JP6340984B2 - センシングシステム - Google Patents
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しかも第1位相角及び第2位相角は共に、SAWセンサに影響する物理量の変化に応じて位相特性中の第1象限〜第4象限内で変化し、且つ、当該第1象限〜第4象限内において−180[deg]≦θA≦180[deg]、且つ、−180[deg]≦θB≦180[deg]の範囲内の値を得る演算量である。
位相角算出部は、第1位相角及び第2位相角が時間経過に伴い変化したときに、第1位相角又は第2位相角が第2象限から第3象限に跨いだと判定したときには変化量の加減算と共に360[deg]加算して補正し、第1位相角又は第2位相角が第3象限から第2象限に跨いだと判定したときには変化量の加減算と共に360[deg]減算して補正する。この結果、第1又は第2位相角が第3象限から第2象限に跨いだときにも位相角を補正できる。
まず図1を参照し、センシングシステムの概略構成について説明する。図1に示すセンシングシステム1は、遅延線タイプの弾性表面波センサ(以下SAWセンサと称す)2と、SAWセンサ2により検出されるSAWの位相角を検出するセンシング装置3と、センシング装置3の検出信号を入力し物理量(例えば温度T)を検出する制御装置4と、を備える。図1には模式的に示しているが、SAWセンサ2は反射型のものを用いている。SAWセンサ2は、バースト信号の入力に応じて弾性表面波を生じさせる櫛型電極(以下IDTと称す: Inter Digital Transducer)5と、SAWを反射する反射器6a、6bと、を圧電体基板7に設けて構成される。
これらの位相角θA、θB、及び位相差θdiffは、SAWセンサ2から伝搬信号をセンシング装置3に入力したときに周期的に算出される。そこで、ある時刻tにおける位相角θA、θBをそれぞれ位相角θA_t、θB_tとし、その時刻tにおける位相差θdiffをθdiff_tとする。
この後、制御部16は、θΔdiff=0[deg]、0[deg]<θΔdiff<180[deg]、−180[deg]<θΔdiff<0[deg]、θΔdiff<−180[deg]、θΔdiff>+180[deg]、の場合に分けて処理を行う(図4のS4)。制御部16は、ステップS4においてθΔdiff=0[deg]と判定した場合、位相差θdiffが変化しないことを表す。この場合、例えば位相角θA、θBは共に時間変化しない。このため、時刻tにおける補正後位相角θcorrectA_t、補正後位相角θcorrectB_tは、時刻t−1における補正後の位相角を補正後位相角θcorrectA_t-1、補正後位相角θcorrectB_t-1とした場合、
θcorrectA_t = θcorrectA_t-1 … (3A)
θcorrectB_t = θcorrectB_t-1 … (3B)
とし、補正することなくそのまま維持する(図5のTA1、TA2)。
制御部16は、位相角θA、θBが共に単調増加したと判定したときには、位相角θA、θBが共に特異点を跨がない増加であると判定する(図6のTB3)。この場合、例えば、図3(c)及び図3(d)の時刻tx1→ty1に示すように、図3(d)に示す右矢印方向Z1に位相差θdiffが単調増加することになる。ここで「特異点を跨がない」とは、これらの2つの時刻tx1→ty1の間に第2象限から第3象限又は第3象限から第2象限に移動していない、ことを意味する。このとき、補正後位相角θcorrectA_t、補正後位相角θcorrectB_tは、単調増加分のみを加算し、
θcorrectA_t = θcorrectA_t-1 +(θA_t − θA_t-1)
… (4A)
θcorrectB_t = θcorrectB_t-1 +(θB_t − θB_t-1)
… (4B)
として補正する(図6のTB4、TB5)。
θcorrectA_t = θcorrectA_t-1 +(θA_t − θA_t-1 +360)
… (5A)
θcorrectB_t = θcorrectB_t-1 +(θB_t − θB_t-1 +360)
… (5B)
とする(図6のTB7、TB8)。このようにして補正処理が行われる。
θcorrectA_t = θcorrectA_t-1 +(θA_t − θA_t-1)
… (6A)
θcorrectB_t = θcorrectB_t-1 +(θB_t − θB_t-1)
… (6B)
として補正する(図7のTC4、TC5)。
θcorrectA_t = θcorrectA_t-1 +(θA_t − θA_t-1 −360)
… (7A)
θcorrectB_t = θcorrectB_t-1 +(θB_t − θB_t-1 −360)
… (7B)
とする(図7のTC7、TC8)。このようにして補正処理が行われる。
θcorrectA_t = θcorrectA_t-1 +(θA_t − θA_t-1)
… (8A)
θcorrectB_t = θcorrectB_t-1 +(θB_t − θB_t-1 + 360)
… (8B)
