JP6359939B2 - 検査装置 - Google Patents

Description

本発明は、校正手段を有する検査装置に関し、特に、シェーディング補正手段を有する検査装置に関する。

被検査物を撮像して得られた画像データに基づいて、被検査物の表面に存在する異物や傷等を検査する検査装置として、撮像タイミングに同期して、複数の照明を順次切り替えて撮像する検査装置がある（例えば、特許文献１参照。）。

また、近年、ＣＣＤやＣＭＯＳ等の撮像素子を用いた撮像装置によって得られる画像データの明るさのムラを補正する技術が検討されている。例えば、撮像素子の感度や照明のばらつき、レンズ等に起因する明るさムラを補正する技術として、シェーディング補正が知られている（例えば、特許文献２参照。）。このシェーディング補正は、ラインセンサ各画素の感度特性のばらつきを補正する技術であって、白基準データと黒基準データに基づいて、画像データを規格化することによって各画素の感度ばらつきを補正している。このため、シェーディング補正では、各ラインセンサ（Ｒ、Ｇ、Ｂ）の各画素毎にそれぞれ白基準データと黒基準データをもつ。

さらに、カラーラインセンサ用にＲＧＢ各色について設けられた３つのシェーディング補正回路をもつデータ処理回路がある（例えば、特許文献３参照。）。

特開２０１２−４２２９７号公報 特開平８−３０７６７２号公報 特開２００９−９４９２８号公報

上記のシェーディング補正技術では、ＲＧＢの３つの撮像素子に対して、ＲＧＢそれぞれの撮像素子についての補正データは持つものの、これらの補正データは、特定の照明条件における補正データであって、複数の照明条件毎の補正データを有していない。

しかし、撮像時の照明条件が異なればシェーディング補正のためのデータも変化する。そのため、複数の照明条件を切り替えて撮像する場合には、１つの照明条件における補正データだけでは正確なシェーディング補正は困難である。

そのため、被検査物を撮像して得られた画像データに基づいて、被検査物の表面に存在する異物や傷等を検査する検査装置においてシェーディング補正を行う場合にも、１つの照明条件における補正データだけでは正確なシェーディング補正は困難であった。

本発明は、複数の照明条件に対応した校正を行うことができる検査装置を提供することを目的とする。

本発明に係る検査装置は、被検査物に異なる複数の照明条件を切り替えて照明可能な照明手段と、
前記照明手段で照明された前記被検査物の画像データを得る撮像手段と、
前記複数の照明条件に対応して前記撮像手段と前記画像データとの少なくとも一方を校正するための複数の校正データを記憶する記憶手段と、
撮像時の照明条件の切り替えに対応して前記複数の校正データを切り替えて前記撮像手段と前記画像データとの少なくとも一方の校正を行う校正手段と、
前記校正後の画像データに基づいて前記被検査物の検査を行う検査手段と、
を備えることを特徴とする。

本発明に係る検査装置によれば、照明条件に対応する校正データによって撮像手段と画像データとの少なくとも一方を校正できるので、照明条件に対応した適切な校正を行うことができる。

実施の形態１に係る検査装置の構成を示すブロック図である。 ｍ_ｍａｘ個の照明を順次切り替えて撮像を行うスイッチング撮像において、照明条件に対応する校正を行って校正後の画像データを得る撮像方法のフローチャートである。 実施の形態２に係る検査装置の構成を示すブロック図である。 実施の形態３に係る検査装置の構成を示すブロック図である。 図４の検査装置を構成する撮像装置におけるシェーディング補正手段の動作を示す概略図である。 シェーディング補正データを構成する各画素の白基準と黒基準と、補正前の画像信号と、補正後の画像信号と、を示すグラフである。

第１の態様に係る検査装置は、被検査物に異なる複数の照明条件を切り替えて照明可能な照明手段と、
前記照明手段で照明された前記被検査物の画像データを得る撮像手段と、
前記複数の照明条件に対応して前記撮像手段と前記画像データとの少なくとも一方を校正するための複数の校正データを記憶する記憶手段と、
撮像時の照明条件の切り替えに対応して前記複数の校正データを切り替えて前記撮像手段と前記画像データとの少なくとも一方の校正を行う校正手段と、
前記校正後の画像データに基づいて前記被検査物の検査を行う検査手段と、
を備えることを特徴とする。

