JP6393036B2 - 半導体装置及びその製造方法 - Google Patents
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Description
まず、本実施の形態に係る半導体装置の構造について説明する。図1は、本実施の形態に係る半導体装置を例示する断面図であり、図1(a)は半導体装置全体の断面を示し、図1(b)は貫通電極周辺部のみの断面を示す。図1を参照するに、本実施の形態に係る半導体装置10は、複数の半導体チップ110が接着層16を介して主面を同一方向に向けて積層され、異なる層の半導体チップ110同士が貫通電極17により信号伝達可能に接続された構造を有する。
次に、本実施の形態に係る半導体装置の製造工程について説明をする。図2A〜図2Iは、本実施の形態に係る半導体装置の製造工程を例示する図である。
11 半導体基板(ウェハ)
12 基板本体
13 半導体集積回路
14、19、29 絶縁層
15 電極パッド
16、520 接着層
16x 空間部
17 貫通電極
17a 中心部
17b 鍔状部
18 ビアホール
51 絶縁膜
53 金属層
110 半導体チップ
510 支持体
530、550 レジスト膜
530x、550x 開口部
Claims (6)
- 複数の半導体チップが形成された半導体基板を複数枚積層し、異なる層の半導体チップ同士を信号伝達可能に接続し、半導体チップが積層された部分を個片化する半導体装置の製造方法であって、
複数の半導体チップを有する半導体基板であって土台となる土台基板と、複数の半導体チップを有する半導体基板であって前記土台基板上に順次積層される複数の積層基板と、を準備する工程と、
各々の前記積層基板の背面側を薄化する工程と、
薄化された各々の前記積層基板の背面に絶縁層を形成する工程と、
薄化された各々の前記積層基板に、各々の前記絶縁層及び前記積層基板を貫通するビアホールを形成する工程と、
前記土台基板の主面に、ビアホールが形成された各々の前記積層基板を、各々の前記積層基板の主面を前記土台基板の主面と同一方向に向けて、接着層を介して順次積層する工程と、
各々の前記積層基板のビアホール内に存在する各々の前記接着層を除去し、各々の前記積層基板のビアホールを連通させる工程と、を有し、
前記ビアホールを連通させる工程では、
各々の前記積層基板のビアホール内に存在する各々の前記接着層を異方性エッチングで除去して各々の前記積層基板のビアホールを連通させ、
連通したビアホールの内壁に露出する各々の前記接着層をCDE、低バイアスCCP−RIE、アッシングの何れかの等方性エッチングで除去し、連通したビアホールから各々の前記接着層内に延在して各々の半導体基板の電極パッドの表面を環状に露出する空間部を形成する半導体装置の製造方法。 - 前記接着層を介して順次積層する工程の後、最上層の積層基板上に第2接着層及び第2絶縁層を積層する工程を有し、
前記ビアホールを連通させる工程では、前記ビアホール上の前記第2接着層及び前記第2絶縁層を除去すると共に、各々の前記積層基板のビアホール内に存在する各々の前記接着層を除去し、各々の前記積層基板のビアホールを連通させる請求項1に記載の半導体装置の製造方法。 - 連通したビアホール内に一度に金属を充填し、連通したビアホール内に貫通電極を形成する工程を有する請求項1又は2記載の半導体装置の製造方法。
- 前記接着層を介して順次積層する工程よりも前に、各々の前記積層基板のビアホールの内壁に絶縁膜を形成する工程を有する請求項1乃至3の何れか一項記載の半導体装置の製造方法。
- 前記ビアホールを形成する工程、及び前記接着層を介して順次積層する工程は、
支持体を準備し、主面を前記支持体側に向けて前記積層基板を前記支持体に仮固定し、
前記支持体に仮固定された前記積層基板の背面側を薄化し、
前記支持体に仮固定された薄化された前記積層基板にビアホールを形成し、
前記土台基板の主面に、接着層を介して、前記支持体に仮固定された前記ビアホールが形成された前記積層基板の背面を固着後、前記支持体を除去する工程を含む請求項1乃至4の何れか一項記載の半導体装置の製造方法。 - 接着層を介して主面を同一方向に向けて積層され、2μm〜100μmの厚さに薄化された複数の半導体チップと、
各層の半導体チップを接続する貫通電極と、
薄化された各層の半導体チップの背面に形成された絶縁層と、を有し、
前記貫通電極は、半導体チップを貫通する中心部と、前記中心部から前記接着層内に延在して半導体チップの電極パッドの表面及び前記絶縁層の表面と環状に接する鍔状部と、を備えている半導体装置。
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