WO2015087419A1 - 検査装置 - Google Patents

Abstract

　この検査装置は、検査装置全体の動作制御を行うメイン制御部と、検査対象物を撮像する撮像部を含む検査ヘッドと、メイン制御部から１回の撮像動作トリガ信号を受信したことに基づいて、撮像部に検査対象物の所定領域の画像を複数回撮像させ、撮像部により撮像された所定領域の画像に基づいて、検査対象物についての検査結果である合否を判別するサブ制御部とを備える。

Description

検査装置

　この発明は、検査装置に関し、特に、検査対象物についての検査結果である合否を判別する検査装置に関する。

　従来、検査対象物についての検査結果である合否を判別する検査装置が知られている。このような検査装置は、たとえば、特開２００９－１７０５１７号公報に開示されている。

　上記特開２００９－１７０５１７号公報には、部品認識装置の動作制御を行う制御装置（メイン制御部）と、検査対象物の所定領域の画像を撮像するＴＤＩセンサを含むカメラユニットとを備えた部品認識装置が開示されている。また、部品認識装置は、カメラユニットにより撮像された画像に所定の処理を行い、制御装置に送信する画像取込装置を備えている。この制御装置は、検査対象物の所定領域を撮像する際にカメラユニットに向けて複数回の撮像動作トリガ信号を送信させるように画像取込装置を制御する。そして、画像取込装置により撮像を行うための設定がカメラユニットに対して行われる。また、カメラユニットにより撮像された所定領域の画像は、画像取込装置に出力され、所定の処理が行われた後、制御装置に送信される。そして、制御装置により、検査対象物についての検査結果である合否が判別される。

特開２００９－１７０５１７号公報

　しかしながら、上記特開２００９－１７０５１７号公報の部品認識装置では、検査対象物についての検査結果である合否を判別する際に、制御装置（メイン制御部）が部品認識装置の動作制御と並行して検査対象物の合否を判別するため、制御装置の処理負荷が大きくなり、その結果、検査対象物についての検査結果を取得するための時間が長くなる。また、検査対象物の所定領域を複数回撮像する際に制御装置から画像取込装置に複数回の動作トリガ信号が送信され、撮像を行うための設定が画像取込装置によりカメラユニットに対して行われる。このため、撮像を行うための設定に時間を要するので、検査対象物についての検査結果を取得するための時間が長くなる。したがって、検査対象物についての検査結果を取得するための時間を短くすることが望まれている。

　この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の１つの目的は、検査対象物についての検査結果を取得するための時間を短くすることが可能な検査装置を提供することである。

　この発明の一の局面による検査装置は、検査装置全体の動作制御を行うメイン制御部と、検査対象物を撮像する撮像部を含む検査ヘッドと、メイン制御部から１回の撮像動作トリガ信号を受信したことに基づいて、撮像部に検査対象物の所定領域の画像を複数回撮像させ、撮像部により撮像された所定領域の画像に基づいて、検査対象物についての検査結果である合否を判別するサブ制御部とを備える。

　この発明の一の局面による検査装置では、上記のように、撮像部により撮像された所定領域の画像に基づいて、検査対象物についての検査結果である合否を判別するサブ制御部を設けることによって、検査装置全体の動作制御を行うメイン制御部とは異なるサブ制御部に検査対象物の合否を判別させることができる。これにより、メイン制御部が検査装置全体の動作制御と並行して検査対象物の合否を判別する場合と異なり、検査対象物についての検査結果を取得するための時間を短くすることができる。また、メイン制御部から１回の撮像動作トリガ信号を受信したことに基づいて、検査対象物の所定領域の画像を複数回撮像する撮像部を設けることによって、検査対象物の所定領域の画像を複数回撮像する際に、メイン制御部から撮像部に複数回の撮像動作トリガ信号を送信して撮像を行うための設定が撮像部に対して行われる場合と比べて、撮像動作を行うためにメイン制御部から撮像動作トリガ信号を複数回送信する必要がない。これによっても、検査対象物についての検査結果を取得するための時間を短くすることができる。