第２の態様に係る検査装置は、上記第１の態様において、前記照明手段は、それぞれ異なる照明条件で照明する複数の照明装置を備えてもよい。

第３の態様に係る検査装置は、上記第１又は第２の態様において、前記校正データは、前記画像データをシェーディング補正するためのシェーディング補正データであってもよい。
この場合に、前記校正手段は、前記シェーディング補正データを用いてシェーディング補正を行うシェーディング補正手段であってもよい。

第４の態様に係る検査装置は、上記第１又は第２の態様において、前記校正データは、前記撮像手段における撮像素子の蓄積時間に関する校正データであってもよい。
この場合に、前記校正手段は、前記蓄積時間に関する校正データを用いて前記撮像手段における撮像素子の蓄積時間を調整する手段であってもよい。

第５の態様に係る検査装置は、上記第１又は第２の態様において、前記校正データは、前記撮像手段におけるゲインに関する校正データであってもよい。
この場合に、前記校正手段は、前記ゲインに関する校正データを用いて前記撮像手段におけるゲインを調整する手段であってもよい。

第６の態様に係る検査装置は、上記第１から第５のいずれかの態様において、前記校正手段は、撮像時の前記照明条件の切り替えと同期して撮像時の前記照明条件に対応する校正データに切り替えてもよい。

上記構成によって、照明条件の切り替えと同期して校正データを切り替えることで、各照明条件ごとに対応する校正を順次実行できる。

第７の態様に係る検査装置は、上記第１から第６のいずれかの態様において、前記校正手段は、前記撮像手段における撮像と同期して前記校正データを切り替えてもよい。

第８の態様に係る撮像装置は、上記第１から第７のいずれかの態様において、校正後の画像データの画像信号を低階調化して外部に出力する出力手段を備えてもよい。

以下、本発明の実施の形態に係る検査装置について、添付図面を参照しながら説明する。なお、図面において実質的に同一の部材については同一の符号を付している。

（実施の形態１）
＜検査装置＞
図１は、実施の形態１に係る検査装置３０の構成を示すブロック図である。この検査装置３０は、撮像装置１０と、同期信号発生手段１６と、照明制御手段１７と、複数の照明装置である照明１８ａ、１８ｂ、１８ｃ、１８ｄと、制御装置２０と、を備える。この検査装置３０は、特開２０１２−４２２９７号公報に記載のように、同期信号発生手段１６による同期信号によって、撮像装置１０における撮像手段１の撮像タイミングに同期して複数の照明１８ａ、１８ｂ、１８ｃ、１８ｄによる照明条件を切り替えながら撮像する、いわゆるスイッチング撮像方式で駆動させることができる。複数の照明１８ａ、１８ｂ、１８ｃ、１８ｄは、照明制御手段１７によって制御できる。

この検査装置３０では、撮像手段１と画像データとの少なくとも一方を校正するための各照明条件に対応する校正データ２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄを記憶する記憶手段２と、校正データを用いて撮像手段１と画像データとの少なくとも一方を校正する校正手段３と、を備える。これによって、照明条件に対応する校正データによって撮像手段１と画像データとの少なくとも一方を校正できるので、照明条件に対応した適切な校正を行うことができる。
上記記憶手段２と、校正手段３は、制御装置２０に含むように構成しているが、これに限られない。例えば、実施の形態２に示すように、撮像装置１０に含む構成としてもよい。また、制御装置２０は、校正後の画像データに基づいて被検査物の検査を行う検査手段２５を備える。
なお、この検査装置３０は、撮像装置１０における撮像手段１の撮像タイミングと複数の照明１８ａ、１８ｂ、１８ｃ、１８ｄによる照明条件の切り替えとを同期させることなく駆動してもよく、撮像タイミングと照明条件の切り替えとの同期は、必須の構成ではない。

