JP6392143B2 - 基板処理装置、基板処理方法および基板処理方法を実行させるプログラムが記録された記憶媒体 - Google Patents
基板処理装置、基板処理方法および基板処理方法を実行させるプログラムが記録された記憶媒体 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6392143B2 JP6392143B2 JP2015034263A JP2015034263A JP6392143B2 JP 6392143 B2 JP6392143 B2 JP 6392143B2 JP 2015034263 A JP2015034263 A JP 2015034263A JP 2015034263 A JP2015034263 A JP 2015034263A JP 6392143 B2 JP6392143 B2 JP 6392143B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- processing chamber
- exhaust
- cup
- chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
- Weting (AREA)
Description
前記処理室内に第1ガスを供給する第1ガス供給部と、前記カップ内のガスを排気するためのカップ排気路と、前記カップ外の前記処理室内のガスを排気するための処理室排気路と、前記処理室から排気された前記カップ外の前記処理室内のガスを前記処理室に戻すための戻し路と、前記処理室から排気された前記カップ外のガスが前記処理室排気路から排気される第1状態と、前記処理室から排気された前記カップ外のガスが前記戻し路を通って前記処理室に戻される第2状態とを切り替える排気切替機構と、を備えた基板処理装置が提供される。
前記処理室排気路に接続され、前記ガス処理部により処理された後に前記処理室から出たガスを前記処理室に戻すための戻し路と、備えた基板処理装置が提供される。
次に、図3を参照して第1実施形態に係る処理ユニット16の構成について詳細に説明する。
薬液ノズル41がウエハWの中央部の真上に位置する。ウエハWが鉛直軸線周りに回転させられ、ウエハWの中央部に薬液ノズル41が薬液(例えばDHF、SC−1等の洗浄用薬液、あるいはウエットエッチング用の薬液)を供給する。薬液は、遠心力により広がり、ウエハWの上面の全域が薬液の液膜により覆われる。反応生成物を含む薬液は、ウエハWの外周縁から半径方向外側に飛散する。飛散した薬液は回収カップ50により回収される。
薬液処理工程の終了後、引き続きウエハWを回転させたまま、(薬液の供給は停止している)リンスノズル42からリンス液例えば純水をウエハWの中心部に供給して、ウエハWの表面に残留した薬液および反応生成物を洗い流すリンス処理を行う。このリンス工程を実行している間も引き続き通常給排気状態が維持される。
リンス工程の終了後、引き続きウエハWを回転させたまま、(リンス液の供給は停止している)溶剤ノズル43からIPAをウエハWの中心部に供給して、ウエハWの表面に存在するリンス液をIPAで置換するIPA置換処理を行う。このIPA置換処理を実行している間も引き続き通常給排気状態が維持される。
IPA置換工程の終了後、(IPAの供給は停止している)引き続きウエハWを回転させたまま(好ましくは回転数を増し)、ウエハWの乾燥を行う。以上により一枚のウエハWに対する一連の処理が終了する。処理済みのウエハWは、基板搬送装置17により処理ユニットから搬出される。
まず、図5に示すように、FFU21のファン213を停止するとともにダンパ214を閉じ、ダクト211内へのクリーンルーム空気の取り込みを停止する。これと概ね同時に、それまで停止していたドライエア供給部80のファン83を起動するとともにそれまで閉じていたダンパ84を開き、ドライエア供給部80からダクト211内へドライエアの供給を開始する。これにより、チャンバ20内にドライエアが供給されるようになる。ドライエアの供給流量は、薬液処理工程におけるFFU21からの清浄エアの供給流量と同じ(例えば0.5m3/min)でよい。また、三方弁60の状態およびダンパ57、58の開度も薬液処理工程時と同じでよい。従って、カップ排気路53を介した排気流量は例えば0.4m3/minとなり、チャンバ排気路55を介した排気流量は例えば0.1m3/minとなる。 上記のようなガスの流れを形成することにより、チャンバ20内および回収カップ50内にあった高湿度のエアは、低湿度のドライエアに置換されてゆく。
チャンバ20の処理空間25が所望の低湿度となったら、図6に示すように、その低湿度を経済的に維持するための低湿度維持段階に移行する。すなわち、三方弁60を前述した第2状態に移行させる。カップ排気路53のダンパ57の状態は低湿度化段階と同じに維持する。なお、チャンバ排気路55のダンパ58の開度は、後述する排気流量を実現させるための必要性に応じて変更することができる。チャンバ20の処理空間25が所望の低湿度となったことは、例えば処理空間25内に設けた湿度センサ(図示せず)により検出することができる。あるいは、処理空間25を所望の湿度にするために必要な低湿度化段階の実行時間を実験により予め把握しておき、実際の処理時にはこの把握された実行時間の経過をもって、処理空間25が所望の低湿度となったものとみなしてもよい。また、上記の所望の低湿度の具体的な値は、予め実験により求めることができる。上記の所望の低湿度とは、例えば、ウエハWのパターンの倒壊あるいはウエハWの表面へのウォーターマークの発生を確実に防止することができるような湿度である。
次に図12および図13を参照して処理ユニット16の第2実施形態について説明する。図12において、図3の実施形態と同一部材には同一符号を付し、これら同一部材についての重複説明は省略する。図示の便宜上、図12にはノズル41〜43、ノズルアーム44および駆動部45が表示されていないが、これらの部材は実際には処理ユニット16に設けられている。以下に図3の実施形態に対する相違点につき説明する。