　上記一の局面による検査装置において、好ましくは、サブ制御部は、メイン制御部から１回の撮像動作トリガ信号を受信したことに基づいて、撮像部に撮像の度ごとに異なる撮像条件で複数回の撮像動作を行わせ、撮像の度ごとに異なる撮像条件で撮像された所定領域の画像に基づいて、検査対象物についての検査結果である合否を判別するように構成されている。このように構成すれば、撮像部に撮像の度ごとに異なる撮像条件で所定領域の撮像を複数回行わせる場合にも、メイン制御部から撮像動作トリガ信号を１回送信するだけで、異なる撮像条件で複数回の撮像動作を行わせて、異なる撮像条件で所定領域の画像を撮像することができる。

　上記一の局面による検査装置において、検査ヘッドは、照明部を含み、サブ制御部は、メイン制御部から１回の撮像動作トリガ信号を受信したことに基づいて、撮像部に検査対象物の所定領域の画像を複数回撮像させる際に、撮像部の撮像動作に同期して照明光が照射されるように照明部を制御するように構成されている。このように構成すれば、１回の撮像動作トリガ信号によって、検査対象物の所定領域を複数回撮像するとともに、撮像部の撮像動作に同期するように照明光を照射させることができる。

　上記一の局面による検査装置において、好ましくは、サブ制御部は、検査対象物についての検査結果が合格であると判別した場合には検査対象物についての検査結果が合格である旨の情報をメイン制御部に送信し、検査対象物についての検査結果が合格でないと判別した場合には検査対象物についての検査結果が合格でない旨の情報と検査対象物の画像情報とをメイン制御部に送信するように構成されている。このように構成すれば、検査対象物についての検査結果に応じて、必要な情報だけがメイン制御部に送信されるので、メイン制御部の処理負荷が大きくなるのを抑制することができる。

　上記一の局面による検査装置において、好ましくは、サブ制御部は、検査ヘッドに設けられている。このように構成すれば、サブ制御部に使用される配線を短くすることができるので、配線の取り回しを容易に行うことができる。

　この場合、好ましくは、検査対象物についての検査結果である合否を判別するための合否判別プログラムと、撮像部に撮像動作を行わせるための撮像動作プログラムとを格納する記憶部をさらに備え、記憶部は、検査ヘッドまたは検査ヘッドの近傍に配置されている。このように構成すれば、記憶部に使用される配線を短くすることができるので、配線の取り回しを容易に行うことができる。

　本発明によれば、上記のように、検査対象物についての検査結果を取得するための時間を短くすることができる。

本発明の一実施形態による検査装置の外観を示す図である。 本発明の一実施形態による検査装置の内部を示した平面図である。 本発明の一実施形態による検査装置の内部を示した側面図である。 本発明の一実施形態による検査装置の構成を示したブロック図である。 本発明の一実施形態による検査装置のメイン制御部とサブ制御部とのデータのやり取りを示した模式図である。 本発明の一実施形態による検査装置の撮像および合否判定処理を説明するためのフローチャート（前半部分）である。 本発明の一実施形態による検査装置の撮像および合否判定処理を説明するためのフローチャート（後半部分）である。

　以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。

　まず、図１～図５を参照して、本発明の一実施形態における検査装置１００の構造について説明する。

　検査装置１００は、半田が基板１１０（図２参照）に正確に印刷されているか否か、部品が基板１１０に正確に実装されているかなどの各種検査を行うための装置である。なお、基板１１０は、本発明の「検査対象物」の一例である。

　図２に示すように、検査装置１００は、基台１上に設けられた基板搬送コンベア（以下、コンベアという）１０と、Ｘビーム２０と、Ｙビーム３０と、検査ヘッド４０と、コントローラ５０とを備えている。また、検査装置１００は、図１に示すように、表示部６０を備えている。また、検査装置１００は、検査が完了した基板１１０を搬出するための開口部１０１を含んでいる。

　コンベア１０は、図２に示すように、基板１１０を保持してＸ２方向からＸ１方向に搬送する機能を有する。コンベア１０は、装置上流側（Ｘ２方向側）に配置される搬入部１１と、装置下流側（Ｘ１方向側）に配置される搬出部１２と、搬入部１１と搬出部１２との間の位置に配置される固定部１３とを含んでいる。また、固定部１３は、図示しない保持機構によって、基板１１０を固定部１３上の所定位置に固定するように構成されている。この所定位置において、基板１１０の検査が行われる。搬入部１１は、検査装置１００の固定部１３に基板１１０を搬入するように構成されている。また、搬出部１２は、固定部１３から開口部１０１（図１参照）に向けて、基板１１０を搬出するように構成されている。

