JP7329047B2 - 衝撃荷重を分配するための複数パッド型レチクルバンパー - Google Patents

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Description

関連出願の相互参照
本出願は、２０１８年１１月１６日に出願された米国仮出願６２／７６８，１６１号の優先権を主張し、その全体が本明細書に援用される。
本開示は、リソグラフィ装置およびシステムにおけるレチクルのための安全機構たとえばバンパー装置に関する。
リソグラフィ装置は、所望のパターンを基板に与えるように構築される機械である。リソグラフィ装置は例えば、集積回路（ＩＣ）の製造に用いられる。リソグラフィ装置は、例えば、基板に設けられた放射感応性材料（レジスト）層へとパターニングデバイス（例えばマスク、レチクル）のパターンを投影してもよい。
パターンを基板に投影するために、リソグラフィ装置は電磁放射を使用してもよい。この放射の波長が基板に形成することのできるフィーチャの最小サイズを定める。４～２０ｎｍの範囲内（例えば６．７ｎｍまたは１３．５ｎｍ）の波長をもつ極紫外（ＥＵＶ）放射を使用するリソグラフィ装置が、例えば１９３ｎｍの波長をもつ放射を使用するリソグラフィ装置よりも小さいフィーチャを基板に形成するために使用されてもよい。
レチクルクランプ機能の喪失、例えば、電源の喪失または真空の喪失の間、レチクルは、レチクルステージの他の構成要素に衝突し、レチクルおよび／または他の近傍の構成要素に損傷を与えるかもしれない。レチクルは、レチクルステージの衝突前の動きおよび運動量に依存するが、大きな力（すなわち高加速度）で衝突する可能性がある。レチクル周囲の構成要素が強すぎる場合、衝突によってレチクルに損傷（例えば、亀裂、傷、粒子汚染など）が生じうる。レチクル周囲の構成要素が弱すぎる場合、衝突によってレチクルの衝撃力に起因してそれら構成要素が損傷または破壊されうる。信頼性が高く、均一かつ効率的な方法で、衝突時のレチクルおよび／または他の近傍の構成要素への損傷を軽減する必要がある。
いくつかの実施形態では、レチクルのためのバンパー装置は、第１アームと第２アームを含む。いくつかの実施形態では、第１アームは、第１方向に沿ってレチクルに接触するように構成されている。いくつかの実施形態では、第２アームは、第２方向に沿ってレチクルに接触するように構成されている。いくつかの実施形態では、第１アームは、第１アームの遠位端に向かって配置された第１バンパーを含む。いくつかの実施形態では、第１アームは、第１バンパーに隣接し、第１アームの近位端に向かって配置された第２バンパーを含む。いくつかの実施形態では、第１バンパーは、第１剛性リンケージを含む。いくつかの実施形態では、第２バンパーは、第２剛性リンケージを含む。いくつかの実施形態では、第１バンパーおよび第２バンパーは、レチクルの衝撃力を均一に分配するように構成されている。
いくつかの実施形態では、第２アームは、第２アームの遠位端に向かって配置された第１バンパーを含む。いくつかの実施形態では、第２アームは、第１バンパーに隣接し、第２アームの近位端に向かって配置された第２バンパーを含む。いくつかの実施形態では、第２アームの第１バンパーは、第１剛性リンケージを含む。いくつかの実施形態では、第２アームの第２バンパーは、第２剛性リンケージを含む。
いくつかの実施形態では、第１剛性リンケージの剛性は、第２剛性リンケージの剛性に等しい。いくつかの実施形態では、第１剛性リンケージの剛性は、第２剛性リンケージの剛性よりも小さい。いくつかの実施形態では、第１方向は、第２方向と直交している。いくつかの実施形態では、第１アームおよび第２アームは、焼戻しマルテンサイト系ステンレス鋼合金を含む。
いくつかの実施形態では、リソグラフィ装置は、レチクルステージと、レチクルステージ上に配置されたレチクルと、レチクルに隣接して配置されたレチクルケージとを含む。いくつかの実施形態では、レチクルケージは、レチクルの衝撃力を均一に分配するように構成されている。いくつかの実施形態では、レチクルケージは、レチクルに接触するように構成されたアームを含む。いくつかの実施形態では、アームは、アームの遠位端に向かって配置された第１バンパーと、第１バンパーに隣接し、アームの近位端に向かって配置された第２バンパーとを含む。いくつかの実施形態では、第１バンパーは、第１剛性リンケージを含み、第２バンパーは、第２剛性リンケージを含む。
いくつかの実施形態では、アームは、第２バンパーに隣接し、アームの近位端に向かって配置された第３バンパーを含む。いくつかの実施形態では、第３バンパーは、第３剛性リンケージを含む。いくつかの実施形態では、第１剛性リンケージの剛性は、第２剛性リンケージの剛性よりも小さく、第２剛性リンケージの剛性は、第３剛性リンケージの剛性よりも小さい。いくつかの実施形態では、第１剛性リンケージの剛性、第２剛性リンケージの剛性、および第３剛性リンケージの剛性が等しい。
いくつかの実施形態では、アームは、複数の追加バンパーを含む。いくつかの実施形態では、複数の追加バンパーは、複数の剛性リンケージを含む。いくつかの実施形態では、複数の剛性リンケージの剛性は、アームの遠位端から近位端に向かって増加する。いくつかの実施形態では、レチクルケージは、レチクルの外周に沿って配置されるとともに、レチクルの衝撃力を複数の衝撃位置に均一に分配するように構成されている。いくつかの実施形態では、アームの第１剛性リンケージおよび第２剛性リンケージは、レチクルの衝撃力が第１バンパーと第２バンパーの間で均等に分配されるように、制御された剛性分布を有する。
いくつかの実施形態では、レチクルの衝撃力を低減する方法は、バンパー装置をレチクルに隣接して配置することを含む。いくつかの実施形態では、バンパー装置は、アームによってレチクルに接触する。いくつかの実施形態では、アームは、アームの遠位端に向かって配置された第１バンパーと、第１バンパーに隣接し、アームの近位端に向かって配置された第２バンパーとを含む。いくつかの実施形態では、第１バンパーが第１剛性リンケージを含み、第２バンパーが第２剛性リンケージを含む。いくつかの実施形態では、レチクルの衝撃力を低減する方法は、さらに、レチクルの衝撃力を第１バンパーと第２バンパーの間で均一に分配することを含む。
いくつかの実施形態では、レチクルの衝撃力を低減する方法は、レチクルの衝撃力を第１剛性リンケージおよび第２剛性リンケージに沿って再分配するように第１バンパーおよび第２バンパーを屈曲させることをさらに含む。いくつかの実施形態では、レチクルの衝撃力を低減する方法は、レチクルの衝撃力が低減されるように、レチクルとバンパー装置との間を最小のギャップ距離とするようにバンパー装置を位置決めすることをさらに含む。
本発明の更なる特徴および利点は、本発明の種々の実施形態の構造および動作とともに、付属の図面を参照しつつ以下に詳しく説明される。本発明は本明細書に述べる特定の実施形態には限定されないものと留意されたい。こうした実施形態は例示の目的のために提示されるにすぎない。付加的な実施形態は、本明細書に含まれる教示に基づいて関連技術分野の当業者には明らかであろう。
付属の図面は本明細書に組み込まれてその一部をなし、本発明を図示するものであり、発明の詳細な説明とともに本発明の原理を説明し本発明を関連技術分野の当業者が製造し使用可能とするために供されるものである。本発明のいくつかの実施形態が添付の図面を参照して以下に説明されるがこれらは例示に過ぎない。
例示的な実施形態に係り、リソグラフィ装置の概略図である。
例示的な実施形態に係り、レチクルステージの概略斜視図である。
図２のレチクルステージの上面図である。
図２のレチクルステージの一部概略斜視図である。
例示的な実施形態に係り、バンパー装置の概略斜視図である。
図５のバンパー装置の上面図である。
例示的な実施形態に係り、バンパー装置の概略上面図である。
例示的な実施形態に係り、バンパー装置の概略上面図である。
例示的な実施形態に係り、バンパー装置の概略上面図である。
例示的な実施形態に係り、バンパー装置の概略上面図である。
本発明の特徴および利点は、同様の参照文字が対応する要素を特定する本図面に関連付けて後述される発明の詳細な説明によって、より明らかとなろう。図面において同様の参照番号は大概、同一の要素、機能的に類似の要素、および／または、構造的に類似の要素を指し示す。また、一般に、参照番号の左端の桁は、その参照番号が最初に現れる図面を表す。そうではないと指示されない限り、本開示を通じて提供される図面は原寸通りの図面であると解すべきではない。
この明細書は、この発明の特徴を組み込んだ１つ又は複数の実施形態を開示する。開示された実施形態は単に本発明を例示するにすぎない。本発明の範囲は開示された実施形態には限定されない。本発明は添付の特許請求の範囲により定義される。
説明される実施形態、および本明細書での「一つの実施形態」、「ある実施形態」、「例示的な実施形態」等への言及は、説明される実施形態が特定の特徴、構造または特性を備えてもよいが、必ずしもあらゆる実施形態がその特定の特徴、構造または特性を備える必要はないことを示している。また、このような表現は同一の実施形態を必ずしも指し示すものではない。さらに、ある実施形態に関連してある特定の特徴、構造または特性が説明される場合、明示的に述べたか否かに関わらず、そのような特徴、構造または特性を他の実施形態に結び付けて実現することは当業者の知識内であると理解されたい。
