JP6375641B2 - 液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置 - Google Patents

Description

本発明は、インクといった液体をノズルから噴射する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関する。

液滴を噴射する液体噴射ヘッドの代表例であるインクジェット式記録ヘッドとして、例えば、ノズルに連通する圧力発生室と、圧力発生室に対向して設けられる圧電アクチュエーターと、を具備し、この圧電アクチュエーターの変位によって圧力発生室内に圧力変化を生じさせることで、ノズルからインク滴を噴射するものがある。
このようなインクジェット式記録ヘッドの構造は、様々提案されているが、一般的に、複数の部材が接着剤等によって固定されてなる（例えば、特許文献１参照）。

特許文献１に示すインクジェット式記録ヘッドの構造では、二つの流路部材の間に平板のシール部材を介在させるシール構造が開示されている。

特開２０１１−５６８７２号公報

小型化されたヘッドチップを採用する場合、内部に保持するインクの絶対量が少ないため、乾燥によるインクの増粘の影響が顕著になる。特許文献１に示すものでは流路継手のためのシール構造であり、ヘッドチップをシールする機能はない。一方、ケースのシール、流路継手のシールを別々に設けたのでは大型化するし、接着では作業性が悪い。
なお、このような問題は、インクを噴射するインクジェット式記録ヘッドだけではなく、種々の液体噴射ヘッド及び液体噴射装置においても同様に存在する。

本発明の目的の一つは、インクといった液体に含まれる成分が蒸発しにくい液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置を提供することにある。

本発明は、液体保持部からの液体を通す第一の連通路を有する流路部と、
前記第一の連通路に連通する第二の連通路を有するケース部材と、
前記ケース部材と前記流路部の間に挟まれるシール部材と、
前記第二の連通路に連通するノズルから前記液体を吐出するヘッドチップを固定したカバー部と、を備え、
前記ケース部材における記録媒体の側には、内側に所定の空間が形成される開口部が形成され、
前記カバー部は、前記ヘッドチップが前記所定の空間に配置され前記ノズルが外部に露出する状態で前記開口部を塞ぎ、
前記ケース部材は、前記所定の空間に面する側から前記流路部が配置された側まで貫通した貫通孔を有し、
前記シール部材は、前記第一の連通路と前記第二の連通路とを水密状態で連通させ、且つ、前記ケース部材側にある空間であって前記所定の空間及び前記貫通孔を含む空間を封止する、態様を有する。
また、本発明は、前記液体噴射ヘッドを備えた液体噴射装置の態様を有する。

前記態様において、液体噴射ヘッドのケース部材における記録媒体の側には、内側に所定の空間が形成される開口部が形成されている。前記開口部は、前記ヘッドチップが前記所定の空間に配置され前記ノズルが外部に露出する状態で前記カバー部により塞がれている。ケース部材と流路部との間に介在するシール部材により、流路部の第一の連通路とケース部材の第二の連通路とが水密状態で連通し、且つ、ケース部材側にある空間であって所定の空間及び前記貫通孔を含む空間が封止される。

上記態様によれば、ヘッドチップは閉塞された所定の空間内に配置され、第一及び第二の連通路を水密状態で連通させるシール部材によって前記所定の空間及び前記貫通孔を含む空間が封止される。従って、上記態様は、インクといった液体の成分が蒸発しにくく、液体の増粘による吐出不良を抑制することができる。
このことから、ケース部材のシールと流路継手のシールを同一のシール部材で構成することができるとともに、ヘッドチップの周辺をシール構造で囲むことができるので、インクといった液体に含まれる成分、例えば水分の蒸発を抑制することができ、省スペース、部品点数の低減といった効果を期待することができる。
ここで、ある第一の流路と別の第二の流路とが連通することには、第一の流路と第二の流路とが直接繋がっていること、さらに別の流路を介して第一の流路と第二の流路とが間接的に繋がっていること、の両方が含まれる。

液体噴射ヘッドの上側の展開図である。 液体噴射ヘッドの下側の展開図である。 ヘッドチップ及びその周辺の断面図である。 コンプライアンス部材の構成を模式的に示す展開図である。 ケース部材の底側を模式的に示した斜視図である。 金型の要部断面図である。 金型の要部断面図である。 ケース部材の内部の概略構成を模式的に示す断面図である。 ケース部材の内部の概略構成を模式的に示す斜視図である。 ワイプ過程を模式的に示す断面図である。 ノズルプレートと蓋部材を模式的に示す断面図である。 充填材の量が異なる状態を模式的に示す断面図である。 蓋部材を下方から見た状態を模式的に示す底面図である。 蓋部材とワイパーの当接状態を模式的に示す側面図である。 環状シール部位及びその周辺を模式的に分解して示す断面図である。 記録装置の構成の概略を示す斜視図。

以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。むろん、以下の実施形態は本発明を例示するものに過ぎず、図面も例示に過ぎない。
図１と図２は、本発明の一実施形態に係る液体噴射ヘッドの一例を示すインクジェット式記録ヘッド１の展開図である。図３は、インクジェット式記録ヘッド１のヘッドチップ３０及びその周辺の断面図である。
図１及び図２に示すように、インクジェット式記録ヘッド１は、上側ケース部材１１と、下側ケース部材１２とを含む上下ケース部材１０内に、各パーツを収容して形成されている。下側ケース部材１２内は上方の空間と下方の空間が形成されており、上方の空間内では、上方から第１の流路部材２１とフィルター２２と第２の流路部材２３とを含む流路部材２４と、シール部材２５と、回路基板２６とが順次積層されて収容されている。なお、流路部材２４と上側ケース部材１１は、インクカートリッジ（液体保持部）２２１，２２２（図１６参照。）からのインク（液体）を通す第一の連通路２４ａ（図８参照。）を有する流路部６１に含まれる。
また、下方の空間内では、上方からフレキシブル基板２７の一部、マニホールド部材（第３の流路部材）２８、圧電アクチュエーターパーツ３１、流路形成板３２、ノズルプレート３３、コンプライアンス部材４０、蓋部材２９が収容されている。図２に示す本実施形態のヘッドチップ３０は、圧電アクチュエーターパーツ３１と、流路形成板３２と、ノズルプレート３３と、コンプライアンス部材４０とを含む概念である。なお、ヘッドチップ３０を固定した蓋部材２９は、カバー部６２に含まれる。

ヘッドチップ３０は、下側ケース部材１２のケース部材連通路（第二の連通路）１２ｂ（図８参照。）に連通するノズル３３ａからインクを吐出する機構を有する。図２に示すヘッドチップ３０は、流路形成板３２の上面に圧電アクチュエーターパーツ３１が接合され、下面にノズルプレート３３とコンプライアンス部材４０とが接合されている。流路形成板３２は概略矩形形状の板材状に形成されており、短手方向の中央部分の上面に概略帯板形状に形成された圧電アクチュエーターパーツ３１が固定されている。圧電アクチュエーターパーツ３１は、下方に開口する圧力室３０ａを有するとともに、圧力室３０ａの天井壁が上下方向へ撓んで当該圧力室３０ａ内に圧力変化を発生可能とさせる構成となっている。
本実施形態の圧力室３０ａは、シリコン製の圧力室形成基板３１ａに形成されている。むろん、圧力室形成基板３１ａの材料は、シリコンに限定されない。

