JP6425558B2 - 電子放出素子、及び電子放出装置 - Google Patents
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Description
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。図1は、本実施の形態1に係る電子放出装置の概略構成を示す模式図である。図2は、本実施の形態1に係る電子放出素子を電子放出面側から見た平面図である。
本実施の形態1の実施例について説明する。本実施例では、第2電極14を複数層積層させたことで放出効率向上および駆動劣化抑制の効果が得られた具体例を示す。
実施の形態1では、第2電極14の第1層141及び第2層142のそれぞれを均一な層厚としているが、本発明はこれに限定されるものではなく、第1層141及び第2層142の少なくとも一方を不均一に形成しても良い。本実施の形態2は、そのような構造の電子放出装置について説明する。図7は、本実施の形態2に係る電子放出装置の概略構成を示す模式図である。
10 電子放出素子
11 第1電極
12 絶縁層
13 中間層
14 第2電極
141 第1層(中間層に隣接している層)
142 第2層
2 電子放出装置
20 電源
30 電子放出素子
34 第2電極
341 第1層(中間層に隣接している層)
342 第2層
Claims (3)
- 第1電極と、第2電極と、前記第1電極および第2電極の間に設けられた中間層とを備え、前記第1電極および第2電極の間に電圧を印加することによって前記第2電極から電子を放出させる電子放出素子であって、
前記第2電極は、前記中間層に接する第1層と、当該電子放出素子の表面側となる第2層とからなる積層構造とされており、
前記第1層の材料がAu、前記第2層の材料がPtであることを特徴とする電子放出素子。 - 請求項1に記載の電子放出素子であって、
前記第2層は、給電辺側の層厚が対向辺側の層厚よりも大きい構成であることを特徴とする電子放出素子。 - 請求項1または2に記載の電子放出素子と、
前記電子放出素子における前記第1電極および第2電極の間に電圧を印加する電源とを備えたことを特徴とする電子放出装置。
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