本書では説明を容易にするために、「下方」、「下部」、「上方」、「上部」などの空間的に相対的な用語を使用して、図面に示されるある要素または特徴と別の要素または特徴との関係を説明することがある。このような空間的に相対的な用語は、図示される向きに加えて、使用時や動作時における装置の異なる向きを包含することを意図している。本装置は、他の向き（９０度回転した状態や他の向き）とされてもよく、本書で使用される空間的に相対的な説明もそれに応じて同様に解釈されうる。
本書で使用される「約」という用語は、特定の技術に基づいて変化しうる所与の量の値を示すものである。特定の技術に基づいて、「約」という用語は、例えば、値の１０～３０％（例えば、値の±１０％、±２０％、または±３０％）の範囲内で変化する所与の量の値を示すことができる。
本開示の実施形態は、ハードウェア、ファームウェア、ソフトウェア、またはそれらの任意の組み合わせで実装されてもよい。また、本開示の実施形態は、１つ又は複数のプロセッサにより読み込まれ、実行されうる機械可読媒体に保存された命令として実装されてもよい。機械可読媒体は、機械（例えば、コンピュータデバイス）により読み取り可能な形式の情報を保存または伝送する任意のメカニズムを含んでもよい。例えば、機械可読媒体は、読み出し専用メモリ（ＲＯＭ）、ランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）、磁気ディスク記憶媒体、光記憶媒体、フラッシュメモリ装置、電気的、光学的、音響的またはその他の形式の伝搬信号（例えば、搬送波、赤外線信号、デジタル信号）などである。さらに、ファームウェア、ソフトウェア、ルーチン、および／または命令は、特定の動作を実行するものとして本書に説明されうる。しかしながら、このような説明は単に便宜上のためだけであり、このような動作は実際には、コンピュータデバイス、プロセッサ、コントローラ、またはその他のデバイスがファームウェア、ソフトウェア、ルーチン、命令などを実行して、アクチュエータまたは他の装置に現実世界と相互作用を生じさせるものであると理解すべきである。
しかしながら、こうした実施形態をより詳細に説明する前に、本開示の実施形態を実装しうる例示的な環境を提示することは有益である。
例示的なリソグラフィシステム
図１は、放射源ＳＯとリソグラフィ装置ＬＡとを備えるリソグラフィシステムを示す。放射源ＳＯは、ＥＵＶ放射ビームＢを生成し、リソグラフィ装置ＬＡにＥＵＶ放射ビームＢを供給するように構成されている。リソグラフィ装置ＬＡは、照明システムＩＬと、パターニングデバイスＭＡ（例えば、マスク）を支持するように構成された支持構造ＭＴと、投影システムＰＳと、基板Ｗを支持するように構成された基板テーブルＷＴとを備える。
照明システムＩＬは、ＥＵＶ放射ビームＢがパターニングデバイスＭＡに入射する前に、ＥＵＶ放射ビームＢを調整するように構成されている。そのために、照明システムＩＬは、ファセットフィールドミラーデバイス１０およびファセット瞳ミラーデバイス１１を含んでもよい。ファセットフィールドミラーデバイス１０およびファセット瞳ミラーデバイス１１は共に、所望の断面形状および所望の強度分布を有するＥＵＶ放射ビームＢを提供する。照明システムＩＬは、ファセットフィールドミラーデバイス１０およびファセット瞳ミラーデバイス１１に加えて、またはその代わりに、他のミラーまたはデバイスを含んでもよい。
このように調整された後、ＥＵＶ放射ビームＢは、パターニングデバイスＭＡと相互作用する。この相互作用の結果、パターニングされたＥＵＶ放射ビームＢ’が生成される。投影システムＰＳは，パターニングされたＥＵＶ放射ビームＢ’を基板Ｗに投影するように構成されている。そのために、投影システムＰＳは、パターニングされたＥＵＶ放射ビームＢ’を、基板テーブルＷＴによって保持された基板Ｗに投影するように構成された複数のミラー１３、１４を備えてもよい。投影システムＰＳは、パターニングされたＥＵＶ放射ビームＢ’に縮小率を適用して、パターニングデバイスＭＡ上の対応するフィーチャよりも小さいフィーチャを有する像を形成してもよい。例えば、４倍または８倍の縮小率が適用されてもよい。図１では投影システムＰＳは２つのミラー１３、１４のみを有するものとして図示されているが、投影システムＰＳは異なる数のミラー（例えば６つまたは８つのミラー）を含んでもよい。
基板Ｗは、以前に形成されたパターンを含んでもよい。このような場合、リソグラフィ装置ＬＡは、パターニングされたＥＵＶ放射ビームＢ’によって形成される像を、基板Ｗ上に以前に形成されたパターンと位置合わせする。
相対的な真空、すなわち、大気圧よりも十分に低い圧力の少量のガス（例えば水素）が、放射源ＳＯ、照明システムＩＬ、および／または投影システムＰＳに与えられてもよい。
放射源ＳＯは、レーザー生成プラズマ（ＬＰＰ）源、放電生成プラズマ（ＤＰＰ）源、自由電子レーザー（ＦＥＬ）、またはＥＵＶ放射を生成することが可能な他の放射源であってもよい。
例示的なレチクルステージおよびレチクルケージシステム
図２から図４は、本開示のいくつかの実施形態に係り、例示的なレチクルステージ２００の概略図である。レチクルステージ２００は、トップステージ表面２０２、ボトムステージ表面２０４、サイドステージ表面２０６、レチクル２０８、およびレチクルケージ３００を含むことができる。いくつかの実施形態では、レチクルケージ３００の一部は、レチクル２０８およびレチクルケージ３００への損傷を低減または完全に除去できるように、衝突によって発生する可能性のある力または衝撃を吸収するためにレチクル２０８の周囲で使用することができるショックアブソーバを有するバンパー装置４００を含むことができる。いくつかの実施形態では、レチクル２０８を有するレチクルステージ２００は、リソグラフィ装置ＬＡに実装することができる。例えば、リソグラフィ装置ＬＡにおいて、レチクルステージ２００は、支持構造ＭＴであってもよく、レチクル２０８は、パターニングデバイスＭＡであってもよい。いくつかの実施形態では、レチクル２０８およびレチクルケージ３００は、トップステージ表面２０２上に配置されうる。例えば、図２に示すように、レチクル２０８は、レチクルケージ３００がレチクル２０８の各角部に隣接して配置されるようにして、トップステージ表面２０２の中央に配置されうる。
いくつかのリソグラフィ装置、例えばリソグラフィ装置ＬＡでは、レチクルステージまたはチャック２００を使用して、走査またはパターニング動作のためにレチクル２０８を保持および位置決めすることができる。レチクルステージ２００は、それを支持するために、強力な駆動装置、大きなバランスマス、および重いフレームを必要とする。レチクルステージ２００は大きな慣性を持っており、約０．５ｋｇのレチクル２０８を推進させ位置決めするために、５００ｋｇ以上の重さになることがある。リソグラフィ走査またはパターニング動作で典型的に見られるレチクル２０８の往復運動を達成するために、加速力および減速力がレチクルステージ２００を駆動するリニアモータによって提供されうる。
例えば大規模な電源喪失または深刻なシステム故障によるレチクルステージ２００の壊滅的な故障の際、ステージが大きな加速力および減速力を受け続けている間に、レチクルがレチクルステージから離脱する可能性がある。レチクル２０８は、レチクルステージ２００の他の構成要素に衝突し、レチクル２０８および／または他の近傍の構成要素に損傷を与える可能性がある。レチクル２０８は、レチクルステージ２００の衝突前の動きおよび運動量に依存するが、大きな力（すなわち高加速度）で衝突する可能性がある。レチクル２０８を取り囲む構成要素（例えば、レチクルケージ３００）が強すぎる場合、衝突によってレチクル２０８に損傷（例えば、亀裂、傷、粒子汚染など）が生じうる。レチクル２０８を取り囲む構成要素（例えば、レチクルケージ３００）が弱すぎる場合、衝突によってレチクル２０８の衝撃力に起因してそれら構成要素が損傷または破壊されうる。現在の方法では、衝突時のレチクルの力を低減または減少させるために、何らかの形の安全機構を使用している。しかし、最悪のケースの衝突ではレチクルの衝撃応力（力）が大きいため、レチクルおよび／または現在の安全機構に損傷が発生する可能性がある。
１つの可能な解決策は、安全機構、例えば、レチクルケージ３００をレチクル２０８の周りに配置して、衝突時にレチクル２０８の衝撃力を低減するためのショックアブソーバとして機能させることである。例えば、レチクル２０８およびレチクルケージ３００への損傷を低減または完全に除去できるように、衝突によって発生する可能性のある力または衝撃を吸収するために、例えば、第１アーム４１０および第２アーム４３０などのショックアブソーバを有するバンパー装置４００をレチクル２０８の周囲に使用することができる。そのようなショックアブソーバは、全体的または部分的に弾力性のある材料（例えば、高降伏強度）によって、および／または、例えば、バッファ、ダンパ、バネなどの能動的または受動的な衝撃吸収デバイスを設けることによって、実装することができる。例えば、レチクル２０８は、４つの安全機構、例えば、レチクル２０８の角に隣接して配置された独立したバンパー装置４００を有するレチクルケージ３００によって拘束されてもよい。
