JP6394832B1 - 半導体レーザ装置 - Google Patents
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- H01S5/2054—Methods of obtaining the confinement
- H01S5/2081—Methods of obtaining the confinement using special etching techniques
Abstract
Description
半導体基板と、
前記半導体基板の上に設けられた第一導電型クラッド層と、
前記第一導電型クラッド層の上に設けられた活性層と、
前記活性層の上に設けられた第二導電型クラッド層と、
を備え、
互いに反対を向く前端面および後端面を備え、
前記前端面および前記後端面それぞれが、前記半導体基板の端部、前記第一導電型クラッド層の端部、前記活性層の端部、および前記第二導電型クラッド層の端部を含み、
前記前端面および前記後端面の少なくとも一方が、
前記活性層の端部を含む共振器端面部と、
前記共振器端面部よりも予め定められた所定突出量だけ共振器長方向へ突き出ており、前記共振器端面部の側を向く段差底面部を備えた突出部と、
を含み、
前記共振器端面部と前記段差底面部とが接続して隅部を形成し、
前記活性層の厚さ中央位置を表す仮想線である活性層厚中央軸から前記段差底面部までの最短距離を、底面部深さとし、
前記底面部深さが、予め定められた特定深さと同じまたは当該特定深さよりも深くされており、
前記特定深さは、前記活性層厚中央軸から、前記活性層を導波する導波光が持つ垂直横モードの光強度分布においてピーク強度値の1/100となる位置までの最短距離であり、
前記所定突出量をXとし、前記底面部深さをYとし、前記共振器端面部から出射されるレーザ光の広がり角の半角をβとした場合に、
β<arctan(Y/X)を満たすように前記所定突出量および前記底面部深さが定められ、
βの大きさが、0<β<β1であり、
β1は、βおよびYそれぞれを軸とするグラフにおいて第一特性ラインと第二特性ラインとの交点に対応する角度であり、
前記第一特性ラインは、前記共振器端面部から出力されるレーザ放射光が前記突出部に遮られないようにするための条件を前記グラフに定めたものであり、
前記第二特性ラインは、前記底面部深さYを前記特定深さよりも深く設定するための条件を前記グラフに定めたものであり、
前記底面部深さYが、前記第二特性ラインの値以上の大きさに設定される。
半導体基板と、
前記半導体基板の上に設けられた第一導電型クラッド層と、
前記第一導電型クラッド層の上に設けられた活性層と、
前記活性層の上に設けられた第二導電型クラッド層と、
を備え、
互いに反対を向く前端面および後端面を備え、
前記前端面および前記後端面それぞれが、前記半導体基板の端部、前記第一導電型クラッド層の端部、前記活性層の端部、および前記第二導電型クラッド層の端部を含み、
前記後端面が、
前記活性層の端部を含む共振器端面部と、
前記共振器端面部よりも予め定められた所定突出量だけ共振器長方向へ突き出ており、前記共振器端面部の側を向く段差底面部を備えた突出部と、
を含み、
前記活性層を導波する光を前記共振器端面部で反射するための反射コーティング膜が、前記共振器端面部に設けられ、
前記共振器端面部と前記段差底面部とが接続して隅部を形成し、
前記活性層の厚さ中央位置を表す仮想線である活性層厚中央軸から前記段差底面部までの最短距離を、底面部深さとし、
前記底面部深さが、予め定められた特定深さと同じまたは当該特定深さよりも深くされており、
前記特定深さは、前記活性層厚中央軸から、前記活性層を導波する導波光が持つ垂直横モードの光強度分布においてピーク強度値の1/100となる位置までの最短距離であり、
前記所定突出量をXとし、前記底面部深さをYとし、前記反射コーティング膜を設けないときに前記共振器端面部から出射されるレーザ光の広がり角の半角をβとした場合に、
βの大きさは、β1<βであり、
