JP6347597B2 - シリカ系被膜形成用組成物及びこれを用いたシリカ系被膜の製造方法 - Google Patents
シリカ系被膜形成用組成物及びこれを用いたシリカ系被膜の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6347597B2 JP6347597B2 JP2013252094A JP2013252094A JP6347597B2 JP 6347597 B2 JP6347597 B2 JP 6347597B2 JP 2013252094 A JP2013252094 A JP 2013252094A JP 2013252094 A JP2013252094 A JP 2013252094A JP 6347597 B2 JP6347597 B2 JP 6347597B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- silica
- composition
- forming
- polysiloxane
- mol
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09D—COATING COMPOSITIONS, e.g. PAINTS, VARNISHES OR LACQUERS; FILLING PASTES; CHEMICAL PAINT OR INK REMOVERS; INKS; CORRECTING FLUIDS; WOODSTAINS; PASTES OR SOLIDS FOR COLOURING OR PRINTING; USE OF MATERIALS THEREFOR
- C09D183/00—Coating compositions based on macromolecular compounds obtained by reactions forming in the main chain of the macromolecule a linkage containing silicon, with or without sulfur, nitrogen, oxygen, or carbon only; Coating compositions based on derivatives of such polymers
- C09D183/04—Polysiloxanes
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09D—COATING COMPOSITIONS, e.g. PAINTS, VARNISHES OR LACQUERS; FILLING PASTES; CHEMICAL PAINT OR INK REMOVERS; INKS; CORRECTING FLUIDS; WOODSTAINS; PASTES OR SOLIDS FOR COLOURING OR PRINTING; USE OF MATERIALS THEREFOR
- C09D5/00—Coating compositions, e.g. paints, varnishes or lacquers, characterised by their physical nature or the effects produced; Filling pastes
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09D—COATING COMPOSITIONS, e.g. PAINTS, VARNISHES OR LACQUERS; FILLING PASTES; CHEMICAL PAINT OR INK REMOVERS; INKS; CORRECTING FLUIDS; WOODSTAINS; PASTES OR SOLIDS FOR COLOURING OR PRINTING; USE OF MATERIALS THEREFOR
- C09D7/00—Features of coating compositions, not provided for in group C09D5/00; Processes for incorporating ingredients in coating compositions
- C09D7/40—Additives
- C09D7/60—Additives non-macromolecular
- C09D7/61—Additives non-macromolecular inorganic
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09D—COATING COMPOSITIONS, e.g. PAINTS, VARNISHES OR LACQUERS; FILLING PASTES; CHEMICAL PAINT OR INK REMOVERS; INKS; CORRECTING FLUIDS; WOODSTAINS; PASTES OR SOLIDS FOR COLOURING OR PRINTING; USE OF MATERIALS THEREFOR
- C09D7/00—Features of coating compositions, not provided for in group C09D5/00; Processes for incorporating ingredients in coating compositions
- C09D7/40—Additives
- C09D7/66—Additives characterised by particle size
- C09D7/67—Particle size smaller than 100 nm
Description
本発明に係るシリカ系被膜形成用組成物は、上記一般式(1)で表されるポリシロキサンと、平均粒子径が10〜50nmであるシリカとを含有する。本発明に係るシリカ系被膜形成用組成物は、成分同士の相溶性に優れ、このシリカ系被膜形成用組成物を焼成することにより、透明性、クラック耐性、及び平坦性が良好なシリカ系被膜を得ることができる。本発明に係るシリカ系被膜形成用組成物は、光半導体素子等の光デバイスや太陽電池の封止に好適に用いることができる。
本発明に係るシリカ系被膜形成用組成物は、上記一般式(1)で表されるポリシロキサンを含有する。上記ポリシロキサンは、単独で又は2種以上組み合わせて用いることができる。
