JP6414620B2 - ブレーズド回折格子およびブレーズド回折格子の製造方法 - Google Patents
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Description
第1のブレーズ角が14°であり、イオンビームエッチング法で製造されたマスター回折格子を使用する。
2…ホトレジスト層
3…レジストパターン
4…格子溝
5…金属膜
20、40…ブレーズド回折格子
21、41…基礎ブレーズ面
11、31、51…ブレーズ面
22、42…基礎段差面
12、32、52…段差面
26、36、56…樹脂層
60…回転板
Claims (1)
- a)断面形状が鋸歯状であり、基礎ブレーズ面と基礎段差面を一方向に交互に繰り返し配置して成る支持体を用意する工程と、
b)前記支持体上に、前記基礎ブレーズ面と前記基礎段差面を覆う樹脂層を、前記基礎ブレーズ面上において厚さが前記一方向に単調変化するように形成する工程と、
c)前記樹脂層の表面を覆う反射性の金属コーティング膜を形成する工程と、
を含むブレーズド回折格子の製造方法において、
前記樹脂層を前記一方向に単調変化するように形成する工程が、
d)揮発性溶剤に前記樹脂層を構成する樹脂を溶解させて溶剤樹脂を作成する工程と、
e)前記溶剤樹脂を塗布後の前記溶剤樹脂表面が平坦かつ、前記溶剤樹脂の最大厚みが1.0μm以下になるように前記支持体上に塗布する工程と、
f)塗布後に、前記揮発性溶剤を揮発させ、前記樹脂を固化する工程と、
を含むことを特徴とするブレーズド回折格子の製造方法。
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