JP6356314B2 - 基板処理装置、編集方法及び記憶媒体 - Google Patents
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走行路11dの他側には、ベークモジュール15と、無電解めっき処理モジュール16が配置されている。また、ベークモジュール15に隣接して、電解めっき処理モジュール17が配置されている。
搬送 WaferTrs/PM/Cool/004/A2」と表示されている領域に左端の「1」のみが表示され、当該領域の明度、色彩などを変更する等により当該領域がハイライトされる。
ここではキャビネットA〜Eから所望のものを選択する。さらに、フラッシングの回数を選択する。
19 制御装置
19B 表示装置
19C 入力装置
Claims (11)
- 基板処理装置を通常運転状態から人手によるメンテナンスに適した状態に自動的に移行させるための立ち下げ動作命令と、人手によるメンテナンスが終了した後に当該基板処理装置を通常運転に適した状態に自動的に移行させるための立ち上げ動作命令とを、一つのマクロとして保存する機能を有し、前記マクロに基づき当該基板処理装置の動作を制御する制御装置を備える基板処理装置において、
前記制御装置に動作命令を入力するための入力装置と、
前記制御装置に入力された動作命令に関連する情報を表示する表示装置と、
を備え、
前記制御装置は、前記立ち下げ動作命令および立ち上げ動作命令の両方を、前記表示装置の一つの表示画面上の異なる表示領域にそれぞれ表示させるとともに、前記表示画面には、前記立ち下げ動作命令を表示させる領域と、前記立ち上げ動作命令を表示させる領域と、の間に、オペレータないし作業者が開始又は終了を入力指示することが予め設定された人手によるメンテナンスが存在することを示す表示領域が配置されていることを特徴とする、基板処理装置。 - 前記一つの表示画面は、前記マクロの編集を行うときに表示される一つの編集画面であり、前記制御装置は、前記一つの編集画面上で前記入力装置を介して前記マクロを編集可能とする機能を有し、前記制御装置は、前記マクロの編集を行うときに、前記立ち下げ動作命令および立ち上げ動作命令の両方を、前記表示装置の前記一つの編集画面上に表示させ、前記マクロの編集を行うときに、前記マクロに含まれる立ち下げ動作命令及び前記立ち上げ動作命令の少なくとも一部が、通常運転状態時において用いられる搬送レシピまたは当該搬送レシピに従属するレシピに含まれるレシピステップに対応する動作命令から選択される、請求項1記載の基板処理装置。
- 前記マクロの編集を行うときに、前記一つの編集画面上で、一群の立ち下げ動作命令の実行順序および一群の立ち上げ動作命令の実行順序をそれぞれの表示領域で設定可能である、請求項2に記載の基板処理装置。
- 前記一つの表示画面は、前記マクロが実行されるときに表示される一つの実行画面であり、この一つの実行画面上には、前記マクロを構成する一群の立ち下げ動作命令および立ち上げ動作命令の両方が異なる表示領域にそれぞれ表示される、請求項1記載の基板処理装置。
- 前記実行画面上において現在実行中の動作命令に対応する領域をハイライト表示する、請求項4記載の基板処理装置。
- 前記制御装置は、前記マクロの編集が行われるときに、前記編集画面上において、前記立ち下げ動作命令として選択可能な命令のリストを表示させるための仮想ボタンと、前記立ち上げ動作命令として選択可能な命令のリストを表示させるための仮想ボタンと、を個別に表示させる、請求項2または3に記載の基板処理装置。
- 基板処理装置を通常運転状態から人手によるメンテナンスに適した状態に自動的に移行させるための立ち下げ動作命令と、人手によるメンテナンスが終了した後に当該基板処理装置を通常運転に適した状態に自動的に移行させるための立ち上げ動作命令とを、一つのマクロとして保存する機能を有し、前記マクロに基づき基板処理装置の動作を制御するコンピュータからなる制御装置と、前記制御装置に動作命令を入力するための入力装置と、前記制御装置に入力された動作命令に関連する情報を表示する表示装置と、を備えた基板処理装置において、前記コンピュータにより実行されることにより、メンテナンスレシピの編集及び表示を行う機能を実現するプログラムを格納した記憶媒体であって、
前記編集及び表示を行う機能には、前記立ち下げ動作命令および立ち上げ動作命令の両方を前記表示装置の一つの表示画面上の異なる表示領域にそれぞれ表示させるとともに、前記立ち下げ動作命令を表示させる領域と前記立ち上げ動作命令を表示させる領域との間の表示領域に、オペレータないし作業者が開始又は終了を入力指示することが予め設定された人手によるメンテナンスが存在することを表示させる機能が含まれることを特徴とする、記憶媒体。 - 基板処理装置を通常運転状態から人手によるメンテナンスに適した状態に自動的に移行させるための立ち下げ動作命令と、人手によるメンテナンスが終了した後に当該基板処理装置を通常運転に適した状態に自動的に移行させるための立ち上げ動作命令とを、一つのマクロとして保存する機能を有する基板処理装置において用いられる、前記マクロを編集する編集装置であって、
前記立ち下げ動作命令と前記立ち上げ動作命令とを表示装置の一つの編集画面上の異なる表示領域にそれぞれ表示させるとともに、前記一つの編集画面上に、前記立ち下げ動作命令を表示させる領域と前記立ち上げ動作命令を表示させる領域との間の表示領域に、オペレータないし作業者が開始又は終了を入力指示することが予め設定された人手によるメンテナンスが存在することを表示させる表示部と、
入力装置による入力に応じて編集された前記一つのマクロを前記基板処理装置に対して送信する送信部と、
を備える、編集装置。 - 前記マクロの編集を行うときに、前記マクロに含まれる立ち下げ動作命令及び前記立ち上げ動作命令の少なくとも一部が、通常運転状態時において用いられる搬送レシピまたは当該搬送レシピに従属するレシピに含まれるレシピステップに対応する動作命令から選択される、請求項8記載の編集装置。
- 前記編集画面では、一群の立ち下げ動作命令の実行順序および一群の立ち上げ動作命令の実行順序をそれぞれの表示領域で設定可能である、請求項8または9に記載の編集装置。
- 前記表示部は、前記編集画面上において、前記立ち下げ動作命令として選択可能な命令のリストを表示させるための仮想ボタンと、前記立ち上げ動作命令として選択可能な命令のリストを表示させるための仮想ボタンと、を個別に表示させる、請求項8から10のいずれか一項に記載の編集装置。
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