いくつかの実施形態では、図２および図３に示すように、レチクルステージ２００は、位置決め動作のための第１エンコーダ２１２および第２エンコーダ２１４を含むことができる。例えば、第１および第２エンコーダ２１２、２１４は、干渉計とすることができる。第１エンコーダ２１２は、レチクルステージ２００の第１方向、例えば横方向（すなわちＸ方向）に沿って取り付けられてもよく、第２エンコーダ２１４は、レチクルステージ２００の第２方向、例えば縦方向（すなわちＹ方向）に沿って取り付けられてもよい。いくつかの実施形態では、図２および図３に示すように、第１エンコーダ２１２は、第２エンコーダ２１４と直交することができる。
図２から図４に示すように、レチクルステージ２００は、１つ又は複数のレチクルケージ３００を含むことができる。レチクルケージ３００は、衝突時にレチクル２０８を固定し、損傷を低減するように構成されうる。レチクルケージ３００は、衝突時のレチクル２０８の衝撃力を均一に分配するように構成されうる。いくつかの実施形態では、複数のレチクルケージ３００が、トップステージ表面２０２に配置され、レチクル２０８の外周に沿って設けられうる。例えば、複数のレチクルケージ３００は、レチクル２０８の衝撃力を複数の衝撃位置に均一に分配するように、レチクル２０８の各角部に隣接して配置されることができる。
例えば図４に示すように、レチクルケージ３００は、本体３０２、固定機構３０４、安全ラッチ３０６、およびバンパー装置４００を含むことができる。レチクルケージ３００は、例えば、金属またはセラミックなどの剛性材料とすることができる。いくつかの実施形態では、レチクルケージ３００の本体３０２は、レチクルステージ２００の一部を通って延びていてもよい。例えば、本体３０２は、円筒形であり、レチクル２０８の角部との厳密な位置合わせのために、トップステージ表面２０２を通って延びていてもよい。いくつかの実施形態では、レチクルケージ３００は、１つ又は複数の固定機構３０４を用いてトップステージ表面２０２に固定することができる。例えば、固定機構３０４は、ボルトとすることができる。いくつかの実施形態では、安全ラッチ３０６は、衝突時にレチクル２０８を固定（すなわち捕捉）して、レチクル２０８への損傷を低減するように構成されうる。例えば、安全ラッチ３０６は、レチクル２０８の上面の上で延在し、トップステージ表面２０２に垂直な方向（すなわちＺ方向）へのレチクル２０８の移動を防止するように構成されてもよい。
例示的なバンパー装置
フックの法則では、バネ（エネルギーを蓄える弾性体）をある距離ｄだけ伸長または圧縮するのに必要な力（Ｆ）は、その距離に対して直線的に増減し、Ｆ＝ｋ・ｄである。ここで、ｋはバネの剛性（例えば、そのバネに固有の正の定数）である。剛性とは、力を加えたときに物体がどの程度変形しにくいかを示すものである。ばねに外力Ｆｅｘｔが加わるとき、ばねには復元力が働き、Ｆｅｘｔ＝ｋ・Δｄである。
図４から図６は、本開示のいくつかの実施形態に係り、例示的なバンパー装置４００の概略図である。バンパー装置４００は、レチクル２０８に接触するように構成されてもよい。バンパー装置４００は、衝突時にレチクル２０８の衝撃応力または衝撃力を正確かつ均一に（例えば、均等に）分配するように構成されてもよい。バンパー装置４００は、衝突時のレチクル２０８および／またはレチクルケージ３００の損傷を低減するように構成されてもよい。レチクル２０８に対する衝撃応力または衝撃力の低減を達成するために、様々な幾何学的形状およびバンパー材料を使用することができる。例えば、図４に示すように、バンパー装置４００は、Ｌ字型または凹型の六角形に配置されてもよい。バンパー装置４００は、例えば、金属またはセラミックなどの剛性材料とすることができる。いくつかの実施形態では、バンパー装置４００は、高降伏強度材料とすることができる。例えば、バンパー装置４００は、焼戻しマルテンサイト系ステンレス鋼合金（例えば、ＳＴＡＶＡＸ（登録商標））であってもよい。
いくつかの実施形態では、バンパー装置４００は、衝突時のレチクル２０８の衝撃力を低減するために、レチクル２０８とバンパー装置４００との間を最小のギャップ距離とするように位置決めされてもよい。例えば、レチクル２０８とバンパー装置４００との間の最小ギャップ距離は、少なくとも１．０ｍｍであってもよい。いくつかの実施形態では、バンパー装置４００は、走査または位置決め動作の大部分において、レチクル２０８とバンパー装置４００との間を最小ギャップ距離とするように位置決めされてもよい。例えば、バンパー装置４００は、レチクル交換プロセスの間を除いて常に、最小ギャップ距離、例えば１．０ｍｍにあってもよい。
図４に示すように、バンパー装置４００は、延長部４０２、第１アーム４１０、および第２アーム４３０を含むことができる。いくつかの実施形態では、第１および第２アーム４１０、４３０は、延長部４０２によってレチクルケージ３００の本体３０２に接続することができる。例えば、延長部４０２は、第１および第２アーム４１０、４３０と一体化されていてもよい。第１アーム４１０は、遠位端４０６および遠位端４０６とは反対側の近位端４０７を含むことができる。第２アーム４３０は、遠位端４０８および遠位端４０８とは反対側の近位端４０９を含むことができる。いくつかの実施形態では、第２アーム４３０は、バンパー装置４００から省略されてもよい。第１および第２アーム４１０、４３０は、任意の形状またはサイズ、および任意の材料でありうる。いくつかの実施形態では、第１および第２アーム４１０、４３０は、高降伏強度材料とすることができる。例えば、第１および第２アーム４１０、４３０は、焼戻しマルテンサイト系ステンレス鋼合金（例えば、ＳＴＡＶＡＸ（登録商標））とすることができる。いくつかの実施形態では、第１アーム４１０は、レチクル２０８の第１方向に沿って延在してもよく、第２アーム４３０は、レチクル２０８の第２方向に沿って延在してもよい。例えば、図４に示すように、第１方向（すなわちＸ方向）は、第２方向（すなわちＹ方向）に直交してもよい。
図５および図６に示すように、バンパー装置４００の第１アーム４１０は、第１バンパー４１２および第２バンパー４１４を含むことができる。第１バンパー４１２は、遠位端４０６に向かって配置されることができ、第２バンパー４１４は、第１バンパー４１２に隣接し、近位端４０７に向かって配置されることができる。第１バンパー４１２は、剛性ｋ１を有する第１剛性リンケージ４２４を含むことができる。第２バンパー４１４は、剛性ｋ２を有する第２剛性リンケージ４２６を含むことができる。いくつかの実施形態では、剛性ｋ１は、剛性ｋ２と等しくてもよい。いくつかの実施形態では、剛性ｋ１は、剛性ｋ２よりも小さくてもよい。いくつかの実施形態では、図６に示すように、第１および第２バンパー４１２、４１４は、第１および第２バンパーパッド４１８、４２０をそれぞれ含むことができる。例えば、第１および第２バンパーパッド４１８、４２０は、衝突時にレチクル２０８の衝撃力を再分配または散逸させるために、レチクル２０８の外周に直接接触するとともに、第１および第２剛性リンケージ４２４、４２６がそれぞれレチクル２０８と接触しているとき屈曲することを可能とするように構成されてもよい。
第１および第２バンパー４１２、４１４は、衝突時のレチクル２０８の衝撃力または衝撃エネルギーを、それぞれ第１および第２剛性リンケージ４２４、４２６に沿って均一に再分配または散逸させるように構成されてもよい。いくつかの実施形態では、第１および第２剛性リンケージ４２４、４２６は、衝突時のレチクル２０８の衝撃力が第１および第２バンパー４１２、４１４の間で均一に（例えば、均等に）分配されるように、制御された剛性分布を有することができる。例えば、制御された剛性分布（例えば、ｋ１およびｋ２）は、第１バンパー４１２に及ぼされる第１の力Ｆ１が、第２バンパー４１４に及ぼされる第２の力Ｆ２と等しくなり、その結果、レチクル２０８の衝撃力（すなわち、Ｆｅｘｔ）を２分の１に低減することができるように設計されることができる。いくつかの実施形態では、制御された剛性分布（例えば、ｋ１およびｋ２）は、高降伏強度材料、例えば、焼戻しマルテンサイト系ステンレス鋼合金（例えば、ＳＴＡＶＡＸ（登録商標））の単一片から製作されることができる。例えば、制御された剛性分布（例えば、ｋ１およびｋ２）は、ワイヤ放電加工（ＥＤＭ）によって製作または加工されることができる。
いくつかの実施形態では、図５および図６に示すように、第１アーム４１０は、第３バンパー４１６を含むことができる。例えば、第３バンパー４１６は、近位端４０７に向かって配置され、第２バンパー４１４に隣接することができる。第３バンパー４１６は、剛性ｋ３を有する第３剛性リンケージ４２８を含むことができる。いくつかの実施形態では、剛性ｋ１、剛性ｋ２、および剛性ｋ３は等しくてもよい。いくつかの実施形態では、剛性ｋ１は、剛性ｋ２よりも小さくてもよく、剛性ｋ２は、剛性ｋ３よりも小さくてもよい。いくつかの実施形態では、図６に示すように、第３バンパー４１６は、第３バンパーパッド４２２を含むことができる。例えば、第３バンパーパッド４２２は、衝突時にレチクル２０８の衝撃力を再分配または散逸させるために、レチクル２０８の外周に直接接触するとともに、第３剛性リンケージ４２８がレチクル２０８と接触しているとき屈曲することを可能とするように構成されてもよい。