として補正する(図8のTD3、TD4)。また、制御部16は、(θdiff_t+360[deg])−θdiff_t-1が0を下回っているときには(TD1:<0)、位相差θdiffが図3(d)の左矢印方向Z2に移動したと判定し、この場合、位相角θAが第3象限から第2象限内に移動するように特異点を跨いだ増加をしたと判定する(図8のTD5)。例えば、図3(c)及び図3(d)の時刻tg→thの位相変化を参照。このとき、制御部16は、補正後位相角θcorrectA_t、補正後位相角θcorrectB_tについて、位相角θcorrectA_t-1にのみ単調減少分と共に一周分の位相角を減算し、
θcorrectA_t = θcorrectA_t-1 +(θA_t − θA_t-1 − 360)
… (9A)
θcorrectB_t = θcorrectB_t-1 +(θB_t − θB_t-1)
… (9B)
として補正する(図8のTD6、TD7)。このようにして補正処理が行われる。
θcorrectA_t = θcorrectA_t-1 +(θA_t − θA_t-1 + 360)
… (10A)
θcorrectB_t = θcorrectB_t-1 +(θB_t − θB_t-1)
… (10B)
として補正する(図9のTE3、TE4)。また制御部16は、(θdiff_t−360[deg])−θdiff_t-1が0を下回っているときには、位相差θdiffが図3(d)の左矢印方向Z2に移動したと判定し、この場合、位相角θBが第3象限から第2象限内に移動するように特異点を跨いだ増加をしたと判定する(図9のTE5)。:図3(c)及び図3(d)の時刻tk→tlの位相変化を参照。このときには、補正後位相角θcorrectA_t、補正後位相角θcorrectB_tは、位相角θcorrectA_t-1にのみ単調減少分と共に一周分の位相角を減算し、
θcorrectA_t = θcorrectA_t-1 +(θA_t − θA_t-1)
… (11A)
θcorrectB_t = θcorrectB_t-1 +(θB_t − θB_t-1 − 360)
… (11B)
として補正する(図9のTE6、TE7)。このようにして補正処理が行われる。このようにして処理された補正後位相角θcorrectA_t、θcorrectB_tを用いて温度を特定することができる。SAWセンサ2の伝搬信号に応じて求められる位相角θが、温度Tによる物理量のみで変化するという仮定条件下では、温度Tは補正後の位相角θcorrectA_tを用いて、
T = (θcorrectA_t − θcorrect_t=0) / θK_L1 … (12)
として算出することができる。ここで、θK_L1は前述したように感度を示しており、温度Tが1[°C]変化するときの例えば位相角θAの変化度を示している。なお、補正後位相角θcorrectA_t、感度θK_L1(伝搬経路Aの感度)に替えて、補正後位相角θcorrectB_t、感度θK_L2(伝搬経路Bの感度)を用いても良い。
高感度で高分解能なSAWセンサの位相角が何回転しているのかを調べる為に、低感度な素子を使用する方法が考えられる。しかし、この方式を用いると遅延時間によるバースト信号の入力時間の制約の問題は解決されない。
また、第1位相角θA及び第2位相角θBは共に、SAWセンサ2に影響する物理量の変化に応じて位相特性中の第1象限〜第4象限内で変化し、且つ、当該第1象限〜第4象限内において−180[deg]≦θA≦180[deg]、且つ、−180[deg]≦θB≦180[deg]の範囲内の値を得る演算量であるが、位相角算出部19は、第1及び第2の位相角θA及びθBが時間経過に伴い変化したときに、第1又は第2の位相角θA又はθBが第2象限から第3象限に跨いだと判定したときには、変化量の加減算と共に360[deg]加算して補正している。この結果、第1又は第2の位相角θA又はθBが第2象限から第3象限に跨いだときに位相角θA又はθBを補正できる。
図10は第2実施形態を示す。第1実施形態ではSAWセンサ2とセンシング装置3とが有線接続された形態を示したが、有線接続に限定されるものではなく、図10に示すように、SAWセンサ2のIDT5とセンシング装置3のスイッチ10との間に信号送受信用のアンテナ20を備える形態を適用しても良い。すなわち、無線接続する構成を採用しても良い。
第3実施形態ではSAWセンサ102の他の構成を例示する。第1実施形態では反射器6a、6bを設けた反射型のSAWセンサ2を採用したが、第3実施形態を示す図11に示すように、非反射型のSAWセンサ102を採用して構成しても良い。このSAWセンサ102は、第1及び第2のSAW素子120及び121が複数併設されることで構成される。これらの第1及び第2のSAW素子120及び121は、それぞれ、圧電体基板7上に入力用のIDT105aと出力用のIDT105bとが対向配置されることで構成される。各IDT105a、105bの詳細構造は、第1実施形態におけるIDT5と同様の構造となっている。