＜撮像装置＞
この撮像装置１０は、被検査物の画像データを得る撮像手段１を備える。また、画像データの画像信号を低階調化して外部に出力する出力手段４を備えてもよい。

＜撮像手段＞
撮像手段１は、ＣＣＤ、ＣＭＯＳ等の撮像素子１ａと、撮像素子１ａを制御する撮像制御手段１ｂとを含んでもよい。また、撮像手段１は、ラインセンサあるいはエリアセンサのいずれであってもよい。例えば、被検査物が搬送されている場合には、搬送方向に沿って高速に走査するために、ラインセンサを用いてもよい。ラインセンサは単一のモノクロラインセンサであってもよい。
なお、図１では、レンズ１５を撮像手段１とは分離して示しているが、これは、単に略真上から撮像している撮像状態を示すために便宜的にレンズ１５を撮像手段１から分離して示しているにすぎない。なお、レンズ１５は、撮像手段１に含まれてもよい。また、図１では撮像装置を一体のものとして示しているが、例えば、ヘッド分離型の構成（撮像手段１とレンズ１５がヘッド部、それより後段の処理部がコントローラ部として分離した構造）であってもよい。

＜出力手段＞
出力手段４によって画像データの画像信号を撮像装置１０の外部に出力する。
なお、出力手段４は、外部出力時に伝送レートが制限される場合があり、画像信号を低階調化処理して外部出力する場合がある。この場合には、高精度の画像信号の精度を低下させて出力する。

＜制御装置＞
制御装置２０は、記憶手段２と、校正手段３と、検査手段２５と、を備える。なお、撮像手段１と校正手段３との間にバッファメモリを設けてもよい。

＜記憶手段＞
記憶手段２は、各照明条件に対応する複数の校正データ２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄを有している。校正データ２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄは、撮像手段１と画像データとの少なくとも一方を校正するためのものである。校正データ２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄとしては、例えば、シェーディング補正データであってもよい。あるいは、校正データは、画像全体の明るさを調整するための校正データ、例えば、撮像手段１における撮像素子１ａの蓄積時間に関する校正データであってもよい。また、校正データは、撮像手段１におけるゲインに関する校正データであってもよい。なお、校正データがシェーディング補正データである場合については実施の形態２において詳述する。

＜校正手段＞
校正手段３によって、校正データを用いて撮像手段１と画像データとの少なくとも一方を校正する。校正手段３は、例えば、電気回路によって物理的な構成として実現してもよい。あるいは、コンピュータ上で動作するコンピュータソフトウエアによって実現してもよい。コンピュータは、通常の構成要素であるＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ、ハードディスク、入出力インタフェース等のうち上記校正動作を実行できる必要最小限の機能を有していればよい。

また、校正データが撮像手段１における撮像素子の蓄積時間に関する校正データの場合には、校正手段３によって撮像手段１の撮像素子の蓄積時間を校正データに基づいて変更し、露光、撮像を行って画像データを得ることができる。実際には、校正手段３は、記憶手段２から蓄積時間に関する設定値の校正データ２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄのいずれかを読み出し、その値を撮像手段１にセットすることで撮像素子１ａの蓄積時間を変更する。
校正データが撮像手段１におけるゲインに関する校正データの場合には、校正手段３によって撮像手段１のゲイン（アナログゲイン又はデジタルゲイン）を校正データに基づいて変更し、露光、撮像を行って画像データを得る。実際には、校正手段３は、記憶手段２からゲインに関する設定値の校正データ２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄのいずれかを読み出し、その値を撮像手段１にセットすることでゲインを変更する。
なお、校正手段３は、照明１８ａ、１８ｂ、１８ｃ、１８ｄによる照明条件の切り替え、及び、撮像手段１における撮像に同期して校正データを切り替えてもよい。

