JP5611565B2 - 圧電振動発電機及びこれを用いた発電装置 - Google Patents
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Description
20:整流器
30:蓄電器
41a,41b:部品着用ランド
42a,42b:配線用導体パターン
43a,43b:配線用導体パターン
44a,44b:端子電極
101:支持体
101a:空洞
102:可動錘
103a,103b:弾性梁
1031:下部電極
1032:圧電体層
1033:上部電極
104a:下部電極配線パターン
104b:上部電極配線パターン
105a:下部電極パッド
105b:上部電極パッド
106a,106b:弾性梁
107:酸化シリコン層
108a,108b:電極パッド
109:埋込み酸化シリコン層
201,202,203,204:ダイオード
1011,1012:酸化シリコン層
Claims (6)
- 空洞部が形成された支持体と、
前記空洞部内に設けられ、外部振動によって機械的振動が励振される可動錘と、
前記空洞部内に設けられ、一端が前記支持体に結合され他端が前記可動錘に結合された1対の第1、第2の弾性梁と、
前記各弾性梁に設けられた圧電体層と
を具備し、
前記各弾性梁が折り返し構造を有し、該折り返し構造の折り返し方向が前記各弾性梁の前記一端が結合された前記支持体の部分に対して垂直であり、
前記各第1、第2の弾性梁の折り返し構造は、前記支持体に結合する前記一端から前記可動錘に結合する前記他端において、前記支持体側に位置する複数の支持体側折り返し構造と、前記可動錘側に位置する複数の可動錘側折り返し構造とを有し、
前記第1の弾性梁の前記他端と、前記第2の弾性梁の前記他端とは、前記可動錘の対角線上の隅領域に結合する圧電振動発電機。 - 前記支持体、前記可動錘及び前記弾性梁は同一材料からなる請求項1に記載の圧電振動発電機。
- 前記第1の弾性梁は、該第1の弾性梁における前記一端側から該第1の弾性梁の前記可動錘側折り返し構造に向って延伸し、該第1の弾性梁における前記他端側から該第1の弾性梁の前記支持体側折り返し構造に向って延伸しており、
前記第2の弾性梁は、該第2の弾性梁における前記一端側から該第2の弾性梁の前記可動錘側折り返し構造に向って延伸し、該第2の弾性梁における前記他端側から該第2の弾性梁の前記支持体側折り返し構造に向って延伸している請求項1または2に記載の圧電振動発電機。 - さらに、
前記空洞部内に設けられ、前記弾性梁と直交する方向に一端が前記支持体に結合され他端が前記可動錘に結合された1対のダンパ弾性梁を具備し、
前記各ダンパ弾性梁が折り返し構造を有する請求項1に記載の圧電振動発電機。 - 請求項1〜4のいずれかに記載の圧電振動発電機と、
前記圧電振動発電機の圧電体層に発生する交流電圧を全波整流する整流器と、
該整流された電圧を平滑する蓄電器と、
前記圧電振動発電機、前記整流器及び前記蓄電器を実装した絶縁基板と
を具備する発電装置。 - 請求項1〜4のいずれかに記載の複数の圧電振動発電機と、
前記圧電振動発電機の圧電体層に発生する交流電圧を全波整流する整流器と、
該整流された電圧を平滑する蓄電器と、
前記圧電振動発電機、前記整流器及び前記蓄電器を実装した絶縁基板と
を具備し、
前記複数の圧電振動発電機の少なくとも2つが前記絶縁基板上で配置方向が直交するように並列配置され前記複数の圧電振動発電機が並列及び/もしくは直列に前記整流器に接続された発電装置。
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108069385A (zh) * | 2017-11-30 | 2018-05-25 | 中国电子科技集团公司第三研究所 | 一种质点振速测量敏感结构及制备方法 |
CN109060108A (zh) * | 2018-07-02 | 2018-12-21 | 中国电子科技集团公司第三研究所 | 一种低频声场质点振速敏感结构及制备方法 |
CN109067240A (zh) * | 2018-07-17 | 2018-12-21 | 同济大学 | 一种带空腔的梁式压电集能器 |
US11855556B2 (en) | 2019-09-02 | 2023-12-26 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Method and apparatus that provides power generated from external energy signal |
Families Citing this family (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2012105368A1 (ja) * | 2011-02-04 | 2012-08-09 | 株式会社村田製作所 | 圧電発電装置 |
CN102826499B (zh) * | 2011-06-15 | 2015-02-04 | 美新半导体(无锡)有限公司 | 弹性梁及包括其的mems传感器 |
JP5931472B2 (ja) * | 2012-01-30 | 2016-06-08 | 株式会社ミツバ | 発電装置 |
DE102012101848A1 (de) * | 2012-03-06 | 2013-09-12 | Contitech Transportbandsysteme Gmbh | Piezoelektrischer Energiewandler |
JP2014011843A (ja) * | 2012-06-28 | 2014-01-20 | Toyo Tire & Rubber Co Ltd | 振動発電装置及び振動発電装置の設計方法 |