　Ｘビーム２０は、検査ヘッド４０をＸ方向に移動可能に支持するように構成されている。具体的には、Ｘビーム２０はＸビームモータ２１を含んでおり、Ｘビームモータ２１が駆動することによって、検査ヘッド４０がＸビーム２０に沿って移動する。また、Ｙビーム３０は、検査ヘッド４０をＹ方向に移動可能に支持するように構成されている。具体的には、Ｙビーム３０はＹビームモータ３１を含んでおり、Ｙビームモータ３１が駆動することによって、検査ヘッド４０がＹビーム３０に沿って移動する。これらによって、検査ヘッド４０は、Ｘ－Ｙ平面を移動することが可能である。

　検査ヘッド４０は、基板１１０を撮像する機能を有する。また、検査ヘッド４０は、基板１１０の上方を移動可能なように設けられている。また、検査ヘッド４０は、基板１１０の上方に移動された状態で、基板１１０の検査を行う。なお、検査ヘッド４０については、後で詳細に説明する。

　コントローラ５０は、図４に示すように、通信部５１と、ビームモータ制御部５２と、記憶部５３と、画像処理部５４と、メインＣＰＵ５５とを含んでいる。なお、メインＣＰＵ５５は、本発明の「メイン制御部」の一例である。

　通信部５１は、検査ヘッド４０の後述する通信部４１と相互に情報の授受を行うように構成されている。

　ビームモータ制御部５２は、メインＣＰＵ５５により制御されることにより、Ｘビームモータ２１およびＹビームモータ３１のそれぞれの駆動を制御するように構成されている。これにより、基板１１０の所定の検査位置に検査ヘッド４０を移動させることが可能である。

　記憶部５３は、検査ヘッド４０に撮像動作を行わせるための撮像シーケンスプログラム７０と、検査ヘッド４０に基板１１０についての検査結果である合否を判別するための合否判別プログラム８０とを格納している。なお、撮像シーケンスプログラム７０は、基板１１０を検査する際の照明部４２の照明動作および撮像部４３の撮像動作を制御するためのプログラムである。また、記憶部５３は、検査対象となる基板１１０の画像データと対比することにより基板１１０の合否を判別するための基準データ（以下、マスターデータ９０という）を格納している。撮像シーケンスプログラム７０は、基板１１０に対応するものが予め記憶部５３に記憶されている。なお、撮像シーケンスプログラム７０は、本発明の「撮像動作プログラム」の一例である。

　画像処理部５４は、後述するようにサブＣＰＵ４７から送信された画像情報をメインＣＰＵ５５が表示部６０に表示可能なように処理を行う。

　メインＣＰＵ５５（コントローラ５０）は、所定のプログラムに従って検査装置１００全体の動作制御を行うように構成されている。たとえば、メインＣＰＵ５５は、検査ヘッド４０のサブＣＰＵ４７と相互に情報の授受を行ったり、記憶部５３に格納されている撮像シーケンスプログラム７０、合否判別プログラム８０およびマスターデータ９０を検査ヘッド４０に送信するように構成されている。また、検査ヘッド４０に送信された撮像シーケンスプログラム７０、合否判別プログラム８０およびマスターデータ９０は、検査ヘッド４０の記憶部４６に格納される。また、メインＣＰＵ５５は、検査ヘッド４０（サブＣＰＵ４７）に撮像動作トリガ信号を送信するように構成されている。

　また、表示部６０は、メインＣＰＵ５５の制御に基づいて、基板１１０の検査結果などを表示するように構成されている。

　次に、検査ヘッド４０の構成について説明する。

　ここで、本実施形態では、図４に示すように、検査ヘッド４０は、通信部４１と、照明部４２と、撮像部４３と、駆動部４４とを含んでいる。また、検査ヘッド４０は、画像処理部４５と、記憶部４６と、サブＣＰＵ４７とを含んでいる。また、通信部４１と、記憶部４６と、サブＣＰＵ４７と、画像処理部４５とは、いずれも１つの基板に配置されて検査ヘッド４０に設けられている。なお、サブＣＰＵ４７は、本発明の「サブ制御部」の一例である。