＜検査手段＞
検査手段２５によって校正後の画像データに基づいて被検査物５の検査を行う。例えば、画像データについてパターンマッチングの手法を用いて被検査物５の形状、模様、色彩等を検査してもよい。また、種々の画像処理フィルタを用いて被検査物５の欠陥を抽出してもよい。
また、異なる照明条件で撮像した複数の画像データを組み合わせて検査することで、単一の照明条件で得られた画像データだけでは判別できないような欠陥も検査することができる。例えば、異なる波長の照明で被検査物５を撮像した複数の画像データをそれぞれ異なる色で表して、各画像データを合成してカラー画像を作成し、合成したカラー画像を基にして被検査物５の検査を行ってもよい。
なお、上記校正後の画像データとは、例えば、校正が画像データに関するもの、例えばシェーディング補正等の画像データの校正である場合には「校正後の画像データ」であり、校正が蓄積時間又はゲインについての撮像手段の校正の場合には、「校正後の撮像手段で得た画像データ」を意味する。
このとき本発明に係る検査装置３０によれば、撮像時の照明条件に対応する校正データで校正するため、異なる照明条件で撮像した複数の画像データを容易に組み合わせることができる。

＜バッファメモリ＞
この制御装置２０では、撮像手段１と校正手段３との間にバッファメモリを設けてもよい。バッファメモリは、撮像手段１からの画像信号を一時的に保持しておくことができる。これによって、撮像のタイミングと校正のタイミングとを同期させない場合にも、校正前の画像データを所定期間にわたって保持できる。

＜照明手段＞
照明手段は、被検査物５に異なる複数の照明条件を切り替えて照明できる。この検査装置３０では、照明手段として、拡散反射光となる照明装置である照明Ｌ１（１８ａ）、照明Ｌ２（１８ｂ）、照明Ｌ３（１８ｃ）と、正反射光となる照明装置である照明Ｌ４（１８ｄ）とを有している。また、照明Ｌ１（１８ａ）、照明Ｌ２（１８ｂ）、照明Ｌ３（１８ｃ）は、それぞれＲ、Ｇ、Ｂに対応する赤色光（Ｒ）、緑色光（Ｇ）、青色光（Ｂ）を照射し、照明Ｌ４（１８ｄ）は、白色光を照射する。
なお、照明手段は、照明１８ａ、１８ｂ、１８ｃ、１８ｄの４つに限られるものではない。例えば、照明装置の数は１つ、２つ、３つ、あるいは５つ以上であってもよい。また上記の例では、照明手段を、３つの拡散反射光と、１つの正反射光との組合せで構成しているが、これに限られず、例えば、さらに透過光（図示せず）を組み合わせてもよい。また、同じ拡散反射光についても異なる入射角度の拡散反射光を設けてもよい。これによって、入射角度が浅い場合に見えやすい異物と、入射角度が深い場合に見えやすい異物の双方を検査できる。

＜同期信号発生手段＞
同期信号発生手段１６は、撮像手段１と、校正手段３と、照明制御手段１７と、に同期信号を送り、照明１８ａ、１８ｂ、１８ｃ、１８ｄによる照明条件の切り替えと、撮像のタイミングと、を同期させる。また、撮像の終了後、次の照明条件への切り替えと、１つ前の照明条件によって撮像された画像信号についての校正とを、同期させる。したがって、照明１８ａ、１８ｂ、１８ｃ、１８ｄの切り替えと、１つ前の照明条件に対応する校正データ２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄの読み込みとを同期させることとなる。
なお、同期信号発生手段１６は、撮像装置１０、照明制御手段１７、制御装置２０のいずれに設けられていてもよい。あるいは、別体として設けられていてもよい。

＜照明制御手段＞
照明制御手段１７によって照明１８ａ、１８ｂ、１８ｃ、１８ｄを制御する。照明制御手段１７は、上記同期信号に基づいて照明１８ａ、１８ｂ、１８ｃ、１８ｄを順次切り替える。なお、スイッチング撮像における照明条件の制御は、複数の照明を順次切り替えることだけに限られず、例えば、２つ以上の照明を組み合わせて同時に照射してもよく、また、１つの照明を、波長や明るさを切り替えながら複数回照射してもよい。
なお、照明制御手段１７は、撮像装置１０、制御装置２０のいずれに設けられていてもよい。あるいは、別体として設けられていてもよい。

