KR101207200B1 - 기판 검사장치 및 이를 이용한 기판 검사방법 - Google Patents

Abstract

측정시간을 단축할 수 있는 기판 검사장치 및 이를 이용한 기판 검사방법이 개시된다. 기판 검사장치는 기판을 지지하는 스테이지, 광원 및 격자소자를 포함하고 상기 격자소자를 이송하여 격자무늬조명을 상기 기판에 조사하는 투영부, 및 첫번째 라인부터 마지막 라인까지 순차적으로 오픈하여 상기 기판에 의해 반사되는 반사 격자이미지를 수신하는 카메라를 포함한다. 이때, 격자소자는 적어도 첫번째 라인부터 마지막 라인까지 오픈되는 구간 동안에 이송된다.
이와 같이, 격자소자의 이송을 실질적으로 이미지 촬영이 진행되지 않는 시간대에 맞춰 수행함으로써, 측정품질을 유지함과 동시에 측정 시간을 단축시킬 수 있다.

Description

기판 검사장치 및 이를 이용한 기판 검사방법{Substrate inspection apparatus and Method of inspecting substrate using the same}

본 발명은 기판 검사장치 및 이를 이용한 기판 검사방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 카메라를 이용하여 기판의 3차원 형상을 검사하는 기판 검사장치 및 이를 이용한 기판 검사방법에 관한 것이다.

기판 상에 전자 부품들이 실장된 인쇄회로기판은 다양한 전자 제품에 사용되고 있다. 이러한 인쇄회로기판은 기판의 패드 영역에 납을 도포한 후, 전자 부품의 단자들을 납 도포 영역에 결합시키는 방식으로 제조된다.

일반적으로, 전자 부품이 실장된 인쇄회로기판의 신뢰성을 검증하기 위하여 전자 부품의 실장 전후에 인쇄회로기판의 제조가 제대로 이루어졌는지를 검사할 필요가 있다. 예를 들어, 전자 부품을 인쇄회로기판에 실장하기 전에 인쇄회로기판의 패드 영역에 납이 제대로 도포되었는 지를 검사하거나, 전자 부품을 인쇄회로기판에 실장한 후 전자 부품이 제대로 실장되었는 지를 검사할 필요가 있다.

최근 들어 기판의 3차원 형상의 정밀한 측정을 위하여, 조명원 및 격자소자를 포함하여 측정대상물로 격자무늬조명을 조사하는 하나 이상의 투영부와, 격자무늬조명의 조사를 통해 측정대상물의 영상을 촬영하는 카메라를 이용하여 측정대상물의 3차원 형상을 측정하는 기술이 이용되고 있다.

한편, 빠른 속도로 기판을 검사하기 위해서는 카메라의 촬상시간 또는 격자소자의 이송시간을 줄여야 하나, 카메라의 촬상시간을 줄이면 충분한 반사 격자이미지를 수신하지 못하여 정확한 검사를 하기 힘들며, 격자소자의 이송시간을 줄이는 것 또한 매우 제한적이어서, 실질적으로 검사시간을 단축하기에 어려운 문제가 있다.

따라서, 본 발명은 이와 같은 문제점을 감안한 것으로써, 본 발명은 측정 시간의 단축 및 측정품질을 향상시킬 수 있는 기판 검사장치 및 이를 이용한 기판 검사방법을 제공한다.

본 발명의 일 특징에 따른 기판 검사장치는 기판을 지지하는 스테이지, 광원 및 격자소자를 포함하며 상기 격자소자를 이송하여 격자무늬조명을 상기 기판에 조사하는 투영부, 및 첫번째 라인부터 마지막 라인까지 순차적으로 오픈하여 상기 기판에 의해 반사되는 반사 격자이미지를 수신하는 카메라를 포함한다. 상기 격자소자는 적어도 상기 첫번째 라인부터 마지막 라인까지 오픈되는 구간 동안에 이송된다.

상기 격자소자는 상기 카메라의 모든 라인이 상기 반사 격자이미지를 동시에 수신하는 구간에는 이송되지 않는다.

상기 투영부는 상기 마지막 라인이 오픈되는 시점과 상기 첫번째 라인이 클로즈되는 시점 사이에, 상기 격자무늬조명을 조사한다.