　照明部４２は、サブＣＰＵ４７による制御に基づいて、基板１１０を撮像する際の照明光を照射するように構成されている。照明部４２は、たとえば、白色のＬＥＤ光源などの光源である。また、照明部４２は、図５に示すように、ドーム状のケース４２ａの内面側に、上方から順に、上段照明部４２１と、中段照明部４２２と、下段照明部４２３とを含んでいる。また、上方から見て、上段照明部４２１と、中段照明部４２２と、下段照明部４２３とは、それぞれ、撮像部４３を環状に取り囲むように配置されている。各々の照明部は、それぞれ、複数個設けられ、色相（階調）、彩度および明度の情報を取得可能な２次元検査用の光を照射可能なように構成されている。これにより、基板１１０に付着している薄膜状の異物などを検出することが可能である。なお、簡略化の為、図２および図５において、基板１１０の表面に配置される半田や部品は省略した状態で、基板１１０を図示している。

　撮像部４３は、基板１１０を撮像するように構成されている。撮像部４３は、たとえば、ＣＣＤカメラなどの撮像装置である。

　駆動部４４は、撮像部４３の向きを調整したり、焦点を調整するために設けられている。

　画像処理部４５は、サブＣＰＵ４７から出力される制御信号に基づいて、所定のタイミングで撮像部４３から画像データの読み出しを行うことにより、撮像部４３により撮像された画像データを取得するように構成されている。

　また、本実施形態では、記憶部４６は、コントローラ５０から送信された、撮像シーケンスプログラム７０と、合否判別プログラム８０と、マスターデータ９０とを格納するように構成されている。

　また、本実施形態では、サブＣＰＵ４７は、メインＣＰＵ５５から１回の撮像動作トリガ信号（検査開始信号）を受信したことに基づいて、基板１１０の所定領域の検査を開始するように構成されている。具体的には、サブＣＰＵ４７は、１回の撮像動作トリガ信号を受信したことに基づいて、記憶部４６に記憶されている撮像シーケンスプログラム７０に従って、撮像の度ごとに異なる撮像条件で、撮像部４３に複数回の撮像動作を行わせるとともに、照明部４２に複数回の照明動作を行わせるように構成されている。すなわち、サブＣＰＵ４７は、撮像（撮像および照明）条件を変更して、撮像部４３に複数回の撮像動作を行わせるともに、照明部４２に複数回の照明動作を行わせる。なお、上記の異なる条件とは、たとえば、上段照明部４２１、中段照明部４２２および下段照明部４２３のうち照明光を照射させる照明部を変更した条件や、撮像部４３による撮像時間を変更した条件などである。

　詳細には、サブＣＰＵ４７は、メインＣＰＵ５５から１回の撮像動作トリガ信号を受信したことに基づいて、撮像部４３に基板１１０の所定領域について１次撮像からｎ次撮像までを行わせるように構成されている。すなわち、サブＣＰＵ４７は、メインＣＰＵ５５から１回の撮像動作トリガ信号を受信したことに基づいて、撮像部４３および照明部４２に基板１１０の所定領域において１次撮像からｎ次撮像を順次行わせる。そして、サブＣＰＵ４７は、１次撮像からｎ次撮像により取得したｎ枚の画像に基づいて、基板１１０の所定領域についての検査を実施する。なお、複数回の撮像動作および照明動作により取得される画像のうち、ｉ回目（ｉはｎ以下の自然数）の撮像動作および照明動作により取得される画像を、ｉ次画像データという。また、本実施形態では、「１シーケンス（１つのシーケンス）」とは、基板１１０の所定領域において行われる１次撮像からｎ次撮像までの一連の撮像動作（照明部４２による照明動作および撮像部４３による撮像動作）を示す概念である。また、ｎは、検査される基板１１０により異なる自然数である。

　また、撮像シーケンスプログラム７０は、撮像部４３の撮像のタイミングに合わせ、予め決められたタイミングで照明部４２に照明光を照射させるようにプログラムされている。具体的には、サブＣＰＵ４７は、撮像部４３に基板１１０の所定領域の画像を複数枚（複数回）撮像させる際に、撮像部４３の撮像動作に同期して照明光が照射されるように照明部４２を制御する。

