮断される。

また、弁部１５Ａａの形状は、例えば、円板であり、柱部１５Ａｂの形状は、例えば、円柱である。そして、弁部１５Ａａと柱部１５Ａｂとは同軸をなすように設けられている。
さらに、弁体１５Ａは、弁部１５Ａａおよび柱部１５Ａｂを貫通する貫通路２１を有する。なお、弁体１５Ａは、電磁ソレノイド１１Ａが発生する磁気的な吸引力によって移動することができるように、柱部１５Ａｂに磁性部分を有している。

スプリング１６Ａは、例えば、外郭体１４Ａと柱部１５Ａｂとの間にセットされ、ポート１８Ａを閉じる側に弁体１５Ａを付勢して突起２０を弁座１９Ａに圧接させる。
電磁ソレノイド１１Ａは、スプリング１６Ａの付勢力に抗して、ポート１８Ａを開く側に弁体１５Ａを駆動する。すなわち、電磁ソレノイド１１Ａは、ＥＣＵ７により通電制御されるコイル１１Ａａを有し、コイル１１Ａａの内周側に発生する磁気的な吸引力により弁体１５Ａを駆動する。

ダイヤフラム１７は、柱部１５Ａｂと外郭体１４Ａとの間に張り渡されて外郭体１４Ａの内部を２つの室２２Ａ、２２Ｂに分割する。そして、弁部１５Ａａが室２２Ａに収容されるとともに柱部１５Ａｂが室２２Ｂに突き出し、かつ、ポート１８Ａ、１８Ｂが室２２Ａに開口するとともにポート１８Ｃが室２２Ｂに開口する。また、室２２Ｂは、弁部１５Ａａがポート１８Ａを閉じているときでも、貫通路２１によりポート１８Ａと連通している。なお、スプリング１６Ａおよび電磁ソレノイド１１Ａは室２２Ｂに収容されている。また、ポート１８Ｃは、後記するように弁ユニット２Ｂによって開閉される。

次に、弁ユニット２Ｂは、弁ユニット２Ａとほぼ同様の構成であり、弁ユニット２Ａと同様の外郭体１４Ｂ、弁体１５Ｂ、スプリング１６Ｂ、および、電磁ソレノイド１１Ｂを有する。
また、外郭体１４Ｂは、流体の流出入口として２つのポート１８Ｄ、１８Ｅを具備し、弁体１５Ｂは、ポート１８Ｄを開閉する。さらに、ポート１８Ｄは、タンク密閉弁２の内部流路２３によりポート１８Ｃに接続している。

これにより、弁ユニット２Ｂは、ポート１８Ｄを弁部１５Ｂａにより開閉することで、ポート１８Ｃを開閉する。内部流路２３は、流路網１３の一部を構成する。なお、弁体１５Ｂは、外郭体１４Ｂの内部に形成される弁室２４に、移動自在に収容されており、ポート１８Ｄ、１８Ｅは両方とも弁室２４に開口している。

続いて、流路網１３の構成を詳述する。
流路網１３は、上記の大、小流量路１３Ａ、１３Ｂをなす流路群により構成される。ここで、大、小流量路１３Ａ、１３Ｂをなす流路群は、上記の内部流路２３、以下に説明する外部流路２５Ａ、２５Ｂ、２５Ｃ等である。
まず、外部流路２５Ａは、一方の端がポート１８Ａに接続するものであり、他方の端はキャニスタ４に接続する。また、外部流路２５Ｂは、一方の端がポート１８Ｂに接続するものであり、他方の端は燃料タンク３に接続する。また、外部流路２５Ｃは、外部流路２５Ｂと弁ユニット２Ｂとを接続するものであり、ポート１８Ｅに接続している。

そして、大流量路１３Ａは、外部流路２５Ａ、ポート１８Ａ、室２２Ａ、ポート１８Ｂおよび外部流路２５Ｂ等により構成され、小流量路１３Ｂは、外部流路２５Ａ、ポート１８Ａ、貫通路２１、室２２Ｂ、内部流路２３、ポート１８Ｄ、弁室２４、ポート１８Ｅおよび外部流路２５Ｃ等により構成されている。

