JP6369036B2 - 光導波路及び光導波路の製造方法 - Google Patents
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Description
[付記1]
第一のリブと、第二のリブとが、一側から他側への一方向に沿ってスラブ層上に設けられ、さらに前記第一のリブと前記第二のリブの間に障壁層が接続された光導波路であって、
前記第一のリブは、前記一側の第一の端部から、前記障壁層に接続する第二の端部にかけて幅が広くなる第一のテーパー部を有し、
前記第二のリブは、前記スラブ層の面に順に積層された第一の層、第二の層を有し、
前記第一の層は、前記第二の端部と略同じ幅でありかつ前記障壁層と接続している第三の端部から前記他側の第四の端部にかけて、同じ幅、または幅が広くなる形状を有し、
前記第二の層は、前記一側の第五の端部から第六の端部にかけて幅が広くなる第二のテーパー部を有し、
前記障壁層の前記一方向の一端と他端はいずれも前記第二の端部と前記第三の端部より広い幅を有する、光導波路。
[付記2]
前記第五の端部が前記障壁層の高さ方向上面内にある段差に接する、付記1に記載の光導波路。
[付記3]
前記第六の端部は、第四の端部と揃えて形成される、付記1または2に記載の光導波路。
[付記4]
前記第一のリブと前記第二のリブとの高さ方向上面が略同一面内にある、付記1から3のいずれかに記載の光導波路。
[付記5]
前記第一の端部に略同じ幅で延接された第一の接続部をさらに有する付記1から4のいずれかに記載の光導波路。
[付記6]
前記第一の接続部で光機能素子と接続する、付記5に記載の光導波路。
[付記7]
前記第六の端部は前記第四の端部と略同じ幅である、付記1から6のいずれかに記載の光導波路。
[付記8]
前記第六の端部及び前記第四の端部に略同じ幅で延接された第二の接続部をさらに有する付記7に記載の光導波路。
[付記9]
前記第二の接続部で光ファイバと接続する、付記8に記載の光導波路。
[付記10]
前記第一のリブと前記スラブ層との積層部分の前記第一の端部の断面が略1μm四方である、付記1から9のいずれかに記載の光導波路。
[付記11]
前記第一の端部の断面が接続予定の光機能素子の光導波路と略同形状である、付記1から10のいずれかに記載の光導波路。
[付記12]
前記第一の層と前記第二の層と前記スラブ層との積層部分の前記第四の端部および前記第六の端部における積層方向の断面の幅及び高さが、4−7μmである、付記1から11のいずれかに記載の光導波路。
[付記13]
前記第三の端部の幅が、前記第五の端部の幅の10〜20倍である、付記1から12のいずれかに記載の光導波路。
[付記14]
付記1から13のいずれかに記載の光導波路の製造方法であって、
コア層がクラッド層の上に配置された基板の前記コア層に前記第一のリブを形成する工程と、
前記第一のリブと前記第一のリブを含まない前記コア層のうち前記第一のリブと隣接する領域を覆う保護層を形成する工程と、
前記保護層に覆われていない前記コア層上に追加コア層を形成する工程と
前記追加コアを多段にエッチングし、第一の層と第二の層とを有する第二のリブを形成する工程と、を有する光導波路の製造方法。
[付記15]
前記追加コア層が前記保護層に接して形成される、付記14に記載の光導波路の製造方法。
[付記16]
前記第一のリブと前記第二のリブと前記スラブ層とがシリコンである、付記1から13のいずれかに記載の光導波路。
10 第一のリブ
11 第一の端部
12 第二の端部
13 第一のテーパー部
20 第二のリブ
21 第一の層
22 第三の端部
23 第四の端部
30 障壁層
41 第二の層
42 第五の端部
43 第六の端部
44 第二のテーパー部
50 エッジ
51 界面
52 界面
53 第一の段差
60 第一の接続部
61 第七の端部
70 第二の接続部
71 第八の端部
100 光導波路
101 光導波路
102 光導波路
103 光導波路
200 コア層
201 クラッド層
203 保護層
204 追加コア層
205 保護膜
300 基板
901−1〜901−2 テーパー構造
903 障壁層
Claims (10)
- 第一のリブと、第二のリブとが、一側から他側への一方向に沿ってスラブ層上に設けられ、さらに前記第一のリブと前記第二のリブの間に障壁層が接続された光導波路であって、
前記第一のリブは、前記一側の第一の端部から、前記障壁層に接続する第二の端部にかけて幅が広くなる第一のテーパー部を有し、
前記第二のリブは、前記スラブ層の面に順に積層された第一の層、第二の層を有し、
前記第一の層は、前記第二の端部と略同じ幅でありかつ前記障壁層と接続している第三の端部から前記他側の第四の端部にかけて、同じ幅、または幅が広くなる形状を有し、
前記第二の層は、前記一側の第五の端部から第六の端部にかけて幅が広くなる第二のテーパー部を有し、
前記障壁層の前記一方向の一端と他端はいずれも前記第二の端部と前記第三の端部より広い幅を有する、光導波路。 - 前記第五の端部が前記障壁層の高さ方向上面内にある段差に接する、請求項1に記載の光導波路。
- 前記第六の端部は、第四の端部と揃えて形成される、請求項1または2に記載の光導波路。
- 前記第一のリブと前記第一の層との高さ方向上面が略同一面内にある、請求項1から3のいずれかに記載の光導波路。
- 前記第一の端部に略同じ幅で延接された第一の接続部をさらに有する請求項1から4のいずれかに記載の光導波路。
- 前記第六の端部は前記第四の端部と略同じ幅である、請求項1から5のいずれかに記載の光導波路。
- 前記第六の端部及び前記第四の端部に略同じ幅で延接された第二の接続部をさらに有する請求項6に記載の光導波路。
- 前記第一の端部の断面が接続予定の光機能素子の光導波路と略同形状である、請求項1から7のいずれかに記載の光導波路。
- 前記第三の端部の幅が、前記第五の端部の幅の10〜20倍である、請求項1から8のいずれかに記載の光導波路。
- 請求項1から8のいずれかに記載の光導波路の製造方法であって、
コア層がクラッド層の上に配置された基板の前記コア層に前記第一のリブを形成する工程と、
前記第一のリブと前記第一のリブを含まない前記コア層のうち前記第一のリブと隣接する領域を覆う保護層を形成する工程と、
前記保護層に覆われていない前記コア層上に追加コア層を形成する工程と
前記追加コアを多段にエッチングし、第一の層と第二の層とを有する第二のリブを形成する工程と、を有する光導波路の製造方法。
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