JP2013235656A - 電界放射装置及び携帯型非破壊検査装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】破損しにくく製作が楽な電界放射装置を提供する。
【解決手段】携帯型非破壊検査装置100は、X線発生装置を収納する本体部102と電源部103からなり、これら本体部102と電源部103は分離可能とされ、本体部102と電源部103の分離結合はメカニカルキーによって行う。前記電源部103はトランス104と電池収納部105を一体化しており、トランス104からは端子106が突出し、電池収納部105には把持部107が取り付けられ、この把持部107にスイッチ108を設けている。
【選択図】図1
【解決手段】携帯型非破壊検査装置100は、X線発生装置を収納する本体部102と電源部103からなり、これら本体部102と電源部103は分離可能とされ、本体部102と電源部103の分離結合はメカニカルキーによって行う。前記電源部103はトランス104と電池収納部105を一体化しており、トランス104からは端子106が突出し、電池収納部105には把持部107が取り付けられ、この把持部107にスイッチ108を設けている。
【選択図】図1
Description
本発明は、電子管、照明装置、X線装置などの種々の機器に適用される電子放出体を備えた電界放射装置及び携帯型非破壊検査装置に関する。
電界放射は電界集中により電子が真空に放出される現象であり、この電界放射を行うための電子放出体として例えばカーボンナノチューブが注目されている。このカーボンナノチューブは、極めて細長く高アスペクト比のために電界放射特性に優れたもので電界電子放出素子を得ることができるとされ、電子管、照明装置等の種々の電界放射装置に適用することが検討されてきた。
電界放射特性(IV特性)とは、陽極(ターゲット)と冷陰極との間に電圧Vを印加して冷陰極から電界放射する際の、電圧Vと電界放射電流(エミッション電流)Iとの関係を示す曲線により示される特性であり、電界放射を開始する電圧(閾値)や、上記曲線の傾きや形状で特徴づけられる。
電界放射装置の具体例としては、前記のような冷陰極に蛍光体付きの陽極を対向配置し、冷陰極と陽極間に電圧(陽陰極電圧)を印加して冷陰極から電界放射により電子線を放出させ、この放出した電子を蛍光体に加速衝突させて蛍光体を励起発光させる冷陰極蛍光ランプがある。この蛍光体の発光には所定量の電子放出が必要である。この電子放出量を示すエミッション電流を縦軸に、陽陰極管電圧を横軸にして示す電流電圧(IV)特性曲線は、冷陰極の電子放出性能を示すことになる。カーボンナノチューブの場合、上記IV特性曲線の傾きが緩やかに立ち上がってくる。そのため、カーボンナノチューブの場合、蛍光体に発光を開始させるためのエミッション電流を得るのに必要な電圧Vは、高くなる。
しかし、所望のエミッション電流を得るための印加電圧Vの値が大きいことは、カーボンナノチューブ自体の特性変化(劣化)を生じることと、一定電流を得るのに必要な電圧が高電圧化するため、その電源設備が要求されたり、上記冷陰極蛍光ランプの製作に影響したりするなどの課題がある。
そこで、より低い印加電圧Vで蛍光体を発光開始させることができるエミッション電流を得られるIV特性を提供する冷陰極用の炭素膜の実現が望まれてきた。
そこで、より低い印加電圧Vで蛍光体を発光開始させることができるエミッション電流を得られるIV特性を提供する冷陰極用の炭素膜の実現が望まれてきた。
近年、カーボンナノチューブ等の代わりとして、グラフェンシートが多層に重なって内部中空となっていて、かつ、先端に向けて半径が小さくなる尖頭形状が複数個分散(基板表面に無数分散)して形成された炭素膜構造が、本願発明者等により開発されている。
この炭素膜構造としては、基板上に複数の炭素膜集合単位が形成されてなり、これら炭素膜集合単位は、幹状炭素膜と、この幹状炭素膜の膜中途から膜下部にかけて当該幹状炭素膜を囲むように成膜されている枝状炭素膜群とを備えると共に、該幹状炭素膜は、グラフェンシートが多層に重なって内部中空となっていて、かつ、先端に向けて半径が小さくなる尖頭形状を備えていることを特徴とするものである(例えば、特許文献1〜3)。
このような炭素膜構造の放出体によれば、半径が先端に向かうにつれて針状に小さくなる尖頭形状を備えたことにより、カーボンナノチューブ等と比較して、より低い印加電圧で所望するエミッション電流を得ることができ、IV特性に優れた電界放射装置を提供することができるとされている。