상기 격자소자는 2π/n 만큼씩 이송되며, 상기 카메라는 상기 격자소자의 이송에 대응하여 상기 반사 격자이미지를 n번 수신한다. 여기서, 상기 n은 2이상의 자연수이다.

본 발명의 다른 특징에 따른 기판 검사방법은 광원 및 격자소자를 포함하는 2개 이상의 투영부들과 롤링 셔터 방식의 카메라를 이용하여 기판을 검사하는 기판 검사방법에 있어서, 상기 카메라를 첫번째 라인부터 마지막 라인까지 순차적으로 오픈하는 단계, 상기 투영부들 중 어느 하나의 투영부를 통해 상기 기판에 격자무늬조명을 조사하는 단계, 및 상기 마지막 라인이 오픈되는 시점과 상기 마지막 라인이 클로즈되는 시점 사이에, 상기 격자무늬조명을 조사하는 투영부 이외의 적어도 하나의 다른 투영부에 포함된 격자소자를 이송하는 단계를 포함한다.

상기 투영부는 상기 마지막 라인이 오픈되는 시점과 상기 첫번째 라인이 클로즈되는 시점 사이에 상기 격자무늬조명을 조사할 수 있다.

상기 격자소자는 2π/n 만큼씩 이송되며, 상기 카메라는 상기 격자소자의 이송에 대응하여 상기 반사 격자이미지를 n번 수신한다. 여기서, 상기 n은 2이상의 자연수이다.

이와 같은 기판 검사장치 및 이를 이용한 기판 검사방법에 따르면, 하나의 투영부와 카메라를 이용하여 격자소자를 이송시키면서 위상천이된 복수의 이미지들을 촬영함에 있어, 격자소자의 이송을 실질적으로 이미지 촬영이 진행되지 않는 시간대에 맞춰 수행함으로써, 측정 품질에 영향을 주지 않고 측정 시간을 단축시킬 수 있다.

또한, 2개 이상의 투영부들을 이용하여 측정대상물의 이미지를 촬영함에 있어, 격자소자를 해당 투영부가 조명을 조사하지 않는 프레임 구간에 이송시킴으로써, 측정 시간을 더욱 단축시킬 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 검사장치를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판의 검사방법을 설명하기 위한 타임차트이다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 검사방법을 설명하기 위한 타임차트이다.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성 요소는 제2 구성 요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성 요소도 제1 구성 요소로 명명될 수 있다.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예들을 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 갖는다.

일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예들을 보다 상세하게 설명한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 검사장치를 개략적으로 나타낸 도면이다.

도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 검사장치(100)는 측정대상물이 형성된 기판(150)을 지지 및 이송시키기 위한 스테이지(140), 기판(150)에 격자무늬조명을 조사하기 위한 하나 이상의 투영부(110) 및 기판(150)에 의해 반사되는 반사 격자이미지를 촬영하는 카메라(130)를 포함한다. 또한, 기판 검사장치(100)는 스테이지(140)에 인접하게 설치되어 투영부(110)와 별도로 기판(150)에 조명을 조사하는 조명부(120)를 더 포함할 수 있다.

투영부(110)는 기판(150)에 형성된 측정대상물의 3차원 형상을 측정하기 위하여, 높이 정보, 비저빌러티(visibility) 정보 등의 3차원 정보를 획득하기 위한 격자무늬조명을 기판(150)에 조사한다. 예를 들어, 투영부(110)는 광을 발생시키는 광원(112), 광원(112)으로부터의 광을 격자무늬조명으로 변환시키기 위한 격자소자(114), 격자소자(114)를 피치 이송시키기 위한 격자이송기구(116) 및 격자소자(114)에 의해 변환된 격자무늬조명을 측정대상물에 투영하기 위한 투영 렌즈(118)를 포함한다. 격자소자(114)는 격자무늬조명의 위상천이를 위해 페이조 엑추에이터(piezo actuator : PZT) 등의 격자이송기구(116)를 통해 2π/n 만큼씩 n-1번 이송될 수 있다. 여기서, n은 2 이상의 자연수이다. 이러한 구성을 갖는 투영부(110)는 검사 정밀도를 높이기 위하여 카메라(130)를 중심으로 원주 방향을 따라 일정한 각도로 이격되도록 복수가 설치될 수 있다.