＜搬送手段＞
搬送手段１９は、例えば、被検査物を一方向に搬送するものであってもよい。搬送手段１９としては、例えば、ベルトコンベアであってもよい。
なお、この検査装置３０において、搬送手段１９は必須の構成ではない。例えば、撮像手段１としてラインセンサを用いた場合には、搬送手段１９によって被検査物を一方向に搬送して被検査物の全体を撮像することができる。一方、撮像手段１としてエリアセンサを用いた場合にはそのままで被検査物の全体を撮像できるので、搬送手段１９は必要とされない。

＜撮像方法＞
図２は、ｍ_ｍａｘ個の照明を順次切り替えて撮像を行うスイッチング撮像において、校正を行って校正後の画像データを得る撮像方法のフローチャートである。
（１）予め、各照明条件毎のシェーディング補正データ・蓄積時間・ゲインを記憶手段に記憶する（Ｓ０１）。なお、各照明条件に対応するシェーディング補正データの取得は、上述のように各照明条件ごとの白基準及び黒基準を得ることに対応する。蓄積時間・ゲインについても各照明条件ごとの輝度と蓄積時間・ゲインとの関係を得ることによって、校正データが得られる。
（２）初期設定として、ｎ＝１、ｍ＝１に設定する（Ｓ０２）。
（３）ｎライン目の撮像を開始する（Ｓ０３）。
（４）ｍ番目の校正データで蓄積時間・ゲインを設定する（Ｓ０４）。例えば、照明が正反射光等のために明るすぎる場合には撮像手段１の撮像素子１ａの蓄積時間を減らすか又はゲインを低下させ、逆に透過光等のために暗すぎる場合には撮像素子１１ａの蓄積時間を増やすか又はゲインを増大させてもよい。
（５）ｍ番目の照明を点灯する（Ｓ０５）。
（６）露光して撮像し、画像信号を得る（Ｓ０６）。
（７）ｍ番目の照明を消灯する（Ｓ０７）。
（８）ｍ番目の校正データ（シェーディング補正データ）で画像信号をシェーディング補正して出力する（Ｓ０８）。
（９）照明の番号ｍがｍ_ｍａｘか否か判断（Ｓ０９）し、ｍ_ｍａｘである場合には照明の番号ｍを１にリセット（Ｓ１０）し、ｍ_ｍａｘでない場合にはｍをインクリメント（ｍ＝ｍ＋１）（Ｓ１１）し、ステップＳ０４に戻る。なお、照明の番号ｍのリセット（Ｓ１０）は、この段階で行う場合に限られない。例えば、ｎライン目の撮像を開始する（Ｓ０３）際に同時に照明の番号ｍをリセットしてもよい。
（１０）照明の番号ｍを１にリセットした後、ラインの番号ｎがｎ_ｍａｘであるか判断（Ｓ１２）し、ｎ_ｍａｘである場合には撮像を終了する。ラインの番号ｎがｎ_ｍａｘでない場合、ｎをインクリメント（ｎ＝ｎ＋１）（Ｓ１３）し、ステップＳ０３に戻る。
以上によって、ｍ_ｍａｘ個の照明を順次切り替えて撮像を行うスイッチング撮像において、各照明条件に対応する校正データ（シェーディング補正データ、蓄積時間、ゲイン）を用いて撮像手段と画像データとの少なくとも一方を校正して、校正後の画像データを得ることができる。

上記撮像方法によれば、ラインセンサ等の撮像手段１の画素ごとの感度ムラと、照明条件の差異に起因する照明ムラとを、同時に補正することができる。

なお、上記撮像方法では、シェーディング補正、蓄積時間、ゲインの全てを校正する場合について説明したが、これら全てを校正する必要はない。シェーディング補正、蓄積時間、ゲインのいずれか１つ又はこれらの組合せについて校正を行ってもよい。