以上により、弁ユニット２Ａが開弁することで、大流量路１３Ａが開かれ、弁ユニット２Ａが閉弁を保った状態で弁ユニット２Ｂが開弁することで、小流量路１３Ｂが開かれる。
また、外部流路２５Ａ、内部流路２３には、それぞれ、絞り２６Ａ、２６Ｂが設けられており、絞り２６Ａ、２６Ｂの径を比較すると、絞り２６Ａの方が絞り２６Ｂよりも大きい。さらに、絞り２６Ｂの径と貫通路２１の径とを比較すると、絞り２６Ｂの方が貫通路２１よりも大きい。

続いて、蒸発燃料処理装置１の制御の特徴を説明する。
まず、ＥＣＵ７は、燃料タンク３の内部に発生した負圧を逃すため、キャニスタ４を経由して燃料タンク３の内部に大気圧を導入する負圧抑制モードを実行する。すなわち、ＥＣＵ７は、パージ弁５を閉弁させるとともにタンク密閉弁２および大気開放弁６を開弁させることで、負圧抑制モードを実行する。そして、タンク密閉弁２の開弁に関し、負圧を早期に逃すために大流量を選択する場合、ＥＣＵ７は、弁ユニット２Ｂを先に開弁させた後に、弁ユニット２Ａを開弁させる。

〔実施例１の作用効果〕
以下、実施例１の蒸発燃料処理装置１およびタンク密閉弁２の作用効果を説明する。
作用効果の説明にあたり、次のとおり用語を定義する。まず、燃料タンク３の内部圧力をタンク圧と呼び、キャニスタ４の内部圧力をキャニスタ圧と呼ぶ。また、弁体１５Ａの移動方向に関し、ポート１８Ａを閉じる側を閉側、ポート１８Ａを開く側を開側と呼ぶ。なお、キャニスタ圧は、ほぼ大気圧に等しい。

実施例１のタンク密閉弁２によれば、柱部１５Ａｂと外郭体１４Ａとの間にダイヤフラム１７を張り渡すとともに弁体１５Ａに貫通路２１を設けている。これにより、ポート１８Ａの閉鎖時、タンク圧およびキャニスタ圧が弁体１５Ａに作用しても、打ち消しあうように設定することができる。

すなわち、ポート１８Ａの閉鎖時、室２２Ｂの圧力は、貫通路２１の存在によりキャニスタ圧に等しい。また、室２２Ａの圧力は、ポート１８Ｂが常に燃料タンク３の内部と連通していることからタンク圧に等しい。このため、弁部１５Ａａには、主に、タンク圧が閉側に作用し、柱部１５Ａｂには、スプリング１６Ａの付勢力およびキャニスタ圧が閉側に作用する。また、ダイヤフラム１７は、キャニスタ圧からタンク圧を差し引いた大きさに相当する圧力を、柱部１５Ａｂに対して閉側に及ぼす。

これにより、弁部１５Ａａ、柱部１５Ａｂおよびダイヤフラム１７それぞれの受圧面の設定により、ポート１８Ａの閉鎖時、タンク圧およびキャニスタ圧が弁体１５Ａに作用しても、打ち消しあうようにすることができる。このため、弁部１５Ａａによるポート１８Ａの封鎖能力を高めるために、スプリング１６Ａの付勢力を高める必要がなくなる。

また、ポート１８Ｃを弁ユニット２Ｂにより開閉するように設け、さらに、負圧抑制モードにおいて大流量により負圧を逃したいとき、弁ユニット２Ｂを先に開弁させた後に、弁ユニット２Ａを開弁させる。
これにより、負圧抑制モードの実行時に、弁体１５Ａの開側への移動をアシストすることができる。

すなわち、弁ユニット２Ａを閉弁させた状態で弁ユニット２Ｂを開弁させることで、弁ユニット２Ａの開弁前に、室２２Ｂにタンク圧（負圧）を導入しておくことができる。このため、キャニスタ圧とタンク圧との差分に応じた力、つまり、大気圧と負圧との差分に応じた力が弁体１５Ａに対して開側に作用する。
これにより、負圧抑制モードの実行時に、弁体１５Ａの開側への移動をアシストすることができる。このため、負圧抑制モードの実行時に、弁体１５Ａを開側へ移動させる力、つまり、電磁ソレノイド１１Ａが発生する吸引力を低減することができる。