β1は、βおよびYそれぞれを軸とするグラフにおいて第一特性ラインと第二特性ラインとの交点に対応する角度であり、
前記第一特性ラインは、前記反射コーティング膜を設けないときに前記共振器端面部から出力されるレーザ放射光が前記突出部に遮られないようにするための条件を前記グラフに定めたものであり、
前記第二特性ラインは、前記底面部深さYを前記特定深さよりも深く設定するための条件を前記グラフに定めたものであり、
前記底面部深さYが、前記第一特性ラインの値よりも小さく且つ前記第二特性ラインの値以上の大きさに設定される。
半導体基板と、
前記半導体基板の上に設けられた第一導電型クラッド層と、
前記第一導電型クラッド層の上における第一部分に設けられた活性層と、
前記第一導電型クラッド層の上における前記第一部分の隣の第二部分に設けられ、前記活性層の端部と接続する光導波路層と、
前記活性層および前記光導波路層の上に設けられた第二導電型クラッド層と、
を備え、
互いに反対を向く前端面および後端面を備え、
前記前端面が、前記半導体基板の端部、前記第一導電型クラッド層の端部、前記活性層の端部、および前記第二導電型クラッド層の端部を含み、
前記後端面が、前記半導体基板の端部、前記第一導電型クラッド層の端部、前記光導波路層の端部、および前記第二導電型クラッド層の端部を含み、
前記後端面が、
前記光導波路層の端部を含む光導波路端面部と、
前記光導波路端面部よりも予め定められた所定突出量だけ共振器長方向へ突き出ており、前記光導波路端面部の側を向く段差底面部を備えた突出部と、
を含み、
前記光導波路端面部と前記段差底面部とが接続して隅部を形成し、
前記光導波路層の厚さ中央位置を表す仮想線である光導波路層厚中央軸から前記段差底面部までの最短距離を、底面部深さとし、
前記底面部深さが、予め定められた特定深さと同じまたは当該特定深さよりも深くされており、
前記特定深さは、前記光導波路層厚中央軸から、前記光導波路層を導波する導波光が持つ垂直横モードの光強度分布においてピーク強度値の1/100となる位置までの最短距離であり、
前記所定突出量をXとし、前記底面部深さをYとし、前記光導波路端面部から出射されるレーザ光の広がり角の半角をβとした場合に、
β<arctan(Y/X)を満たすように前記所定突出量および前記底面部深さが定められ、
βの大きさが、0<β<β1であり、
β1は、βおよびYそれぞれを軸とするグラフにおいて第一特性ラインと第二特性ラインとの交点に対応する角度であり、
前記第一特性ラインは、前記光導波路端面部から出力されるレーザ放射光が前記突出部に遮られないようにするための条件を前記グラフに定めたものであり、
前記第二特性ラインは、前記底面部深さYを前記特定深さよりも深く設定するための条件を前記グラフに定めたものであり、
前記底面部深さYが、前記第二特性ラインの値以上の大きさに設定される。
図1は、実施の形態1にかかる半導体レーザ装置101の構成を示す斜視図である。図2は、実施の形態1にかかる半導体レーザ装置101の構成を示す断面図である。図2は、図1のA−A仮想平面にそって半導体レーザ装置101を切断した断面図である。図3は、実施の形態1にかかる半導体レーザ装置101の構成を示す部分拡大図である。図3は図2の共振器端面部付近102を拡大したものである。
図13は、実施の形態2にかかる半導体レーザ装置201の構成を示す断面図である。図14は、実施の形態2にかかる半導体レーザ装置201の構成を示す部分拡大図である。実施の形態2に係る半導体レーザ装置201は、次の点で実施の形態1にかかる半導体レーザ装置201と相違している。まず、実施の形態1とは異なり、後端面10が、共振器端面部10aおよび突出部10bを備えている。さらに、実施の形態1とは異なり、共振器端面部10aに反射コーティング膜209が設けられている。