この炭素膜構造としては、基板上に複数の炭素膜集合単位が形成されてなり、これら炭素膜集合単位は、幹状炭素膜と、この幹状炭素膜の膜中途から膜下部にかけて当該幹状炭素膜を囲むように成膜されている枝状炭素膜群とを備えると共に、該幹状炭素膜は、グラフェンシートが多層に重なって内部中空となっていて、かつ、先端に向けて半径が小さくなる尖頭形状を備えていることを特徴とするものである(例えば、特許文献1〜3)。
このような炭素膜構造の放出体によれば、半径が先端に向かうにつれて針状に小さくなる尖頭形状を備えたことにより、カーボンナノチューブ等と比較して、より低い印加電圧で所望するエミッション電流を得ることができ、IV特性に優れた電界放射装置を提供することができるとされている。
非破壊検査装置などに組み込まれるX線発生装置は、3極管構造をしており、1本のガラス管内に電子源(エミッタ)、ターゲット及び集束電極(格子電極)を配置し、電子源と集束電極との間に電圧を印加して電子を発生せしめ、また集束電極とターゲットとの間に電圧を印加して発生した電子をターゲットに衝突させている。
特許文献4には、第1の導電体と複数個の第2の導電体によって絶縁体を長手方向に挟持し、第1の導電体には負極性高電圧パルスを印加し、第2の導電体はコンデンサまたは抵抗を介して接地することで、絶縁体の陽極対向面で沿面放電により線状の電子ビームを発する内容が開示されている。
特許文献5には、電子源と集束電極との間にかける電子発生電圧と、グリット電極とターゲットとの間にかける加速電圧を制御部によって可変制御することで、軟X線の発生量と軟X線のエネルギーを個別に制御可能とした汎用性を重視した光除電装置が開示されている。
特許文献6には、カソード電極が形成された基板表面にカーボンナノチューブからなる電子放出層が形成され、この電子放出層の外周側に、電子放出層と同電位の導電層を設け、更に電子放出層の上方にゲート電極を設けた構造が開示されている。
以上示したようなことから、炭素膜構造を有する電子放出体を備えた電界放射装置において、所望の機能を発現(例えばIV特性に優れた電子線源として発現)する場合には、冷陰極と陽極との間の距離や当該陽極の電子線放射方向の長さが長くなり過ぎないように、真空容器の放熱性(冷陰極から放出される電子線に起因して発生する熱の放熱性)を高めるとともに、沿面距離を確保する必要があることを読み取れる。
また電界放射装置の1つであるX線発生装置においては、従来からエミッタ、ターゲット及び集束電極を1つのガラス容器内に配置しており、破損しやすい、製作に手間がかかる、冷却が困難などの問題がある。
本発明は、前記課題の解決を図ることが可能な電界放射装置に関するものであって、本発明に係る電界放射装置は3分割された部材を連結して構成される。
本発明に係る電界放射装置は、電子放出体から成る冷陰極とターゲットと集束電極からなり、前記冷陰極とターゲットは個別の容器内に設けられ、これら容器は集束電極を備える連結部材で結合されている。
前記冷陰極とターゲットはセラミック製容器に収納され、前記集束電極は前記セラミック製容器が連結される金属製連結部材に一体的に形成してもよい。
また、絶縁破壊を防ぐため、前記セラミック製容器の外側を樹脂モールドで覆うことが好ましい。更に、前記金属製連結部材を筒状とし、内部に前記エミッタまたはターゲットが臨み、エミッタに近い側の端部に集束電極が一体的に形成された構成が好ましい。
また、絶縁破壊を防ぐため、前記セラミック製容器の外側を樹脂モールドで覆うことが好ましい。更に、前記金属製連結部材を筒状とし、内部に前記エミッタまたはターゲットが臨み、エミッタに近い側の端部に集束電極が一体的に形成された構成が好ましい。
また、本発明に係る携帯型の非破壊検査装置は、前記X線発生装置を収納する本体部と電源部とが分離可能とされている。
本発明によれば、冷陰極(エミッタ)、ターゲット及び集束電極を個別の容器に収納若しくは容器と一体として形成しており、個々の部材を小型化でき、更に冷陰極及びターゲットについてはセラミック容器内に入れているので、絶縁破壊されにくく、従来のように絶縁オイル内に浸漬する必要がなく、軽量・小型化できる。
以下、本発明における電界放射装置の実施形態を図面等に基づいて詳細に説明する。図1は本発明に係る電界放射装置としてのX線発生装置を組み込んだ携帯型非破壊検査装置を示す。この携帯型非破壊検査装置100は、X線発生装置を収納する本体部102と電源部103からなり、これら本体部102と電源部103は分離可能とされ、本体部102と電源部103の分離結合はメカニカルキーによって行う。
前記電源部103はトランス104と電池収納部105を一体化しており、トランス104からは端子106が突出し、電池収納部105には把持部107が取り付けられ、この把持部107にスイッチ108を設けている。