圧力室３０ａの天井壁は、弾性膜と、絶縁体膜と、第１電極と圧電体層と第２電極とを含む個々の圧電アクチュエーターが形成されている。この意味で圧電アクチュエーターパーツ３１は個々の圧電アクチュエーターを必要数だけ形成した一体のパーツを指す。また、本実施形態では、第１電極が各圧電アクチュエーターで独立する個別電極として機能し、第２電極が複数の圧電アクチュエーターに共通する共通電極として機能する。また第１電極はリード電極の一端と接続され、リード電極の他端にはフレキシブル基板２７に形成された駆動回路２７ａが接続される。所定の空間６３内にある第１電極や第２電極やリード電極といった端子には、保護膜を形成してもよい。フレキシブル基板２７には、プラスチックフィルムで覆われたＣＯＦ（Chip On Film）等が用いられる。圧電アクチュエーター付近には圧力室３０ａ等の液体流路があるため、圧電アクチュエーター付近から水分が蒸発し易い状態になっている。
上述したように、圧電アクチュエーターと電気的に接続するためにフレキシブル基板が使われている。しかし、インクの水分蒸発を抑制するようにシールしながらフレキシブル基板を外部まで引き出すのは容易ではない。本ヘッド１は、シールし難い電気配線の引き出しも実現している。

圧力室３０ａは、前記短手方向に二つ形成されており、かつ、長手方向に所定の数だけ並べた二列分が形成されている。短手方向に並ぶ二つの圧力室３０ａ，３０ａの中央の隙間には前記長手方向に伸びるフレキシブル基板２７が接続され、上述したように両側に位置する二列の圧力室３０ａ，３０ａの個々の圧電アクチュエーターに対して駆動電力を供給する。各圧力室３０ａはその下面で流路形成板３２に形成された流路３２ａとノズル穴３２ｂに対面しており、流路３２ａの側から吐出液（液体）であるインクが圧力室３０ａに供給され、圧力変化によってノズル穴３２ｂの側にインクを押し出す。二列の圧力室３０ａに対応してノズル穴３２ｂ，３２ｂも短手方向の中央に長手方向に沿って二列分形成されて列状に配列され、同様に短手方向の外側には流路３２ａ，３２ａが二列分形成されて列状に配列される。なお、圧力室形成基板３１ａは流路形成板３２上に例えば接着剤などにより水密的に固定されている。水密とは、液体が漏れない状態を意味する。

流路形成板３２の流路３２ａ１および流路３２ａ３は共通連通路、流路３２ａ２は個別連通路であり、上面には外側の入口３２ａ１と内側の出口３２ａ２とで開口しており、下面に開口する中央流路３２ａ３で両者が連通している。中央流路３２ａ３は前記ノズル穴３２ｂの前記短手方向の外側で開口しているため、流路形成板３２を下方から見ると、外側に長穴状の中央流路３２ａ３，３２ａ３が開口し、その内側に二つのノズル穴３２ｂ，３２ｂが開口している。そして、これらが前記長手方向に並んで形成されている。
本実施形態の流路形成板３２は、シリコン製とされている。むろん、流路形成板３２の材料は、シリコンに限定されない。

ノズルプレート３３は流路形成板３２のノズル穴３２ｂ，３２ｂの形成位置に沿って前記長手方向に伸びる帯板形状の矩形状に形成されており、二つのノズル穴３２ｂ，３２ｂに対面するように二つのノズル３３ａ，３３ａが形成されている。圧力室３０ａ内の圧力変化によってノズル穴３２ｂの側に押し出されたインクは、ノズル３３ａから外部へ吐出される。すなわち、液滴を吐出する。本実施形態のノズルプレート３３は、素材として高価なシリコンで形成されている。むろん、ノズルプレートの材料は、シリコンに限定されない。ノズルプレート３３に形成されたノズル３３ａは下方に向けて配向されている。
ノズルプレート３３はノズル穴３２ｂ，３２ｂの形成位置に沿って貼付されるので、その外側に二列に形成される中央流路３２ａ３，３２ａ３は開口したままとなる。これらを覆蓋するのがコンプライアンス部材４０である。

図４はコンプライアンス部材の構成を模式的に示す展開図である。コンプライアンス部材４０は弾性膜部材である弾性膜４１と支持体である枠材４２とから構成されている。本実施形態の弾性膜４１は、フィルム状の樹脂製部材である樹脂フィルムで形成されている。むろん、弾性膜４１の材料は、樹脂フィルムに限定されない。また、本実施形態の枠材４２は、ステンレス製とされている。むろん、枠材４２の材料は、ステンレスに限定されない。
枠材４２には、ノズルプレート３３と干渉しないように中央に矩形のくり抜き部４２ａを有するとともに、二列の中央流路３２ａ３，３２ａ３の形成部位に対応して三つずつの窓部４２ｂを二列形成してある。この上にくり抜き部４２ａと同様のくり抜き部４１ａが形成された弾性膜４１を貼り付けることで枠材４２の枠部によって弾性膜４１を支持する。弾性膜４１の側から流路形成板３２の下面に貼付すると、それぞれの中央流路３２ａ３は弾性膜４１にて密封されるが、弾性膜４１の反対側には枠材４２の窓部４２ｂが形成されており、この窓部４２ｂの厚み分だけ弾性膜４１は撓み変形可能である。また、枠材４２の一部には溝が形成され、窓部４２ｂが密封されないように大気に繋がる経路を有することで、弾性膜４１が変形しやすいようになっている。従って、コンプライアンス部材４０は、入口３２ａ１から出口３２ａ２へと至る中央流路３２ａ３を下方から覆蓋して一連の連通路を形成しつつ、その途中でコンプライアンス部材としての機能を果たすことになる。なお、コンプライアンス部材４０が装着される位置は流路形成板３２の下面に限られるものではなく、出口３２ａ２の側の近辺であっても良い。この場合、中央流路３２ａ３は別部材で閉塞して連通路のみ形成し、他の部位でコンプライアンス部材の機能を保持すればよい。

下側ケース部材１２の下端には、ヘッドチップ３０およびマニホールド部材２８を収容できる所定の空間６３を形成する壁材１２ｃが突出して形成されている。壁材１２ｃは、内側に前記空間６３を形成するように筒状に突出し、かつ、その肉厚は下側ケース部材１２における他の壁面と比較して厚く形成している。下側ケース部材１２の下端に筒状の肉厚部分が形成されることで、特に壁材１２ｃや壁材１２ｃが設けられた部分を中心に下側ケース部材１２が全体的に撓みにくくなる。好ましいのは壁材１２ｃが概略四角形状であり、環状につながって筒状となっている形状であるが、必ずしも環状につながっていなくても構わない。すなわち、壁材は内側に所定の空間を形成するように当該下側ケース部材１２と一体成形で突出するように設けられていれば、撓みに基づく変形等を抑制する効果がある。