図18は、実施の形態3にかかる外部共振器型半導体レーザ装置301の構成を示す斜視図である。図18は外部共振器型半導体レーザ装置301を後端面10の側から斜視したものであり、図1とは装置を見る向きが相違している。図19は、実施の形態3にかかる外部共振器型半導体レーザ装置301の構成を示す断面図である。図19は、図18のB−B仮想平面にそって外部共振器型半導体レーザ装置301を切断した断面図である。図20は、実施の形態3にかかる外部共振器型半導体レーザ装置301の構成を示す部分拡大図である。図20は図19の後端面部付近302を拡大したものである。
2 第一導電型クラッド層
3 活性層
3a 活性層厚中央軸
4 第二導電型クラッド層
5 第一オーミック電極
6 第二オーミック電極
7 前端面
7a 共振器端面部
7b 突出部
7c 段差底面部
8 導波光
10 後端面
10a 共振器端面部
10b 突出部
10c 段差底面部
101、131、141、201 半導体レーザ装置
102 共振器端面部付近
111 レーザ放射光
209 反射コーティング膜
301 外部共振器型半導体レーザ装置
301a 半導体レーザ部
301b 光導波路部
303 光導波路層
303a 光導波路層厚中央軸
310a 光導波路端面部
EE エッチングエッジ隅部
X 所定突出量
Y 底面部深さ
Claims (3)
- 半導体基板と、
前記半導体基板の上に設けられた第一導電型クラッド層と、
前記第一導電型クラッド層の上に設けられた活性層と、
前記活性層の上に設けられた第二導電型クラッド層と、
を備え、
互いに反対を向く前端面および後端面を備え、
前記前端面および前記後端面それぞれが、前記半導体基板の端部、前記第一導電型クラッド層の端部、前記活性層の端部、および前記第二導電型クラッド層の端部を含み、
前記前端面および前記後端面の少なくとも一方が、
前記活性層の端部を含む共振器端面部と、
前記共振器端面部よりも予め定められた所定突出量だけ共振器長方向へ突き出ており、前記共振器端面部の側を向く段差底面部を備えた突出部と、
を含み、
前記共振器端面部と前記段差底面部とが接続して隅部を形成し、
前記活性層の厚さ中央位置を表す仮想線である活性層厚中央軸から前記段差底面部までの最短距離を、底面部深さとし、
前記底面部深さが、予め定められた特定深さと同じまたは当該特定深さよりも深くされており、
前記特定深さは、前記活性層厚中央軸から、前記活性層を導波する導波光が持つ垂直横モードの光強度分布においてピーク強度値の1/100となる位置までの最短距離であり、
前記所定突出量をXとし、前記底面部深さをYとし、前記共振器端面部から出射されるレーザ光の広がり角の半角をβとした場合に、
β<arctan(Y/X)を満たすように前記所定突出量および前記底面部深さが定められ、
βの大きさが、0<β<β1であり、
β1は、βおよびYそれぞれを軸とするグラフにおいて第一特性ラインと第二特性ラインとの交点に対応する角度であり、
前記第一特性ラインは、前記共振器端面部から出力されるレーザ放射光が前記突出部に遮られないようにするための条件を前記グラフに定めたものであり、
前記第二特性ラインは、前記底面部深さYを前記特定深さよりも深く設定するための条件を前記グラフに定めたものであり、
前記底面部深さYが、前記第二特性ラインの値以上の大きさに設定される半導体レーザ装置。 - 半導体基板と、
前記半導体基板の上に設けられた第一導電型クラッド層と、
前記第一導電型クラッド層の上に設けられた活性層と、
前記活性層の上に設けられた第二導電型クラッド層と、
を備え、
互いに反対を向く前端面および後端面を備え、
前記前端面および前記後端面それぞれが、前記半導体基板の端部、前記第一導電型クラッド層の端部、前記活性層の端部、および前記第二導電型クラッド層の端部を含み、
前記後端面が、
前記活性層の端部を含む共振器端面部と、
前記共振器端面部よりも予め定められた所定突出量だけ共振器長方向へ突き出ており、前記共振器端面部の側を向く段差底面部を備えた突出部と、
を含み、
前記活性層を導波する光を前記共振器端面部で反射するための反射コーティング膜が、前記共振器端面部に設けられ、
前記共振器端面部と前記段差底面部とが接続して隅部を形成し、
