JP6361365B2 - 圧電駆動装置及びその駆動方法、ロボット及びその駆動方法 - Google Patents
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Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2014164622A JP6361365B2 (ja) | 2014-08-13 | 2014-08-13 | 圧電駆動装置及びその駆動方法、ロボット及びその駆動方法 |
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JP2014164622A JP6361365B2 (ja) | 2014-08-13 | 2014-08-13 | 圧電駆動装置及びその駆動方法、ロボット及びその駆動方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
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JP2016040988A JP2016040988A (ja) | 2016-03-24 |
JP2016040988A5 JP2016040988A5 (fr) | 2017-08-24 |
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ID=55541148
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014164622A Active JP6361365B2 (ja) | 2014-08-13 | 2014-08-13 | 圧電駆動装置及びその駆動方法、ロボット及びその駆動方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP6361365B2 (fr) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6828342B2 (ja) | 2016-09-23 | 2021-02-10 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電アクチュエーター、圧電モーター、ロボット、電子部品搬送装置、プリンターおよび圧電アクチュエーターの製造方法 |
JP7272177B2 (ja) | 2019-08-27 | 2023-05-12 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電駆動装置およびロボット |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5521553B2 (ja) * | 2008-01-29 | 2014-06-18 | コニカミノルタ株式会社 | アクチュエータ機構 |
JP5217489B2 (ja) * | 2008-02-25 | 2013-06-19 | コニカミノルタアドバンストレイヤー株式会社 | 駆動機構 |
JP5611565B2 (ja) * | 2009-10-27 | 2014-10-22 | スタンレー電気株式会社 | 圧電振動発電機及びこれを用いた発電装置 |
JP5765993B2 (ja) * | 2011-03-31 | 2015-08-19 | キヤノン株式会社 | 振動型駆動装置 |
JP5978907B2 (ja) * | 2012-10-12 | 2016-08-24 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電アクチュエーター、ロボットハンド、ロボット、電子部品搬送装置、電子部品検査装置、送液ポンプ、印刷装置、電子時計、投影装置、搬送装置 |
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- 2014-08-13 JP JP2014164622A patent/JP6361365B2/ja active Active
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Publication number | Publication date |
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JP2016040988A (ja) | 2016-03-24 |
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