JP6342299B2 - 基板割れ判定方法 - Google Patents
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- 仕切弁装置を介して連設された第1室と第2室との間で、いずれか一方の室に配置され、ロボットアームとその先端に設けたロボットハンドとを有する搬送ロボットにより基板を搬送する際、基板の割れや欠けの有無を判定する基板割れ判定方法であって、
前記仕切弁装置として、弁箱とこの弁箱内に往復動自在に設けられる弁体とを備え、弁体の往復動方向をZ軸方向、このZ軸方向に直交する平面内で互いに直交する方向をX軸方向及びY軸方向とし、弁箱のX軸方向の壁面部分に互いに対向させて第1室と第2室との連通を可能とする透孔が夫々開設され、弁箱のY軸方向の壁面部分に、両透孔のZ軸方向の幅の範囲内に位置させて投光部と受光部とを有する光電センサが設けられるものを用い、
ロボットハンドで基板を保持させた状態で、弁箱内に存するロボットアームの部分に投光部から投光し、その透過光または反射光を受光部で受光したときの光量から基板の重量情報を取得し、この取得した重量情報に基づき基板の割れや欠けの有無を判定する工程を含むことを特徴とする基板割れ判定方法。 - 光量と重量情報との関係を示す検量線を用いて、重量情報を取得することを特徴とする請求項1記載の基板割れ判定方法。
- 前記判定に先立ち、前記仕切弁装置を通してロボットアームを伸ばすと共にロボットハンドにより基板を保持しない状態で投光し、そのときに受光した光量を用いて、前記検量線を補正することを特徴とする請求項2記載の基板割れ判定方法。
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