本体部102と電源部103とを切り離し可能としたことで、使用しないときには別々に保管して他人が使用できないようにしているが、更にセキュリティー性を高めるべく前記スイッチ108に指紋認証部などのバイオメトリクスによって本人認証を行う部分を設け、仮に認証されていない人間の場合はスイッチが入らないようにしたり、逆に大電流を流してX線発生装置を破壊することが考えられる。
本体部102はステンレス製ケース内にX線発生装置110が収納されている。X線発生装置110はエミッタユニット120、ターゲットユニット130及びこれらをつなぐ連結ユニット140からなる。
エミッタユニット120はセラミック製の容器121内にエミッタ122が設けられ、このエミッタ122の先端は連結ユニット140内に臨み、また容器121の外側はシリコーンやエポキシなどの樹脂でモールド123されている。また樹脂モールド123内には導線124が埋設され、この導線は受け端子125に接続されている。
ターゲットユニット130はセラミック製の容器131内にタングステンなどのターゲット132が設けられ、容器131の外側はシリコーンやエポキシなどの樹脂でモールド133され、モールド133から露出するターゲット132の後端にはアルミナ製の放熱部材134が接触し、更に樹脂モールド133内には導線135が埋設され、この導線は受け端子136に接続されている。
また、前記放熱部材134に近接する本体部102内には放熱部材134を冷却するファン137が配置されている。
連結ユニット140はステンレスなどの金属製とし、筒状をなしている。そして、前記エミッタ122に近い箇所に一体的に集束電極141を形成し、エミッタ122から発生した電子線を絞って前記ターゲット132に当てるようにしている。
また、連結ユニット140の一側にはゲッター142を配置し、このゲッター142と対向する側面にはエミッタユニット120、ターゲットユニット130及び連結ユニット140を連結してX線発生装置110を組み立てた後にX線発生装置110内を真空状態にする排気管143を接続している。この排気管143は吸引後に封着される。
図6に示すように、エミッタ122と集束電極141との間には電子発生回路151が設けられ、前記集束電極141とターゲット132との間には電子加速回路152が設けられ、集束電極141を基準としてエミッタ122には例えば−40kVが印加され、ターゲット32には+40kVが印加される。
前記電子発生回路151では検出器153で電流値を検出し、この検出値を制御部154に送り当該検出電流値が一定範囲に収まるようにフィードバック制御を行う。また、前記電子加速回路152では、検出器155で電圧値を検出し、この検出値を制御部154に送り当該検出電圧値が一定範囲に収まるようにフィードバック制御を行う。
前記電子発生回路151での一定電圧となるように制御された印加電圧によってX線の発生量(管電流)が決まり、前記電子加速回路152での印加電圧によってX線のエネルギー(管電圧=陰極側電圧+陽極側電圧)が決まる。
前記エミッタ122はステンレスなどを材料とする基板160、炭素膜161および前記基板160の周囲を囲むように設けられたガード電極162から構成される。
基板160は長尺状をなすとともに電子発生回路151の陰極側に接続され、電子加速回路152の陽極側に接続されたターゲット132に対向する面を電子放出面163とし、この電子放出面163の表面に前記炭素膜61を形成している。
前記電子放出面163は電子の出射方向を基準として前記ガード電極162の先端よりも後退した位置に設けられている。電子放出面163のガード電極162の先端からの後退量に比例して電子放出面にかかる電圧が低下する。したがって、ガード電極の先端からの後退量を調整することで発生する電子線の強度をコントロールできる。電子放出面63は凹球面とされ、この凹面は一定の曲率半径を有し、平行な光線が入射したと仮定すると収束する焦点Fが存在する。
前記ガード電極162の先端部は図7に示すように凸曲面とされ、この凸曲面の外周側の曲率半径(R1)を炭素膜を囲む内周側の曲率半径(R2)以上(R1≧R2)とすることで、炭素膜161の表面での局部的な電界集中を抑制し、熱劣化に伴う電流劣化や放電現象を防止している。
また、ターゲット132と集束電極141との距離をd、印加電圧をVとすると、電界の強さEは、E=V/dとなる。そして、ガード電極162の先端部から電子放出面163を後退させることで、電子放出面163にかかる電圧が小さくなる。後退量は0.5〜2.0mmが好ましい。
この結果、冷陰極の場合、放出電子は方向性なく出射するが、ガード電極により集束し、中間極のアパチャー(穴)に向かって進む。アパチャーを抜けた電子はターゲットに焦点を結ぶ。