いくつかの実施形態では、第１、第２、および第３剛性リンケージ４２４、４２６、４２８は、衝突時のレチクル２０８の衝撃力が第１、第２、および第３バンパー４１２、４１４、４１６の間で均一に（例えば、均等に）分配されるように、制御された剛性分布を有することができる。例えば、制御された剛性分布（例えば、ｋ１、ｋ２、およびｋ３）は、第１バンパー４１２に及ぼされる第１の力Ｆ１、第２バンパー４１４に及ぼされる第２の力Ｆ２、および第３バンパー４１６に及ぼされる第３の力Ｆ３が等しくなり、その結果、レチクル２０８の衝撃力（すなわち、Ｆｅｘｔ）を３分の１に低減することができるように、設計することができる。この原理（例えば、ウィップルツリーまたはウィッフルツリーモデル）は、レチクル２０８の衝撃力をｎ’分の１に低減するように拡張することができる。ここで、ｎ’は、第１アーム４１０上のバンパーの数である。
いくつかの実施形態では、第１アーム４１０は、複数のバンパー、またはバンパーのアレイを含むことができる。例えば、図５および図６に示すように、複数のバンパーまたはアレイは、第１バンパー４１２、第２バンパー４１４、および／または第３バンパー４１６を含むことができる。いくつかの実施形態では、複数のバンパーは、複数の剛性リンケージを含む。例えば、複数のバンパーは、第１剛性リンケージ４２４、第２剛性リンケージ４２６、および／または第３剛性リンケージ４２８を含むことができる。いくつかの実施形態では、複数の剛性リンケージの剛性は、第１アーム４１０の遠位端４０６から近位端４０７に向かって増加してもよい。例えば、図５および図６に示すように、第１剛性リンケージ４２４の剛性ｋ１は、第２剛性リンケージ４２６の剛性ｋ２よりも小さくてもよく、および／または、第２剛性リンケージ４２６の剛性ｋ２は、第３剛性リンケージ４２８の剛性ｋ３よりも小さくてもよい。
図５および図６に示すように、バンパー装置４００の第２アーム４３０は、第１バンパー４３２および第２バンパー４３４を含むことができる。第１バンパー４３２は、遠位端４０８に向かって配置されることができ、第２バンパー４３４は、第１バンパー４３２に隣接し、近位端４０９に向かって配置されることができる。第１バンパー４３２は、剛性ｋ１を有する第１剛性リンケージ４４４を含むことができる。第２バンパー４３４は、剛性ｋ２を有する第２剛性リンケージ４４６を含むことができる。いくつかの実施形態では、剛性ｋ１は、剛性ｋ２と等しくてもよい。いくつかの実施形態では、剛性ｋ１は、剛性ｋ２よりも小さくてもよい。いくつかの実施形態では、図６に示すように、第１および第２バンパー４３２、４３４は、第１および第２バンパーパッド４３８、４４０をそれぞれ含むことができる。例えば、第１および第２バンパーパッド４３８、４４０は、衝突時にレチクル２０８の衝撃力を再分配または散逸させるために、レチクル２０８の外周に直接接触するとともに、第１および第２剛性リンケージ４４４、４４６がそれぞれレチクル２０８と接触しているとき屈曲することを可能とするように構成されてもよい。
第１および第２バンパー４３２、４３４は、衝突時のレチクル２０８の衝撃力または衝撃エネルギーを、それぞれ第１および第２剛性リンケージ４４４、４４６に沿って均一に再分配または散逸させるように構成されてもよい。いくつかの実施形態では、第１および第２剛性リンケージ４４４、４４６は、衝突時のレチクル２０８の衝撃力が第１および第２バンパー４３２、４３４の間で均一に（例えば、均等に）分配されるように、制御された剛性分布を有することができる。例えば、制御された剛性分布（例えば、ｋ１およびｋ２）は、第１バンパー４３２に及ぼされる第１の力Ｆ１が、第２バンパー４３４に及ぼされる第２の力Ｆ２と等しくなり、その結果、レチクル２０８の衝撃力（すなわち、Ｆｅｘｔ）を２分の１に低減することができるように、設計することができる。いくつかの実施形態では、制御された剛性分布（例えば、ｋ１およびｋ２）は、高降伏強度材料、例えば、焼戻しマルテンサイト系ステンレス鋼合金（例えば、ＳＴＡＶＡＸ（登録商標））の単一片から製作することができる。例えば、制御された剛性分布（例えば、ｋ１およびｋ２）は、ワイヤ放電加工（ＥＤＭ）によって製作または加工されることができる。
いくつかの実施形態では、図５および図６に示すように、第２アーム４３０は、第３バンパー４３６を含むことができる。例えば、第３バンパー４３６は、近位端４０９に向かって配置され、第２バンパー４３４に隣接することができる。第３バンパー４３６は、剛性ｋ３を有する第３剛性リンケージ４４８を含むことができる。いくつかの実施形態では、剛性ｋ１、剛性ｋ２、および剛性ｋ３は等しくてもよい。いくつかの実施形態では、剛性ｋ１は、剛性ｋ２よりも小さくてもよく、剛性ｋ２は、剛性ｋ３よりも小さくてもよい。いくつかの実施形態では、図６に示すように、第３バンパー４３６は、第３バンパーパッド４４２を含むことができる。例えば、第３バンパーパッド４４２は、衝突時にレチクル２０８の衝撃力を再分配または散逸させるために、レチクル２０８の外周に直接接触するとともに、第３剛性リンケージ４４８がレチクル２０８と接触しているとき屈曲することを可能とするように構成されてもよい。
いくつかの実施形態では、第１、第２、および第３剛性リンケージ４４４、４４６、４４８は、衝突時のレチクル２０８の衝撃力が第１、第２、および第３バンパー４３２、４３４、４３６の間で均一に（例えば、均等に）分配されるように、制御された剛性分布を有することができる。例えば、制御された剛性分布（例えば、ｋ１、ｋ２、ｋ３）は、第１バンパー４３２に及ぼされる第１の力Ｆ１、第２バンパー４３４に及ぼされる第２の力Ｆ２、および第３バンパー４３６に及ぼされる第３の力Ｆ３が等しくなり、その結果、レチクル２０８の衝撃力（すなわち、Ｆｅｘｔ）を３分の１に低減することができるように、設計することができる。この原理（例えば、ウィップルツリーまたはウィッフルツリーモデル）は、レチクル２０８の衝撃力をｎ”分の１に低減するように拡張することができる。ここで、ｎ”は、第２アーム４３０上のバンパーの数である。
いくつかの実施形態では、第２アーム４３０は、複数のバンパー、またはバンパーのアレイを含むことができる。例えば、図５および図６に示すように、複数のバンパーまたはアレイは、第１バンパー４３２、第２バンパー４３４、および／または第３バンパー４３６を含むことができる。いくつかの実施形態では、複数のバンパーは、複数の剛性リンケージを含む。例えば、複数のバンパーは、第１剛性リンケージ４４４、第２剛性リンケージ４４６、および／または第３剛性リンケージ４４８を含むことができる。いくつかの実施形態では、複数の剛性リンケージの剛性は、第２アーム４３０の遠位端４０８から近位端４０９に向かって増加してもよい。例えば、図５および図６に示すように、第１剛性リンケージ４４４の剛性ｋ１は、第２剛性リンケージ４４６の剛性ｋ２よりも小さくてもよく、および／または第２剛性リンケージ４４６の剛性ｋ２は、第３剛性リンケージ４４８の剛性ｋ３よりも小さくてもよい。
図７は、本開示のいくつかの実施形態に係り、例示的なバンパー装置４００の概略図である。バンパー装置４００は、第１アーム４１０、第２アーム４３０、および延長部４０２を含むことができる。バンパー装置４００の第１アーム４１０は、第２バンパー４１４を含むことができる。バンパー装置４００の第２アーム４３０は、第１バンパー４３２を含むことができる。第１バンパー４３２は、剛性ｋ１を有する第１剛性リンケージ４４４を含むことができる。第２バンパー４１４は、剛性ｋ２を有する第２剛性リンケージ４２６を含むことができる。いくつかの実施形態では、剛性ｋ１は、剛性ｋ２と等しくてもよい。いくつかの実施形態では、剛性ｋ１は、剛性ｋ２よりも小さくてもよい。いくつかの実施形態では、図７に示すように、第１および第２バンパー４３２、４１４は、第１および第２バンパーパッド４３８、４２０をそれぞれ含むことができる。例えば、第１および第２バンパーパッド４３８、４２０は、衝突時にレチクル２０８の衝撃力を再分配または散逸させるために、レチクル２０８の外周に直接接触するとともに、第１および第２剛性リンケージ４４４、４２６がそれぞれレチクル２０８と接触しているとき屈曲することを可能とするように構成されてもよい。
第１および第２バンパー４３８、４２０は、衝突時のレチクル２０８の衝撃力または衝撃エネルギーを、それぞれ第１および第２剛性リンケージ４４４、４２６に沿って均一に再分配または散逸させるように構成されてもよい。いくつかの実施形態では、第１および第２剛性リンケージ４４４、４２６は、衝突時のレチクル２０８の衝撃力が第１および第２バンパー４３２、４１４の間に均一に（例えば、均等に）分配されるように、制御された剛性分布を有することができる。例えば、制御された剛性分布（例えば、ｋ１およびｋ２）は、第１バンパー４３２に及ぼされる第１の力Ｆ１が、第２バンパー４１４に及ぼされる第２の力Ｆ２と等しくなり、その結果、レチクル２０８の衝撃力（すなわち、Ｆｅｘｔ）を２分の１に低減することができるように設計されうる。いくつかの実施形態では、制御された剛性分布（例えば、ｋ１およびｋ２）は、一片の高降伏強度材料、例えば、焼戻しマルテンサイト系ステンレス鋼合金（例えば、ＳＴＡＶＡＸ（登録商標））から製作することができる。例えば、制御された剛性分布（例えば、ｋ１およびｋ２）は、ワイヤ放電加工（ＥＤＭ）によって製作または加工されることができる。