조명부(120)는 원형 링 형상으로 형성되어 스테이지(140)에 인접하게 설치된다. 조명부(120)는 기판(150)의 초기 얼라인 또는 검사 영역 설정 등을 위하여 조명을 기판(150)에 조사한다. 예를 들어, 조명부(120)는 백색광을 발생시키는 형광 램프를 포함하거나, 또는 적색, 녹색 및 청색 광을 각각 발생시키는 적색 발광다이오드, 녹색 발광다이오드 및 청색 발광다이오드를 포함할 수 있다.

카메라(130)는 투영부(110)의 격자무늬조명의 조사를 통해 기판(150)의 반사 격자이미지를 촬영하고, 조명부(120)의 조명의 조사를 통해 기판(150)의 반사 이미지를 촬영한다. 예를 들어, 카메라(130)는 기판(150)으로부터 수직한 상부에 설치된다.

본 실시예에서, 카메라(130)는 CMOS 센서를 이용한 롤링 셔터 방식의 카메라가 사용된다. 롤링 셔터 방식의 카메라(130)는 측정대상물의 한 프레임의 전체 이미지를 스냅샷(snap shot)으로 촬영하는 것이 아니라, 측정대상물의 한 프레임의 이미지를 위에서 아래로 라인(행)마다 순차적으로 스캔하여 이미지 데이터를 읽어들인다.

이와 같은 구성을 갖는 기판 검사장치(100)는 투영부(110) 또는 조명부(120)를 이용하여 기판(150)에 광을 조사하고, 카메라(130)를 통해 기판(150)의 이미지를 촬영함으로써, 기판(150)의 3차원적 이미지 및 2차원적 이미지를 측정한다. 한편, 도 1에 도시된 기판 검사장치(100)는 일 예에 지나지 않으며, 하나 이상의 조명부와 카메라를 포함하는 다양한 구성으로의 변경이 가능하다.

이하, 상기한 구성을 갖는 기판 검사장치(100)를 이용하여 기판을 검사하는 방법에 대하여 구체적으로 설명한다.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판의 검사방법을 설명하기 위한 타임차트이다. 본 실시예는 하나의 투영부와 롤링 셔터 방식의 카메라를 이용하여 기판을 검사하는 방법을 나타낸다.

도 1 및 도 2를 참조하면, 기판(150)에 형성된 측정대상물의 이미지를 촬영하기 위하여, 카메라(130)는 한 프레임 동안 매트릭스 형태로 배열된 픽셀들의 첫번째 라인(210)부터 마지막 라인(220)까지 라인마다 순차적으로 셔터를 오픈하여, 기판(150)에 의해 반사되는 반사 격자이미지를 수신한다. 즉, CMOS형 이미지 센서는 전자 셔터 기능을 구비하고 있는데, 이러한 셔터 기능은 2차원 배열된 다수의 화소를 화소 라인마다 순차적으로 주사하여 신호를 획득하는 롤링 셔터 방식이기 때문에, 라인마다 노광 기간이 어긋나게 된다. 이에 따라, 카메라(130)의 셔터는 첫번째 라인(210)으로부터 마지막 라인(210)으로 갈수록 오픈 시점이 약간씩 늦어지게 된다. 예를 들어, 첫번째 라인(210)이 오픈되는 시점(P0)부터 마지막 라인(220)이 오픈되는 시점(P1)까지 또는 첫번째 라인(210)이 클로즈되는 시점(P2)부터 마지막 라인(220)이 클로즈되는 시점(P4)까지는 롤링 시간(RT) 만큼의 지연이 발생된다.

투영부(110)는 마지막 라인(220)의 셔터가 오픈되는 제1 시점(P1)과 첫번째 라인(210)의 셔터가 클로즈되는 제2 시점(P2) 사이에서 제1 시간(t1) 동안 격자무늬조명을 측정대상물로 조사한다. 즉, 투영부(110)에 포함된 광원(112)은 상기 제1 시간(t1) 동안 광을 발생시키고, 광원(112)에서 발생된 광은 격자소자(114)에 의해 격자무늬조명으로 변환되어 기판(150) 상에 형성된 측정대상물에 조사된다.