壁材１２ｃの先端である突出端部で形成される開口部６４にはステンレス製で弾性を有する程度に薄く形成された蓋部材２９が接合されて被覆してある。蓋部材２９にはノズルプレート３３を下面に露出させるための長穴の開口２９ａが印刷媒体（記録媒体）に沿う平面部に形成されている。ここで、ヘッドチップ３０と蓋部材２９は、ヘッドチップ３０のコンプライアンス部材４０の部分と蓋部材２９の開口２９ａの周辺の平面部で接着固定されている。換言すると、ヘッドチップ３０のインクの流通経路を構成するノズルプレート３３の部分で蓋部材２９と接着固定されていない。

また、ヘッドチップ３０は、マニホールド部材２８を介して下側ケース部材１２の下方に接合されている。マニホールド部材２８には、中央に長手方向に伸びる貫通口２８ａが形成されており、この貫通口２８ａを介して前記フレキシブル基板２７が挿通されることになる。マニホールド部材２８は、貫通口２８ａの下側の開口付近に前記圧電アクチュエーターパーツ３１を収容可能となるように空間が形成されており、また、貫通口２８ａ以外の部位では流路形成板３２における流路３２ａの入口３２ａ１に対面するように上面から下面へと貫通する連通路２８ｂが形成されている。マニホールド部材２８と流路形成板３２とは接着剤によって水密的に接着されているので、以上の構成によって、連通路２８ｂから流路３２ａを経て圧力室３０ａに連通し、さらにノズル穴３２ｂを介してノズル３３ａへとつながるインクの一連の通路が形成されることになる。
本実施形態のマニホールド部材２８は、成型された樹脂製部材である成型樹脂とされている。この成型樹脂を形成するための樹脂は、熱可塑性樹脂（添加材が含まれてもよい。）が好ましく、例えば、アクリル系樹脂、ＡＢＳ樹脂（アクリロニトリルブタジエンスチレン共重合体）、ポリエチレン、等を用いることができるが、これらの樹脂に限定されない。むろん、マニホールド部材２８の材料は、樹脂に限定されない。

下側ケース部材１２には、マニホールド部材２８の貫通口２８ａと連通路２８ｂに対応して貫通孔１２ａとケース部材連通路１２ｂを形成してある。マニホールド部材２８は、下側ケース部材１２に対して下方から、後述する柔軟性のある接着材にて接合されており、このときに連通路２８ｂとケース部材連通路１２ｂとは水密的に連通するように固定されている。
このように下側ケース部材１２の撓み難くなった空間に設けられたヘッドチップ３０およびマニホールド部材２８には外力が掛かりにくくなるうえ、弾性を有する蓋部材２９がヘッドチップ３０と下側ケース部材１２の間に生じるねじれを吸収してヘッドチップ３０には外力が一層掛かりにくくなるので、ヘッドチップ３０を構成する部材同士が剥離を起こすのを抑制でき、ひいてはインク漏れの発生を抑制できる。さらに、ヘッドチップ３０やマニホールド部材２８、換言すればインクの流通経路を構成する部材の接合にあたり柔軟性のある接着剤、特にシリコン（シリコーン）系や変性エポキシ系の接着剤を用いれば一層効果がある。むろん、前記接着剤は、シリコン系や変性エポキシ系の接着剤に限定されない。
なお、壁材１２ｃにおける蓋部材２９の接合位置は、上記した壁材１２ｃの先端の開口に限らず、壁材１２ｃの内外の側面であっても良い。また、蓋部材２９はステンレス製に限らず弾性を有する部材であれば良い。さらに、ヘッドチップはカバー部に固定されていればよく、マニホールド部材でヘッドチップを固定するのは一例に過ぎない。ケース部材連通路（第二の連通路）からノズルへのインクの流路をマニホールド部材等で構成するのも、一例に過ぎない。

ノズルプレート３３はコンプライアンス部材４０よりも薄く形成されている。従って、ノズルプレート３３は開口２９ａ内に位置した時点で蓋部材２９よりも外側に突出しない位置関係となる。また、高精度にシリコンで形成されるノズルプレート３３は高価であるため、小さくするために必要部位だけを覆蓋するように貼付されているとともに、蓋部材２９の開口２９ａからの露出をなるべく少なく抑えられている。そして、ヘッドチップ３０と蓋部材２９は、ノズルプレート３３の部分ではなくコンプライアンス部材４０の部分で蓋部材２９の開口２９ａの周辺の平面部に接着固定されている。
このようにヘッドチップ３０のインクの流通経路を構成するノズルプレート３３は印刷媒体が当たる可能性をなるべく抑えられ、インクの流通経路を構成しない蓋部材２９に印刷媒体が当たるようにすることで、インクの流通経路を構成する部材に剥離が発生するのを抑制でき、ひいてはインク漏れが発生するのを抑制できる。

図５は、下側ケース部材１２の底側を模式的に示した斜視図であり、図６と図７は下側ケース部材１２を形成するための金型の要部断面図である。
上述したように壁材１２ｃは肉厚となるように形成されている。下側ケース部材１２自体は樹脂による一体成形品であり、肉厚の部分では樹脂の冷却時の収縮の影響を受けて設計通りの精度を維持できないことが多々ある。これは個々のばらつきがあるというのではなく、成型された全ての壁材１２ｃに同様のずれが発生するということである。設計上では壁材１２ｃの先端が平面を形成するようになっていても、樹脂のひけや成形時の樹脂の収縮などによって全ての成形品でわずかに平面にならないことが起きる。このような壁材１２ｃの先端の全体に亘って平面を形成するように仕上げるのは容易ではない。

本実施例では、壁材１２ｃの先端部に互いに離間して複数の突起１２ｃ１を形成してある。具体的には、概ね断面矩形となる壁材１２ｃの四隅と、各辺の中間の四カ所との、合計八カ所である。この結果、壁材１２ｃの各辺の先端では突起１２ｃ１が最も突き出る位置になる。それぞれの突起１２ｃ１は壁材１２ｃの先端部から一律の高さではない。まず、突起１２ｃ１の無い下側ケース部材１２を成形してみる。そして、壁材１２ｃの先端の位置を計測する。そして、ヘッドチップ３０を保持したマニホールド部材２８を下側ケース部材１２内に固定した時にヘッドチップ３０が形成する平面と平行となる平面を想定して、壁材１２ｃの先端をどれだけ嵩上げすればよいかを決定する。上述した八カ所の位置でのそれぞれの嵩上げの高さが決まったら、図６に示すように金型の側にそれぞれの高さに相当する凹部を形成する。金型の側でこのような凹部を形成するのは内部を盛り上げたりするよりも容易である。また、仕上がりの精度も十分に選択可能である。