（実施の形態２）
図３は、実施の形態２に係る検査装置３０ａの構成を示すブロック図である。この検査装置３０ａは、実施の形態１に係る検査装置３０と対比すると、記憶手段２及び校正手段３を制御装置２０ではなく、撮像装置１０ａにおいて備える点で相違する。具体的には、撮像装置１０ａは、撮像手段１と画像データとの少なくとも一方を校正するための各照明条件に対応する校正データ２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄを記憶する記憶手段２と、校正データを用いて撮像手段１と画像データとの少なくとも一方を校正する校正手段３と、を備える。

このように撮像装置１０ａの内部において、各照明条件に対応する校正データ２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄを有する記憶手段２と、校正手段３とを備えるので、外部に出力して処理する場合と比べて、外部出力の際の低階調化処理の影響を受けることなく、撮像装置１０ａの内部で高精度の画像データ（高階調画像信号）のままで校正することができ、高精度の校正済みの画像データを得ることができる。
なお、その後の外部出力で校正済み画像データは低階調化処理を受けるが、低階調化処理後に校正を行った場合に比べて低階調化の影響、例えば大幅な桁落ちなど、を受けないため、精度低下の影響を抑制できる。

（実施の形態３）
＜検査装置＞
図４は、実施の形態３に係る検査装置３０ｂの構成を示すブロック図である。この検査装置３０ｂは、実施の形態２に係る検査装置３０ａと対比すると、検査装置３０ｂを構成する撮像装置１０ｂが、画像データをシェーディング補正するためのシェーディング補正データ１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄ、１２ｅを記憶する記憶手段１２と、シェーディング補正データ１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄ、１２ｅを用いて画像データをシェーディング補正するシェーディング補正手段１３と、を備える点で相違する。また、照明において、透過光となる照明Ｌ５（１８ｅ）をさらに設けている点で相違する。なお、それ以外の構成については実施の形態２に係る検査装置と実質的に同一である。
この検査装置３０ｂでは、撮像時の照明条件に対応するシェーディング補正データによって画像データをシェーディング補正できるので、照明条件に対応した適切な補正を行うことができる。また、この検査装置３０ｂを構成する撮像装置１０ｂは、その内部において、シェーディング補正データ１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄ、１２ｅを有する記憶手段１２と、シェーディング補正手段１３とを備える。そこで、外部に出力して処理する場合と比べて、外部出力の際の低階調化処理の影響を受けることなく、撮像装置１０ｂの内部で高精度の画像データ（高階調画像信号）のままでシェーディング補正を行うことができ、高精度の補正済みの画像データを得ることができる。

以下に、この検査装置３０ｂを構成する各構成要素について説明する。

＜撮像装置＞
検査装置３０ｂの撮像装置１０ｂを構成する各構成要素について説明する。
＜撮像手段＞
撮像手段１１は、実施の形態１及び２における撮像手段１と実質的に同様のものを使用できる。そこで、詳細の説明を省略する。

＜記憶手段＞
記憶手段１２は、複数のシェーディング補正データ１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄ、１２ｅを有している。各シェーディング補正データ１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄ、１２ｅは、各照明条件について、撮像手段１１の撮像素子１１ａの各画素の白基準と黒基準とからなる。例えば、図６は、シェーディング補正データを構成する各画素の白基準Ｗと黒基準Ｂとを示すグラフである。図６の横軸は、画素位置を表し、縦軸は、輝度を表している。
また、第１シェーディング補正データ１２ａ、第２シェーディング補正データ１２ｂ、第３シェーディング補正データ１２ｃ、第４シェーディング補正データ１２ｄ、第５シェーディング補正データ１２ｅは、それぞれ照明Ｌ１（１８ａ）、照明Ｌ２（１８ｂ）、照明Ｌ３（１８ｃ）、照明Ｌ４（１８ｄ）、照明Ｌ５（１８ｅ）による照明条件に対応している。なお、照明の数とシェーディング補正データの数とは一致している必要はなく、様々な照明条件の組み合わせに対応した複数のシェーディング補正データを必要な数だけ記憶しておき、照明条件の切り替えに対応して適切なシェーディング補正データを用いればよい。
シェーディング補正データを構成する各画素の白基準Ｗは、各照明毎に白の校正板を用いて撮像して得ることができる。あるいは、各照明から撮像手段１１の撮像素子１１ａに直接照射して撮像して白基準Ｗを得る場合もある。黒基準Ｂは、撮像手段１１の撮像素子１１ａに全く光が入らない状態、例えば、レンズ１５にフタをした状態で撮像して得ることができる。あるいは、白基準Ｗと同様に、各照明毎に黒の校正板を用いて撮像して黒基準Ｂを得るようにしてもよい。なお、黒基準Ｂは、すべての照明１８ａ、１８ｂ、１８ｃ、１８ｄ、１８ｅについて共通のデータとしてもよい。