以上により、弁ユニット２Ａにおいて、電磁ソレノイド１１Ａを小型にすることができ、さらに、スプリング１６Ａの付勢力を低減することができる。この結果、タンク密閉弁２において、燃費低減、および、スペース削減に寄与する構造を提供することができる。

また、絞り２６Ａを絞り２６Ｂよりも径大にすることにより、確実に大、小流量を使い分けることができる。
さらに、絞り２６Ｂを貫通路２１よりも径大にすることにより、負圧抑制モードの実行中、室２２Ｂをキャニスタ圧（大気圧）よりも低圧に保つことができる。このため、負圧抑制モードの実行時に、弁体１５Ａの開側への移動を確実にアシストすることができる。
なお、負圧抑制モードにおいて、小流量により負圧を逃す場合、電磁ソレノイド１１Ｂをデューティ制御することにより、小流量の大きさを変化させることができる。

〔実施例２の特徴〕
実施例２の蒸発燃料処理装置１１およびタンク密閉弁２の特徴を、図４および図５を用いて実施例１と異なる点を中心に説明する。
まず、流路網１３の構成に関し、内部流路２３は、ポート１８Ｃとポート１８Ｅとを接続している。また、外部流路２５Ａは、他方の端が燃料タンク３に接続し、外部流路２５Ｂは、他方の端がキャニスタ４に接続する。また、外部流路２５Ｃはポート１８Ｄに接続している。

そして、大流量路１３Ａは、外部流路２５Ａ、ポート１８Ａ、室２２Ａ、ポート１８Ｂおよび外部流路２５Ｂ等により構成され、小流量路１３Ｂは、外部流路２５Ａ、ポート１８Ａ、貫通路２１、室２２Ｂ、ポート１８Ｃ、内部流路２３、ポート１８Ｅ、弁室２４、ポート１８Ｄおよび外部流路２５Ｃ等により構成されている。
以上により、弁ユニット２Ａが開弁することで、大流量路１３Ａが開かれ、弁ユニット２Ａが閉弁を保った状態で弁ユニット２Ｂが開弁することで、小流量路１３Ｂが開かれる。

また、外部流路２５Ａ、２５Ｃには、それぞれ、絞り２６Ａ、２６Ｃが設けられており、絞り２６Ａ、２６Ｃの径を比較すると、絞り２６Ａの方が絞り２６Ｃよりも大きい。さらに、絞り２６Ｃの径と貫通路２１の径とを比較すると、絞り２６Ｃの方が貫通路２１よりも大きい。

続いて、蒸発燃料処理装置１の制御の特徴を説明する。
まず、ＥＣＵ７は、燃料タンク３の内部に発生した正圧を逃すため、キャニスタ４を経由して燃料タンク３の内部から大気に正圧を逃す正圧抑制モードを実行する。すなわち、ＥＣＵ７は、パージ弁５を閉弁させるとともにタンク密閉弁２および大気開放弁６を開弁させることで、正圧抑制モードを実行する。そして、タンク密閉弁２の開弁に関し、正圧を早期に逃すために大流量を選択する場合、ＥＣＵ７は、弁ユニット２Ｂを先に開弁させた後に、弁ユニット２Ａを開弁させる。

〔実施例２の作用効果〕
実施例２のタンク密閉弁２によれば、正圧抑制モードにおいてタンク密閉弁２を開弁させるとき、弁ユニット２Ｂを先に開弁させた後に、弁ユニット２Ａを開弁させる。
これにより、正圧抑制モードの実行時に、弁体１５Ａの開側への移動をアシストすることができる。

すなわち、弁ユニット２Ａを閉弁させた状態で弁ユニット２Ｂを開弁させることで、弁ユニット２Ａの開弁前に、室２２Ｂにキャニスタ圧（大気圧）を導入しておくことができる。このため、タンク圧とキャニスタ圧との差分に応じた力、つまり、正圧と大気圧との差分に応じた力が弁体１５Ａに対して開側に作用する。
これにより、正圧抑制モードの実行時に、弁体１５Ａの開側への移動をアシストすることができる。このため、正圧抑制モードの実行時に、弁体１５Ａを開側へ移動させる力、つまり、電磁ソレノイド１１Ａが発生する吸引力を低減することができる。
以上により、弁ユニット２Ａにおいて、電磁ソレノイド１１Ａを小型にすることができ、さらに、スプリング１６Ａの付勢力を低減することができる。