従って、必要な精度で凹部を形成し、この金型を用いることで壁材１２ｃの突起１２ｃ１の先端が形成する平面は設計者の意図したとおりのものとなる。この状態で下側ケース部材１２を上下逆転させ、ヘッドチップ３０を固定した状態の蓋部材２９を壁材１２ｃの上から載置すると、蓋部材２９は突起１２ｃ１の先端に当接し、上述した壁材１２ｃに発生するずれに影響されずに平面に保持される。なお、平面に保持されるので、蓋部材２９に複数のヘッドチップ３０が固定された場合には、下側ケース部材１２の下方に高い位置精度でそれぞれのヘッドチップ３０を配することができる。このとき、厳格な意味で蓋部材２９が突起１２ｃ１に必ず接していなければならないわけではなく、多くの突起１２ｃ１に当接し、少数の突起１２ｃ１と接したり接していない状態であっても期待する平面を保持できるのであれば構わない。また、そもそも蓋部材２９自体を壁材１２ｃの先端に塗布した接着剤によって下側ケース部材１２に接着固定されるので、厳格な意味では突起１２ｃ１と蓋部材との間に接着剤が介在して接していないことも十分に生じうる。
なお、突起を壁材１２ｃの側でなく蓋部材２９の側に設ける場合、蓋部材２９に突起を形成する工程で蓋部材２９に歪みが生じて平面さが損なわれるおそれが高いため壁材１２ｃの側に設けるのが良い。

突起１２ｃ１を形成するとき、図６に示すようにドリルで凹部を形成すれば突起１２ｃ１の先端は円錐形状となることが多い。この場合は、点に近い状態で蓋部材２９に当接する。一方、図７はいわゆるピンで凹部を形成する例を示している。ピンは概ね雌ネジ穴内に雄ネジを螺合せしめる構成であり、雄ネジを雌ネジに深く螺合させると金型の内側では凹部の深さが浅くなり、突起１２ｃ１が長く形成される。逆に、雄ネジを雌ネジに浅く螺合させると金型の内側では凹部の深さが深くなり、突起１２ｃ１が短く形成される。その長さを決めるために一定の厚みを持つスペーサーを用意しておけば、各突起１２ｃ１の長さを自由に調整できるようになる。

なお、突起１２ｃ１の数については、平面を特定できるという意味では三つ以上必要である。ただし、一つを壁材１２ｃの一部で兼用することも可能ではある。また、突起１２ｃ１で浮かせることで塗布される接着剤の量のばらつきを少なくすることもできる。そして、突起１２ｃ１の間隔が広いことで蓋部材２９が撓むことを防止するためにも、三つを超える数の突起１２ｃ１を形成することは好ましい。蓋部材２９が概ね四角形であることを考慮すると、壁材１２ｃの四隅およびその中間点の八カ所に形成すると安定する。

次に、下側ケース部材１２と流路部６１の間に挟まれるシール部材２５によるシール構造を説明する。図８は、ケース部材の内部の概略構成を模式的に示す断面図である。図９は、ケース部材の内部の概略構成を模式的に示す斜視図である。図１５は、シール部位２５ｃ及びその周辺を模式的に分解して示す断面図である。
下側ケース部材１２は、流路部６１の第一の連通路２４ａに連通するケース部材連通路（第二の連通路）１２ｂを有するケース部材である。下側ケース部材１２は、貫通孔１２ａやケース部材連通路１２ｂを形成した底壁１２ｄよりも上方側に、上側ケース部材１１と合体したときに所定の収容空間を形成する。底壁１２ｄからは上方に向けて断面矩形形状となる内側リブ（受け部）１２ｅが突出して形成されており、貫通孔１２ａやケース部材連通路１２ｂはこの内側リブ１２ｅよりも内側に形成されている。そして、内側リブ１２ｅの先端上には回路基板２６が載置され、その上にシール部材２５と流路部材２４とが載置されている。内側リブ１２ｅの先端は回路基板２６と密接できる平面を特定している。この意味で先端ではあるが平面部を形成しており、この平面部上で回路基板を載置する。

回路基板２６は、フレキシブル基板２７に接続され、ヘッドチップ３０と電気的に接続される。図１，８に示す回路基板２６の外形は内側リブ１２ｅよりも大きく形成されており、内側リブ１２ｅ上に載置した状態で内側リブ１２ｅの先端が環状に回路基板２６の下面に当接する。予め内側リブ１２ｅの先端に所定量の気密性を有する接着剤を塗布しておくことにより、内側リブ１２ｅの先端と回路基板２６の当接部位は気密的に固着される。内側リブ１２ｅ自体が筒状の立体物であり、この開口で形成される平面部に平板の回路基板２６を接着固定することで内側リブ１２ｅを中心に下側ケース部材１２全体の剛性を上げることができている。回路基板２６はプリント基板であり、貫通口２６ａの縁部には前記フレキシブル基板２７と電気的に接続される多数のリードが形成されている。また、外縁部にも図示しないリード端子が形成されコネクターを介して外部と電気的に接続されるようになっている。このように、ヘッド１の電気配線の引き出し構造は、シールされた空間内でフレキシブル基板２７が回路基板２６に接続され、この回路基板２６がシール部位２５ｃによる封止位置であるシール面２５ｅ（接触部位２６ｃ）を超えて外側へ延び、電気配線（回路）がパターンとしてシール面２５ｅの外側へ引き出され、この引き出された部分の電気配線にコネクターが設けられている。このようにして、本ヘッド１は、インクの水分蒸発抑制のためのシールと電気配線の引き出しとを実現している。

回路基板２６には、下側ケース部材１２のケース部材連通路１２ｂに対応する位置に貫通口２６ｂを形成してある。この場合、貫通口２６ｂはケース部材連通路１２ｂに対応する位置に形成されており上下方向に同ケース部材連通路１２ｂは露出された状態となる。なお、ケース部材連通路１２ｂは図示しない経路を経て上述したようにマニホールド部材２８の連通路２８ｂに連通している。

ゴム製素材を含む弾性材料、例えばエラストマーで形成されたシール部材２５は回路基板２６の外形よりも小さい外形であるが、少なくとも貫通口２６ａと貫通口２６ｂを含む領域よりも大きな外形であり、中央に例えば直径４ｍｍ程度の小さな貫通口２５ａが形成されている。また、回路基板２６の貫通口２６ｂのそれぞれに対応する位置には下方に突出するカップ状に形成された凸状部位２５ｂが形成されており、この凸状部位２５ｂは回路基板２６の貫通口２６ｂに挿入された時にカップ状とした筒状部分の外周面にて同貫通口２６ｂの内縁面に嵌り込んで位置決めとして機能する。カップ状とした底面は前記ケース部材連通路１２ｂの開口の周縁部に当接している。底面には貫通口２５ｂ１も形成されているので、ケース部材連通路１２ｂへ連通する連通経路を形成する。