　なお、撮像動作および照明動作の回数は、基板１１０の検査に必要な画像を取得するための回数であり、検査対象である基板１１０によって異なる。

　また、サブＣＰＵ４７は、記憶部４６に記憶されている合否判別プログラム８０に従って、撮像部４３の複数回の撮像動作により撮像された所定領域の画像に基づいて、基板１１０についての検査結果である合否を判別するように構成されている。

　また、本実施形態では、サブＣＰＵ４７は、基板１１０についての検査結果が合格であると判別した場合には、基板１１０の所定領域の画像情報をメインＣＰＵ５５に送信することなく、基板１１０についての検査結果が合格である旨の情報をメインＣＰＵ５５に送信するように構成されている。一方、サブＣＰＵ４７は、基板１１０についての検査結果が合格でないと判別した場合には、基板１１０についての検査結果が合格でない旨の情報と、基板１１０の画像情報とをメインＣＰＵ５５に送信するように構成されている。この合格でないと判別された際の基板１１０の画像情報（１次画像データからｎ次画像データ）は、メインＣＰＵ５５に送信された後、表示部６０に表示される。これにより、合格でないと判別された基板１１０の画像を視覚的に確認することが可能である。

　次に、図５～図７を参照して、検査装置１００の撮像および合否判定処理について説明する。この撮像および合否判定処理のうち、ステップＳ１～ステップＳ４およびステップＳ２１の処理は、メインＣＰＵ５５が行う。また、ステップＳ５～ステップＳ８、ステップＳ１０～ステップＳ１２、ステップＳ１４～ステップＳ１７、ステップＳ１９およびステップＳ２０の処理は、サブＣＰＵ４７が行う。また、ステップＳ９、ステップＳ１３およびステップＳ１８の処理は、サブＣＰＵ４７およびメインＣＰＵ５５の両方が行う。

　まず、ステップＳ１において、メインＣＰＵ５５は、基板データの読み込みを行う。具体的には、検査対象となる基板１１０を検査するための撮像シーケンスプログラム７０、合否判別プログラム８０およびマスターデータ９０を記憶部５３から読み込む。

　次に、ステップＳ２において、図５に示すように、メインＣＰＵ５５は、サブＣＰＵ４７に撮像シーケンスプログラム７０、合否判別プログラム８０およびマスターデータ９０を送信する。

　次に、ステップＳ３において、メインＣＰＵ５５は、検査ヘッド４０を検査開始位置に移動させる。すなわち、検査ヘッド４０は、基板１１０の所定領域に対応する位置（検査位置）に移動される。

　次に、ステップＳ４において、図５に示すように、メインＣＰＵ５５は、１回の撮像動作トリガ信号をサブＣＰＵ４７に送信する。

　また、ステップＳ５では、サブＣＰＵ４７は、ステップＳ４においてメインＣＰＵ５５が送信した１回の撮像動作トリガ信号を受信したか否かを判断する。サブＣＰＵ４７は、１回の撮像動作トリガ信号を受信するまでこの判断を繰り返し、１回の撮像動作トリガ信号を受信すると、ステップＳ６に処理を進める。

　次に、ステップＳ６において、サブＣＰＵ４７は、撮像回数iをリセット（ｉ＝１）にする。

　次に、ステップＳ７において、サブＣＰＵ４７は、撮像動作および照明動作を開始する。

　次に、ステップＳ８において、サブＣＰＵ４７は、撮像動作および照明動作が開始されたか否かを判断する。撮像動作および照明動作が開始された場合には、ステップＳ１０およびステップＳ１１に進む。一方、照明動作および撮像動作が開始されない場合には、ステップＳ９に進む。

　ステップＳ９において、サブＣＰＵ４７およびメインＣＰＵ５５は、エラー処理を実行する。具体的には、サブＣＰＵ４７は照明動作および撮像動作が開始されない旨の情報をメインＣＰＵ５５に送信するとともに、メインＣＰＵ５５は、照明動作および撮像動作が開始されない旨の情報を表示部６０に表示する。その後、サブＣＰＵ４７は撮像および合否判定処理を終了する。