前記活性層の厚さ中央位置を表す仮想線である活性層厚中央軸から前記段差底面部までの最短距離を、底面部深さとし、
前記底面部深さが、予め定められた特定深さと同じまたは当該特定深さよりも深くされており、
前記特定深さは、前記活性層厚中央軸から、前記活性層を導波する導波光が持つ垂直横モードの光強度分布においてピーク強度値の1/100となる位置までの最短距離であり、
前記所定突出量をXとし、前記底面部深さをYとし、前記反射コーティング膜を設けないときに前記共振器端面部から出射されるレーザ光の広がり角の半角をβとした場合に、
βの大きさは、β1<βであり、
β1は、βおよびYそれぞれを軸とするグラフにおいて第一特性ラインと第二特性ラインとの交点に対応する角度であり、
前記第一特性ラインは、前記反射コーティング膜を設けないときに前記共振器端面部から出力されるレーザ放射光が前記突出部に遮られないようにするための条件を前記グラフに定めたものであり、
前記第二特性ラインは、前記底面部深さYを前記特定深さよりも深く設定するための条件を前記グラフに定めたものであり、
前記底面部深さYが、前記第一特性ラインの値よりも小さく且つ前記第二特性ラインの値以上の大きさに設定される半導体レーザ装置。 - 半導体基板と、
前記半導体基板の上に設けられた第一導電型クラッド層と、
前記第一導電型クラッド層の上における第一部分に設けられた活性層と、
前記第一導電型クラッド層の上における前記第一部分の隣の第二部分に設けられ、前記活性層の端部と接続する光導波路層と、
前記活性層および前記光導波路層の上に設けられた第二導電型クラッド層と、
を備え、
互いに反対を向く前端面および後端面を備え、
前記前端面が、前記半導体基板の端部、前記第一導電型クラッド層の端部、前記活性層の端部、および前記第二導電型クラッド層の端部を含み、
前記後端面が、前記半導体基板の端部、前記第一導電型クラッド層の端部、前記光導波路層の端部、および前記第二導電型クラッド層の端部を含み、
前記後端面が、
前記光導波路層の端部を含む光導波路端面部と、
前記光導波路端面部よりも予め定められた所定突出量だけ共振器長方向へ突き出ており、前記光導波路端面部の側を向く段差底面部を備えた突出部と、
を含み、
前記光導波路端面部と前記段差底面部とが接続して隅部を形成し、
前記光導波路層の厚さ中央位置を表す仮想線である光導波路層厚中央軸から前記段差底面部までの最短距離を、底面部深さとし、
前記底面部深さが、予め定められた特定深さと同じまたは当該特定深さよりも深くされており、
前記特定深さは、前記光導波路層厚中央軸から、前記光導波路層を導波する導波光が持つ垂直横モードの光強度分布においてピーク強度値の1/100となる位置までの最短距離であり、
前記所定突出量をXとし、前記底面部深さをYとし、前記光導波路端面部から出射されるレーザ光の広がり角の半角をβとした場合に、
β<arctan(Y/X)を満たすように前記所定突出量および前記底面部深さが定められ、
βの大きさが、0<β<β1であり、
β1は、βおよびYそれぞれを軸とするグラフにおいて第一特性ラインと第二特性ラインとの交点に対応する角度であり、
前記第一特性ラインは、前記光導波路端面部から出力されるレーザ放射光が前記突出部に遮られないようにするための条件を前記グラフに定めたものであり、
前記第二特性ラインは、前記底面部深さYを前記特定深さよりも深く設定するための条件を前記グラフに定めたものであり、
前記底面部深さYが、前記第二特性ラインの値以上の大きさに設定される半導体レーザ装置。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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PCT/JP2017/041526 WO2019097686A1 (ja) | 2017-11-17 | 2017-11-17 | 半導体レーザ装置 |
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