この結果、冷陰極の場合、放出電子は方向性なく出射するが、ガード電極により集束し、中間極のアパチャー(穴)に向かって進む。アパチャーを抜けた電子はターゲットに焦点を結ぶ。
前記電子放出面163の表面に形成された炭素膜161は数μm〜数十μmの厚さで、多数の突起が面状に展開して構成され、更に突起は電子放出面163の表面に形成される隆起部とこの隆起部から伸びる針状部からなる。
図8は認証されていない人間がスイッチを押した場合に大電流を流してX線発生装置を破壊する構造の一例を示す図であり、この図に示すように、エミッタ122とガード電極162との間に絶縁体164を介在させて離し、ガード電極162は電子発生回路151とグランドとを切替え可能となっている。
そして、認証されていない人間がスイッチを押すとガード電極162がグランド側に切り替わる。すると、エミッタ122とガード電極162とが分離しているため集束電極141よりもガード電極162に電流が流れ、これによってX線の発生が抑制される。更に、ターゲット132(陽極)と集束電極141間には数10KVの負電圧が印加されているので、ターゲット132には行かず、集束電極141よりも近いガード電極162に放電電流が流れ、それによりエミッタ122が破壊される。
図9は別実施例を示す図1と同様の図であり、この実施例にあってはターゲット132を金属製の連結部材140の内部に臨ませ、この連結部材140に窓部144を形成し、この窓部144をベリリウムの薄板145で覆うことで、X線の減衰を抑え効率よくX線を外部に放出できる構造にしている。
図10に示すX線発生装置200はエミッタ202を収納するセラミック製容器203とターゲット金属204を収納するセラミック製容器205とを集束電極206を備える連結部材207で結合している。
前記エミッタ202はステンレスなどの導電性材料からなる本体の先部に一定の極率の凹面が形成され、この凹面に電子放出用の炭素膜が数μm〜数十μmの厚さで形成されている。炭素膜からなるエミッタ202は従来の熱フィラメントに比べ、低い温度で電子を放出する。
また、ターゲット金属204にはタングステンなどによって構成され、前記エミッタ202からの電子が当る先端面は傾斜面とされ、電子が衝突することで傾斜面からX線が放射され、この放射されたX線を外部に取出すための窓部208が前記連結部材207に形成されている。尚、X線発生装置200内の真空度を維持するため、窓部208はベリリウムからなる薄膜209で気密に閉じられている。
また前記エミッタ202と集束電極206との間には電子発生回路210が設けられ、前記集束電極206とターゲット金属204との間には電子加速回路211が設けられ、集束電極206を基準としてエミッタ202には例えば−40kVが印加され、ターゲット金属204には+40kVが印加される。
セラミック製容器203、205の製法としては、例えば先ず緻密層214を形成し、この緻密層214の上にスポンジなどをセットし、このスポンジにセラミックの泥漿を含浸せしめた後に焼成し、スポンジを気化して連続気孔とするか、焼結を途中で止めるなどの方法を採用する。また、連結部材207に当接する開放端についてはメタライズを施し、気密性を高めるようにしてもよい。
また図12に示すように、連結部材207には真空引き用の開口212およびゲッター213の収納部が設けられている。尚、ゲッター213についてはエミッタ202の本体部分に設けてもよい。
セラミック製容器203、205は同一構造であるので、ターゲット金属204を収納するセラミック製容器205について説明する。セラミック製容器205は一端が開放されたカップ状をなし、開放端が前記連結部材207に気密に連結され、基端部にターゲット金属204、エミッタ202がそれぞれ保持されている。
セラミック製容器203、205は同一構造であるので、ターゲット金属204を収納するセラミック製容器205について説明する。セラミック製容器205は一端が開放されたカップ状をなし、開放端が前記連結部材207に気密に連結され、基端部にターゲット金属204、エミッタ202がそれぞれ保持されている。
セラミック製容器205は三次元的に連続した気孔が形成されたアルミナなどの多孔質セラミックからなり、この多孔質セラミックの内側面には緻密層14が設けられ、前記連続気孔内には絶縁油が充填されている。
セラミック製容器205の製法としては、例えば先ず緻密層214を形成し、この緻密層214の上にスポンジなどをセットし、このスポンジにセラミックの泥漿を含浸せしめた後に焼成し、スポンジを気化して連続気孔とするか、焼結を途中で止めるなどの方法を採用する。また、連結部材207に当接する開放端についてはメタライズを施し、気密性を高めるようにしてもよい。