いくつかの実施形態では、図７に示すように、延長部４０２は、第３バンパーとすることができる。例えば、延長部４０２は、レチクルケージ３００の本体３０２に接続し、第１および第２アーム４１０、４３０に接続することができ、例えば、延長部４０２は、第１および第２バンパー４３２、４１４の間に配置されることができる。延長部４０２は、剛性ｋ３を有する延長部剛性リンケージ４０４を含むことができる。いくつかの実施形態では、剛性ｋ１、剛性ｋ２、および剛性ｋ３は等しくてもよい。いくつかの実施形態では、剛性ｋ１は、剛性ｋ２よりも小さくてもよく、剛性ｋ２は、剛性ｋ３よりも小さくてもよい。いくつかの実施形態では、図７に示すように、延長部４０２は、延長部バンパーパッド４０３を含むことができる。例えば、延長部バンパーパッド４０３は、衝突時にレチクル２０８の衝撃力を再分配または散逸させるために、レチクル２０８の外周に直接接触するとともに、延長部剛性リンケージ４０４がレチクル２０８と接触しているとき屈曲するように構成されてもよい。
いくつかの実施形態では、第１、第２、および延長部剛性リンケージ４４４、４２６、４０４は、衝突時のレチクル２０８の衝撃力が第１、第２、および延長部バンパー４３２、４１４、４０２の間で均一に（例えば、均等に）分配されるように、制御された剛性分布を有することができる。例えば、制御された剛性分布（例えば、ｋ１、ｋ２、およびｋ３）は、第１バンパー４３２に及ぼされる第１の力Ｆ１、第２バンパー４１４に及ぼされる第２の力Ｆ２、および延長部４０２に及ぼされる第３の力Ｆ３が等しくなり、その結果、レチクル２０８の衝撃力（すなわち、Ｆｅｘｔ）を３分の１に低減することができるように、設計することができる。この原理（例えば、ウィップルツリーまたはウィッフルツリーモデル）は、レチクル２０８の衝撃力をｎ’分の１に低減するように拡張することができる。ここで、ｎ’は、バンパー装置４００上のバンパーの数である。いくつかの実施形態では、制御された剛性分布（例えば、ｋ３）は、一片の高降伏強度材料、例えば、焼戻しマルテンサイト系ステンレス鋼合金（例えば、ＳＴＡＶＡＸ（登録商標））から製作することができる。例えば、制御された剛性分布（例えば、ｋ３）は、ワイヤ放電加工（ＥＤＭ）によって製作または加工されることができる。
図８は、本開示のいくつかの実施形態に係り、例示的なバンパー装置４００の概略図である。バンパー装置４００は、第１アーム４１０および延長部４０２を含むことができる。バンパー装置４００の第１アーム４１０は、第１バンパー４１２および第２バンパー４１４を含むことができる。第１バンパー４１２は、遠位端４０６に向かって配置されることができ、第２バンパー４１４は、第１バンパー４１２に隣接し、近位端４０７に向かって配置されることができる。第１バンパー４１２は、剛性ｋ１を有する第１剛性リンケージ４２４を含むことができる。第２バンパー４１４は、剛性ｋ２を有する第２剛性リンケージ４２６を含むことができる。いくつかの実施形態では、剛性ｋ１は、剛性ｋ２と等しくてもよい。いくつかの実施形態では、剛性ｋ１は、剛性ｋ２よりも小さくてもよい。いくつかの実施形態では、図８に示すように、第１および第２バンパー４１２、４１４は、第１および第２バンパーパッド４１８、４２０をそれぞれ含むことができる。例えば、第１および第２バンパーパッド４１８、４２０は、衝突時にレチクル２０８の衝撃力を再分配または散逸させるために、レチクル２０８の外周に直接接触するとともに、第１および第２剛性リンケージ４２４、４２６がそれぞれレチクル２０８と接触しているとき屈曲することを可能とするように構成されてもよい。
第１および第２バンパー４１２、４１４は、衝突時のレチクル２０８の衝撃力または衝撃エネルギーを、それぞれ第１および第２剛性リンケージ４２４、４２６に沿って均一に再分配または散逸させるように構成されてもよい。いくつかの実施形態では、第１および第２剛性リンケージ４２４、４２６は、衝突時のレチクル２０８の衝撃力が第１および第２バンパー４１２、４１４の間で均一に（例えば、均等に）分配されるように、制御された剛性分布を有することができる。例えば、制御された剛性分布（例えば、ｋ１およびｋ２）は、第１バンパー４１２に及ぼされる第１の力Ｆ１が、第２バンパー４１４に及ぼされる第２の力Ｆ２と等しくなり、その結果、レチクル２０８の衝撃力（すなわち、Ｆｅｘｔ）を２分の１に低減することができるように設計されうる。いくつかの実施形態では、制御された剛性分布（例えば、ｋ１およびｋ２）は、高降伏強度材料、例えば、焼戻しマルテンサイト系ステンレス鋼合金（例えば、ＳＴＡＶＡＸ（登録商標））の単一片から製作することができる。例えば、制御された剛性分布（例えば、ｋ１およびｋ２）は、ワイヤ放電加工（ＥＤＭ）によって製作または加工することができる。
いくつかの実施形態では、図８に示すように、延長部４０２は、第３バンパーとすることができる。例えば、延長部４０２は、レチクルケージ３００の本体３０２に接続し、第１アーム４１０に接続することができる。延長部４０２は、剛性ｋ３を有する延長部剛性リンケージ４０４を含むことができる。いくつかの実施形態では、剛性ｋ１、剛性ｋ２、および剛性ｋ３は等しくてもよい。いくつかの実施形態では、剛性ｋ１は、剛性ｋ２よりも小さくてもよく、剛性ｋ２は、剛性ｋ３よりも小さくてもよい。いくつかの実施形態では、図８に示すように、延長部４０２は、延長部バンパーパッド４０３を含むことができる。例えば、延長部バンパーパッド４０３は、衝突時にレチクル２０８の衝撃力を再分配または散逸させるために、レチクル２０８の外周に直接接触するとともに、延長部剛性リンケージ４０４がレチクル２０８と接触しているとき屈曲するように構成されてもよい。
いくつかの実施形態では、第１、第２、および延長部剛性リンケージ４２４、４２６、４０４は、衝突時のレチクル２０８の衝撃力が第１、第２、および延長部バンパー４１２、４１４、４０２の間で均一に（例えば、均等に）分配されるように、制御された剛性分布を有することができる。例えば、制御された剛性分布（例えば、ｋ１、ｋ２、およびｋ３）は、第１バンパー４１２に及ぼされる第１の力Ｆ１、第２バンパー４１４に及ぼされる第２の力Ｆ２、および延長部４０２に及ぼされる第３の力Ｆ３を等しくすることができ、その結果、レチクル２０８の衝撃力（すなわち、Ｆｅｘｔ）を３分の１に減らすことができるように、設計されうる。この原理（例えば、ウィップルツリーまたはウィッフルツリーモデル）は、レチクル２０８の衝撃力をｎ’分の１に低減するように拡張することができる。ここで、ｎ’は、バンパー装置４００上のバンパーの数である。いくつかの実施形態では、制御された剛性分布（例えば、ｋ３）は、一片の高降伏強度材料、例えば、焼戻しマルテンサイト系ステンレス鋼合金（例えば、ＳＴＡＶＡＸ（登録商標））から製作することができる。例えば、制御された剛性分布（例えば、ｋ３）は、ワイヤ放電加工（ＥＤＭ）によって製作または加工することができる。
図９は、本開示のいくつかの実施形態に係り、例示的なバンパー装置４００の概略図である。図９のバンパー装置４００は、図８のバンパー装置４００と類似する。バンパー装置４００は、第１アーム４１０および第１延長部４０２ａを含むことができる。バンパー装置４００の第１アーム４１０は、第１バンパー４１２および第２バンパー４１４を含むことができる。第１バンパー４１２は、遠位端４０６に向かって配置されることができ、第２バンパー４１４は、第１バンパー４１２に隣接し、近位端４０７に向かって配置されることができる。第１バンパー４１２は、剛性ｋ１を有する第１剛性リンケージ４２４を含むことができる。第２バンパー４１４は、剛性ｋ２を有する第２剛性リンケージ４２６を含むことができる。いくつかの実施形態では、剛性ｋ１は、剛性ｋ２と等しくてもよい。いくつかの実施形態では、剛性ｋ１は、剛性ｋ２よりも小さくてもよい。いくつかの実施形態では、図９に示すように、第１および第２バンパー４１２、４１４は、第１および第２バンパーパッド４１８、４２０をそれぞれ含むことができる。例えば、第１および第２バンパーパッド４１８、４２０は、衝突時にレチクル２０８の衝撃力を再分配または散逸させるために、レチクル２０８の外周に直接接触するとともに、第１および第２剛性リンケージ４２４、４２６がそれぞれレチクル２０８と接触しているとき屈曲することを可能とするように構成されてもよい。