＜シェーディング補正手段＞
シェーディング補正手段１３は、実施の形態１及び２における校正手段３に対応する。このシェーディング補正手段１３は、シェーディング補正データを用いて画像データをシェーディング補正する。シェーディング補正手段１３は、例えば、電気回路によって物理的な構成として実現してもよい。あるいは、コンピュータ上で動作するコンピュータソフトウエアによって実現してもよい。コンピュータは、通常の構成要素であるＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ、ハードディスク、入出力インタフェース等のうち上記補正動作を実行できる必要最小限の機能を有していればよい。
なお、シェーディング補正手段１３を電気回路として構成した場合には、照明条件毎に設けた複数のシェーディング補正回路を、撮像および照明の点灯と同期して切り替えることで、照明切り替えの度に記憶手段１２からシェーディング補正データ１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄ、１２ｅを読み出す時間が不要になり、より高速な補正処理ができる。

図５は、図４の検査装置３０ｂを構成する撮像装置１０ｂのシェーディング補正手段１３の動作を示す概略図である。図６は、１つのシェーディング補正データを構成する各画素ｉの白基準Ｗｉと黒基準Ｂｉを全画素にわたってそれぞれ要素として含む白基準Ｗと黒基準Ｂと、各画素ｉの補正前の画像信号Ｓｉを全画素にわたって要素として含む補正前の画像信号Ｓと、各画素ｉの補正後の画像信号Ｓ’ｉを全画素にわたって要素として含む補正後の画像信号Ｓ’、の一例を示すグラフである。
シェーディング補正手段１３によるシェーディング補正について以下に説明する。
（ａ）シェーディング補正手段１３は、画像信号Ｓと、撮像条件である照明条件に対応するシェーディング補正データを構成する白基準Ｗ及び黒基準Ｂと、をそれぞれラインメモリ２２ａ、２２ｂ、２２ｃに記憶する。
（ｂ）次いで、各画素ｉごとに白基準Ｗｉと黒基準Ｂｉとの差（Ｗｉ−Ｂｉ）と、画像信号Ｓｉと黒基準Ｂｉとの差（Ｓｉ−Ｂｉ）をそれぞれ算出する。
（ｃ）その後、各画素ｉごとに画像信号Ｓｉと黒基準Ｂｉとの差（Ｓｉ−Ｂｉ）を白基準Ｗｉと黒基準Ｂｉとの差（Ｗｉ−Ｂｉ）で除して規格化した値（Ｓｉ−Ｂｉ）／（Ｗｉ−Ｂｉ）を得る。
（ｄ）この規格化値にｎビットの画像信号Ｓｉの最大値２^ｎ−１を乗じた値（Ｓｉ−Ｂｉ）／（Ｗｉ−Ｂｉ）＊（２^ｎ−１）を補正後の画像信号Ｓ’ｉとして出力する。
以上によって、照明条件に対応したシェーディング補正を行うことができる。

＜出力手段＞
出力手段１４は、実施の形態１及び２における出力手段４と実質的に同様のものを使用できる。そこで、詳細の説明を省略する。

＜バッファメモリ＞
バッファメモリは、実施の形態１におけるバッファメモリと実質的に同様のものを使用できる。そこで、詳細の説明を省略する。

＜照明＞
この検査装置３０ｂでは、透過光となる照明Ｌ５（１８ｅ）をさらに設けている。この透過光となる照明Ｌ５（１８ｅ）を用いることによって、例えば、透明な被検査物上の異物を検出しやすいという効果が得られる。