なお、本明細書において、質量平均分子量とは、ゲルパーミエーションクロマトグラフィ(GPC)により測定された標準ポリスチレン換算のものをいう。
本発明に係るシリカ系被膜形成用組成物は、上記一般式(1)で表されるポリシロキサンとともに、平均粒子径が10〜50nmであるシリカを含有することにより、クラック耐性に優れるシリカ系被膜を与える。上記シリカは、単独で又は2種以上組み合わせて用いることができる。なお、平均粒子径は、レーザー回折散乱式粒度分布計にて測定することができる。
本発明に係るシリカ系被膜形成用組成物は、有機溶剤を含有してもよい。有機溶剤を含むことによって、シリカ系被膜形成用組成物の塗布性や、シリカ系被膜形成用組成物から製造されるシリカ系被膜の膜厚を調整しやすくなる。有機溶剤は、単独で又は2種以上組み合わせて用いることができる。
本発明に係るシリカ系被膜形成用組成物は、界面活性剤を含有してもよい。界面活性剤を含むことによって、シリカ系被膜形成用組成物の塗布性、平坦化性、及び展開性が向上しやすくなり、塗布後に形成される組成物層の塗りムラの発生が減少しやすくなる。界面活性剤としては、従来公知のものを用いることができ、シリコーン系の界面活性剤が好ましい。また、界面活性剤の含有量は、シリカ系被膜形成用組成物全体に対し、好ましくは10〜10000質量ppm、より好ましくは100〜10000質量ppm、更により好ましくは500〜5000質量ppmの範囲である。界面活性剤は単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
本発明に係るシリカ系被膜形成用組成物は、上記シリカ系被膜形成用組成物の粘度等の特性を調整するために、必要に応じて、公知の粘度調整剤等の添加剤を含有してもよい。
本発明に係るシリカ系被膜の製造方法は、本発明に係るシリカ系被膜形成用組成物からなる組成物層を基板上に形成する組成物層形成工程と、上記組成物層を焼成する焼成工程とを含む。以下、図1(A)〜図1(D)を参照して、シリカ系被膜の製造方法について説明する。図1(A)〜図1(D)は、本発明の実施形態に係るシリカ系被膜の製造方法を説明するための工程断面模式図である。
(シリカ系被膜形成用組成物の調製)
表1〜5に示す通り、所定の質量比のポリマー及びシリカを溶剤中で混合し、固形分濃度18質量%のシリカ系被膜形成用組成物を調製した。
表1〜5における各成分の詳細は下記の通りである。なお、有機基含有量とは、ポリマーに対するメチル基又はエチル基の含有量をいう。
シリカB:表面処理を施したシリカ(末端基:メタクリロイルオキシ基、平均粒子径:10、50、又は100nm)
溶剤A:3−メトキシブチルアセテート
溶剤B:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
溶剤C:3−メトキシ−3−メチル−1−ブタノール
溶剤D:イソプロパノール
溶剤E:エチルジグリコールアセテート
調製したシリカ系被膜形成用組成物を目視で観察し、以下の基準で相溶性を評価した。結果を表1〜5に示す。
良(◎):シリカ系被膜形成用組成物は透明であり、この組成物中に析出物は観察されなかった。
やや良(○):シリカ系被膜形成用組成物は白濁していたが、この組成物中に析出物は観察されなかった。
不良(×):シリカ系被膜形成用組成物中に析出物が観察された。
調製したシリカ系被膜形成用組成物を、スピンコーター(商品名:Opticoat MS−A150、ミカサ株式会社製)を用いてサンプル基板上に、最終膜厚が0.5〜5.0μmとなるように塗布した。次に、サンプルをホットプレート上に載置し、80℃で5分間、次いで、130℃で5分間プリベーク処理を施した。その後、縦型ベーク炉(商品名:TS8000MB、東京応化工業株式会社製)にてN2中、500℃で30分間焼成することにより、又は、マッフル炉(商品名:Muffle Furnace FP−41、ヤマト科学株式会社製)にてN2中、580℃で10分間焼成することにより、熱硬化させて、シリカ系被膜を得た。
得られたシリカ系被膜について、光学顕微鏡観察にてクラックの有無を確認し、クラック限界膜厚(即ち、クラックを生じさせることなくシリカ系被膜を成膜することができる最大膜厚)を表面形状測定装置(商品名:Dektak 3ST、アルバック社製)で測定した。結果を表1〜5に示す。
クラック耐性評価においてクラック限界膜厚を測定するのと同時に、上記表面形状測定装置でシリカ系被膜の表面粗さRaを測定した。結果を表1〜5に示す。
クラック限界膜厚を有するシリカ系被膜について、光透過率を測定した。光透過率の測定は、分光光度計(商品名:MCPD−3000、大塚電子株式会社製)を用いて行った。400〜800nmのいずれの波長においても光透過率が95%以上である場合を良好(○)とし、400〜800nmのいずれかの波長において光透過率が95%未満である場合を不良(×)とした。結果を表1〜5に示す。
2 基板
3 組成物層
4 加熱炉
5 シリカ系被膜
Claims (5)
- 下記一般式(1)で表されるポリシロキサンと、平均粒子径が10〜50nmであるシリカとを含有するシリカ系透明封止被膜形成用組成物であって、前記ポリシロキサンと前記シリカとの合計に対する前記ポリシロキサンの質量比が35〜80%であり、
前記シリカ系透明封止被膜形成用組成物を0.5〜5.0μmの最終膜厚となるように基板上に塗布してプリベークした後、下記焼成条件1により得られる焼成被膜及び下記焼成条件2により得られる焼成被膜のそれぞれについて、400〜800nmのいずれの波長においても光透過率が95%以上であるシリカ系透明封止被膜形成用組成物。
焼成条件1:N 2 中で500℃で30分間焼成する
焼成条件2:N 2 中で580℃で10分間焼成する
- R 1 〜R3がメチル基である請求項1に記載のシリカ系透明封止被膜形成用組成物。
- 下記一般式(1)で表されるポリシロキサンと、平均粒子径が10〜50nmであるシリカとを含有するシリカ系被膜形成用組成物であって、前記ポリシロキサンと前記シリカとの合計に対する前記ポリシロキサンの質量比が35〜80%であるシリカ系被膜形成用組成物。
- R1〜R3がメチル基である請求項3に記載のシリカ系被膜形成用組成物。
- 請求項1または2に記載のシリカ系透明封止被膜形成用組成物、または請求項3または4に記載のシリカ系被膜形成用組成物からなる組成物層を基板上に形成する組成物層形成工程と、