また、セラミック製容器205の外側には金属製カバー215が取付けられ、この金属製カバー215の内側とセラミック製容器205の外側との間に絶縁油溜りとなる隙間216が形成されている。
図10に示した実施例ではエミッタ202を収納するセラミック製容器203とターゲット金属204を収納するセラミック製容器205とが、カップ部が向き合いように連結部材207に連結しているが、図13及び図14に示すX線発生装置300にあっては、エミッタ302を収納するセラミック製容器303とターゲット金属304を収納するセラミック製容器305とが、カップ部が互いに反対方向を向くように連結部材307に連結している。
このようにすることで、X線発生装置300の長さ寸法を短くすることができる。
また、図13及び図14に示すX線発生装置300にあっては、セラミック製容器303、305の外周に放熱フィン306を形成している。
このようにすることで、X線発生装置300の長さ寸法を短くすることができる。
また、図13及び図14に示すX線発生装置300にあっては、セラミック製容器303、305の外周に放熱フィン306を形成している。
以上は、実施の一例を示したものであり、本願発明は上記に限定されない。例えば、第1発明に係る電界放射装置では、冷陰極側容器のフランジ部と陽極側容器のフランジ部を突き合わせ、これらフランジ部間に空間が形成されるようにしたが、冷陰極側容器及び陽極側容器にフランジを設けず、2枚のフランジ部を合わせた形状の連結部材を用意し、前記冷陰極側容器及び陽極側容器を間に連結部材を入れて連結してもよい。
100…非破壊検査装置、102…本体部、103…電源部、104…トランス、105…電池収納部、106…端子、107…把持部、108…スイッチ、110…X線発生装置、120…エミッタユニット、130…ターゲットユニット、140…連結ユニット、121…容器、122…エミッタ、123…樹脂モールド、124…導線、125…受け端子、131…容器、132…ターゲット、133…樹脂モールド、134…放熱部材、135…導線、136…受け端子、141…集束電極、142…ゲッター、143…排気管、144…窓部、145…ベリリウム薄膜、151…電子発生回路、152…電子加速回路、153…検出器、154…制御部、155…検出器、160…基板、161…炭素膜、162…ガード電極、163…電子放出面、164…絶縁体、
200…X線発生装置、202…エミッタ、204…ターゲット金属、203,205…セラミック製容器206…集束電極、207…連結部材、208…窓部、209…薄膜、210…電子発生回路、211…電子加速回路、212…真空引き用の開口、213…ゲッター、214…緻密層、216…絶縁油溜りとなる隙間
300…X線発生装置、302…エミッタ、303,305…セラミック製容器、306…フィン、307…連結部材。
200…X線発生装置、202…エミッタ、204…ターゲット金属、203,205…セラミック製容器206…集束電極、207…連結部材、208…窓部、209…薄膜、210…電子発生回路、211…電子加速回路、212…真空引き用の開口、213…ゲッター、214…緻密層、216…絶縁油溜りとなる隙間
300…X線発生装置、302…エミッタ、303,305…セラミック製容器、306…フィン、307…連結部材。
Claims (3)
- 冷陰極とターゲットと集束電極を備えた電界放射装置において、前記冷陰極とターゲットは個別の容器内に設けられ、これら容器は集束電極を備える連結部材で結合されることを特徴とする電界放射装置。
- 請求項1に記載の電界放射装置において、前記冷陰極とターゲットはセラミック製容器に収納され、前記集束電極は前記セラミック製容器が連結される金属製連結部材に一体的に形成されていることを特徴とする電界放射装置。
- 請求項1または2に記載の電界放射装置を組み込んだ携帯型非破壊検査装置において、この携帯型非破壊検査装置は前記電界放射装置を収納する本体部と電源部とが分離可能とされていることを特徴とする携帯型非破壊検査装置。
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JP2015201298A (ja) * | 2014-04-07 | 2015-11-12 | 株式会社東芝 | X線管 |
JPWO2019069686A1 (ja) * | 2017-10-05 | 2020-09-10 | 東レ株式会社 | 構造物の検査装置 |
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