첫번째 라인(210)의 셔터가 오픈되는 시점(P0)과 마지막 라인(220)의 셔터가 오픈되는 제1 시점(P1) 사이에 해당하는 롤링 시간(RT)에 광이 조사되면, 카메라(130)는 한 프레임에 대한 전체 이미지를 완벽하게 촬영할 수 없으므로, 롤링 시간(RT)을 제외한 시간대에 격자무늬조명을 조사함으로써, 측정품질을 유지할 수 있다. 또한, 투영부(110)는 측정품질을 유지하면서 가능한 한 측정 시간을 단축하기 위하여, 예를 들어, 마지막 라인(220)의 셔터가 오픈되는 제1 시점(P1)부터 제1 시간(t1) 동안 격자무늬조명을 측정대상물로 조사한다. 이때, 상기 제1 시간(t1)은 카메라(130)가 한 프레임의 이미지를 충분히 촬영할 수 있는 최소한의 시간을 의미한다. 한편, 투영부(110)는 상기 제1 시간(t1)보다 긴 시간에 걸쳐 격자무늬조명을 조사할 수 있다.

한편, 한 번의 격자무늬조명의 조사를 통해 한 프레임의 반사 격자이미지의 촬영이 완료되면, 격자소자(114)를 격자이송기구(116)를 통해 2π/n 만큼 이송시킨 후 다음 프레임의 반사 격자이미지를 촬영한다. 여기서, n은 2 이상의 자연수이다.

검사시간의 단축을 위하여, 격자소자(114)는 적어도 카메라(130)의 첫번째 라인(210)부터 마지막 라인(220)까지 셔터가 클로즈되는 구간 동안에 이송된다. 예를 들어, 격자소자(114)는 투영부(110)의 조명 조사가 완료되는 제3 시점(P3)과 마지막 라인(220)의 셔터가 클로즈되는 제4 시점(P4) 사이에서, 제2 시간(t2) 동안 이송된다. 즉, 격자소자(114)는 광원(112)이 광을 발생시키지 않는 시간대와 셔터의 롤링 시간대를 이용하여 이송된다. 다시 말해서, 상기 격자소자(114)는 카메라(130)의 모든 라인이 반사 격자이미지를 동시에 수신하는 구간에는 이송되지 않는다. 일반적으로, 페이조 엑추에이터(PZT)로 이루어진 격자이송기구(116)를 통해 격자소자(114)를 한 번 이송하는 데 소요되는 상기 제2 시간(t2)은 이미지 획득을 위한 조명 조사 시간인 상기 제1 시간(t1)보다 크고, 카메라(130)의 롤링 시간(RT)보다 크거나 같다.

따라서, 한 프레임의 이미지를 촬영하는 데 소요되는 시간은 투영부(110)가 격자무늬조명을 조사하는 제1 시간(t1)과 격자소자(114)를 이송하는 제2 시간(t2)을 합친 시간이 된다. 한편, 기판 검사장치(100)는 n-버켓 알로리즘에 의해 구동되므로, 격자소자(114)는 2π/n 만큼씩 n-1번 이송되며, 카메라(130)는 격자소자(114)의 이송에 대응하여 반사 격자이미지를 n번 수신한다.

이와 같이, 하나의 투영부(110)와 카메라(130)를 이용하여 격자소자(114)를 이송시키면서 위상천이된 복수의 이미지들을 촬영함에 있어, 격자소자(114)의 이송을 실질적으로 이미지 촬영이 진행되지 않는 카메라(130)의 롤링 시간대에 맞춰 수행함으로써, 측정품질을 유지함과 동시에 측정 시간을 단축시킬 수 있다.

도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 검사방법을 설명하기 위한 타임차트이다. 본 실시예는 2개 이상의 투영부들과 롤링 셔터 방식의 카메라를 통해 기판을 검사하는 방법을 나타낸다.

도 1 및 도 3을 참조하면, 기판(150)에 형성된 측정대상물의 이미지를 촬영하기 위하여, 카메라(130)는 한 프레임 동안 매트릭스 형태로 배열된 픽셀들의 첫번째 라인(210)부터 마지막 라인(220)까지 라인마다 순차적으로 셔터를 오픈한다. 첫번째 라인(210)이 오픈되는 시점(P0)부터 마지막 라인(220)이 오픈되는 시점(P1)까지는 롤링 시간(RT) 만큼의 시간 지연이 발생된다.