前記組成物層を焼成する焼成工程とを含む、シリカ系被膜の製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013252094A JP6347597B2 (ja) | 2013-12-05 | 2013-12-05 | シリカ系被膜形成用組成物及びこれを用いたシリカ系被膜の製造方法 |
KR1020140167170A KR102276499B1 (ko) | 2013-12-05 | 2014-11-27 | 실리카계 피막 형성용 조성물 및 이것을 사용한 실리카계 피막의 제조 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013252094A JP6347597B2 (ja) | 2013-12-05 | 2013-12-05 | シリカ系被膜形成用組成物及びこれを用いたシリカ系被膜の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015108087A JP2015108087A (ja) | 2015-06-11 |
JP6347597B2 true JP6347597B2 (ja) | 2018-06-27 |
Family
ID=53438688
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013252094A Active JP6347597B2 (ja) | 2013-12-05 | 2013-12-05 | シリカ系被膜形成用組成物及びこれを用いたシリカ系被膜の製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6347597B2 (ja) |
KR (1) | KR102276499B1 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP3705534A1 (en) | 2015-07-09 | 2020-09-09 | Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd. | Silicon-containing resin composition |
JP6999408B2 (ja) | 2016-12-28 | 2022-02-04 | 東京応化工業株式会社 | 樹脂組成物、樹脂組成物の製造方法、膜形成方法及び硬化物 |
US11377522B2 (en) | 2019-05-14 | 2022-07-05 | Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd. | Silicon-containing polymer, film-forming composition, method for forming silicon-containing polymer coating, method for forming silica-based coating, and production method for silicon-containing polymer |
US11912889B2 (en) | 2019-05-14 | 2024-02-27 | Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd. | Silicon-containing polymer, film-forming composition, method for forming silicon-containing polymer coating, method for forming silica coating, and production method for silicon-containing polymer |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3139093B2 (ja) * | 1991-12-12 | 2001-02-26 | 触媒化成工業株式会社 | 被膜形成用塗布液、その製造方法および被膜付基材 |
JP4642949B2 (ja) * | 1999-02-05 | 2011-03-02 | 日立化成工業株式会社 | シリカ系被膜形成用塗布液、その製造法、シリカ系被膜及び半導体装置 |
JP2000272915A (ja) * | 1999-03-24 | 2000-10-03 | Hitachi Chem Co Ltd | シリカ系被膜形成用塗布液、シリカ系被膜の製造法、シリカ系被膜及び半導体装置 |
TWI307353B (en) | 2004-10-22 | 2009-03-11 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | Coating liquid for forming silica typed coating film |
JP2006310448A (ja) * | 2005-04-27 | 2006-11-09 | Jsr Corp | トレンチ埋め込み用組成物及びトレンチ埋め込み方法 |
JP2006342048A (ja) * | 2005-05-09 | 2006-12-21 | Hitachi Chem Co Ltd | シリカ系被膜、シリカ系被膜形成用組成物、シリカ系被膜の形成方法及び積層体 |
JP2006342341A (ja) * | 2005-05-09 | 2006-12-21 | Hitachi Chem Co Ltd | シリカ系被膜、シリカ系被膜形成用組成物、シリカ系被膜の形成方法及び積層体 |
JP4791083B2 (ja) * | 2005-05-30 | 2011-10-12 | 信越化学工業株式会社 | 光関連デバイス封止用樹脂組成物およびその硬化物 |
FR2914631B1 (fr) * | 2007-04-06 | 2009-07-03 | Eads Europ Aeronautic Defence | Materiau nanostructure particulier, comme revetement protecteur de surfaces metalliques. |
JP5444631B2 (ja) * | 2007-04-06 | 2014-03-19 | 横浜ゴム株式会社 | 光半導体素子封止用組成物、その硬化物および光半導体素子封止体 |