第１および第２バンパー４１２、４１４は、衝突時のレチクル２０８の衝撃力または衝撃エネルギーを、それぞれ第１および第２剛性リンケージ４２４、４２６に沿って均一に再分配または散逸させるように構成されてもよい。いくつかの実施形態では、第１および第２剛性リンケージ４２４、４２６は、衝突時のレチクル２０８の衝撃力が第１および第２バンパー４１２、４１４の間で均一に（例えば、均等に）分配されるように、制御された剛性分布を有することができる。例えば、制御された剛性分布（例えば、ｋ１およびｋ２）は、第１バンパー４１２に及ぼされる第１の力Ｆ１が、第２バンパー４１４に及ぼされる第２の力Ｆ２と等しくなり、その結果、レチクル２０８の衝撃力（すなわち、Ｆｅｘｔ）を２分の１に低減することができるように設計されうる。いくつかの実施形態では、制御された剛性分布（例えば、ｋ１およびｋ２）は、高降伏強度材料、例えば、焼戻しマルテンサイト系ステンレス鋼合金（例えば、ＳＴＡＶＡＸ（登録商標））の単一片から製作することができる。例えば、制御された剛性分布（例えば、ｋ１およびｋ２）は、ワイヤ放電加工（ＥＤＭ）によって設計または機械加工することができる。
いくつかの実施形態では、図９に示すように、第１延長部４０２ａは、第１アーム４１０のための第３バンパーとすることができる。例えば、第１延長部４０２ａは、レチクルケージ３００の本体３０２に接続し、第１アーム４１０に接続することができる。第１延長部４０２ａは、剛性ｋ３を有する第１延長部剛性リンケージ４０４ａを含むことができる。いくつかの実施形態では、剛性ｋ１、剛性ｋ２、および剛性ｋ３は等しくてもよい。いくつかの実施形態では、剛性ｋ１は、剛性ｋ２よりも小さくてもよく、剛性ｋ２は、剛性ｋ３よりも小さくてもよい。いくつかの実施形態では、図９に示すように、第１延長部４０２ａは、第１延長部バンパーパッド４０３ａを含むことができる。例えば、第１延長部バンパーパッド４０３ａは、衝突時にレチクル２０８の衝撃力を再分配または散逸させるために、レチクル２０８の外周に直接接触するとともに、第１延長部剛性リンケージ４０４ａがレチクル２０８と接触しているとき屈曲することができるように構成されてもよい。
いくつかの実施形態では、第１、第２、および第１延長部剛性リンケージ４２４、４２６、４０４ａは、衝突時のレチクル２０８の衝撃力が第１、第２、および第１延長部バンパー４１２、４１４、４０２ａの間で均一に（例えば、均等に）分配されるように、制御された剛性分布を有することができる。例えば、制御された剛性分布（例えば、ｋ１、ｋ２、ｋ３）は、第１バンパー４１２に及ぼされる第１の力Ｆ１、第２バンパー４１４に及ぼされる第２の力Ｆ２、および第１延長部４０２ａに及ぼされる第３の力Ｆ３が等しくなり、その結果、レチクル２０８の衝撃力（すなわち、Ｆｅｘｔ）を３分の１に低減することができるように、設計されうる。この原理（例えば、ウィップルツリーまたはウィッフルツリーモデル）は、レチクル２０８の衝撃力をｎ’分の１に低減するように拡張することができる。ここで、ｎ’は、バンパー装置４００上のバンパーの数である。いくつかの実施形態では、制御された剛性分布（例えば、ｋ３）は、一片の高降伏強度材料、例えば、焼戻しマルテンサイト系ステンレス鋼合金（例えば、ＳＴＡＶＡＸ（登録商標））から製作することができる。例えば、制御された剛性分布（例えば、ｋ３）は、ワイヤ放電加工（ＥＤＭ）によって製作または加工することができる。
図９に示すように、バンパー装置４００は、第２アーム４３０および第２延長部４０２ｂを含むことができる。バンパー装置４００の第２アーム４３０は、第１バンパー４３２および第２バンパー４３４を含むことができる。第１バンパー４３２は、遠位端４０８に向かって配置されることができ、第２バンパー４３４は、第１バンパー４３２に隣接し、近位端４０９に向かって配置されることができる。第１バンパー４３２は、剛性ｋ１を有する第１剛性リンケージ４４４を含むことができる。第２バンパー４３４は、剛性ｋ２を有する第２剛性リンケージ４４６を含むことができる。いくつかの実施形態では、剛性ｋ１は、剛性ｋ２と等しくてもよい。いくつかの実施形態では、剛性ｋ１は、剛性ｋ２よりも小さくてもよい。いくつかの実施形態では、図９に示すように、第１および第２バンパー４３２、４３４は、第１および第２バンパーパッド４３８、４４０をそれぞれ含むことができる。例えば、第１および第２バンパーパッド４３８、４４０は、衝突時にレチクル２０８の衝撃力を再分配または散逸させるために、レチクル２０８の外周に直接接触するとともに、第１および第２剛性リンケージ４４４、４４６がそれぞれレチクル２０８と接触しているとき屈曲することを可能とするように構成されてもよい。
第１および第２バンパー４３２、４３４は、衝突時のレチクル２０８の衝撃力または衝撃エネルギーを、それぞれ第１および第２剛性リンケージ４４４、４４６に沿って均一に再分配または散逸させるように構成されてもよい。いくつかの実施形態では、第１および第２剛性リンケージ４４４、４４６は、衝突時のレチクル２０８の衝撃力が第１および第２バンパー４３２、４３４の間で均一に（例えば、均等に）分配されるように、制御された剛性分布を有することができる。例えば、制御された剛性分布（例えば、ｋ１およびｋ２）は、第１バンパー４３２に及ぼされる第１の力Ｆ１が、第２バンパー４３４に及ぼされる第２の力Ｆ２と等しくなり、その結果、レチクル２０８の衝撃力（すなわち、Ｆｅｘｔ）を２分の１に低減することができるように設計されうる。いくつかの実施形態では、制御された剛性分布（例えば、ｋ１およびｋ２）は、高降伏強度材料、例えば、焼戻しマルテンサイト系ステンレス鋼合金（例えば、ＳＴＡＶＡＸ（登録商標））の単一片から製作することができる。例えば、制御された剛性分布（例えば、ｋ１およびｋ２）は、ワイヤ放電加工（ＥＤＭ）によって設計または機械加工することができる。
いくつかの実施形態では、図９に示すように、第２延長部４０２ｂは、第２アーム４３０のための第３バンパーとすることができる。例えば、第２延長部４０２ｂは、レチクルケージ３００の本体３０２に接続し、第２アーム４３０に接続することができる。第２延長部４０２ｂは、剛性ｋ３を有する第２延長部剛性リンケージ４０４ｂを含むことができる。いくつかの実施形態では、剛性ｋ１、剛性ｋ２、および剛性ｋ３は等しくてもよい。いくつかの実施形態では、剛性ｋ１は、剛性ｋ２よりも小さくてもよく、剛性ｋ２は、剛性ｋ３よりも小さくてもよい。いくつかの実施形態では、図９に示すように、第２延長部４０２ｂは、第２延長部バンパーパッド４０３ｂを含むことができる。例えば、第２延長部バンパーパッド４０３ｂは、衝突時にレチクル２０８の衝撃力を再分配または散逸させるために、レチクル２０８の外周に直接接触するとともに、第２延長部剛性リンケージ４０４ｂがレチクル２０８と接触しているとき屈曲することができるように構成されてもよい。
いくつかの実施形態では、第１、第２、および第２延長部剛性リンケージ４４４、４４６、４０４ｂは、衝突時のレチクル２０８の衝撃力が第１、第２、および第２延長部バンパー４３２、４３４、４０２ｂの間で均一に（例えば、均等に）分配されるように、制御された剛性分布を有することができる。例えば、制御された剛性分布（例えば、ｋ１、ｋ２、ｋ３）は、第１バンパー４３２に及ぼされる第１の力Ｆ１、第２バンパー４３４に及ぼされる第２の力Ｆ２、および第２延長部４０２ｂに及ぼされる第３の力Ｆ３が等しくなり、その結果、レチクル２０８の衝撃力（すなわち、Ｆｅｘｔ）を３分の１に低減することができるように、設計することができる。この原理（例えば、ウィップルツリーまたはウィッフルツリーモデル）は、レチクル２０８の衝撃力をｎ’分の１に低減するように拡張することができる。ここで、ｎ’は、バンパー装置４００上のバンパーの数である。いくつかの実施形態では、制御された剛性分布（例えば、ｋ３）は、一片の高降伏強度材料、例えば、焼戻しマルテンサイト系ステンレス鋼合金（例えば、ＳＴＡＶＡＸ（登録商標））から製作することができる。例えば、制御された剛性分布（例えば、ｋ３）は、ワイヤ放電加工（ＥＤＭ）によって製作または加工することができる。
図１０は、本開示のいくつかの実施形態に係り、例示的なバンパー装置４００の概略図である。図１０のバンパー装置４００は、図７のバンパー装置４００と類似する。バンパー装置４００は、第１バンパー部４５０、第１延長部４０２ａ、第２バンパー部４６０、および第２延長部４０２ｂを含むことができる。
第１バンパー部４５０は、第１アーム４１０および第２アーム４３０を含むことができる。第２バンパー部４６０は、第１アーム４１０および第２アーム４３０を含むことができる。第１アーム４１０は、第２バンパー４１４を含むことができる。バンパー装置４００の第２アーム４３０は、第１バンパー４３２を含むことができる。第１バンパー４３２は、剛性ｋ１を有する第１剛性リンケージ４４４を含むことができる。第２バンパー４１４は、剛性ｋ２を有する第２剛性リンケージ４２６を含むことができる。いくつかの実施形態では、剛性ｋ１は、剛性ｋ２と等しくてもよい。いくつかの実施形態では、剛性ｋ１は、剛性ｋ２よりも小さくてもよい。いくつかの実施形態では、図１０に示すように、第１および第２バンパー４３２、４１４は、第１および第２バンパーパッド４３８、４２０をそれぞれ含むことができる。例えば、第１および第２バンパーパッド４３８、４２０は、衝突時にレチクル２０８の衝撃力を再分配または散逸させるために、レチクル２０８の外周に直接接触するとともに、第１および第２剛性リンケージ４４４、４２６がそれぞれレチクル２０８と接触しているとき屈曲することを可能とするように構成されてもよい。
第１および第２バンパー４３８、４２０は、衝突時のレチクル２０８の衝撃力または衝撃エネルギーを、それぞれ第１および第２剛性リンケージ４４４、４２６に沿って均一に再分配または散逸させるように構成されてもよい。いくつかの実施形態では、第１および第２剛性リンケージ４４４、４２６は、衝突時のレチクル２０８の衝撃力が第１および第２バンパー４３２、４１４の間に均一に（例えば、均等に）分配されるように、制御された剛性分布を有することができる。例えば、制御された剛性分布（例えば、ｋ１およびｋ２）は、第１バンパー４３２に及ぼされる第１の力Ｆ１が、第２バンパー４１４に及ぼされる第２の力Ｆ２と等しくなり、その結果、レチクル２０８の衝撃力（すなわち、Ｆｅｘｔ）を２分の１に低減することができるように設計されうる。いくつかの実施形態では、制御された剛性分布（例えば、ｋ１およびｋ２）は、一片の高降伏強度材料、例えば、焼戻しマルテンサイト系ステンレス鋼合金（例えば、ＳＴＡＶＡＸ（登録商標））から製作することができる。例えば、制御された剛性分布（例えば、ｋ１およびｋ２）は、ワイヤ放電加工（ＥＤＭ）によって設計または機械加工することができる。
いくつかの実施形態では、図１０に示すように、第１延長部４０２ａおよび第２延長部４０２ｂはそれぞれ、第３バンパーとすることができる。例えば、第１および第２延長部４０２ａ、４０２ｂは、レチクルケージ３００の本体３０２に接続し、第１および第２バンパー部４５０、４６０の第１および第２アーム４１０、４３０にそれぞれ接続することができる。例えば、第１および第２延長部４０２ａ、４０２ｂは、第１および第２バンパー４３２、４１４の間に配置されうる。第１および第２延長部４０２ａ、４０２ｂは、剛性ｋ３を有する第１および第２延長部剛性リンケージ４０４ａ、４０４ｂをそれぞれ含むことができる。いくつかの実施形態では、剛性ｋ１、剛性ｋ２、および剛性ｋ３は等しくてもよい。いくつかの実施形態では、剛性ｋ１は、剛性ｋ２よりも小さくてもよく、剛性ｋ２は、剛性ｋ３よりも小さくてもよい。いくつかの実施形態では、図１０に示すように、第１および第２延長部４０２ａ、４０２ｂは、第１および第２延長部バンパーパッド４０３ａ、４０３ｂをそれぞれ含むことができる。例えば、第１および第２延長部バンパーパッド４０３ａ、４０３ｂは、衝突時にレチクル２０８の衝撃力を再分配または散逸させるために、レチクル２０８の外周に直接接触するとともに、第１および第２延長部剛性リンケージ４０４ａ、４０４ｂがそれぞれレチクル２０８と接触しているとき屈曲することを可能とするように構成されてもよい。
いくつかの実施形態では、第１、第２、および第１および第２延長部剛性リンケージ４４４、４２６、４０４ａ、４０４ｂは、衝突時のレチクル２０８の衝撃力が第１、第２、および第１および第２延長部バンパー４３２、４１４、４０２ａ、４０２ｂの間でそれぞれ均一に（例えば、均等に）分配されるように、制御された剛性分布を有することができる。例えば、制御された剛性分布（例えば、ｋ１、ｋ２、ｋ３）は、第１バンパー４３２に及ぼされる第１の力Ｆ１、第２バンパー４１４に及ぼされる第２の力Ｆ２、および第１および第２延長部４０２ａ、４０２ｂにそれぞれ及ぼされる第３の力Ｆ３が等しくなり、その結果、レチクル２０８の衝撃力（すなわち、Ｆｅｘｔ）を３分の１に低減することができるように、設計されうる。この原理（例えば、ウィップルツリーまたはウィッフルツリーモデル）は、レチクル２０８の衝撃力をｎ’分の１に低減するように拡張することができる。ここで、ｎ’は、バンパー装置４００上のバンパーの数である。いくつかの実施形態では、制御された剛性分布（例えば、ｋ３）は、一片の高降伏強度材料、例えば、焼戻しマルテンサイト系ステンレス鋼合金（例えば、ＳＴＡＶＡＸ（登録商標））から製作することができる。例えば、制御された剛性分布（例えば、ｋ３）は、ワイヤ放電加工（ＥＤＭ）によって製作または加工することができる。
バンパー装置を動作させる方法は、本明細書に開示される動作の態様に従って達成することができる。いくつかの実施形態では、図５および図６に示すように、バンパー装置４００は、Ｌ字型または凹型の六角形に配置され、レチクル２０８の角部に接触するように構成されうる。いくつかの実施形態では、これは、例えば、高降伏強度材料、例えば、焼戻しマルテンサイト系ステンレス鋼合金（例えば、ＳＴＡＶＡＸ（登録商標））をワイヤ放電加工し、レチクル２０８の各角部に隣接してバンパー装置４００を有するレチクルケージ３００を配置することによって達成することができる。いくつかの実施形態では、衝突時のレチクル２０８の衝撃力は、第１アーム４１０の第１および第２バンパー４１２、４１４および／または第２アーム４３０の第１および第２バンパー４３２、４３４の間で均一に（例えば、均等に）分配されることができる。例えば、第１および第２バンパー４１２、４１４および／または第１および第２バンパー４３２、４３４は、第１および第２剛性リンケージ４２４、４２６および／または第１および第２剛性リンケージ４４４、４４６に沿ってレチクル２０８の衝撃力をそれぞれ再分配または散逸させるために、屈曲することができる。いくつかの実施形態では、バンパー装置４００は、レチクル２０８の衝撃力を低減するために、レチクル２０８とバンパー装置４００の間を最小ギャップ距離とするように位置決めすることができる。例えば、バンパー装置４００は、レチクル交換プロセスの間を除いて、常にレチクル２０８の外周から１．０ｍｍ以内に配置することができる。
実施形態は、さらに以下の項により記述されうる。
１．レチクルのためのバンパー装置であって、
第１方向に沿って前記レチクルに接触するように構成された第１アームと、
第２方向に沿って前記レチクルに接触するように構成された第２アームとを備え、
前記第１アームは、前記第１アームの遠位端に向かって配置された第１バンパーと、前記第１バンパーに隣接し、前記第１アームの近位端に向かって配置された第２バンパーとを備え、
前記第１バンパーは、第１剛性リンケージを備え、前記第２バンパーは、第２剛性リンケージを備え、
前記第１バンパーおよび前記第２バンパーは、前記レチクルの衝撃力を均一に分配するように構成されている、バンパー装置。
２．前記第２アームは、前記第２アームの遠位端に向かって配置された第１バンパーと、前記第１バンパーに隣接し、前記第２アームの近位端に向かって配置された第２バンパーとを備える、項１に記載のバンパー装置。
３．前記第２アームの第１バンパーは、第１剛性リンケージを備え、前記第２アームの第２バンパーは、第２剛性リンケージを備える、項２に記載のバンパー装置。
４．前記第１剛性リンケージの剛性は、前記第２剛性リンケージの剛性に等しい、項１に記載のバンパー装置。
５．前記第１剛性リンケージの剛性は、前記第２剛性リンケージの剛性よりも小さい、項１に記載のバンパー装置。
６．前記第１方向は、前記第２方向と直交している、項１に記載のバンパー装置。
７．前記第１アームおよび前記第２アームは、焼戻しマルテンサイト系ステンレス鋼合金を備える、項１に記載のバンパー装置。
８．レチクルステージと、
前記レチクルステージ上に配置されたレチクルと、
前記レチクルに隣接して配置され、前記レチクルの衝撃力を均一に分配するように構成されたレチクルケージであって、
前記レチクルに接触するように構成されたアームを備え、
前記アームが、前記アームの遠位端に向かって配置された第１バンパーと、前記第１バンパーに隣接し、前記アームの近位端に向かって配置された第２バンパーと、を備え、
前記第１バンパーが第１剛性リンケージを備え、前記第２バンパーが第２剛性リンケージを備えるレチクルケージと、を備えるリソグラフィ装置。
９．前記アームは、前記第２バンパーに隣接し、前記アームの近位端に向かって配置された第３バンパーを備える、項８に記載のリソグラフィ装置。
１０．前記第３バンパーは、第３剛性リンケージを備える、項９に記載のリソグラフィ装置。
１１．前記第１剛性リンケージの剛性は、前記第２剛性リンケージの剛性よりも小さく、前記第２剛性リンケージの剛性は、前記第３剛性リンケージの剛性よりも小さい、項１０に記載のリソグラフィ装置。
１２．前記第１剛性リンケージの剛性、前記第２剛性リンケージの剛性、および前記第３剛性リンケージの剛性が等しい、項１０に記載のリソグラフィ装置。
１３．前記アームは、複数の追加バンパーを備える、項８に記載のリソグラフィ装置。
１４．前記複数の追加バンパーは、複数の剛性リンケージを備える、項１３に記載のリソグラフィ装置。
１５．前記複数の剛性リンケージの剛性は、前記アームの遠位端から近位端に向かって増加する、項１４に記載のリソグラフィ装置。
１６．前記レチクルケージは、前記レチクルの外周に沿って配置されるとともに、前記レチクルの衝撃力を複数の衝撃位置に均一に分配するように構成された複数のレチクルケージである、項８に記載のリソグラフィ装置。
１７．前記アームの前記第１剛性リンケージおよび前記第２剛性リンケージは、前記レチクルの衝撃力が前記第１バンパーと前記第２バンパーの間で均等に分配されるように、制御された剛性分布を有する、項８に記載のリソグラフィ装置。
１８．レチクルの衝撃力を低減する方法であって、
バンパー装置を前記レチクルに隣接して配置することを備え、前記バンパー装置は、アームによって前記レチクルに接触し、前記アームは、前記アームの遠位端に向かって配置された第１バンパーと、前記第１バンパーに隣接し、前記アームの近位端に向かって配置された第２バンパーとを備え、前記第１バンパーが第１剛性リンケージを備え、前記第２バンパーが第２剛性リンケージを備えており、さらに、
