JP6371911B2 - ウエハエッジ保護装置 - Google Patents
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Description
前記三重偏心カム盤16は、ベアリング18を介して前記固定盤7の上に固定され、前記三重偏心カム盤16は前記ベアリング18の柱面をスライド軸として周方向に動作する。前記三重偏心カム盤16の上には、複数の偏心溝が均等に設置される。前記水平エアシリンダ13の一端が前記固定盤7と接続され、他端が前記三重偏心カム盤16と接続される。前記カム従動子17は前記三重偏心カム盤16の偏心溝内に設置される。前記保護クランプ5は、前記固定盤7の中に嵌め込まれ、リニアガイド(図示しない)によって前記固定盤7と固定接続される。これにより、保護クランプ5はリニアガイドに沿い、前記固定盤7に対して径方向の往復動作をし、前記保護クランプ5の一端が前記カム従動子17と固定接続され、他端が前記保護リング4と接触接続され、カム従動子17によって、前記保護クランプ5を固定盤7の中に径方向の往復動作をさせることによって、前記保護リング4を受け取る或いは外すことを実現する。さらに、前記保護爪5は前記保護リング4を過負荷から保護することができる。
Claims (17)
- ウエハエッジ保護装置であって、
水平動作機構と、
垂直動作機構と、
速度制御装置であって、前記垂直動作機構と信号接続され、前記垂直動作機構の動作速度を調整するために用いられる速度制御装置と、
可撓バンパー機構であって、前記水平動作機構と、前記垂直動作機構と接続され、衝突時に前記ウエハエッジ保護装置の振幅を減少させるために用いられる可撓バンパー機構と、
制御装置であって、前記速度制御装置と信号接続され、制御信号を前記速度制御装置に出力し、前記垂直動作機構の動作を制御するために用いられる制御装置と、
を有する、
ことを特徴とするウエハエッジ保護装置。 - 衝突信号検出と保護機構をさらに有し、前記水平動作機構の前記垂直動作機構に対する振動信号を検出するために用いられ、また、前記振動信号によって警報信号と保護信号を出力し、
前記衝突信号検出と保護機構は、前記制御装置と信号接続され、
前記制御装置は警報信号と保護信号を受信し、前記警報信号と保護信号によって制御信号を前記速度制御装置に出力し、前記垂直動作機構の動作を制御する、
ことを特徴とする請求項1に記載のウエハエッジ保護装置。 - 前記水平動作機構は、
固定盤と、
三重偏心カム盤であって、一つのベアリングを介して前記固定盤の上側に固定され、少なくとも一つの偏心溝をその上に均等に設置する三重偏心カム盤と、
水平エアシリンダであって、第1端部が前記固定盤と接続され、第2端部が前記三重偏心カムと接続される水平エアシリンダと、
前記三重偏心カム盤の少なくとも一つの偏心溝内に設置される少なくとも一つのカム従動子と、
保護クランプであって、前記固定盤の中に嵌め込まれ、前記少なくとも一つの保護クランプ中の各個の第1端部が少なくとも一つの前記カム従動子中の対応する一個のカム従動子と固定接続され、第2端部が保護リングを受け取る或いは外すために用いられる保護クランプと、
を有する、
ことを特徴とする請求項1に記載のウエハエッジ保護装置。 - 前記水平エアシリンダの第1端部が第1軸ピンによって前記固定盤と接続され、前記水平エアシリンダの第2端部が第2軸ピンによって前記三重偏心カムと接続される、
ことを特徴とする請求項3に記載のウエハエッジ保護装置。 - 前記垂直動作機構の上端に垂直方向の固定部材が固定接続され、前記垂直動作機構の下端にパッチパネル機構によって前記可撓バンパー機構に接続される、
ことを特徴とする請求項1に記載のウエハエッジ保護装置。 - 前記垂直動作機構は垂直エアシリンダである、
ことを特徴とする請求項5に記載のウエハエッジ保護装置。 - 前記速度制御装置はガス供給源に設置されるサーボバルブである、
ことを特徴とする請求項1に記載のウエハエッジ保護装置。 - 前記可撓バンパー機構は柔軟シートと、前記柔軟シートの位置を制限するストッパ機構とを備え、
前記柔軟シートが前記垂直動作機構に接続され、前記柔軟シートが前記水平動作機構と固定接続される、
ことを特徴とする請求項1に記載のウエハエッジ保護装置。 - 前記柔軟シートはパッチパネル機構によって前記垂直動作機構に接続される、
ことを特徴とする請求項8に記載のウエハエッジ保護装置。 - 前記ストッパ機構は少なくとも二つのストッパーロッドを有し、
前記少なくとも二つのストッパーロッドの底部がいずれも前記水平動作機構と固定接続され、前記少なくとも二つのストッパーロッドが下から上に前記柔軟シートと前記パッチパネル機構を順次貫通し、
前記少なくとも二つのストッパーロッドの上端にチェックナットが設置される、
ことを特徴とする請求項8に記載のウエハエッジ保護装置。 - 前記少なくとも二つのストッパーロッドは前記柔軟シートの周囲に均等に設置される、
ことを特徴とする請求項10に記載のウエハエッジ保護装置。 - 前記少なくとも二つのストッパーロッドの上端にはいずれもストッパリングが被せられる、
ことを特徴とする請求項10に記載のウエハエッジ保護装置。 - 前記柔軟シートは円形であって、少なくとも一つの表面に一周を囲む複数のリブが設置され、
前記複数のリブによって囲まれる輪の内側の柔軟シートは、前記パッチパネル機構に固定接続され、一方、前記複数のリブによって囲まれる輪の外側の柔軟シートは、前記水平動作機構と固定接続される、
ことを特徴とする請求項8乃至請求項12のいずれか一項に記載のウエハエッジ保護装置。 - 前記複数のリブによって囲まれた輪の外側に複数の外側孔が設置され、前記複数のリブによって囲まれた輪の内側に複数の内側孔が設置され、
前記柔軟シートの複数の外側孔は複数の第1のねじによって、前記パッチパネル機構と固定接続され、
前記柔軟シートの複数の内側孔は複数の第2のねじによって、前記水平動作機構と固定接続される、
ことを特徴とする請求項13に記載のウエハエッジ保護装置。 - 前記複数のリブはいずれも扇形を呈する、
ことを特徴とする請求項13に記載のウエハエッジ保護装置。 - 前記衝突信号検出と保護機構は少なくとも一つの衝突検出センサーを有し、
前記衝突検出センサーが前記水平動作機構及び前記垂直動作機構と信号接続される、
ことを特徴とする請求項2に記載のウエハエッジ保護装置。 - 前記少なくとも一つの前記衝突検出センサーは少なくとも一つのセンサーホルダによって、前記ウエハエッジ保護装置の上に固定される、
ことを特徴とする請求項16に記載のウエハエッジ保護装置。
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