図12に示す第4実施形態でもSAWセンサ202の他の構成を例示する。図12に示すSAWセンサ202は、IDT205a及び反射器206aによる第1SAW素子220、及び、IDT205b及び反射器206bによる第2SAW素子221、を同一の圧電体基板7に併設して備える。IDT205aと反射器206aとが圧電体基板7の上の第1所定領域に第1伝搬経路長L1の第1伝搬経路Aを備える。IDT205bと反射器206bとが圧電体基板7の上の第2所定領域に第2伝搬経路長L2の第2伝搬経路Bを備える。このような場合、IDT205aと反射器206aとが第1伝搬経路Aを通じてSAWを伝達し、IDT205bと反射器206bとが第2伝搬経路Bを通じてSAWを伝達する。そして、これらのIDT205a、205bと反射器206a、206bとが互いに並列してセンシング装置3に接続されている。このようなSAWセンサ202を用いても同様に適用できる。
図13に示す第5実施形態でもSAWセンサ302の他の構成を例示する。第1実施形態ではIDT5が2つの反射器6a、6bに挟まれることで第1及び第2伝搬経路A、Bを備える形態を示したが、図13に示すSAWセンサ302は、この構成要素5、6a、6bによる第1SAW素子320に加えて、他のIDT305及び反射器306による第2SAW素子321を別途備え、この第2SAW素子321が第3伝搬経路長L3の第3伝搬経路Cを通じてSAWを伝達する形態としても良い。第1〜第3の伝搬経路A〜Cの伝搬経路長L1〜L3は互いに異なる距離とすると良い。センシング装置3はこれらの第1〜第3の伝搬経路A〜Cのうち何れか2つのSAWを選択的に受信する。このようなSAWセンサ302を用いても同様に適用できる。
図14に示す第6実施形態でもSAWセンサ402の他の構成を例示する。図14に示すSAWセンサ402は、短絡タイプの入力用IDT405a及び出力用IDT406aによる第1SAW素子420と、反射型のIDT405b及び反射器406bによる第2SAW素子421とを同一の圧電体基板7の上に搭載して構成される。ここで、短絡タイプの入力用IDT405aと出力用IDT406aとの一方の電極は短絡して構成されており、他方の電極は接地されている。IDT405b及び反射器406bは、IDT5及び反射器6と同様の構造とされている。
前述実施形態に限定されるものではなく、例えば、以下に示す変形または拡張が可能である。
SAWセンサの種類は、前述実施形態に挙げた例に限定されるものではなく、前述実施形態に挙げた例以外にも種々の形態のものを採用することができる。遅延線タイプのSAWセンサであり少なくとも2つ以上の伝搬経路A、B(、C)を備える形態であれば、どのようなタイプのSAWセンサでも適用できる。例えば、図15にSAWセンサ502を示すように、共通の圧電体基板7の上にIDT505が一方に形成されると共に、反射器506a、506bが他方に2つ離間して形成されている形態に適用しても良い。
Claims (3)
- 第1伝搬経路長を備える第1伝搬経路、及び、第2伝搬経路長を備える第2伝搬経路を備える遅延線タイプの弾性表面波センサ(以下SAWセンサ)(2、102、202、302、402、502)と、
信号源から所定周波数のバースト信号を前記SAWセンサに伝搬させ伝搬信号を検出するセンシング装置(3、3a)と、
前記センシング装置の検出信号に応じて前記SAWセンサに影響する物理量を算出する制御装置(4)と、を備え、
前記制御装置は、
前記センシング装置の検出信号に応じて位相角を算出する位相角算出部(19)を備え、前記位相角算出部は、前記SAWセンサの第1伝搬経路を通じて検出された第1検出信号及び前記バースト信号に応じて算出される第1位相角(θA)と、前記バースト信号が前記SAWセンサの第2伝搬経路を通じて検出された第2検出信号及び前記バースト信号に応じて算出される第2位相角(θB)と、の位相差(θdiff)を演算し、前記演算された位相差に応じて前記SAWセンサに影響する物理量を検出し、
前記第1位相角(θA)及び第2位相角(θB)は共に、前記SAWセンサ(2)に影響する物理量の変化に応じて位相特性中の第1象限〜第4象限内で変化し、且つ、当該第1象限〜第4象限内において−180[deg]≦θA≦180[deg]、且つ、−180[deg]≦θB≦180[deg]の範囲内の値を得る演算量であり、
前記位相角算出部は、前記第1位相角(θA)及び前記第2位相角(θB)が時間経過に伴い変化したときに、前記第1位相角(θA)又は前記第2位相角(θB)が第2象限から第3象限に跨いだと判定したときには変化量の加減算と共に360[deg]加算して補正し、前記第1位相角(θA)又は前記第2位相角(θB)が第3象限から第2象限に跨いだと判定したときには変化量の加減算と共に360[deg]減算して補正することを特徴とするセンシングシステム。 - 請求項1記載のセンシングシステムにおいて、
1つの前記SAWセンサが、前記第1及び第2の伝搬経路を備えることを特徴とするセンシングシステム。 - 請求項1記載のセンシングシステムにおいて、
前記SAWセンサは、第1SAW素子(120、220、320、420)、及び、第2SAW素子(121、221、321、421)を備え、
前記第1SAW素子が前記第1伝搬経路を備え、
前記第2SAW素子が前記第2伝搬経路を備えることを特徴とするセンシングシステム。
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