＜同期信号発生手段＞
同期信号発生手段１６は、実施の形態１及び２における同期信号発生手段１６と実質的に同様のものを使用できる。そこで、詳細の説明を省略する。

＜照明制御手段＞
照明制御手段１７は、実施の形態１及び２における照明制御手段１７と実質的に同様のものを使用できる。そこで、詳細の説明を省略する。

＜搬送手段＞
搬送手段１９は、実施の形態１及び２における搬送手段１９と実質的に同様のものを使用できる。そこで、詳細の説明を省略する。

なお、本開示においては、前述した様々な実施の形態のうちの任意の実施の形態を適宜組み合わせることを含むものであり、それぞれの実施の形態が有する効果を奏することができる。

本発明に係る検査装置によれば、照明条件に対応する校正データによって撮像手段と画像データとの少なくとも一方を校正できるので、照明条件に対応した適切な校正を行うことができる。

１、１１ 撮像手段
１ａ、１１ａ 撮像素子
１ｂ、１１ｂ 撮像制御手段
２、１２ 記憶手段
２ａ 第１校正データ
２ｂ 第２校正データ
２ｃ 第３校正データ
２ｄ 第４校正データ
３ 校正手段
４、１４ 出力手段
１０、１０ａ、１０ｂ 撮像装置
１２ａ 第１シェーディング補正データ
１２ｂ 第２シェーディング補正データ
１２ｃ 第３シェーディング補正データ
１２ｄ 第４シェーディング補正データ
１２ｅ 第５シェーディング補正データ
１３ シェーディング補正手段
１５ レンズ
１６ 同期信号発生手段
１７ 照明制御手段
１８ａ、１８ｂ、１８ｃ、１８ｄ、１８ｅ 照明
１９ 搬送手段
２０、２０ａ、２０ｂ 制御装置
２２ａ、２２ｂ、２２ｃ ラインメモリ
２５ 検査手段
３０、３０ａ、３０ｂ 検査装置
５ 被検査物

Claims (7)

1. 被検査物に異なる複数の照明条件を切り替えて照明可能な照明手段と、
   前記照明手段で照明された前記被検査物の画像データを得る撮像手段と、
   前記複数の照明条件に対応して前記撮像手段と前記画像データとの少なくとも一方を校正するための複数の校正データを記憶する記憶手段と、
   撮像時の照明条件の切り替えに対応して、前記複数の校正データを切り替えて前記撮像手段と前記画像データとの少なくとも一方の校正を行う校正手段と、
   前記校正後の複数の画像データを組み合わせて前記被検査物の欠陥検査を行う検査手段と、
   を備えることを特徴とする検査装置。
2. 前記照明手段は、それぞれ異なる照明条件で照明する複数の照明装置を備えることを特徴とする、請求項１に記載の検査装置。
3. 前記校正データは、前記画像データをシェーディング補正するためのシェーディング補正データであって、
   前記校正手段は、前記シェーディング補正データを用いてシェーディング補正を行うシェーディング補正手段である、請求項１又は２に記載の検査装置。
4. 前記校正データは、前記撮像手段における撮像素子の蓄積時間に関する校正データであって、
   前記校正手段は、前記蓄積時間に関する校正データを用いて前記撮像手段における撮像素子の蓄積時間を調整する手段である、請求項１又は２に記載の検査装置。
5. 前記校正データは、前記撮像手段におけるゲインに関する校正データであって、
   前記校正手段は、前記ゲインに関する校正データを用いて前記撮像手段におけるゲインを調整する手段である、請求項１又は２に記載の検査装置。
6. 前記校正手段は、撮像時の前記照明条件の切り替えと同期して撮像時の前記照明条件に対応する校正データに切り替える、請求項１から５のいずれか一項に記載の検査装置。
7. 前記校正手段は、前記撮像手段における撮像と同期して前記校正データを切り替える、請求項１から６のいずれか一項に記載の検査装置。

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