また、絞り２６Ａを絞り２６Ｃよりも径大にすることにより、確実に大、小流量を使い分けることができる。
さらに、絞り２６Ｃを貫通路２１よりも径大にすることにより、正圧抑制モードの実行中、室２２Ｂをタンク圧（正圧）よりも低圧に保つことができる。このため、正圧抑制モードの実行時に、弁体１５Ａの開側への移動を確実にアシストすることができる。

〔変形例〕
本発明は、その要旨を逸脱しない範囲で様々な変形例を考えることができる。
例えば、図６および図７に示すように、燃料タンク３の内部に発生した負圧または正圧により開弁する逆止弁構造のリリーフ弁２７を、蒸発燃料処理装置１に装備してもよい。
この場合、リリーフ弁２７は、燃料タンク３とキャニスタ４との間でタンク密閉弁２と並列に配置するのが好ましい。つまり、次のような外部流路２５Ｄを流路網１３に追加し、外部流路２５Ｄにリリーフ弁２７を組み入れるのが好ましい。

ここで、外部流路２５Ｄとは、タンク密閉弁２を迂回して外部流路２５Ａ、２５Ｂを接続するものである。
そして、リリーフ弁２７を装備することにより、タンク密閉弁２に故障が発生しても、燃料タンク３の内部に発生した正圧または負圧を逃すことができる。

また、図８および図９に示すように、外郭体１４Ａの外側表面に弁部１５Ｂａが着座する弁座１９Ｂを設けてもよい。この場合、内部流路２３を省略したり、大幅に短縮したりすることができるので、タンク密閉弁２を小型化したり、軽量化したりすることができる。この結果、燃費低減、および、スペース削減に更に寄与する構造をタンク密閉弁２において提供することができる。

また、実施例のタンク密閉弁２によれば、柱部１５Ａｂと外郭体１４Ａとの間にダイヤフラム１７を張り渡して外郭体１４Ａの内部を室２２Ａ、２２Ｂに分割していたが、ダイヤフラム１７に代えてベローズを張り渡すことで、外郭体１４Ａの内部を室２２Ａ、２２Ｂに分割してもよい。
さらに、実施例のタンク密閉弁２によれば、弁体１５Ａでは、柱部１５Ａｂが弁部１５Ａａよりも細く設けられていたが、柱部１５Ａｂを弁体１５Ａと同径に設けてもよく、弁体１５Ａよりも太く設けてもよい。

１ 蒸発燃料処理装置 ２ タンク密閉弁 ２Ａ 弁ユニット（一方の弁ユニット） ２Ｂ 弁ユニット（他方の弁ユニット） ３ 燃料タンク ４ キャニスタ ７ ＥＣＵ（制御部） １１Ａ 電磁ソレノイド １３ 流路網 １４Ａ 外郭体 １５Ａ 弁体 １５Ａａ 弁部 １５Ａｂ 柱部 １６Ａ スプリング １７ ダイヤフラム １８Ａ ポート（第１のポート） １８Ｂ ポート（第２のポート） １８Ｃ ポート（第３のポート） ２１ 貫通路 ２２Ａ 室（一方の室） ２２Ｂ 室（他方の室）

Claims (12)