　また、ステップＳ１０に進んだ場合には、サブＣＰＵ４７は、撮像シーケンスプログラム７０に従って、照明部４２の動作を制御する。具体的には、サブＣＰＵ４７は、図５に示すように、撮像シーケンスプログラム７０に従って、所定の条件（たとえば、上段照明部４２１のみに照明光を照射させる条件）に基づいて照明部４２を制御する制御信号を照明部４２に送信し、照明部４２から照明光を照射させる制御を行う。また、サブＣＰＵ４７は、撮像シーケンスプログラム７０に従って、ステップＳ１０の処理を次のステップＳ１１の処理と同期するように行う。詳細には、サブＣＰＵ４７は、図５に示すように、撮像シーケンスプログラム７０に従って、撮像部４３が撮像するタイミングに合わせて、照明光が照射されるように照明部４２を制御する。

　また、ステップＳ１１において、サブＣＰＵ４７は、撮像シーケンスプログラム７０に従って、撮像部４３の動作を制御する。具体的には、サブＣＰＵ４７は、図５に示すように、撮像シーケンスプログラム７０に従って、所定の条件（たとえば、撮像時間がｔである条件）に基づいて撮像部４３を制御する。ステップＳ１０およびステップＳ１１の処理により、基板１１０の所定領域の画像が撮像（取得）される。

　次に、ステップＳ１２において、サブＣＰＵ４７は、ｉ次画像データを取得したか否かを判断する。ｉ次画像データを取得した場合には、ステップＳ１４に進む。一方、ｉ次画像データを取得できない場合には、ステップＳ１３に進む。

　ステップＳ１３において、サブＣＰＵ４７およびメインＣＰＵ５５は、エラー処理を実行する。具体的には、サブＣＰＵ４７はｉ次画像データを取得できない旨の情報をメインＣＰＵ５５に送信するとともに、メインＣＰＵ５５は、ｉ次画像データを取得できない旨の情報を表示部６０に表示する。その後、サブＣＰＵ４７は撮像および合否判定処理を終了する。

　また、ステップＳ１４に進んだ場合には、撮像回数ｉをｉ＋１にする。

　次に、ステップＳ１５おいて、サブＣＰＵ４７は、撮像回数ｉがｎになったか否かを判断する。撮像回数ｉがｎになった場合には、ステップＳ１６に進む。
一方、撮像回数ｉがｎになっていない場合には、ステップＳ７に戻る。

　１次撮像からｎ次撮像までが行われ、ステップＳ１６に進んだ場合には、サブＣＰＵ４７は、合否判別処理を実行する。具体的には、サブＣＰＵ４７は、取得した１次画像からｎ次画像までの画像データに基づいて、基板１１０の所定領域についての検査結果である合否を判別する。

　次に、ステップＳ１７において、サブＣＰＵ４７は、合否判別結果を取得したか否かを判断する。合否判別結果を取得した場合には、ステップＳ１９に進む。一方、合否判別結果を取得できない場合には、ステップＳ１８に進む。

　ステップＳ１８において、サブＣＰＵ４７およびメインＣＰＵ５５は、エラー処理を実行する。具体的には、サブＣＰＵ４７は合否判別結果を取得できない旨の情報をメインＣＰＵ５５に送信するとともに、メインＣＰＵ５５は、合否判別結果を取得できない旨の情報を表示部６０に表示する。その後、サブＣＰＵ４７は撮像および合否判定処理を終了する。

　また、ステップＳ１９に進んだ場合には、サブＣＰＵ４７は、メインＣＰＵ５５に合否判別結果を送信する。具体的には、サブＣＰＵ４７は、図５に示すように、基板１１０についての検査結果が合格であると判別した場合には、基板１１０についての検査結果が合格である旨の情報（合否判別結果）をメインＣＰＵ５５に送信する。一方、サブＣＰＵ４７は、基板１１０についての検査結果が合格でないと判別した場合には、基板１１０についての検査結果が合格でない旨の情報と、基板１１０の画像データ（１次画像からｎ次画像までの画像データ）とをメインＣＰＵ５５に送信する。以上のステップＳ７～ステップＳ１９によって、１シーケンス処理が実施される。これによって、サブＣＰＵ４７が、１次画像データからｎ次画像データまでの画像に基づき検査結果を取得し、メインＣＰＵ５５に検査結果を送信する。

　次に、ステップＳ２０において、サブＣＰＵ４７は、基板１１０の全ての領域の合否判別結果が取得されたか否かを判断する。基板１１０の全ての領域の合否判別結果が取得されない場合には、ステップＳ２１に進む。