本ヘッド１は、連通路２４ａ，１２ｂ同士を繋ぐ継ぎ手の機能と、ケース全体のシールと、を一つのシール部材２５という部材にしていることにより組み付け性が良好である。
弾性を有するシール部材２５は、回路基板２６と流路部６１とに挟まれるシール部位２５ｃを有している。図１，８，１５に示すシール部材２５の周縁は、環状に上下に厚みを増した環状シール部位２５ｃが形成されている。シール部材２５の上方に流路部材２４を載置した時、環状シール部位２５ｃは下面にて回路基板２６の上面表面（接触部位２６ｃ）に接触し、上面２５ｄにて流路部６１の下面表面に接触する。シール部位２５ｃの上面２５ｄは、流路部材２４に接触してもよいし、上側ケース部材１１に接触してもよい。シール部位の上面２５ｄが流路部材２４の下面に接触する場合、シール部材２５が封止する流路部６１側の空間は、シール部材２５と流路部材２４との間の空間となる。シール部位の上面２５ｄが上側ケース部材１１の下面に接触する場合、シール部材２５が封止する流路部６１側の空間は、シール部材２５と上側ケース部材１１との間の空間となる。

図１５に示すように、シール部材２５における流路部６１側のシール部位２５ｃは、流路部６１側へ延出し、上面２５ｄが細い溝とした大気開放路を有する平面状に形成されている。シール部材２５における回路基板２６側のシール部位２５ｃは、回路基板２６の接触部位２６ｃとのシール面２５ｅとされている。図１５に示すシール面２５ｅの断面形状は平面状であり、図９に示す回路基板２６の接触部位２６ｃに接触するシール面２５ｅは回路基板２６の貫通口２６ａ，２６ｂを囲んでいる。シール部位２５ｃに平面状のシール面２５ｅが形成されていることにより、シール部位２５ｃと回路基板２６との密着性が向上し、シール部材２５から下側ケース部材１２側にある所定の空間６３の密閉度が向上する。

回路基板２６における上記シール部位２５ｃとの接触部位２６ｃであり、上記シール面２５ｅに接触する接触部位２６ｃには、回路基板２６表面の凹凸を平滑化するシルク印刷が施されている。回路基板表面には、回路基板のパターニング等のため凹凸が存在する。実測したところ、シルク印刷を施していない回路基板表面の凹凸は、最大で約３０μｍであった。シルク印刷を施した回路基板の表面の凹凸は、シルク印刷を施していない回路基板表面の凹凸と比べて約半分となった。このようにシルク印刷が接触部位２６ｃに施され、この接触部位２６ｃに平面上のシール面２５ｅが接触することにより、シール部位２５ｃと回路基板２６との良好な密着性が得られ、シール部材２５から下側ケース部材１２側にある所定の空間６３の密閉度が向上する。

回路基板２６において接触部位２６ｃの裏側にある接触部位２６ｄは、下側ケース部材１２の内側リブ１２ｅに密接する。内側リブ１２ｅは、シール部材２５のシール部位２５ｃとで回路基板２６を挟む受け部である。回路基板２６のシール面（接触部位２６ｃ）の直下に受け部（内側リブ１２ｅ）が存在することにより、シール部位２５ｃで回路基板２６のシール面（２６ｃ）をシールした際の回路基板２６の撓みが抑制される。

流路部材２４にはシール部材２５の凸状部位２５ｂに対応して下方に突出する筒状の連通路２４ａが形成されている。その長さは、シール部材２５に流路部材２４を載置して環状シール部位２５ｃに接する時点で連通路２４ａの下端が凸状部位２５ｂの中で底面に接する程度の長さとなっている。流路部材２４は下側ケース部材１２内では下方に向けて押圧するように収容され、このとき流路部材２４は周縁部分で環状シール部位２５ｃに突き当たるとともに連通路２４ａは凸状部位２５ｂの中で底面に突き当たる。また、シール部材２５も環状シール部位２５ｃはその下面で回路基板２６の周縁部分で環状に突き当たっており、かつ、凸状部位２５ｂの底面の下面側はケース部材連通路１２ｂの開口の周縁部に突き当たる。流路部材２４から所定の押圧力が加われば、シール部材２５は以上のようにして突き当たる部位でシールする機能を奏する。

以上説明したように、弾性を有するシール部材２５は、板状であり、且つ、壁状のシール部位２５ｃで縁取られているので、変形し難く、形状が保たれ易い。このため、シール部材２５を組み付ける際、持ち易く、ハンドリングが良好である。また、シール部材２５がケース部材１２側へ出た筒状の凸状部位２５ｂを有し、回路基板２６が凸状部位２５ｂを貫通させる貫通口２６ｂを有するので、組み付けの際にシール部材２５の積層方向Ｄ１と直交する横方向Ｄ２の位置が決まる。板状のシール部材２５に凸状部位２５ｂがあることにより、シール部材２５がよじれ難いうえ組み付け位置も合わせることができるので、シール部材２５の組み付けが容易である。

なお、第一の連通路２４ａと第二の連通路１２ｂとを繋ぐ際に一方の連通路に他方の連通路を嵌める構造にしてシールをするのは容易ではない。本ヘッド１のシール構造は、シール部材２５の積層方向Ｄ１における連通路２４ａ，１２ｂの間にシール部材２５が入るので、持ち易く、位置も容易に決まるシール部材２５を回路基板２６や流路部材２４等と一緒に積層して積層方向Ｄ１へ押圧するという簡単な作業でシールが実現される。

また、回路基板２６を受ける下側ケース部材１２の内側リブ（受け面）１２ｅの位置で流路部６１と下側ケース部材１２とがシール部位２５ｃを挟み込み、流路部６１に含まれる上側ケース部材１１と下側ケース部材１２とが内側リブ１２ｅの外側で互いに固定されている。ヘッド１の組み付けの際、上側ケース部材１１を下側ケース部材１２側へ押すと、シール部材２５が下側ケース部材１２側へ押される。シール部材２５から下側ケース部材１２側にある圧電アクチュエーター等の電気回路に下側ケース部材１２側への応力が加わるのは好ましくないが、ヘッドチップ３０が配置される空間６３を形成する壁材１２ｃ及び底壁１２ｄの構造があり、空間６３よりも外側に上側ケース部材１１と下側ケース部材１２とが固定される構造があるので、圧電アクチュエーター等の電気回路に下側ケース部材１２側への応力が加わり難い。このことから、連通路２４ａ，１２ｂの一方の連通路に他方の連通路を嵌める構造と比べて組み付けの容易な上下方向（積層方向Ｄ１）のシールが可能となり、上述したシール部材２５自体の組み付けの良さと相まって、ヘッドの格別な組み付け性の良さが実現されている。

上述したように、流路部材２４の連通路２４ａは第一の連通路に相当し、ケース部材連通路１２ｂは第二の連通路に相当し、マニホールド部材２８の連通路２８ｂは第三の連通路に相当する。なお、図８では、簡略化のために、連通路２８ｂの図示を省略している。下側ケース部材１２における印刷媒体の側には、壁材１２ｃによって内側に所定の空間６３を形成する開口部６４が形成される。カバー部６２は、ヘッドチップ３０が所定の空間６３に配置されノズル３３ａが外部に露出する状態で開口部６４を塞ぐ。シール部材２５は、第一の連通路２４ａと第二の連通路１２ｂとを水密状態（液体が漏れないような状態）で連通させ、且つ、ケース部材１２側にある所定の空間６３を封止する。ヘッドチップ３０を保持した状態の図３に示すマニホールド部材２８はこの所定の空間６３内で下側ケース部材１２に固定されるとともに、この開口部６４は蓋部材２９によってヘッドチップ３０のノズル面を外部に露出させた状態で閉塞されることになる。さらに、シール部材２５は、第一の連通路と第二の連通路との間で水密的に連通させつつ、回路基板２６を介して流路部材２４と下側ケース部材１２との間で流路部材２４の積層方向Ｄ１に介在され、下側ケース部材１２内における開口部側の空間を封止することになる。言い換えるとシール部材２５を介在させて積層させるだけで所定の部位で水密構造を容易に形成できている。一体のシール部材で形成することにより、別体の場合よりもシール部材全体として小型化しやすく、また、部品点数が減るため組立性も向上する。

この場合、シール部材２５に小さな貫通口２５ａを形成しているので、シール部材２５の下方側の空間６３と、シール部材２５と流路部の間に生じる空間と、が連通した状態で封止されることになる。また、厳密には環状シール部位２５ｃの上面２５ｄには細い溝とした大気開放路を形成してあり、これが環状シール部位２５ｃの上面２５ｄで内周側の空間と外周側の大気とを連通させている。すなわち、大気開放路は、積層方向Ｄ１での密着面に形成した溝状の部位で形成されている。
非常に細い溝状とすることで多量の気体が急速に内外に通じるものではないが、微少量の気体は内外に通じる。本発明ではこの程度の気体の移動を許容した封止状態を得ている。これは上述したコンプライアンス部材４０が変位する時に生じる微少な圧力変化を外部に伝達して開放するために使われる。

上述したシール部材２５は、ヘッド１内でケース部材１２側の空間６３と流路部６１側の空間とを分け、それぞれの空間を封止しようとする部材である。封止するとはいっても、空間内の圧力変動を抑制するため、僅かに大気と連通させる（いわゆる大気開放をさせる）のが好ましい。上述したように、流路部６１側の空間については、大気開放路が設けられている。ケース部材１２側の空間６３については、インクが吐出される側の空間であるため、シール部材２５の積層方向Ｄ１と直交する横方向Ｄ２やカバー部６２側を大気開放させるとインクやミストの影響を受ける可能性がある。シール部材２５に小さな貫通口２５ａに設けることにより、インクやミストの影響を抑制したうえで、シール部位上面２５ｄの大気開放路を介してケース部材１２側の空間６３を大気開放させることができる。

本実施例では、流路部材２４は上側ケース部材１１によって覆蓋されており、上側ケース部材１１上に液体の保持部材であるインクカートリッジ２２１，２２２（図１６参照。）が載置されて固定される。インクカートリッジから上側ケース部材１１を介して流路部材２４に至る経路も水密的な連通路としなければならず、本実施例では図示しないオーリングなどを利用した水密構造を形成している。また、上側ケース部材１１は下側ケース部材１２に対してケースの下部側から固定（例えばネジ止め固定）され、上側ケース部材１１が下側ケース部材１２に接近して締め付けられる際に前記流路部材２４は上述した積層方向Ｄ１において下方に押圧力を発生する。

このように上側ケース部材１１と下側ケース部材１２の間にシール部材２５を挟んでネジで締め込んでも、上述した壁材１２ｃ、底壁１２ｄ、さらには内側リブ１２ｅに接着固定された平板の基板によって下側ケース部材１２に生じる撓みは効果的に抑制される。一方、シール部材２５を上側ケース部材１１と下側ケース部材１２の間に組み付けるにあたり、接着剤を用いる煩雑な接着作業でなく挟み込むだけで簡単に組み付けることができる。

インクカートリッジ２２１，２２２からヘッドチップ３０に至るインクの連通路は、上述したように流路部材２４の連通路２４ａ（第一の連通路）と、ケース部材連通路１２ｂ（第二の連通路）と、マニホールド部材２８の連通路２８ｂ（第三の連通路）であり、上側ケース部材１１と下側ケース部材１２で形成される内部空間６３の中に収容された各部材の中の流路を経てヘッドチップ３０にインクが供給されるので、容易には乾燥しない。しかし、接着剤で固定している部位では接着剤のガスバリア性によっては乾燥への配慮が必要である。ヘッドチップ３０が従来よりも小型化されている場合は内部に保持するインクの絶対量が少ないため、乾燥によるインクの増粘の影響が顕著になる。前記接着剤には、柔軟性の良さを考慮して変性エポキシ樹脂やシリコン（シリコーン）樹脂等を接着剤として使用することができる。変性エポキシ系接着剤の物性は、硬くて水分透過性の低いエポキシ系接着剤と異なってシリコン系接着剤の物性に近く、柔軟性があるので応力を逃がすことができるメリットがある。柔軟性のある接着剤を部材同士の接合に用いることで、部材の剥離が生じ難くなる。一方、変性エポキシ系接着剤は、水分透過性が比較的高いというデメリットもある。変性エポキシ樹脂は柔軟性はよいがガスバリア性は良好ではなく、インク中に含まれる水分が外へ透過することによりインクの増粘の原因となる。しかしながら、上述したようにヘッドチップ３０などはシール部材２５によって封止された空間６３内に保持されており、透過した水分が封止された空間６３内に満たされたところでそれ以上の透過が起こり難くなるため、増粘に強い構造となっている。なお、上側ケース部材１１と下側ケース部材１２とで囲まれるケース部材内部においては上述した第一の連通路と第二の連通路などからなる流路が特定され、インクカートリッジ２２１，２２２に相当する上流側から第三の連通路に相当する下流側に向けての液体の流路が形成されたことになる。

なお、上述した例では一つの空間６３に二つのヘッドチップ３０が配置されていたが、一つの空間６３には、一つのヘッドチップが配置されてもよいし、３以上のヘッドチップが配置されてもよい。また、ケース部材１２は、一つの空間６３のみならず、複数の空間６３を備えていてもよい。
また、上述した実施形態のヘッドチップ３０は上述した各部３１，３２，３３，４０を含む概念であったが、本発明のヘッドチップは、例えば、マニホールド部材２８といった部材をさらに含む概念でも良い。すなわち、本発明のヘッドチップは、所定の空間に配置され、部材同士の接合部分から液体の蒸発が生じうる流路ユニットであれば良い。本発明のヘッドチップの構成は、電気エネルギーを機械エネルギーに変換する電気機械変換機構と、流路部材と、の組合せと換言することもできる。
さらに、上述した実施形態ではヘッドチップ３０とカバー部６２とが別部材であるが、ヘッドチップとカバー部とは一体部材（一体的な部材）でも良い。この一体部材は、所定の空間に配置され液体の蒸発が生じうる流路部と、所定の空間を封止する封止部と、を備えていれば良く、上記ヘッドチップ３０の機能を有する部位と上記カバー部６２の機能を有する部位とを含む。