1. 所定の制御部（７）により通電制御されて開閉弁する２つの弁ユニット（２Ａ、２Ｂ）を備え、
   燃料タンク（３）とキャニスタ（４）との間で流体を流通させる流路網（１３）に配置され、
   一方の弁ユニット（２Ａ）を開弁させて大流量を実現するとともに、前記一方の弁ユニットを閉弁させ、かつ、他方の弁ユニット（２Ｂ）を開弁させて前記大流量よりも小さい小流量を実現するタンク密閉弁（２）において、
   前記一方の弁ユニットは、
   流体の流出入口として少なくとも３つのポート（１８Ａ、１８Ｂ、１８Ｃ）を具備する外郭体（１４Ａ）と、
   この外郭体に移動可能に収容され、前記３つのポートの内の第１のポート（１８Ａ）を開閉する弁部（１５Ａａ）、および、この弁部から伸びる柱部（１５Ａｂ）を具備する弁体（１５Ａ）と、
   前記第１のポートを閉じる側に前記弁体を付勢するスプリング（１６Ａ）と、
   このスプリングの付勢力に抗して、前記第１のポートを開く側に前記弁体を駆動する電磁ソレノイド（１１Ａ）と、
   前記柱部と前記外郭体との間に張り渡されて前記外郭体の内部を少なくとも２室（２２Ａ、２２Ｂ）に分割するダイヤフラム（１７）またはベローズとを有し、
   前記弁部が前記２室の内の一方の室（２２Ａ）に収容されるとともに他方の室（２２Ｂ）に前記柱部が突き出し、かつ、前記３つのポートの内の前記第１のポート、および、第２のポート（１８Ｂ）が前記一方の室に開口するとともに第３のポート（１８Ｃ）が他方の室に開口し、
   前記弁体は、前記弁部および前記柱部を貫通する貫通路（２１）を有し、
   前記弁部が前記第１のポートを閉じているときでも、前記貫通路により前記第１のポートと前記他方の室とが連通しており、
   前記他方の弁ユニットは前記第３のポートを開閉することを特徴とするタンク密閉弁。
2. 請求項１に記載のタンク密閉弁を備える蒸発燃料処理装置（１）において、
   前記第１のポートは前記キャニスタに接続し、前記第２のポートは前記燃料タンクに接続し、前記第３のポートは、前記他方の弁ユニットを経由して前記燃料タンクに接続することを特徴とする蒸発燃料処理装置。
3. 請求項２に記載の蒸発燃料処理装置において、
   前記制御部は、前記燃料タンクの内部に発生した負圧を逃すとき、前記他方の弁ユニットを開弁させた後に前記一方の弁ユニットを開弁させることを特徴とする蒸発燃料処理装置。
4. 請求項２または請求項３に記載の蒸発燃料処理装置において、
   前記第１ポートと前記キャニスタとの間の流路の最小径は、前記第３ポートと前記燃料タンクとの間の流路の最小径よりも大きいことを特徴とする蒸発燃料処理装置。
5. 請求項２ないし請求項４の内のいずれか１つに記載の蒸発燃料処理装置において、
   前記第３ポートと前記燃料タンクとの間の流路の最小径は、前記貫通路の最小径よりも大きいことを特徴とする蒸発燃料処理装置。
6. 請求項１に記載のタンク密閉弁を備える蒸発燃料処理装置において、
   前記第１のポートは前記燃料タンクに接続し、前記第２のポートは前記キャニスタに接続し、前記第３のポートは、前記他方の弁ユニットを経由して前記キャニスタに接続することを特徴とする蒸発燃料処理装置。
7. 請求項６に記載の蒸発燃料処理装置において、
   前記制御部は、前記燃料タンクの内部に発生した正圧を逃すとき、前記他方の弁ユニットを開弁させた後に前記一方の弁ユニットを開弁させることを特徴とする蒸発燃料処理装置。
8. 請求項６または請求項７に記載の蒸発燃料処理装置において、
   前記第１ポートと前記燃料タンクとの間の流路の最小径は、前記第３ポートと前記キャニスタとの間の流路の最小径よりも大きいことを特徴とする蒸発燃料処理装置。
9. 請求項６ないし請求項８の内のいずれか１つに記載の蒸発燃料処理装置において、
   前記第３ポートと前記キャニスタとの間の流路の最小径は、前記貫通路の最小径よりも大きいことを特徴とする蒸発燃料処理装置。
10. 請求項２ないし請求項９の内のいずれか１つに記載の蒸発燃料処理装置において、
    前記燃料タンクの内部に発生した負圧または正圧により開弁する逆止弁構造のリリーフ弁（２７）を備え、
    このリリーフ弁は、前記燃料タンクと前記キャニスタとの間で前記タンク密閉弁と並列に配置されていることを特徴とする蒸発燃料処理装置。
11. 請求項１に記載のタンク密閉弁において、
    前記外郭体の外側表面に、前記他方の弁ユニットの弁部（１５Ｂａ）が着座する弁座（１９Ｂ）が存在することを特徴とするタンク密閉弁。
12. 請求項２ないし請求項１０の内のいずれか１つに記載の蒸発燃料処理装置において、
    前記外郭体の外側表面に、前記他方の弁ユニットの弁部（１５Ｂａ）が着座する弁座（１９Ｂ）が存在することを特徴とする蒸発燃料処理装置。

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