2개 이상의 투영부들(110) 중에서 어느 하나의 투영부(110), 예를 들어, 제1 투영부(110a)는 제1 프레임에서 마지막 라인(220)의 셔터가 오픈되는 제1 시점(P1)과 첫번째 라인(210)의 셔터가 클로즈되는 제2 시점(P2) 사이에서 제1 시간(t1) 동안 격자무늬조명을 측정대상물로 조사한다. 즉, 제1 투영부(110a)에 포함된 제1 광원(112)은 상기 제1 시간(t1) 동안 광을 발생시키고, 제1 광원(112)에서 발생된 광은 제1 격자소자(114)에 의해 격자무늬조명으로 변환되어 기판(150) 상에 형성된 측정대상물에 조사된다. 한편, 투영부(110)는 제품 사양에 따라, 상기 제1 시간(t1)보다 긴 시간에 걸쳐 격자무늬조명을 조사할 수 있다.

제1 투영부(110a)는 측정품질을 유지하면서 가능한 한 측정 시간을 단축하기 위하여, 예를 들어, 마지막 라인(220)의 셔터가 오픈되는 제1 시점(P1)부터 제1 시간(t1) 동안 격자무늬조명을 측정대상물로 조사한다. 이때, 상기 제1 시간(t1)은 카메라(130)가 한 프레임의 이미지를 충분히 촬영할 수 있는 최소한의 시간을 의미한다. 한편, 제1 투영부(110a)를 이용한 제1 프레임의 이미지 촬영이 완료되면, 제1 격자소자(114)를 이송시킨 후 다시 이미지를 촬영하여야 하나, 도 2에 도시된 바와 같이 광원(112)을 통한 조명 조사와 격자소자(114)의 이송을 연이어 진행하게 되면, 한 프레임의 이미지 촬영에 소요되는 최소한의 시간은 조명 조사를 위한 시간과 격자 이송을 위한 시간을 합한 시간이 된다. 그러나, 본 실시예에서는, 2개 이상의 투영부들(110)을 이용할 때, 투영부들(110)을 번갈아 사용하여 이미지를 촬영함으로써, 측정 시간을 더욱 단축시킬 수 있다.

구체적으로, 제1 프레임 기간에서는 제1 투영부(110a)를 이용하여 이미지를 촬영하고, 이어지는 제2 프레임 기간에서는 제1 투영부(110a) 이외의 다른 투영부(110), 예를 들어, 제2 투영부(110b)를 이용하여 이미지를 촬영한다. 즉, 제2 투영부(110b)는 제2 프레임에서 마지막 라인(220)의 셔터가 오픈되는 제1 시점(P1)과 첫번째 라인(210)의 셔터가 클로즈되는 제2 시점(P2) 사이에서 제1 시간(t1) 동안 격자무늬조명을 측정대상물로 조사한다. 즉, 제2 투영부(110b)에 포함된 제2 광원(112)은 상기 제1 시간(t1) 동안 광을 발생시키고, 제2 광원(112)에서 발생된 광은 제2 격자소자(114)에 의해 격자무늬조명으로 변환되어 제1 투영부(110a)와는 다른 방향에서 기판(150) 상에 형성된 측정대상물에 조사된다.

한편, 측정 시간의 단축을 위하여, 격자소자(114)의 이송은 해당 투영부(110)가 조명을 조사하지 않는 프레임 기간에 이루어진다. 예를 들어, 제1 투영부(110a)를 이용하여 반사 격자이미지를 촬영하는 제1 프레임 구간에서는 제2 투영부(110b)에 포함된 제2 격자소자(114)를 이송시키고, 제2 투영부(110b)를 이용하여 반사 격자이미지를 촬영하는 제2 프레임 구간에서는 제1 투영부(110a)에 포함된 제1 격자소자(114)를 이송시킨다. 즉, 제2 투영부(110b)에 포함된 제2 격자소자(114)는 제1 프레임에서, 마지막 라인(220)의 셔터가 오픈되는 제1 시점(P1)과 마지막 라인(220)의 셔터가 클로즈되는 제3 시점(P3) 사이에서 제2 시간(t2) 동안 이송된다. 예를 들어, 제2 격자소자(114)는 상기 제1 시점(P1)부터 제2 시간(t2) 동안 이송된다. 일반적으로, 페이조 엑추에이터(PZT)로 이루어진 격자이송기구(116)를 통해 격자소자(114)를 한 번 이송하는 데 소요되는 제2 시간(t2)은 이미지 획득을 위한 조명 조사 시간인 상기 제1 시간(t1)보다 크고, 롤링 시간(RT)보다 크거나 같다. 따라서, 한 프레임의 이미지를 촬영하는 데 소요되는 시간은 광원(112)이 조명을 조사하는 제1 시간(t1)과, 첫번째 라인(210)이 오픈되는 시점(P0)부터 마지막 라인(220)이 오픈되는 시점(P1)까지의 롤링 시간(RT)을 합친 시간이 된다. 한편, 본 실시예에서는 2개의 투영부(110)를 이용한 예를 설명하였으나, 3개 이상의 투영부(110)를 이용할 경우에도 동일한 형태의 검사 방법이 적용될 수 있다.