ところで、図１６を参照して、上述したような液体噴射ヘッドを装着した液体噴射装置の例を説明する。図１６は、上述したヘッド１を有するインクジェット式の記録装置（液体噴射装置）２００の外観を示している。ヘッド１を記録ヘッドユニット２１１，２１２に組み込むと、記録装置２００を製造することができる。図１６に示す記録装置２００は、記録ヘッドユニット２１１，２１２のそれぞれに、ヘッド１が設けられ、外部インク供給手段であるインクカートリッジ（液体保持部）２２１，２２２が着脱可能に設けられている。記録ヘッドユニット２１１，２１２を搭載したキャリッジ２０３は、装置本体２０４に取り付けられたキャリッジ軸２０５に沿って往復移動可能に設けられている。駆動モーター２０６の駆動力が図示しない複数の歯車及びタイミングベルト２０７を介してキャリッジ２０３に伝達されると、キャリッジ２０３がキャリッジ軸２０５に沿って移動する。図示しない給紙ローラー等により給紙される記録シート２９０は、プラテン２０８上に搬送され、インクカートリッジ２２１，２２２から供給されヘッド１から吐出するインク（液体）により印刷がなされる。

印刷を行う場合、ある頻度でノズル面を清掃することが好ましい。弾性素材からなるワイパーで表面の汚れを拭い取る清掃を行う。
図１０は、ワイプ過程を模式的に示す断面図である。
上述したように、ノズルプレート３３は蓋部材２９の開口２９ａ内で蓋部材２９の表面よりも奥まった位置に保持されている。

ワイパー５０は液体噴射ヘッドが主走査される範囲内であって印刷領域を外れた位置に固定されており、液体噴射ヘッドがワイパー５０に対して相対的に移動することでワイパー５０の先端が蓋部材２９とノズルプレート３３の表面を払拭し、ワイパー５０の払拭部位が両者の表面に残っているインクを拭き取る。この動作をワイピングと呼ぶ。図１０に示すように、ワイパー５０の先端寄り部分は、表面がほぼ平坦な蓋部材２９の表面から、開口２９ａ内のノズルプレート３３の表面に移る時点で一回目の段差として上方に滑り込むように移動し、ノズルプレート３３の表面を終えて再度蓋部材２９の表面に移る時点で二回目の段差として下方に滑り上がるように移動する。この段差部分が滑らかに連続していないと、ワイパー５０の先端で集めたインクなどが不連続部位に捕捉されてしまい、液体噴射ヘッドが綺麗になったとは言えない。

本実施例では、ノズルプレート３３と蓋部材２９との間に生じる段差に充填材を充填することで表面同士を滑らかに接続させている。
図１１は、ノズルプレートと蓋部材を模式的に示す断面図であり、図１２は、充填材の量が異なる状態を模式的に示す断面図である。
充填材が充填される空間は、ノズルプレート３３の側面とヘッドチップ３０の下面とコンプライアンス部材４０の側面と蓋部材２９の下面のごく一部および側面とによって囲まれる部分である。充填材の量が多いとあふれ出てしまって充填剤がインクを捕捉する原因にもなる。一方、充填材の量が少なくても必要な部位に浸透せず、凹部を形成してしまって凹部がインクを捕捉する結果になりかねない。また、この充填材の量が少ないとノズルプレート３３の側面が露出した状態となり、上述したようにノズルプレート３３はシリコンで形成されていて静電気に対して弱いため、ノズルプレート３３が静電破壊されるおそれがある。このため、充填材は所定量よりも少なめに充填しつつ、図１１に示すように、ノズルプレート３３と蓋部材２９の下面の表面は撥水面となり、ノズルプレート３３と蓋部材２９の側面の表面は下面の表面に対して相対的に親水面となるように表面と側面の両方、あるいは少なくとも一方にコーティング処理を施しておく。すると、少なめの充填材を前記空間に充填し始めた時、まだ量が十分でないときからノズルプレート３３と蓋部材２９の側面の親水面に対して充填材は染み広がり、側面上を側面全体を覆うように這い上がることになる。いわゆる表面張力の原理で染み広がる。充填材が少ない時からこの染み広がりは開始する。

図１２では、実線で設計上の充填材の最適量を示しているが、充填材の量が少ない一点鎖線で示す場合であっても、充填材はノズルプレート３３と蓋部材２９の側面の親水面に対して染み上がるので、少なくともノズルプレート３３と蓋部材２９の側面に沿って充填材が充填されていないことで生じる隙間などは生じない。また、規定量はノズルプレート３３と蓋部材２９の表面の縁部同士を結んだ直線よりもわずかに凹んだ程度である。この状態は充填材の露出部分がわずかに凹面を形成する状態である。希に、必要量を超えて充填されたとしてもノズルプレート３３と蓋部材２９の表面は撥水処理してあるので、充填材はこれらの表面に沿って染み広がることはない。
なお、この充填材としては、例えばエポキシや接着剤などが適用できるがこれらに限定されない。

すなわち、液体噴射ヘッドの下面がノズルプレート３３と蓋部材２９とで形成されている時に、ノズルプレート３３の表面と蓋部材２９の表面は撥水面とし、ノズルプレート３３と蓋部材２９の側面は表面に対して相対的に親水面とし、ノズルプレート３３と蓋部材２９との間の隙間に充填材を充填せしめた構成となっている。少なくともノズルプレート３３の側面が充填材によって覆われていればノズルプレート３３を静電気から保護することができる。さらに蓋部材２９の側面が充填材によって覆われていればワイパー５０による拭き取り性が向上する。

図１３は、蓋部材を下方から見た状態を模式的に示す底面図であり、図１４は、蓋部材とワイパーの当接状態を模式的に示す側面図である。
ノズルプレート３３は帯板状に長い形状となっており、上述した隙間は長辺と短辺のそれぞれ二辺に沿って生じる。ノズル３３ａは長辺方向に沿って形成されており、液体噴射ヘッドは長辺と直交方向である。ワイパー５０は相対的に長辺と直交する方向に移動するので、インクは長辺の隙間に入り込みやすい。この意味で液体噴射ヘッドの移動方向との交差方向において上述した充填剤にて表面の段差を滑らかにしておくと効果的である。

ワイパー５０が蓋部材２９やノズルプレート３３の表面を効果的にワイピングするためには、ワイパー５０自身が弾力性を有し、ワイパー５０と両者の距離はワイパー５０が突き当たって撓む程度の位置関係でなければならない。ワイパー５０が撓む程度の長さである時には、液体噴射ヘッドが駆動動作されて蓋部材２９の端部がワイパー５０に当接し始めるタイミングがある。