20 処理室(チャンバ)
21 第2ガス供給部(FFU)
211 第2ガス供給路(FFUのダクト)
31 基板保持部
50 カップ(回収カップ)
53 カップ排気路
55 処理室排気路(チャンバ排気路)
59 戻し路
60 排気切替機構(三方弁)
60A,60B 排気切替機構(2つの開閉弁)
80 第1ガス供給部(ドライエア供給部)
81 第1ガス供給路(ドライエア供給路)
85 エジェクタ
90 ガス処理部
213,214 第2ガス供給制御機器(ファン、ダンパ)
83,84,213,214 供給ガス切替機構(ファン、ダンパ)
Claims (10)
- 基板保持部と、
前記基板保持部の周囲を囲むカップと、
前記カップおよび前記基板保持部を収容する処理室と、
前記処理室内に第1ガスを供給する第1ガス供給部と、
前記カップ内のガスを排気するためのカップ排気路と、
前記カップ外の前記処理室内のガスを排気するための処理室排気路と、
前記処理室から排気された前記カップ外の前記処理室内のガスを前記処理室に戻すための戻し路と、
前記処理室から排気された前記カップ外のガスが前記処理室排気路から排気される第1状態と、前記処理室から排気された前記カップ外のガスが前記戻し路を通って前記処理室に戻される第2状態とを切り替える排気切替機構と、
を備え、
前記第1ガス供給部は、前記第1ガスの供給源から前記処理室に向けてガスを供給するための第1ガス供給路を有し、前記戻し路は前記第1ガス供給路に合流し、前記排気切替機構が前記第2状態にあるときに、前記処理室から排気されたガスは、前記第1ガス供給路内で前記第1ガスの供給源から供給される前記第1ガスと混合された後に前記処理室内に戻され、
前記戻し路と前記第1ガス供給路との合流部分にエジェクタが設けられ、前記排気切替機構が前記第2状態にあるときに、前記第1ガス供給路を流れる前記第1ガスの流れが前記エジェクタの駆動流となり、前記戻し路を流れる前記処理室から排気されたガスの流れが前記エジェクタの吸引流となる
基板処理装置。 - 前記第1ガス供給部からの前記第1ガスを前記処理室へ供給している時に前記第1状態から前記第2状態に切り替えるように前記排気切替機構を制御する制御部を備えた、請求項1記載の基板処理装置。
- 前記エジェクタは、前記合流部分の近傍において直線状に延びる前記第1ガス供給路の直線状部分と、当該直線状部分に対して角度を成して交わり当該直線状部分に接続される前記戻し路の末端部分により形成されている、請求項1または2記載の基板処理装置。
- 前記処理室排気路は前記処理室に設けられた排気口に接続され、前記戻し路は前記処理室排気路から分岐しており、前記第2状態において前記処理室の前記排気口から排気された前記カップ外の前記処理室内のガスは、前記排気切替機構を介して前記戻し路に流入する、請求項1から3のうちのいずれか一項に記載の基板処理装置。
- 前記処理室内に第2ガスを供給する第2ガス供給部と、
前記第1ガスが前記処理室内に供給される第1供給状態と前記第2ガスが前記処理室内に供給される第2供給状態とを切り替える供給ガス切替機構と、をさらに備え、
前記第1ガスは、前記第2ガスよりも湿度が低いかあるいは酸素濃度が低い、請求項1から4のうちのいずれか一項に記載の基板処理装置。 - 前記排気切替機構を前記第1状態とするとともに前記供給ガス切替機構を前記第2供給状態としつつ、処理液供給部から基板に処理液を供給して、前記基板に液処理を施す工程と、
その後、前記排気切替機構を前記第1状態とするとともに前記供給ガス切替機構を前記第1供給状態として、前記基板を乾燥させる工程と、
その後、前記排気切替機構を前記第2状態とするとともに前記供給ガス切替機構を前記第1供給状態とし、前記基板を乾燥させる工程と、
が実行されるように制御を行う制御部をさらに備えた、請求項5記載の基板処理装置。 - 前記処理室内に第2ガスを供給する第2ガス供給部をさらに備え、前記第1ガスは、前記第2ガスよりも湿度が低いかあるいは酸素濃度が低く、
前記第2ガス供給部は、前記第2ガスを前記処理室に向けて流すための第2ガス供給路と、前記第2ガス供給路を流れる空気からパーティクルを除去するフィルタと、前記第2ガス供給路を前記第2ガスが前記処理室に向けて流れる状態と、流れていない状態とを切り替える第2ガス供給制御機器と、を有し、
前記戻し路は前記第2ガス供給制御機器よりも下流側で前記第2ガス供給路に接続される、請求項1から4のうちのいずれか一項に記載の基板処理装置。 - 前記戻し路は前記第1ガス供給路に合流するとともに前記第1ガス供給路を介して前記第2ガス供給路に接続されており、前記排気切替機構が前記第2状態にあるときに、前記処理室から排気された前記カップ外の前記処理室内のガスは、前記第1ガス供給路内で前記第1ガスと混合された後に前記第2ガス供給路に供給される、請求項7記載の基板処理装置。
- 基板保持部と、
前記基板保持部の周囲を囲むカップと、
前記カップおよび前記基板保持部を収容する処理室と、
前記処理室内の雰囲気を形成する第1ガスを前記処理室に供給する第1ガス供給部であって、前記第1ガスの供給源から前記処理室に向けてガスを供給するための第1ガス供給路を有する前記第1ガス供給部と、
前記処理室内の雰囲気を形成する第2ガスを前記処理室に供給する第2ガス供給部と、
前記カップ内のガスを排気するためのカップ排気路と、
前記処理室から排気された前記カップ外の前記処理室内のガスを、前記処理室に戻さずに排出するための処理室排気路と、
前記処理室から排気された前記カップ外の前記処理室内のガスを前記処理室に戻すための戻し路であって、前記第1ガス供給路に合流する前記戻し路と、
前記戻し路と前記第1ガス供給路との合流部分に設けられたエジェクタと、
前記処理室から排気された前記カップ外の前記処理室内のガスが前記戻し路を通って前記処理室に戻されることなく前記処理室排気路から排気される第1状態と、前記処理室から排気された前記カップ外の前記処理室内のガスが前記戻し路を通って前記処理室に戻される第2状態とを切り替える排気切替機構と、を備えた基板処理装置を用いて行われる基板処理方法であって、