이와 같이, 2개 이상의 투영부들(110)을 이용하여 측정대상물의 이미지를 촬영함에 있어, 격자소자(114)를 해당 투영부(110)가 조명을 조사하지 않는 프레임 구간에 이송시킴으로써, 측정품질을 유지하면서 측정 시간을 더욱 단축시킬 수 있다.

앞서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있을 것이다.

100 : 검사 장치 110 : 투영부
112 : 광원 114 : 격자소자
120 : 조명부 130 : 카메라
140 : 스테이지 150 : 기판

Claims (7)

1. 기판을 지지하는 스테이지;
   광원 및 격자소자를 포함하며, 상기 격자소자를 이송하여 격자무늬조명을 상기 기판에 조사하는 투영부; 및
   첫번째 라인부터 마지막 라인까지 순차적으로 셔터를 오픈하여 상기 기판에 의해 반사되는 반사 격자이미지를 수신하는 롤링 셔터 방식의 카메라를 포함하며,
   상기 격자소자는 적어도 상기 카메라의 셔터의 롤링 시간대를 이용하여 이송되는 것을 특징으로 하는 기판 검사장치.
2. 제1항에 있어서,
   상기 격자소자는 상기 투영부의 조명 조사가 완료되는 시점과 상기 카메라의 마지막 라인의 셔터가 클로즈되는 시점 사이에서 이송되는 것을 특징으로 하는 기판 검사장치.
3. 제2항에 있어서,
   상기 투영부는 상기 마지막 라인의 셔터가 오픈되는 시점과 상기 첫번째 라인의 셔터가 클로즈되는 시점 사이에서 격자무늬조명을 조사하는 것을 특징으로 하는 기판 검사장치.
4. 제2항에 있어서,
   상기 격자소자는 2π/n 만큼씩 이송되며, 상기 카메라는 상기 격자소자의 이송에 대응하여 상기 반사 격자이미지를 n번 수신하는 것을 특징으로 하는 기판 검사장치.
   (여기서, 상기 n은 2이상의 자연수이다.)
5. 광원 및 격자소자를 포함하는 2개 이상의 투영부들과 롤링 셔터 방식의 카메라를 이용하여 기판을 검사하는 기판 검사방법에 있어서,
   상기 카메라의 셔터를 첫번째 라인부터 마지막 라인까지 순차적으로 오픈하는 단계;
   상기 투영부들 중 어느 하나의 투영부를 통해 상기 기판에 격자무늬조명을 조사하는 단계; 및
   상기 마지막 라인의 셔터가 오픈되는 시점과 상기 마지막 라인의 셔터가 클로즈되는 시점 사이에서, 상기 격자무늬조명을 조사하는 투영부 이외의 적어도 하나의 다른 투영부에 포함된 격자소자를 이송하는 단계를 포함하는 기판 검사방법.
6. 제5항에 있어서,
   상기 투영부는 상기 마지막 라인의 셔터가 오픈되는 시점과 상기 첫번째 라인의 셔터가 클로즈되는 시점 사이에서 상기 격자무늬조명을 조사하는 것을 특징으로 하는 기판 검사방법.
7. 제5항에 있어서,
   상기 격자소자는 2π/n 만큼씩 이송되며, 상기 카메라는 상기 격자소자의 이송에 대응하여 반사 격자이미지를 n번 수신하는 것을 특징으로 하는 기판 검사방법.
   (여기서, 상기 n은 2이상의 자연수이다.)

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