前記レチクルの衝撃力を前記第１バンパーと前記第２バンパーの間で均一に分配することと、を備える方法。
１９．前記レチクルの衝撃力を前記第１剛性リンケージおよび前記第２剛性リンケージに沿って再分配するように前記第１バンパーおよび前記第２バンパーを屈曲させることをさらに備える、項１８に記載の方法。
２０．前記レチクルの衝撃力が低減されるように、前記レチクルと前記バンパー装置との間を最小のギャップ距離とするように前記バンパー装置を位置決めすることをさらに備える、項１８に記載の方法。
本書ではＩＣの製造におけるリソグラフィ装置の使用について具体的な言及がなされているが、ここに説明したリソグラフィ装置は、その他の用途を有しうるものと理解されたい。ありうる他の用途には、集積光学システム、磁気ドメインメモリ用案内パターンおよび検出パターン、フラットパネルディスプレイ、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）、薄膜磁気ヘッド等の製造が含まれる。
本書ではリソグラフィ装置の文脈における本開示の実施形態について具体的な言及がなされているが、本開示の実施形態は、他の装置にも使用されうる。本開示の実施形態は、マスク検査装置、メトロロジ装置、または、ウェーハ（またはその他の基板）またはマスク（またはその他のパターニングデバイス）などの物体を測定または処理する何らかの装置の一部を形成してもよい。これらの装置は、一般に、リソグラフィックツールとも呼ばれる。こうしたリソグラフィックツールは、真空条件または周囲（非真空）条件を使用してもよい。
上記では、光リソグラフィの文脈における本開示の実施形態の使用について具体的に言及がなされているが、文脈が許す限り、本開示は光リソグラフィに限定されず、例えばインプリントリソグラフィなどの他の用途に使用されうることが理解されるであろう。
本明細書の言葉遣いまたは専門用語は、限定ではなく説明を目的とするものであり、本書の教示を考慮して関連技術分野の当業者によって解釈されるべきものである。
上記の例は、本開示の実施形態を例示するものであるが、限定するものではない。関連技術分野の当業者にとって明らかであろう当該分野で通常遭遇する様々な条件およびパラメータについての他の適切な修正および適応は、本開示の精神および範囲内にある。
本開示の特定の実施形態が上述されたが、説明したもの以外の態様で本開示が実施されてもよい。上述の説明は例示であり、限定を意図しない。よって、後述の特許請求の範囲から逸脱することなく既述の本開示に変更を加えることができるということは、当業者には明らかなことである。
「発明の概要」および「要約」の欄ではなく、「詳細な説明」の欄が特許請求の範囲の解釈に使用されるよう意図されていることを認識されたい。「発明の概要」および「要約」の欄は、発明者によって考案された実施形態のうち一つまたは複数について述べているが、全ての例示的な実施形態について述べているわけではなく、したがって、本発明および添付の特許請求の範囲をいかなる方法によっても限定する意図はない。
上記では、本発明が特定の機能およびその関係の実装を示す機能ブロックを用いて説明されている。これらの機能ブロックの境界は、本書では説明の便宜上任意に定められている。特定の機能およびその関係が適切に実行される限り、代替の境界が定められてもよい。
特定の実施形態についての上記説明は本発明の一般的性質を完全に公開しており、したがって、当業者の知識を適用することによって、過度の実験をすることなく、および本発明の一般概念から逸脱することなく、こうした特定の実施形態を種々の応用に対して直ちに修正しおよび／または適応させることができる。したがって、そのような修正および適応は、本書に提示された教示および助言に基づき、開示された実施形態の意義および等価物の範囲内にあるものと意図されている。
本発明の広がりおよび範囲は、上述した例示的な実施形態のいずれによっても限定されるべきではなく、特許請求の範囲およびその等価物にしたがってのみ定められるべきである。

Claims (20)

  1. レチクルのためのバンパー装置であって、
    第１方向に沿って前記レチクルに接触するように構成された第１アームと、
    第２方向に沿って前記レチクルに接触するように構成された第２アームとを備え、
    前記第１アームは、前記第１アームの遠位端に向かって配置された第１バンパーと、前記第１バンパーに隣接し、前記第１アームの近位端に向かって配置された第２バンパーとを備え、
    前記第１バンパーは、第１剛性リンケージを備え、前記第２バンパーは、第２剛性リンケージを備え、
    前記第１バンパーおよび前記第２バンパーは、前記レチクルの衝撃力を均一に分配するように構成されている、バンパー装置。
  2. 前記第２アームは、前記第２アームの遠位端に向かって配置された第１バンパーと、前記第１バンパーに隣接し、前記第２アームの近位端に向かって配置された第２バンパーとを備える、請求項１に記載のバンパー装置。
  3. 前記第２アームの第１バンパーは、第１剛性リンケージを備え、前記第２アームの第２バンパーは、第２剛性リンケージを備える、請求項２に記載のバンパー装置。
  4. 前記第１剛性リンケージの剛性は、前記第２剛性リンケージの剛性に等しい、請求項１に記載のバンパー装置。
  5. 前記第１剛性リンケージの剛性は、前記第２剛性リンケージの剛性よりも小さい、請求項１に記載のバンパー装置。
  6. 前記第１方向は、前記第２方向と直交している、請求項１に記載のバンパー装置。
  7. 前記第１アームおよび前記第２アームは、焼戻しマルテンサイト系ステンレス鋼合金を備える、請求項１に記載のバンパー装置。
  8. レチクルステージと、
    前記レチクルステージ上に配置されたレチクルと、
    前記レチクルに隣接して配置され、前記レチクルの衝撃力を均一に分配するように構成されたレチクルケージであって、
    前記レチクルに接触するように構成されたアームを備え、
    前記アームが、前記アームの遠位端に向かって配置された第１バンパーと、前記第１バンパーに隣接し、前記アームの近位端に向かって配置された第２バンパーと、を備え、
    前記第１バンパーが第１剛性リンケージを備え、前記第２バンパーが第２剛性リンケージを備えるレチクルケージと、を備えるリソグラフィ装置。
  9. 前記アームは、前記第２バンパーに隣接し、前記アームの近位端に向かって配置された第３バンパーを備える、請求項８に記載のリソグラフィ装置。
  10. 前記第３バンパーは、第３剛性リンケージを備える、請求項９に記載のリソグラフィ装置。
  11. 前記第１剛性リンケージの剛性は、前記第２剛性リンケージの剛性よりも小さく、前記第２剛性リンケージの剛性は、前記第３剛性リンケージの剛性よりも小さい、請求項１０に記載のリソグラフィ装置。
  12. 前記第１剛性リンケージの剛性、前記第２剛性リンケージの剛性、および前記第３剛性リンケージの剛性が等しい、請求項１０に記載のリソグラフィ装置。
  13. 前記アームは、複数の追加バンパーを備える、請求項８に記載のリソグラフィ装置。
  14. 前記複数の追加バンパーは、複数の剛性リンケージを備える、請求項１３に記載のリソグラフィ装置。
  15. 前記複数の剛性リンケージの剛性は、前記アームの遠位端から近位端に向かって増加する、請求項１４に記載のリソグラフィ装置。
  16. 前記レチクルケージは、前記レチクルの外周に沿って配置されるとともに、前記レチクルの衝撃力を複数の衝撃位置に均一に分配するように構成された複数のレチクルケージである、請求項８に記載のリソグラフィ装置。
  17. 前記アームの前記第１剛性リンケージおよび前記第２剛性リンケージは、前記レチクルの衝撃力が前記第１バンパーと前記第２バンパーの間で均等に分配されるように、制御された剛性分布を有する、請求項８に記載のリソグラフィ装置。
  18. レチクルの衝撃力を低減する方法であって、
    バンパー装置を前記レチクルに隣接して配置することを備え、前記バンパー装置は、アームによって前記レチクルに接触し、前記アームは、前記アームの遠位端に向かって配置された第１バンパーと、前記第１バンパーに隣接し、前記アームの近位端に向かって配置された第２バンパーとを備え、前記第１バンパーが第１剛性リンケージを備え、前記第２バンパーが第２剛性リンケージを備えており、さらに、
    前記レチクルの衝撃力を前記第１バンパーと前記第２バンパーの間で均一に分配することと、を備える方法。
  19. 前記レチクルの衝撃力を前記第１剛性リンケージおよび前記第２剛性リンケージに沿って再分配するように前記第１バンパーおよび前記第２バンパーを屈曲させることをさらに備える、請求項１８に記載の方法。
  20. 前記レチクルの衝撃力が低減されるように、前記レチクルと前記バンパー装置との間を最小のギャップ距離とするように前記バンパー装置を位置決めすることをさらに備える、請求項１８に記載の方法。
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