前記第1ガスは、前記第2ガスよりも湿度が低いかあるいは酸素濃度が低く、
前記基板処理方法は、
前記第2ガス供給部により前記第2ガスを前記処理室に供給し、かつ基板に処理液を供給しながら、前記基板に液処理を施す工程と、
前記第1ガス供給部により前記第1ガスを前記処理室に供給しながら、前記液処理が施された前記基板を乾燥させる乾燥工程と、を備え、
前記第1ガス供給部により前記第1ガスを前記処理室に供給するときに、前記第1ガスの供給の開始時に前記排気切替機構を前記第1状態とし、その後第2状態に切り替え、前記排気切替機構が前記第2状態にあるときに、前記処理室から排気されたガスは、前記第1ガス供給路内で前記第1ガスの供給源から供給される前記第1ガスと混合された後に前記処理室内に戻され、このとき、前記第1ガス供給路を流れる前記第1ガスの流れが前記エジェクタの駆動流となり、前記戻し路を流れる前記処理室から排気されたガスの流れが前記エジェクタの吸引流となることを特徴とする基板処理方法。 - 基板処理装置の動作を制御するためのコンピュータにより実行されたときに、前記コンピュータが前記基板処理装置を制御して請求項9記載の基板処理方法を実行させるプログラムが記録された記憶媒体。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015034263A JP6392143B2 (ja) | 2015-02-24 | 2015-02-24 | 基板処理装置、基板処理方法および基板処理方法を実行させるプログラムが記録された記憶媒体 |
KR1020160016976A KR102472315B1 (ko) | 2015-02-24 | 2016-02-15 | 기판 처리 장치, 기판 처리 방법 및 기판 처리 방법을 실행시키는 프로그램이 기록된 기억 매체 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015034263A JP6392143B2 (ja) | 2015-02-24 | 2015-02-24 | 基板処理装置、基板処理方法および基板処理方法を実行させるプログラムが記録された記憶媒体 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016157802A JP2016157802A (ja) | 2016-09-01 |
JP2016157802A5 JP2016157802A5 (ja) | 2017-03-23 |
JP6392143B2 true JP6392143B2 (ja) | 2018-09-19 |
Family
ID=56826355
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015034263A Active JP6392143B2 (ja) | 2015-02-24 | 2015-02-24 | 基板処理装置、基板処理方法および基板処理方法を実行させるプログラムが記録された記憶媒体 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6392143B2 (ja) |
KR (1) | KR102472315B1 (ja) |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2018051825A1 (ja) * | 2016-09-13 | 2018-03-22 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置 |
JP7023065B2 (ja) * | 2016-09-13 | 2022-02-21 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置 |
JP6710178B2 (ja) * | 2017-04-27 | 2020-06-17 | 三菱電機株式会社 | 半導体製造装置 |
CN110137121B (zh) * | 2018-02-09 | 2024-03-26 | 东京毅力科创株式会社 | 基板处理装置 |
JP7358044B2 (ja) * | 2018-02-09 | 2023-10-10 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置 |
JP7175782B2 (ja) * | 2019-01-25 | 2022-11-21 | 株式会社東芝 | ケイ素含有物質形成装置 |
JP7307575B2 (ja) * | 2019-03-28 | 2023-07-12 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置および基板処理方法 |
JP7315389B2 (ja) * | 2019-06-28 | 2023-07-26 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置および基板処理方法 |
KR102351341B1 (ko) * | 2019-12-09 | 2022-01-18 | 무진전자 주식회사 | 팬 필터 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 |
KR102388473B1 (ko) * | 2020-08-11 | 2022-04-20 | (주)마스 | 클린 건조 공기 셔터 팬 필터 유닛 |
KR102421628B1 (ko) * | 2020-12-16 | 2022-07-15 | 주식회사 디엠에스 | 댐퍼시스템, 이를 포함한 기판처리장치 및 기판처리방법 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0613383A (ja) * | 1992-01-24 | 1994-01-21 | Taiyo Sanso Co Ltd | バンプ形成用基板の再生処理方法及び再生処理装置 |