JP5139942B2 (ja) * | 2008-09-26 | 2013-02-06 | 旭化成イーマテリアルズ株式会社 | トレンチ埋め込み用樹脂組成物及びその製造方法 |
TWI487747B (zh) * | 2009-02-09 | 2015-06-11 | Arakawa Chem Ind | 透明密封材組合物及光半導體元件 |
US8906153B2 (en) * | 2009-06-24 | 2014-12-09 | Asahi Kasei E-Materials Corporation | Product of polysiloxane condensation |
JP2012136559A (ja) * | 2010-12-24 | 2012-07-19 | Asahi Kasei E-Materials Corp | ポリシロキサン縮合反応物ワニスの製造方法 |
JP2013047294A (ja) * | 2011-08-29 | 2013-03-07 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | シリカ系樹脂膜用の組成物の製造方法、シリカ系樹脂膜用の組成物、シリカ系樹脂膜の形成方法およびシリカ系樹脂膜 |
JP2013047293A (ja) * | 2011-08-29 | 2013-03-07 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | 透明膜用の組成物、透明膜の形成方法、および透明膜 |
-
2013
- 2013-12-05 JP JP2013252094A patent/JP6347597B2/ja active Active
-
2014
- 2014-11-27 KR KR1020140167170A patent/KR102276499B1/ko active IP Right Grant
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20150065578A (ko) | 2015-06-15 |
KR102276499B1 (ko) | 2021-07-12 |
JP2015108087A (ja) | 2015-06-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10435513B2 (en) | Composite of silicon oxide nanoparticles and silsesquioxane polymer, method for producing same, and composite material produced using composite thereof | |
KR101471234B1 (ko) | 실록산계 수지 조성물 | |
JP6347597B2 (ja) | シリカ系被膜形成用組成物及びこれを用いたシリカ系被膜の製造方法 | |
KR20080004372A (ko) | 광 관련 디바이스 밀봉용 수지 조성물 및 그의 경화물 | |
TWI794370B (zh) | 抗裂的基於矽之平坦化組成物、方法及膜 | |
JP6879929B2 (ja) | 光機能性膜およびその製造方法 | |
JP2012219219A (ja) | シロキサン樹脂含有塗布組成物 | |
CN110036318B (zh) | 黑矩阵用组合物、黑矩阵、以及黑矩阵的制造方法 | |
KR102465624B1 (ko) | 광흡수성 조성물 및 광학 필터 | |
CN106065278B (zh) | 聚硅氧烷组合物和用于光电子应用的涂层 | |
JP6523780B2 (ja) | 膜形成性組成物、及びそれを用いた硬化被膜の製造方法 | |
JP2012131864A (ja) | シリカ系絶縁膜形成用塗布液 | |
TWI583739B (zh) | A composition for a transparent film, a method for forming a transparent film, and a transparent film | |
JP5403730B2 (ja) | 低誘電性絶縁膜、プラズマディスプレイおよびその製造方法 | |
KR102124920B1 (ko) | 마스크 페이스트 조성물, 이것을 사용해서 얻어지는 반도체 소자 및 반도체 소자의 제조 방법 | |
JP6035098B2 (ja) | トレンチ埋め込み用塗布液 | |
JP5878383B2 (ja) | ポリシロキサン材料 | |
JP2017115145A (ja) | シリコーン樹脂組成物、硬化物および半導体発光素子用封止材 | |
TW201922934A (zh) | 樹脂組成物、其硬化膜、具備該硬化膜的半導體元件及半導體元件的製造方法 | |
KR20130080986A (ko) | 유기실록산 중합체를 포함하는 열 경화성 수지 조성물 | |
TH110594A (ja) |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160912 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170417 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170523 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170724 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20180109 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180409 |
|
A911 | Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20180417 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180522 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180529 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6347597 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |