JPS62190905A - 弾性表面波装置 - Google Patents
弾性表面波装置Info
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- JPS62190905A JPS62190905A JP61034548A JP3454886A JPS62190905A JP S62190905 A JPS62190905 A JP S62190905A JP 61034548 A JP61034548 A JP 61034548A JP 3454886 A JP3454886 A JP 3454886A JP S62190905 A JPS62190905 A JP S62190905A
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- Japan
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- thin film
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- surface acoustic
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Links
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Landscapes
- Oscillators With Electromechanical Resonators (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、弾性表面波装置、特に弾性表面波を用いたセ
ンサに関するものである。
ンサに関するものである。
従来の技術
従来の弾性表面波装置を用いたセンサは、（１）弾性表
面波装置を共振子としてコルピッツ型発振回路等に接続
する。（２）第３図に示したように、圧電性基板３４の
上に設けた一組の入出力ＩＤＴ（＜シ歯電極）３２．３
３から成る弾性表面波遅延回路と帰還増幅器３１で構成
する。前記（１） 、 （２）を用いて、入出力ＩＤＴ
間の伝搬線路上に、温度。
面波装置を共振子としてコルピッツ型発振回路等に接続
する。（２）第３図に示したように、圧電性基板３４の
上に設けた一組の入出力ＩＤＴ（＜シ歯電極）３２．３
３から成る弾性表面波遅延回路と帰還増幅器３１で構成
する。前記（１） 、 （２）を用いて、入出力ＩＤＴ
間の伝搬線路上に、温度。
湿度、ガス濃度等測定物理量によって、伝搬定数が変化
する薄膜３６を付着させることによって利用されている
。
する薄膜３６を付着させることによって利用されている
。
しかし、弾性表面波装置そのものが、温度、湿度に対す
る良好なセンサとして用いられており、前記の測定物理
量によって伝搬定数の変化が生じたのか、弾性表面波装
置そのものの伝搬定数の変化が生じたのか、判別ができ
ない。
る良好なセンサとして用いられており、前記の測定物理
量によって伝搬定数の変化が生じたのか、弾性表面波装
置そのものの伝搬定数の変化が生じたのか、判別ができ
ない。
そのため、従来、第２図に示したように、ひとつの入力
ＩＤＴ２２と２個の出力ＩＤＴ２３ａ。
ＩＤＴ２２と２個の出力ＩＤＴ２３ａ。
２３ｂを用い弾性表面波伝搬線路上に、測定物理量によ
って伝搬定数が変化する薄膜２４を付着させ、出力Ｉ
Ｄ Ｔ ２３ ａ・、２３ｂで得られた信号のうち、一
方の位相を１８０度位相推移器２９を用いて位相推移さ
せた後、差動増幅器２５を用いて、測定物理量に比例し
た電気信号出力を得ている。
って伝搬定数が変化する薄膜２４を付着させ、出力Ｉ
Ｄ Ｔ ２３ ａ・、２３ｂで得られた信号のうち、一
方の位相を１８０度位相推移器２９を用いて位相推移さ
せた後、差動増幅器２５を用いて、測定物理量に比例し
た電気信号出力を得ている。
２１は励振用発振器、２６はローパスフィルター、２７
ｉｊ Ａ ／ Ｄ変換器、２８はディジタル表示器、
３ｏは圧電性基板である。
ｉｊ Ａ ／ Ｄ変換器、２８はディジタル表示器、
３ｏは圧電性基板である。
発明が解決しようとする問題点
しかし、第２図に示した前記差動増幅器を用いた弾性表
面波装置は、外付けの電子回路が、複雑となる。
面波装置は、外付けの電子回路が、複雑となる。
本発明は、かかる点に鑑みてなされたもので、簡単な構
成で精密に測定物理量の変化を数値化するのに大きな威
力を発揮するものである。
成で精密に測定物理量の変化を数値化するのに大きな威
力を発揮するものである。
問題点を解決するだめの手段
本発明は、前記問題点を解決するために、２個のＩＤＴ
に、各々、１８０度位相の異なる励振信号を入力し、片
方の入力ＩＤＴと出力ＩＤＴ間の圧電性基板上に、温度
、湿度、ガスの種類等の測定物理量によって弾性表面波
の伝搬定数が変化する薄膜を付着させ、前記薄膜によっ
て伝搬定数の差を生じたときにのみ、周波数の変化出力
を得る構成とした圧電性基板および、ローパスフィルタ
、Ａ／Ｄ変換器、デジタル表示器等より構成されている
。
に、各々、１８０度位相の異なる励振信号を入力し、片
方の入力ＩＤＴと出力ＩＤＴ間の圧電性基板上に、温度
、湿度、ガスの種類等の測定物理量によって弾性表面波
の伝搬定数が変化する薄膜を付着させ、前記薄膜によっ
て伝搬定数の差を生じたときにのみ、周波数の変化出力
を得る構成とした圧電性基板および、ローパスフィルタ
、Ａ／Ｄ変換器、デジタル表示器等より構成されている
。
作 用
本発明は、上記した構成により、入力ＩＤＴからは、１
．８０度位相反転した弾性表面波が発せられ、出力ＩＤ
Ｔ上では、常に打ち消し合い、応答出力信号は生じない
。しかし、片方の入力ＩＤＴと出力ＩＤＴの間に、測定
物理量によって弾性表面波の伝搬定数の変化する薄膜を
付着させておくと、測定物理量の変化が、周波数の変化
となって出力される。
．８０度位相反転した弾性表面波が発せられ、出力ＩＤ
Ｔ上では、常に打ち消し合い、応答出力信号は生じない
。しかし、片方の入力ＩＤＴと出力ＩＤＴの間に、測定
物理量によって弾性表面波の伝搬定数の変化する薄膜を
付着させておくと、測定物理量の変化が、周波数の変化
となって出力される。
実施例
第１図は、本発明の弾性表面波装置の一実施例を示した
図であり、第１図において、１は励振用発振器、２は１
８０度位相推移器、３ａ 、３ｂは入力ＩＤＴ、５は物
理量測定用薄膜、６は出力ＩＤＴ１−ｒはローパスフィ
ルタ、８はＡ／Ｄｉ換器、９はデジタル表示器である。
図であり、第１図において、１は励振用発振器、２は１
８０度位相推移器、３ａ 、３ｂは入力ＩＤＴ、５は物
理量測定用薄膜、６は出力ＩＤＴ１−ｒはローパスフィ