CN103856103B (zh) * | 2012-12-04 | 2016-04-06 | 北京嘉岳同乐极电子有限公司 | 震动发电装置 |
JP6203292B2 (ja) * | 2013-01-23 | 2017-09-27 | ザ・リージェンツ・オブ・ザ・ユニバーシティ・オブ・ミシガンThe Regents Of The University Of Michigan | 圧電振動エネルギハーベスタ |
JP6265543B2 (ja) * | 2014-05-30 | 2018-01-24 | 浩平 速水 | 発電装置 |
JP6361365B2 (ja) * | 2014-08-13 | 2018-07-25 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電駆動装置及びその駆動方法、ロボット及びその駆動方法 |
JP6418898B2 (ja) * | 2014-10-30 | 2018-11-07 | 京セラ株式会社 | 圧電発電装置 |
JP6663148B2 (ja) * | 2015-11-09 | 2020-03-11 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | 振動検出素子 |
CN109844609B (zh) * | 2016-10-19 | 2021-11-19 | 索尼半导体解决方案公司 | 半导体器件、显示装置和电子设备 |
CN106992715A (zh) * | 2017-06-07 | 2017-07-28 | 张曦予 | 自感应磁激式踩踏振动能收集板 |
CN107345551B (zh) * | 2017-08-17 | 2023-01-31 | 浙江师范大学 | 一种自供电阻尼器 |
CN108310649B (zh) * | 2018-01-24 | 2022-07-05 | 张海军 | 一种具有充电管理技术的自供能无线起搏器 |
WO2020044395A1 (ja) * | 2018-08-27 | 2020-03-05 | 株式会社 トライフォース・マネジメント | 発電素子 |
CN111220257B (zh) * | 2020-01-16 | 2022-04-08 | 江苏物联网研究发展中心 | 一种声粒子速度反应器及其制作方法 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3525555B2 (ja) * | 1995-06-01 | 2004-05-10 | 株式会社デンソー | 2次元光走査装置 |
JP2001349732A (ja) * | 2000-06-06 | 2001-12-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | マイクロマシンデバイスおよび角加速度センサおよび加速度センサ |
US6935759B1 (en) * | 2002-02-19 | 2005-08-30 | Glimmerglass Networks, Inc. | Folded longitudinal torsional hinge for gimbaled MEMS mirror |
JP4596240B2 (ja) * | 2004-08-11 | 2010-12-08 | 横浜ゴム株式会社 | 発電装置及びこれを備えたタイヤ |
US8437061B2 (en) * | 2007-08-27 | 2013-05-07 | Panasonic Corporation | Piezoelectric actuator, optical reflection element using the same and piezoelectric driver |
JP2009075209A (ja) * | 2007-09-19 | 2009-04-09 | Hitachi Metals Ltd | ミラーデバイス並びにそれを用いた光部品および光スイッチ |
-
2009
- 2009-10-27 JP JP2009246154A patent/JP5611565B2/ja active Active
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108069385A (zh) * | 2017-11-30 | 2018-05-25 | 中国电子科技集团公司第三研究所 | 一种质点振速测量敏感结构及制备方法 |
CN108069385B (zh) * | 2017-11-30 | 2019-08-23 | 中国电子科技集团公司第三研究所 | 一种质点振速测量敏感结构及制备方法 |
CN109060108A (zh) * | 2018-07-02 | 2018-12-21 | 中国电子科技集团公司第三研究所 | 一种低频声场质点振速敏感结构及制备方法 |
CN109067240A (zh) * | 2018-07-17 | 2018-12-21 | 同济大学 | 一种带空腔的梁式压电集能器 |
US11855556B2 (en) | 2019-09-02 | 2023-12-26 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Method and apparatus that provides power generated from external energy signal |
Also Published As
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