本実施例では、蓋部材２９の端部部分はワイピング方向に向けて所定長さにわたって折り曲げられており、下面の平面に対する角度θは、４５°〜８０°の角度としてある。図１４に示すように、液体噴射ヘッドが駆動されて相対的にワイパー５０が蓋部材２９の端部に当接し始める時、ワイパー５０の先端は最初に蓋部材２９の折り曲げられた折曲端部２９ｂに当接する。その後、ワイパー５０の先端は徐々に撓められていき、蓋部材２９の下面と上述したノズルプレート３３の表面をワイピングしてインクなどの汚れを拭き取る。拭き取られたインクはワイパー５０の表面に徐々に溜まっていくし、ワイパー５０上に溜まったインクはワイパー５０が最初に突き当たる折曲端部２９ｂの周辺に付着しやすい。そのため、ワイパー５０にも折曲端部２９ｂの周辺にも撥水処理を施しておき、ワイパー５０にインクが徐々に付着していったり、付着したインクが折曲端部２９ｂに移ってそこに蓄積されていく前に、自然にはがれ落ちやすくしておく。なお、撥水処理は蓋部材２９の表面全体でも良いが、ワイパー５０が折曲端部２９ｂに最初に突き当たる部分を含むその周辺が撥水処理されていれば上述した効果が得られる。また、撥水処理と伴ってインクがはがれ落ちやすいのは折曲端部２９ｂが４５°〜８０°の角度である。また、図１４は模式的にではあるが、折曲端部２９ｂを液体噴射ヘッドの駆動方向を基準とした両側に設けている。このようにすれば液体噴射ヘッドはワイパー５０の保持位置を通過して再度逆進してきた時にワイパー５０の反対側の面で蓋部材２９とノズルプレート３３のワイピングを効率的に行うことができるようになる。

なお、本発明は、種々の変形例が考えられる。
例えば、流体噴射ヘッドから吐出される液体は、染料等が溶媒に溶解した溶液、顔料や金属粒子といった固形粒子が分散媒に分散したゾル、等の流体が含まれる。このような流体には、インク、液晶、等が含まれる。液体噴射ヘッドは、プリンターといった画像記録装置の他、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造装置、有機ＥＬディスプレー等の電極の製造装置、バイオチップ製造装置、等に搭載可能である。

また、本発明は前記実施例に限られるものでないことは言うまでもない。当業者であれば言うまでもないことであるが、
・前記実施例の中で開示した相互に置換可能な部材および構成等を適宜その組み合わせを変更して適用すること
・前記実施例の中で開示されていないが、公知技術であって前記実施例の中で開示した部材および構成等と相互に置換可能な部材および構成等を適宜置換し、またその組み合わせを変更して適用すること
・前記実施例の中で開示されていないが、公知技術等に基づいて当業者が前記実施例の中で開示した部材および構成等の代用として想定し得る部材および構成等と適宜置換し、またその組み合わせを変更して適用すること
は、実施可能であり、本発明に含まれる実施例として開示されるものである。

１０…上下ケース部材、１１…上側ケース部材、１２…ケース部材、１２ａ…貫通孔、１２ｂ…ケース部材連通路（第二の連通路）、１２ｃ…壁材、１２ｃ１…突起、１２ｄ…底壁、１２ｅ…内側リブ（受け部）、２１…第１の流路部材、２２…フィルター、２３…第２の流路部材、２４…流路部材、２４ａ…連通路、２５…シール部材、２５ａ…貫通口、２５ｂ…凸状部位、２５ｂ１…貫通口、２５ｃ…シール部位、２５ｅ…シール面、２６…回路基板、２６ａ…貫通口、２６ｂ…貫通口、２６ｃ，２６ｄ…接触部位、２７…フレキシブル基板、２７ａ…駆動回路、２８…マニホールド部材、２８ａ…貫通口、２８ｂ…連通路、２９…蓋部材、２９ａ…開口、２９ｂ…折曲端部、３０…ヘッドチップ、３０ａ…圧力室、３１…圧電アクチュエーターパーツ、３１ａ…圧力室形成基板、３２…流路形成板、３２ａ…流路、３２ａ１…入口、３２ａ２…出口、３２ａ３…中央流路、３２ｂ…ノズル穴、３３…ノズルプレート、３３ａ…ノズル、４０…コンプライアンス部材、４１…弾性膜、４１ａ…くり抜き部、４２…枠材、４２ａ…くり抜き部、４２ｂ…窓部、５０…ワイパー、６１…流路部、６２…カバー部、６３…所定の空間、６４…開口部、２００…記録装置（液体噴射装置）、２２１，２２２…インクカートリッジ（液体保持部）、Ｄ１…積層方向、Ｄ２…横方向。

Claims (9)

1. 液体保持部からの液体を通す第一の連通路を有する流路部と、
   前記第一の連通路に連通する第二の連通路を有するケース部材と、
   前記ケース部材と前記流路部の間に挟まれるシール部材と、
   前記第二の連通路に連通するノズルから前記液体を吐出するヘッドチップを固定したカバー部と、を備え、
   前記ケース部材における記録媒体の側には、内側に所定の空間が形成される開口部が形成され、
   前記カバー部は、前記ヘッドチップが前記所定の空間に配置され前記ノズルが外部に露出する状態で前記開口部を塞ぎ、
   前記ケース部材は、前記所定の空間に面する側から前記流路部が配置された側まで貫通した貫通孔を有し、
   前記シール部材は、前記第一の連通路と前記第二の連通路とを水密状態で連通させ、且つ、前記ケース部材側にある空間であって前記所定の空間及び前記貫通孔を含む空間を封止することを特徴とする液体噴射ヘッド。
2. 前記シール部材は、前記ケース部材側にある前記所定の空間及び前記貫通孔を含む空間を封止するとともに、前記流路部との間の空間を封止することを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
3. 前記シール部材のシール部位は、溝状の大気開放路を有することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の液体噴射ヘッド。
4. 前記シール部材は、エラストマーで形成されていることを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。
5. 前記ヘッドチップに接続されたフレキシブル基板と、
   前記フレキシブル基板に接続された回路基板と、を備え、
   前記シール部材は、前記回路基板と前記流路部とに挟まれるシール部位を有し、
   前記回路基板は、前記シール部位による封止位置よりも外側へ延び、前記フレキシブル基板に接続された回路がパターンとして前記封止位置よりも外側へ出ていることを特徴とする請求項１〜請求項４のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。
6. 前記ヘッドチップと電気的に接続される回路基板を備え、
   前記シール部材は、前記回路基板と前記流路部とに挟まれるシール部位を有し、
   前記シール部材における前記回路基板側の前記シール部位は、平面状であり、
   前記回路基板における前記シール部位との接触部位には、前記回路基板表面の凹凸を平滑化するシルク印刷が施されていることを特徴とする請求項１〜請求項５のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。
7. 前記ケース部材は、前記シール部材のシール部位とで前記回路基板を挟む受け部を有することを特徴とする請求項５又は請求項６に記載の液体噴射ヘッド。
8. 前記シール部材は、
   前記流路部と積層される板状に形成され、
   前記ケース部材側のシール部位で前記ケース部材側にある前記所定の空間及び前記貫通孔を含む空間を気密的に封止し、
   前記流路部との間の空間を封止し、
   前記流路部側のシール部位に溝状の大気開放路を有し、
   前記ケース部材側にある前記所定の空間と、前記流路部との間の空間と、を連通させていることを特徴とする請求項１〜請求項７のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。
9. 請求項１〜請求項８のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドを備えた、液体噴射装置。

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