　ステップＳ２１において、メインＣＰＵ５５は、次の検査領域に検査ヘッド４０を移動させる。その後、ステップＳ４に戻る。

　一方、ステップＳ２０において、基板１１０の全ての領域の合否判別結果が取得された場合には、サブＣＰＵ４７は撮像および合否判定処理を終了する。

　本実施形態では、以下のような効果を得ることができる。

　本実施形態では、上記のように、撮像部４３により撮像された所定領域の画像に基づいて、基板１１０についての検査結果である合否を判別するサブＣＰＵ４７を設ける。これにより、検査装置１００全体の動作制御を行うメインＣＰＵ５５とは異なるサブＣＰＵ４７に基板１１０の合否を判別させることができる。その結果、メインＣＰＵ５５が検査装置１００全体の動作制御と並行して基板１１０の合否を判別する場合と異なり、基板１１０についての検査結果を取得するための時間を短くすることができる。また、メインＣＰＵ５５から１回の撮像動作トリガ信号を受信したことに基づいて、基板１１０の所定領域の画像をｎ回撮像させる撮像部４３を設ける。これにより、基板１１０の所定領域の画像をｎ回撮像する際に、メインＣＰＵ５５から撮像部４３に複数回の撮像動作トリガ信号を送信して撮像を行うための設定が撮像部４３に対して行われる場合と比べて、撮像動作を行うためにメインＣＰＵ５５から撮像動作トリガ信号を複数回送信する必要がない。これによっても、基板１１０についての検査結果を取得するための時間を短くすることができる。

　また、本実施形態では、上記のように、サブＣＰＵ４７を、メインＣＰＵ５５から１回の撮像動作トリガ信号を受信したことに基づいて、撮像部４３に撮像の度ごとに異なる撮像条件でｎ回の撮像動作を行わせ、撮像の度ごとに異なる撮像条件で撮像された所定領域の画像に基づいて、基板１１０についての検査結果である合否を判別するように構成する。これにより、撮像部４３に撮像の度ごとに異なる撮像条件で所定領域の撮像をｎ回行わせる場合にも、メインＣＰＵ５５から撮像動作トリガ信号を１回送信するだけで、異なる撮像条件でｎ回の撮像動作を行わせて、異なる撮像条件で所定領域の画像を撮像することができる。

　また、本実施形態では、上記のように、照明部４２を検査ヘッド４０に設け、メインＣＰＵ５５から１回の撮像動作トリガ信号を受信したことに基づいて、撮像部４３に基板１１０の所定領域の画像をｎ回撮像させる際に、撮像部４３の撮像動作に同期して照明光が照射されるように照明部４２を制御するようにサブＣＰＵ４７を構成する。これにより、１回の撮像動作トリガ信号によって、基板１１０の所定領域をｎ回撮像するとともに、撮像部４３の撮像動作に同期するように照明光を照射させることができる。

　また、本実施形態では、上記のように、基板１１０についての検査結果が合格であると判別した場合には基板１１０についての検査結果が合格である旨の情報をメインＣＰＵ５５に送信し、基板１１０についての検査結果が合格でないと判別した場合には基板１１０についての検査結果が合格でない旨の情報と、基板１１０の画像情報とをメインＣＰＵ５５に送信するようにサブＣＰＵ４７を構成する。これにより、基板１１０についての検査結果に応じて、必要な情報だけがメインＣＰＵ５５に送信されるので、メインＣＰＵ５５の処理負荷が大きくなるのを抑制することができる。

　また、本実施形態では、上記のように、サブＣＰＵ４７を検査ヘッド４０に設ける。これにより、サブＣＰＵ４７に使用される配線を短くすることができるので、配線の取り回しを容易に行うことができる。

　また、本実施形態では、上記のように、基板１１０についての検査結果である合否を判別するための合否判別プログラム８０と、撮像部４３に撮像動作を行わせるための撮像シーケンスプログラム７０とを格納する記憶部４６を検査ヘッド４０に配置する。これにより、記憶部４６に使用される配線を短くすることができるので、配線の取り回しを容易に行うことができる。

　なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。

　たとえば、上記実施形態では、メインＣＰＵ（メイン制御部）から送信された１回の撮像動作トリガ信号を受信することにより、サブＣＰＵ（サブ制御部）が撮像部と照明部とを制御する例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、メイン制御部から送信された１回の撮像動作トリガ信号を受信することにより、サブ制御部が撮像部のみを制御してもよい。

　また、上記実施形態では、サブＣＰＵ（サブ制御部）がメインＣＰＵ（メイン制御部）から１回の撮像動作トリガ信号を受信したことより、２次元検査を行う照明部を設ける例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、サブ制御部がメイン制御部から１回の撮像動作トリガ信号を受信したことより、３次元検査を行う照明部（たとえば、プロジェクタ）を設けてもよい。また、サブ制御部がメイン制御部から１回の撮像動作トリガ信号を受信したことより、２次元検査を行う照明部および３次元検査を行う照明部の両方を設けてもよい。

　また、上記実施形態では、サブＣＰＵ（サブ制御部）を検査ヘッドに設ける例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、サブ制御部を検査ヘッド以外の部分に設けてもよい。この場合、サブ制御部は、たとえば、ＸビームまたはＹビームなどに設けることができる。

　また、上記実施形態では、ＬＥＤ光源を含む照明部から照射された照明光を用いて基板（検査対象物）の検査を行う検査装置に本発明を適用する例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、Ｘ線源を設け、Ｘ線を用いて検査対象物の検査を行う検査装置に本発明を適用してもよい。

　また、上記実施形態では、説明の便宜上、制御部の処理を処理フローに沿って順番に処理を行うフロー駆動型のフローを用いて説明したが、たとえば、制御部の処理動作を、イベント単位で処理を実行するイベント駆動型（イベントドリブン型）の処理により行ってもよい。この場合、完全なイベント駆動型で行ってもよいし、イベント駆動およびフロー駆動を組み合わせて行ってもよい。

　４０　検査ヘッド
　４２　照明部
　４３　撮像部
　４６　記憶部
　４７　サブＣＰＵ（サブ制御部）
　５５　メインＣＰＵ（メイン制御部）
　７０　撮像シーケンスプログラム（撮像動作プログラム）
　８０　合否判別プログラム
　１００　検査装置
　１１０　基板

Claims (6)

1. 　検査装置全体の動作制御を行うメイン制御部と、
   　検査対象物を撮像する撮像部を含む検査ヘッドと、
   　前記メイン制御部から１回の撮像動作トリガ信号を受信したことに基づいて、前記撮像部に前記検査対象物の所定領域の画像を複数回撮像させ、前記撮像部により撮像された所定領域の画像に基づいて、前記検査対象物についての検査結果である合否を判別するサブ制御部とを備える、検査装置。
2. 　前記サブ制御部は、前記メイン制御部から１回の撮像動作トリガ信号を受信したことに基づいて、前記撮像部に撮像の度ごとに異なる撮像条件で複数回の撮像動作を行わせ、撮像の度ごとに異なる撮像条件で撮像された所定領域の画像に基づいて、前記検査対象物についての検査結果である合否を判別するように構成されている、請求項１に記載の検査装置。
3. 　前記検査ヘッドは、照明部を含み、
   　前記サブ制御部は、前記メイン制御部から１回の撮像動作トリガ信号を受信したことに基づいて、前記撮像部に前記検査対象物の所定領域の画像を複数回撮像させる際に、前記撮像部の撮像動作に同期して照明光が照射されるように前記照明部を制御するように構成されている、請求項１に記載の検査装置。
4. 　前記サブ制御部は、前記検査対象物についての検査結果が合格であると判別した場合には前記検査対象物についての検査結果が合格である旨の情報を前記メイン制御部に送信し、前記検査対象物についての検査結果が合格でないと判別した場合には前記検査対象物についての検査結果が合格でない旨の情報と前記検査対象物の画像情報とを前記メイン制御部に送信するように構成されている、請求項１に記載の検査装置。
5. 　前記サブ制御部は、前記検査ヘッドに設けられている、請求項１に記載の検査装置。
6. 　前記検査対象物についての検査結果である合否を判別するための合否判別プログラムと、前記撮像部に撮像動作を行わせるための撮像動作プログラムとを格納する記憶部をさらに備え、
   　前記記憶部は、前記検査ヘッドまたは前記検査ヘッドの近傍に配置されている、請求項５に記載の検査装置。

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