JP3352865B2 (ja) * | 1995-11-24 | 2002-12-03 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置 |
JP3453519B2 (ja) * | 1998-06-26 | 2003-10-06 | 稔 小笠原 | 低湿乾燥方式の乾燥装置 |
JP4578531B2 (ja) | 2008-02-01 | 2010-11-10 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理方法,記録媒体及び基板処理装置 |
JP5484136B2 (ja) * | 2010-03-11 | 2014-05-07 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置 |
JP6005588B2 (ja) * | 2013-05-31 | 2016-10-12 | 東京エレクトロン株式会社 | 液処理装置 |
-
2015
- 2015-02-24 JP JP2015034263A patent/JP6392143B2/ja active Active
-
2016
- 2016-02-15 KR KR1020160016976A patent/KR102472315B1/ko active IP Right Grant
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2016157802A (ja) | 2016-09-01 |
KR102472315B1 (ko) | 2022-11-29 |
KR20160103511A (ko) | 2016-09-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6392143B2 (ja) | 基板処理装置、基板処理方法および基板処理方法を実行させるプログラムが記録された記憶媒体 | |
JP5143498B2 (ja) | 基板処理方法、基板処理装置、プログラムならびに記録媒体 | |
KR102590369B1 (ko) | 기판 처리 장치 및 처리 챔버 세정 방법 | |
JP6430784B2 (ja) | 基板液処理装置 | |
US20170084470A1 (en) | Substrate processing apparatus and cleaning method of processing chamber | |
JP6289341B2 (ja) | 基板液処理装置、排気切替ユニットおよび基板液処理方法 | |
JP6728358B2 (ja) | 基板処理装置、基板処理方法および記憶媒体 | |
JP6195803B2 (ja) | 基板処理装置、基板処理方法および記憶媒体 | |
TWI571950B (zh) | 液體處理裝置 | |
TWI679695B (zh) | 液處理方法、基板處理裝置及記憶媒體 | |
US10847387B2 (en) | Substrate processing apparatus, substrate processing method and recording medium | |
JP2016157802A5 (ja) | ||
JP6482972B2 (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
TWI629741B (zh) | 基板液體處理裝置 | |
JP6104786B2 (ja) | 基板処理方法および基板処理装置 | |
JP6400766B2 (ja) | 液処理方法、液処理装置および記憶媒体 | |
JP6611893B2 (ja) | 基板液処理装置 | |
JP6356059B2 (ja) | 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 | |
JP6117041B2 (ja) | 液処理方法、液処理装置および記憶媒体 | |
JP2018129476A (ja) | 基板処理装置 | |
JP7292120B2 (ja) | 基板処理方法および基板処理装置 | |
JP2020004996A (ja) | 液処理方法、基板処理装置、及び記憶媒体 | |
JP7143465B2 (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
JP2023095548A (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170215 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170215 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20180202 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180213 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180411 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180727 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180822 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6392143 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |