JP6377309B1 - 炭化珪素半導体装置、電力変換装置、炭化珪素半導体装置の製造方法、および電力変換装置の製造方法 - Google Patents
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(構成)
図1は、本発明の実施の形態1によるMOSFET71(炭化珪素半導体装置)の構成を概略的に示す図であり、図2の線I−Iに沿う部分断面図である。図2は、図1の線II−IIに沿う部分断面図であり、平面視におけるゲートトレンチ6および空乏化抑制層8のパターンレイアウトに対応する図である。図1の断面は、平面視におけるゲートトレンチ6の延在方向(図2における横方向)に対して垂直な面であり、図1において、横方向がゲートトレンチ6の幅方向に対応し、縦方向がゲートトレンチ6の深さ方向に対応している。図1の断面視において、MOSFET71には複数のゲートトレンチ6が設けられている。
図6〜図11のそれぞれは、MOSFET71(図1)の製造方法の一例における第1〜第6工程を概略的に示す部分断面図である。これらの断面図の視野は、図1の視野に対応している。以下、これらの図を参照しつつ、製造方法について説明する。なお説明の中で例として挙げる材料は、同等の機能を有する材料に適宜変更可能である。
図12および図13のそれぞれは、比較例のMOSFET70および本実施の形態のMOSFET71のオン状態における空乏層DLの伸びを模式的に示す部分断面図である。比較例のMOSFET70は、空乏化抑制層8(図13)を有していない。
図14は、上述した比較例(円形でのプロット)と、本実施の形態の実施例(三角形でのプロット)との各々についての、セルピッチとオン抵抗との間の関係をシミュレーション結果に基づいて示すグラフ図である。比較例よりも実施例の方が、より低いオン抵抗を有している。この理由は、上述したように、空乏化抑制層8がJFET領域の広がりを抑制しているからと考えられる。またセルピッチが値「4」から値「3」程度へ縮小されることで、オン抵抗を低減する効果が一層高められていることがわかる。また、セルピッチが値「2.5」へさらに縮小されても、オン抵抗の増大が避けられている。
本実施の形態1のMOSFET71によれば、p型を有する領域からの空乏層の延びが空乏化抑制層8によって抑制される。これにより、MOSFET71のオン抵抗を低減する効果が得られる。さらに、空乏化抑制層8が有するドナー濃度が、ゲートトレンチ6の側面から離れるに連れて低下している。これにより、上記効果を得つつ、空乏化抑制層8に起因してのドリフト層2内の電界の増加を抑制することができる。よって、耐圧の低下を抑制することができる。以上から、オン抵抗を低減しつつ、耐圧の低下を抑制することができる。
上記説明においては、図2に示されているように、セル構造がストライプ状である。しかしながら、セル構造はストライプ状に限定されるものではない。
上記においてはMOSFETについて説明したが、炭化珪素半導体装置はMOSFETに限定されるものではない。
図18は、本発明の実施の形態2によるMOSFET72(炭化珪素半導体装置)の構成を概略的に示す部分断面図である。MOSFET72においては、炭化珪素層20が高不純物濃度領域19を有している。高不純物濃度領域19は、深さ方向においてボディ領域5と空乏化抑制層8との間に配置され、ドリフト層2に接している。高不純物濃度領域19は、n型を有し、ドリフト層2が有するドナー濃度に比して高いドナー濃度を有している。高不純物濃度領域19のドナー濃度は、1×1015cm−3〜1×1019cm−3とされる。本実施の形態のように高不純物濃度領域19が設けられる場合においても、実施の形態1と同様に空乏化抑制層8間にドリフト層2が介在するように、高不純物濃度領域19は空乏化抑制層8よりも浅く形成されている。
図20は、本発明の実施の形態3によるMOSFET73(炭化珪素半導体装置)の構成を概略的に示す図であり、図21の線XX−XXに沿う部分断面図である。図21は、図20の線XXI−XXIに沿う部分断面図であり、平面視におけるトレンチ底部保護層7および空乏化抑制層8のパターンレイアウトに対応する図である。MOSFET73においては、ゲートトレンチ6の底部は、トレンチ底部保護層7が設けられた保護部分63と、トレンチ底部保護層7が設けられていない非保護部分64とを有している。
(構成)
図24は、本発明の実施の形態4によるMOSFET74(炭化珪素半導体装置)の構成を概略的に示す図であり、図25の線XXIV−XXIVに沿う部分断面図である。図25は、図24の線XXV−XXVに沿う部分断面図であり、平面視におけるゲートトレンチおよび空乏化抑制層のパターンレイアウトに対応する図である。MOSFET74においては、ゲートトレンチ6の側面は、第1側面部分61と、第1側面部分61が有する面方位と異なる面方位を有する第2側面部分62とを有している。ここで「異なる面方位」とは、結晶学的に等価でない面方位のことをいう。特に、図24において具体的に示された例においては、第1側面部分61および第2側面部分は互いに向き合っている。空乏化抑制層8のうち第1側面部分61に設けられた部分の幅d1と、空乏化抑制層8のうち第2側面部分62に設けられた部分の幅d2とは、互いに異なっている。
本実施の形態4によれば、ゲートトレンチ6の側面の面方位の相異に起因してのチャネル特性のばらつきを、空乏化抑制層8の幅の調整によって抑制することができる。よって、オン抵抗と耐圧とのトレードオフをより改善することができる。この、チャネル特性のばらつき抑制について、以下に、より具体的に説明する。
上記においては幅d1>幅d2>0の場合について説明したが、幅d1>幅d2=0とされてもよい。すなわち、空乏化抑制層8が、第1側面部分61には設けられかつ第2側面部分62には設けられなくてもよい。すなわち、空乏化抑制層8が第1側面部分61にのみ設けられてもよい。このような構成は、第1側面部分61での電子移動度が第2側面部分62での電子移動度よりも小さい場合、または、第1側面部分61がチャネルとして用いられかつ第2側面部分62がチャネルとして用いられない場合に、特に有効である。なおこのような構成においても、互いに隣り合う1対のゲートトレンチ6の一方に設けられた空乏化抑制層8と、他方に設けられた空乏化抑制層8の側面との間には、ドリフト層2が介在することになる。
(構成)
図27は、本発明の実施の形態5によるMOSFET75(炭化珪素半導体装置)の構成を概略的に示す図であり、図28の線XXV−XXVに沿う部分断面図である。図28は、図27の線XXVIII−XXVIIIに沿う部分断面図であり、平面視におけるゲートトレンチ6とコンタクトトレンチ60と空乏化抑制層8とのパターンレイアウトに対応する図である。
本実施の形態5によれば、ソース電極11がトレンチ底部保護層7にオーミック接触している。これにより、トレンチ底部保護層7の電位が、ソース電極11の電位へ固定されることによって安定化される。よってMOSFET75のスイッチング速度を向上させることができる。すなわち、高速スイッチング時においても、トレンチ底部保護層7によって耐圧を高める効果が十分に得られる。さらに、上記接触を得るために設けられたコンタクトトレンチ60の底部の電界強度が、トレンチ底部保護層7によって低減される。これにより、ゲートトレンチ6だけでなく、コンタクトトレンチ60に起因しての耐圧の低下も抑制することができる。
(構成)
図29は、本発明の実施の形態6によるMOSFET76(炭化珪素半導体装置)の構成を概略的に示す図であり、平面視におけるゲートトレンチ6と空乏化抑制層8とのパターンレイアウトに対応する図であり、図30の線XXIX−XXIX沿う部分断面図である。図30は、図29の線XXX−XXXに沿う部分断面図である。
上述した実施の形態1〜4の構成またはその変形例においては、ゲート電極10のうちゲートトレンチ6の内部に埋め込まれた部分は、ゲートトレンチ6に沿って長手方向に延在しており、長手方向に直交する方向に隣接するゲートトレンチ6同士は互いに接続されていない。これに対して本実施の形態6によれば、これらが、ゲート電極10のうち交差トレンチ65の内部に埋め込まれた部分によって、互いに接続されている。これにより、MOSFET76のゲート電極10はネットワーク状に配置される。よって、MOSFETの内部ゲート抵抗を低減することができる。
図31は、本発明の実施の形態7によるMOSFET76(炭化珪素半導体装置)の構成を概略的に示す部分断面図である。MOSFET76は、ゲートトレンチ6が設けられた素子領域31と、素子領域31の外側に配置された外周領域33とを有している。なお素子領域31の構成は、実施の形態1〜4またはその変形例と同様である。また実施の形態5と同様に保護層コンタクト領域32(図27)が付加されてもよい。
本実施の形態8は、上述した実施の形態1〜6またはその変形例にかかる炭化珪素半導体装置が電力変換装置に適用されたものである。本発明は特定の電力変換装置に限定されるものではないが、本実施の形態8として、三相のインバータへの適用について、以下に説明する。
Claims (23)
- 炭化珪素からなり、第1導電型を有するドリフト層(2)と、
前記ドリフト層(2)上に設けられ、前記第1導電型と異なる第2導電型を有するボディ領域(5)と、
前記ボディ領域(5)上に設けられ、前記第1導電型を有するソース領域(3)と、
前記ボディ領域(5)よりも深い位置にまで達する少なくとも1つのゲートトレンチ(6)内に設けられ、前記ボディ領域(5)および前記ソース領域(3)に向かい合うゲート絶縁膜(9)と、
前記ゲートトレンチ(6)内に設けられ、前記ゲート絶縁膜(9)を介して前記ボディ領域(5)に向かい合うゲート電極(10)と、
前記ソース領域(3)と電気的に接続されたソース電極(11)と、
前記ゲートトレンチ(6)の底部に接して設けられ、前記ボディ領域(5)より高い不純物濃度で前記第2導電型を有するトレンチ底部保護層(7)と、
前記ゲートトレンチ(6)の側面と前記ドリフト層(2)との間に設けられ、前記トレンチ底部保護層(7)の側面に接し、前記ボディ領域(5)の下部から前記ゲートトレンチ(6)の底部よりも深い位置にまで延び、前記第1導電型を有し、前記ドリフト層(2)が有する前記第1導電型の不純物濃度に比して高い前記第1導電型の不純物濃度を有する空乏化抑制層(8)と、
を備え、前記空乏化抑制層(8)が有する前記第1導電型の不純物濃度は、前記ゲートトレンチ(6)の側面から離れるに連れて低下している、炭化珪素半導体装置(71〜77)。 - 深さ方向において前記ボディ領域(5)と前記空乏化抑制層(8)との間に配置され、前記ドリフト層(2)に接し、前記第1導電型を有し、前記ドリフト層(2)が有する前記第1導電型の不純物濃度に比して高い前記第1導電型の不純物濃度を有する高不純物濃度領域(19)をさらに備える、請求項1に記載の炭化珪素半導体装置(72)。
- 断面視において前記少なくとも1つのゲートトレンチ(6)は複数のゲートトレンチ(6)であり、前記複数のゲートトレンチ(6)は、互いに隣り合う1対のゲートトレンチ(6)を含み、
前記ドリフト層(2)は、前記1対のゲートトレンチ(6)の一方に設けられた前記空乏化抑制層(8)の側面から、前記1対のゲートトレンチ(6)の他方に設けられた前記空乏化抑制層(8)の側面まで延びる部分を有している、請求項1または2に記載の炭化珪素半導体装置(71〜77)。 - 前記ゲートトレンチ(6)の底部は、前記トレンチ底部保護層(7)が設けられた保護部分(63)と、前記トレンチ底部保護層(7)が設けられていない非保護部分(64)とを有しており、
前記ゲートトレンチ(6)の側面は、前記保護部分(63)から延びかつ前記空乏化抑制層(8)が設けられた部分と、前記非保護部分(64)から延びかつ前記空乏化抑制層(8)が設けられた部分とを有している、請求項1から3のいずれか1項に記載の炭化珪素半導体装置(73)。 - 前記少なくとも1つのゲートトレンチ(6)は、ストライプ状に配置されかつ各々が長手方向に延在する複数のゲートトレンチ(6)であり、
前記長手方向に直交する一の断面視において、前記複数のゲートトレンチ(6)の複数の底部には、前記保護部分(63)と前記非保護部分(64)とが周期的に設けられている、
請求項4に記載の炭化珪素半導体装置(73)。 - 前記少なくとも1つのゲートトレンチ(6)は、ストライプ状に配置されかつ各々が長手方向に延在する複数のゲートトレンチ(6)であり、
前記長手方向に直交する一の断面視において、前記複数のゲートトレンチ(6)の複数の底部のすべてに前記保護部分(63)が設けられており、
前記長手方向に直交する他の断面視において、前記複数のゲートトレンチ(6)の複数の底部のすべてに前記非保護部分(64)が設けられている、
請求項4に記載の炭化珪素半導体装置(73)。 - 前記ゲートトレンチ(6)の側面は、第1側面部分(61)と、前記第1側面部分(61)が有する面方位と異なる面方位を有する第2側面部分(62)とを有しており、
前記空乏化抑制層(8)のうち前記第1側面部分(61)に設けられた部分の前記第1導電型の不純物ピーク濃度と、前記空乏化抑制層(8)のうち前記第2側面部分(62)に設けられた部分の前記第1導電型の不純物ピーク濃度とは、互いに異なっている、請求項1から6のいずれか1項に記載の炭化珪素半導体装置(74)。 - 前記ゲートトレンチ(6)の側面は、第1側面部分(61)と、前記第1側面部分(61)が有する面方位と異なる面方位を有する第2側面部分(62)とを有しており、
前記空乏化抑制層(8)のうち前記第1側面部分(61)に設けられた部分の幅(d1)と、前記空乏化抑制層(8)のうち前記第2側面部分(62)に設けられた部分の幅(d2)とは、互いに異なっている、請求項1から7のいずれか1項に記載の炭化珪素半導体装置(74)。 - 前記ゲートトレンチ(6)の側面は、第1側面部分(61)と、前記第1側面部分(61)が有する面方位と異なる面方位を有する第2側面部分(62)とを有しており、
前記空乏化抑制層(8)のうち前記第1側面部分(61)に設けられた部分の前記第1導電型の不純物濃度の深さ方向における分布と、前記空乏化抑制層(8)のうち前記第2側面部分(62)に設けられた部分の前記第1導電型の不純物濃度の深さ方向における分布とは、互いに異なっている、請求項1から8のいずれか1項に記載の炭化珪素半導体装置(74)。 - 前記ゲートトレンチ(6)の側面は、第1側面部分(61)と、前記第1側面部分(61)が有する面方位と異なる面方位を有する第2側面部分(62)とを有しており、
前記空乏化抑制層(8)のうち前記第1側面部分(61)に設けられた部分の幅の深さ方向における分布と、前記空乏化抑制層(8)のうち前記第2側面部分(62)に設けられた部分の幅の深さ方向における分布とは、互いに異なっている、請求項1から9のいずれか1項に記載の炭化珪素半導体装置(74)。 - 前記ソース電極(11)は、前記トレンチ底部保護層(7)に達するコンタクトトレンチ(60)を通って前記トレンチ底部保護層(7)にオーミック接触している、請求項1から10のいずれか1項に記載の炭化珪素半導体装置(75)。
- 前記空乏化抑制層(8)は、前記コンタクトトレンチ(60)の側面と前記ドリフト層(2)との間に設けられ前記ボディ領域(5)の下部から前記コンタクトトレンチ(60)の底部よりも深い位置にまで延びる部分を有している、請求項11に記載の炭化珪素半導体装置(75)。
- 前記コンタクトトレンチ(60)の側面は、前記空乏化抑制層(8)が設けられた第1側面部分(66)と、前記第1側面部分(66)が有する面方位と異なる面方位を有しかつ前記空乏化抑制層(8)が設けられていない第2側面部分(67)とを含む、請求項12に記載の炭化珪素半導体装置(75)。
- 前記少なくとも1つのゲートトレンチ(6)は、ストライプ状に配置されかつ各々が長手方向に延在する複数のゲートトレンチ(6)であり、
前記ゲート絶縁膜(9)は、前記長手方向に交差する方向に延在し前記ゲートトレンチ(6)の深さと等しい深さを有する少なくとも1つの交差トレンチ(65)内に設けられた部分を含み、
前記ゲート電極(10)は、前記交差トレンチ(65)内に設けられた部分を含み、
前記トレンチ底部保護層(7)は、前記交差トレンチ(65)の底部に設けられた部分を含む、
請求項1から13のいずれか1項に記載の炭化珪素半導体装置(76)。 - 前記交差トレンチ(65)の側面は、前記ゲートトレンチ(6)の側面が有する面方位と異なる面方位を有しており、
前記交差トレンチ(65)の側面は、前記空乏化抑制層(8)が設けられていない部分を含む、請求項14に記載の炭化珪素半導体装置(76)。 - 前記炭化珪素半導体装置は、前記ゲートトレンチ(6)が設けられた素子領域(31)と、前記素子領域(31)の外側に配置された外周領域(33)とを有しており、
前記外周領域(33)に設けられた外周トレンチ(68)の側面と、前記外周トレンチ(68)の側面に向かい合う前記ゲートトレンチ(6)の側面と、の少なくともいずれかには、前記空乏化抑制層(8)が設けられていない、請求項1から15のいずれか1項に記載の炭化珪素半導体装置(77)。 - 請求項1から請求項16のいずれか1項に記載の炭化珪素半導体装置(71〜77)を有し、入力される電力を変換して出力する主変換回路(201)と、
前記炭化珪素半導体装置を駆動する駆動信号を前記炭化珪素半導体装置に出力する駆動回路(202)と、
前記駆動回路(202)を制御する制御信号を前記駆動回路(202)に出力する制御回路(203)と、
を備えた、電力変換装置(200)。 - 炭化珪素からなり第1導電型を有するドリフト層(2)と、前記ドリフト層(2)上に配置され前記第1導電型と異なる第2導電型を有するボディ領域(5)と、前記ボディ領域(5)上に配置され前記第1導電型を有するソース領域(3)と、を含む半導体層を形成する工程と、
前記半導体層に、前記ボディ領域(5)よりも深い位置にまで達する少なくとも1つのゲートトレンチ(6)を形成する工程と、
前記ゲートトレンチ(6)の底部に接し、前記ボディ領域(5)より高い不純物濃度で前記第2導電型を有するトレンチ底部保護層(7)を形成する工程と、
前記ボディ領域(5)の下部から前記ゲートトレンチ(6)の底部よりも深い位置にまで延び、前記トレンチ底部保護層(7)の側面に接し、前記第1導電型を有し、前記ドリフト層(2)が有する前記第1導電型の不純物濃度に比して高い前記第1導電型の不純物濃度を有する空乏化抑制層(8)を、前記ゲートトレンチ(6)の側面へのイオン注入によって前記ゲートトレンチ(6)の側面と前記ドリフト層(2)との間に形成する工程と、
前記ゲートトレンチ(6)内に、前記ボディ領域(5)および前記ソース領域(3)に向かい合うゲート絶縁膜(9)を形成する工程と、
前記ゲートトレンチ(6)内に、前記ゲート絶縁膜(9)を介して前記ボディ領域(5)に向かい合うゲート電極(10)を形成する工程と、
前記ソース領域(3)と電気的に接続されたソース電極(11)を形成する工程と、
を備える、炭化珪素半導体装置(71〜77)の製造方法。 - 前記空乏化抑制層(8)を形成する工程において、前記イオン注入は、前記空乏化抑制層(8)が有する前記第1導電型の不純物濃度が、前記ゲートトレンチ(6)の側面から離れるに連れて低下するように行われる、請求項18に記載の炭化珪素半導体装置(71〜77)の製造方法。
- 前記空乏化抑制層(8)を形成する工程は、前記半導体層の厚み方向に対して斜めのイオンビームを照射する工程を含む、請求項18または19に記載の炭化珪素半導体装置(71〜77)の製造方法。
- 前記空乏化抑制層(8)を形成する工程は、前記ゲートトレンチ(6)の幅方向および深さ方向の両方を含む断面視において、前記ゲートトレンチ(6)の側面のうち前記ゲートトレンチ(6)の底部から離れた領域が前記イオンビームにさらされるような第1イオンビーム角度で前記イオンビームを照射する工程と、前記ゲートトレンチ(6)の底部および側面を含む領域が前記イオンビームにさらされるような第2イオンビーム角度で前記イオンビームを照射する工程とを含む、請求項20に記載の炭化珪素半導体装置(71〜77)の製造方法。
- 前記ゲートトレンチ(6)の幅方向および深さ方向の両方を含む断面視において、イオンビームに前記ゲートトレンチ(6)の側面と底部との境界がさらされかつ前記ゲートトレンチ(6)の底部がさらされないようなイオンビーム角度を第3イオンビーム角度とすると、前記第1イオンビーム角度および前記第2イオンビーム角度の各々と前記第3イオンビーム角度との差異は15度以内である、請求項21に記載の炭化珪素半導体装置(71〜77)の製造方法。
- 請求項18から請求項22のいずれか1項に記載の炭化珪素半導体装置(71〜77)の製造方法によって炭化珪素半導体装置(71〜77)を製造する工程と、
前記炭化珪素半導体装置(71〜77)を有し入力される電力を変換して出力する主変換回路(201)と、前記炭化珪素半導体装置(71〜77)を駆動する駆動信号を前記炭化珪素半導体装置(71〜77)に出力する駆動回路(202)と、前記駆動回路(202)を制御する制御信号を前記駆動回路(202)に出力する制御回路(203)と、を形成する工程と、
を備える、電力変換装置(200)の製造方法。
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Publications (2)
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Country Status (1)
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---|---|
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN116646383A (zh) * | 2023-07-27 | 2023-08-25 | 深圳芯能半导体技术有限公司 | 一种具高短路承受力的沟槽栅igbt芯片及其制作方法 |