ルタ、８はＡ／Ｄｉ換器、９はデジタル表示器である。
物理量測定用薄膜６を例えば、パラジウム系合金薄膜と
すれば水素等のガス検知器、シリカゲル薄膜等とすれば
湿度センサ、バイメタルを用いれば温度センサとして形
成することができる。
すれば水素等のガス検知器、シリカゲル薄膜等とすれば
湿度センサ、バイメタルを用いれば温度センサとして形
成することができる。
この装置によれば、入力ＩＤＴ３ａ、３ｂからは１８０
°位相反転した弾性表面波が発せられ、出力ＩＤＴｓで
はこれらが常に打ち消し合い応答出力信号は生じない。
°位相反転した弾性表面波が発せられ、出力ＩＤＴｓで
はこれらが常に打ち消し合い応答出力信号は生じない。
しかるに、薄膜６の伝搬定数が測定物理量によって変化
すると、周波数の変化となって出力が得られる。
すると、周波数の変化となって出力が得られる。
発明の効果
以上述べてきたように、本発明によれば、従来に比べ簡
単な回路構成で、精密な弾性表面波を用いたセンサの形
成が可能である。
単な回路構成で、精密な弾性表面波を用いたセンサの形
成が可能である。
第１図は本発明の一実施例における２つの入力ＩＤＴの
位相が１８０度異ｌ６弾性表面波装置の構成図、第２図
は従来の圧電性基板そのものに加わる外因を相殺する構
造の弾性表面波装置の構成図、第３図は遅延線型弾性表
面波発振器の構成図である。
位相が１８０度異ｌ６弾性表面波装置の構成図、第２図
は従来の圧電性基板そのものに加わる外因を相殺する構
造の弾性表面波装置の構成図、第３図は遅延線型弾性表
面波発振器の構成図である。
Claims (1)
- 圧電性基板上に、２個の入力くし歯電極と１個の出力く
しが対向するように形成され、前記２個の入力くし歯電
極に、各々、１８０度位相の異なる励振信号を入力し、
片方の前記入力くし歯電極と出力くし歯電極間の圧電性
基板上に、測定物理量によって弾性表面三波の伝搬定数
が変化する薄膜を付着させ、前記薄膜によって伝搬定数
の差を生じたときにのみ、周波数の変化出力を得るよう
にした弾性表面波装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61034548A JPS62190905A (ja) | 1986-02-18 | 1986-02-18 | 弾性表面波装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61034548A JPS62190905A (ja) | 1986-02-18 | 1986-02-18 | 弾性表面波装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62190905A true JPS62190905A (ja) | 1987-08-21 |
Family
ID=12417362
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61034548A Pending JPS62190905A (ja) | 1986-02-18 | 1986-02-18 | 弾性表面波装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62190905A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0235352A (ja) * | 1988-07-25 | 1990-02-05 | Sanyo Electric Co Ltd | 水素ガスセンサー |
| JPH03115853A (ja) * | 1989-09-29 | 1991-05-16 | Hitachi Ltd | 微少反応検出センサ及びシステム |
| JPH03248057A (ja) * | 1990-02-27 | 1991-11-06 | Sanyo Electric Co Ltd | ガスセンサー |
| JPH08505466A (ja) * | 1990-08-24 | 1996-06-11 | ヴセソジュズニー ナウチノ・イスレドヴァテルスキー インスティチュート プリロドニハ ガゾフ （ヴニイガズ） | 媒体の物理的状態パラメーター決定のための方法及びその方法を実施するための装置 |
| JP2006258768A (ja) * | 2005-03-18 | 2006-09-28 | Japan Radio Co Ltd | 弾性波センサ |
| JP2008267968A (ja) * | 2007-04-19 | 2008-11-06 | Japan Radio Co Ltd | 被測定物特性測定装置 |
| US9076956B2 (en) | 2012-06-27 | 2015-07-07 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Saw array sensor |
| JP2019184621A (ja) * | 2012-01-30 | 2019-10-24 | 京セラ株式会社 | 検体センサおよび検体センシング方法 |
-
1986
- 1986-02-18 JP JP61034548A patent/JPS62190905A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0235352A (ja) * | 1988-07-25 | 1990-02-05 | Sanyo Electric Co Ltd | 水素ガスセンサー |
| JPH03115853A (ja) * | 1989-09-29 | 1991-05-16 | Hitachi Ltd | 微少反応検出センサ及びシステム |
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| JP4714885B2 (ja) * | 2005-03-18 | 2011-06-29 | 日本無線株式会社 | 弾性波センサ |
| JP2008267968A (ja) * | 2007-04-19 | 2008-11-06 | Japan Radio Co Ltd | 被測定物特性測定装置 |
| JP2019184621A (ja) * | 2012-01-30 | 2019-10-24 | 京セラ株式会社 | 検体センサおよび検体センシング方法 |
| US9076956B2 (en) | 2012-06-27 | 2015-07-07 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Saw array sensor |
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