JP2006258768A - 弾性波センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】発振用弾性波素子12を含む発振ループ20が形成されている。出力用櫛形電極16は、入力弾性波レベルと出力電気信号レベルとの間のゲイン特性がその通過帯域において周波数の変化とともに変化する特性となるように形成されている。発振用弾性波素子12上に形成された感応膜18が被測定物を吸着すると、励振用櫛形電極12aから出力用櫛形電極16へ伝搬する弾性波の周波数が変化するため、出力用櫛形電極16から出力される電気信号のレベルが変化する。したがって、出力用櫛形電極16から出力される電気信号のレベルを検出することで、被測定物の濃度を検出することができる。
【選択図】図1
Description
図1は、本発明の実施形態1に係る弾性波センサの構成の概略を示す図である。本実施形態に係る弾性波センサにおいては、発振用弾性波素子12及び増幅器AMP1を含む発振ループ20が形成されている。
図7は、本発明の実施形態2に係る弾性波センサの構成の概略を示す図である。本実施形態においては、発振用弾性波素子12に感応膜18が形成されておらず、発振用弾性波素子12は被測定物に対して吸着性を示さない。そして、出力用櫛形電極16上に感応膜18が形成されている。なお、他の構成については図1に示す構成と同様であるため説明を省略する。
図9は、本発明の実施形態3に係る弾性波センサの構成の概略を示す図である。本実施形態においては、発振ループ20内の発振用弾性波素子12の他に、検出用弾性波素子22が設けられている。
図12は、本発明の実施形態4に係る弾性波センサの構成の概略を示す図である。本実施形態においては、発振用弾性波素子12に感応膜18が形成されておらず、発振用弾性波素子12は被測定物に対して吸着性を示さない。そして、検出用弾性波素子22の入力用櫛形電極14上及び出力用櫛形電極16上に感応膜18が形成されている。なお、他の構成については図9に示す構成と同様であるため説明を省略する。
Claims (7)
- 弾性波を励振する励振用電極と該弾性波を電気信号に変換する受信用電極とが圧電性基板上に形成された発振用弾性波素子を含み、該受信用電極にて変換された電気信号が該励振用電極に入力される発振ループと、
前記圧電性基板上に形成され、前記励振用電極により励振された弾性波を電気信号に変換して出力する出力用電極と、
を有し、
前記発振用弾性波素子上には、被測定物に対して吸着性を示す感応膜が形成されており、
前記出力用電極は、入力される弾性波のレベルと出力する電気信号のレベルとの間の特性が周波数の変化に応じて変化するように形成されており、
前記感応膜が前記被測定物を吸着することで、前記出力用電極から出力される電気信号のレベルが変化することを特徴とする弾性波センサ。 - 弾性波を励振する励振用電極と該弾性波を電気信号に変換する受信用電極とが圧電性基板上に形成された発振用弾性波素子を含み、該受信用電極にて変換された電気信号が該励振用電極に入力される発振ループと、
前記圧電性基板上に形成され、前記励振用電極により励振された弾性波を電気信号に変換して出力する出力用電極と、
を有し、
前記出力用電極上には、被測定物に対して吸着性を示す感応膜が形成されており、
前記出力用電極は、入力される弾性波のレベルと出力する電気信号のレベルとの間の特性が周波数の変化に応じて変化するように形成されており、
前記感応膜が前記被測定物を吸着することで、前記出力用電極から出力される電気信号のレベルが変化することを特徴とする弾性波センサ。 - 請求項2に記載の弾性波センサであって、
前記出力用電極は、前記圧電性基板上に複数形成されており、
各出力用電極上には、それぞれ異なる種類の被測定物に対して吸着性を示す感応膜が形成されていることを特徴とする弾性波センサ。 - 弾性波を励振する励振用電極と該弾性波を電気信号に変換する受信用電極とが圧電性基板上に形成された発振用弾性波素子を含み、該受信用電極にて変換された電気信号が該励振用電極に入力される発振ループと、
該発振ループ中の電気信号を弾性波に変換する入力用電極と該弾性波を電気信号に変換して出力する出力用電極とが圧電性基板上に形成された検出用弾性波素子と、
を有し、
前記発振用弾性波素子上には、被測定物に対して吸着性を示す感応膜が形成されており、
前記検出用弾性波素子は、前記入力用電極に入力される電気信号のレベルと前記出力用電極から出力する電気信号のレベルとの間の特性が周波数の変化に応じて変化するように形成されており、
前記感応膜が前記被測定物を吸着することで、前記出力用電極から出力される電気信号のレベルが変化することを特徴とする弾性波センサ。 - 弾性波を励振する励振用電極と該弾性波を電気信号に変換する受信用電極とが圧電性基板上に形成された発振用弾性波素子を含み、該受信用電極にて変換された電気信号が該励振用電極に入力される発振ループと、
該発振ループ中の電気信号を弾性波に変換する入力用電極と該弾性波を電気信号に変換して出力する出力用電極とが圧電性基板上に形成された検出用弾性波素子と、
を有し、
前記入力用電極上と前記出力用電極上の少なくとも一方には、被測定物に対して吸着性を示す感応膜が形成されており、
前記検出用弾性波素子は、前記入力用電極に入力される電気信号のレベルと前記出力用電極から出力する電気信号のレベルとの間の特性が周波数の変化に応じて変化するように形成されており、
前記感応膜が前記被測定物を吸着することで、前記出力用電極から出力される電気信号のレベルが変化することを特徴とする弾性波センサ。 - 請求項5に記載の弾性波センサであって、
前記検出用弾性波素子は、複数設けられており、
各検出用弾性波素子の入力用電極上と出力用電極上の少なくとも一方には、それぞれ異なる種類の被測定物に対して吸着性を示す感応膜が形成されていることを特徴とする弾性波センサ。 - 請求項4〜6のいずれか1に記載の弾性波センサであって、
前記発振用弾性波素子及び前記検出用弾性波素子に用いられる圧電性基板は共通化されていることを特徴とする弾性波センサ。
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