WO2024024073A1 (ja) * | 2022-07-29 | 2024-02-01 | 三菱電機株式会社 | 半導体装置、電力変換装置および半導体装置の製造方法 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005142243A (ja) * | 2003-11-05 | 2005-06-02 | Toyota Motor Corp | 絶縁ゲート型半導体装置およびその製造方法 |
JP2010232627A (ja) * | 2009-03-04 | 2010-10-14 | Fuji Electric Systems Co Ltd | 半導体装置およびその製造方法 |
WO2012077617A1 (ja) * | 2010-12-10 | 2012-06-14 | 三菱電機株式会社 | 半導体装置およびその製造方法 |
WO2014115253A1 (ja) * | 2013-01-23 | 2014-07-31 | 株式会社日立製作所 | 炭化珪素半導体装置及びその製造方法 |
WO2015049815A1 (ja) * | 2013-10-04 | 2015-04-09 | 三菱電機株式会社 | 炭化珪素半導体装置およびその製造方法 |
WO2015049838A1 (ja) * | 2013-10-02 | 2015-04-09 | 株式会社デンソー | 炭化珪素半導体装置 |
JP2016523454A (ja) * | 2013-07-03 | 2016-08-08 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツングRobert Bosch Gmbh | フィールドプレート・トレンチ・fet、及び、半導体構成素子 |
JP2016162855A (ja) * | 2015-02-27 | 2016-09-05 | 株式会社日立製作所 | 半導体装置およびそれを用いた電力変換装置 |
-
2018
- 2018-01-11 JP JP2018528352A patent/JP6377309B1/ja active Active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005142243A (ja) * | 2003-11-05 | 2005-06-02 | Toyota Motor Corp | 絶縁ゲート型半導体装置およびその製造方法 |
JP2010232627A (ja) * | 2009-03-04 | 2010-10-14 | Fuji Electric Systems Co Ltd | 半導体装置およびその製造方法 |
WO2012077617A1 (ja) * | 2010-12-10 | 2012-06-14 | 三菱電機株式会社 | 半導体装置およびその製造方法 |
WO2014115253A1 (ja) * | 2013-01-23 | 2014-07-31 | 株式会社日立製作所 | 炭化珪素半導体装置及びその製造方法 |
JP2016523454A (ja) * | 2013-07-03 | 2016-08-08 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツングRobert Bosch Gmbh | フィールドプレート・トレンチ・fet、及び、半導体構成素子 |
WO2015049838A1 (ja) * | 2013-10-02 | 2015-04-09 | 株式会社デンソー | 炭化珪素半導体装置 |
WO2015049815A1 (ja) * | 2013-10-04 | 2015-04-09 | 三菱電機株式会社 | 炭化珪素半導体装置およびその製造方法 |
JP2016162855A (ja) * | 2015-02-27 | 2016-09-05 | 株式会社日立製作所 | 半導体装置およびそれを用いた電力変換装置 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2024024073A1 (ja) * | 2022-07-29 | 2024-02-01 | 三菱電機株式会社 | 半導体装置、電力変換装置および半導体装置の製造方法 |
CN116646383A (zh) * | 2023-07-27 | 2023-08-25 | 深圳芯能半导体技术有限公司 | 一种具高短路承受力的沟槽栅igbt芯片及其制作方法 |
Also Published As
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