JP6310601B1 - スパッタリング装置 - Google Patents
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Abstract
Description
特に本発明によれば、第1の電極及び第2の電極の間の空間を冷却液で満たして誘電体としているので、容量素子を構成する電極及び誘電体の間に生じる隙間を無くすことができる。その結果、プラズマの均一性を向上させることができ、成膜の均一性を向上させることができる。また、冷却液を誘電体として用いることで、冷却液とは別の液体の誘電体を準備する必要が無く、また、第1の電極及び第2の電極を冷却することができる。通常、冷却液は温調機構により一定温度に調整されており、この冷却液を誘電体として用いることによって、温度変化による比誘電率の変化を抑えて、キャパシタンス値の変化を抑えることができ、これによってもプラズマの均一性を向上させることができる。さらに、冷却液として水を用いた場合には、水の比誘電率は約80(20℃)であり樹脂製の誘電体シートよりも大きいため、高電圧に耐えうる容量素子を構成することができる。
そのうえ本発明によれば、アンテナに供給する高周波電圧とターゲットのバイアス電圧との設定を独立して行うことができるので、バイアス電圧をプラズマの生成とは独立してプラズマ中のイオンをターゲットに引き込んでスパッタさせる程度の低電圧に設定することができる。その結果、低電圧においてターゲットのスパッタを行うことができるので、ターゲットの材料組成と基板に形成された膜の組成との変化を小さくすることができる。また、アンテナを用いてスパッタリング用のプラズマを生成しているので、マグネトロンスパッタリング装置に比べて、ターゲットを一様に消費することができ、ターゲットの使用効率を向上させることができる。加えて、本発明ではターゲット表面近傍に直流磁場を有さない構成であり、磁性材料への適用が容易となる。
その他、電極及び誘電体の間の隙間に発生しうるアーク放電を無くし、アーク放電に起因する容量素子の破損を無くすことができる。また、隙間を考慮することなく、第1の電極及び第2の電極の距離、対向面積及び冷却液の比誘電率からキャパシタンス値を精度良く設定することができる。さらに、隙間を埋めるための電極及び誘電体を押圧する構造も不要にすることができ、当該押圧構造によるアンテナ周辺の構造の複雑化及びそれにより生じるプラズマの均一性の悪化を防ぐことができる。
この構成であれば、フランジ部により導体要素との接触面積を大きくしつつ、延出部により電極間の対向面積を設定することができる。
この構成であれば、電極間の対向面積を大きくしつつ、導体要素に流れる高周波電流の分布を周方向において均一にして、均一性の良いプラズマを発生させることができる。
本実施形態のスパッタリング装置100は、誘導結合型のプラズマPを用いてターゲットTをスパッタリングして基板Wに成膜するものである。ここで、基板Wは、例えば、液晶ディスプレイや有機ELディスプレイ等のフラットパネルディスプレイ(FPD)用の基板、フレキシブルディスプレイ用のフレキシブル基板等である。
このように、金属パイプ51及び絶縁パイプ52の間のシール、及び、金属パイプ51と各電極53A、53Bとの電気的接触が、雄ねじ部51a及び雌ねじ部52aの締結と共に行われるので、組み立て作業が非常に簡便となる。
本実施形態のスパッタリング装置100において、ターゲットバイアス電圧(V)と成膜速度(nm/min)との関係を評価した。なお、使用したターゲットTは、IGZO1114であり、サイズは、150×1000mmである。アンテナ間距離(ピッチ幅)は、200mmである。ターゲット−基板間距離は、125mmである。基板Wのサイズは、320×400mmである。
本実施形態のスパッタリング装置100を用いて、真空容器内にアルゴンガスとともに酸素ガスを供給した場合の成膜速度を評価した。なお、使用したターゲットTは、IGZO1114であり、サイズは、150×1000mmである。アンテナ間距離(ピッチ幅)は、200mmである。ターゲット−基板間距離は、125mmである。基板Wのサイズは、320×400mmである。
本実施形態のスパッタリング装置100を用いて形成したIGZO膜(本発明によるIGZO膜)の酸素結合状態をX線光電子分光分析装置(XPS分析装置(株式会社島津製作所社製 AXIS ULTRA))を用いて分析した。また、比較例として、従来方式のRFマグネトロンスパッタ装置(株式会社エイコー社製 ESS−300)を用いて形成したIGZO膜(従来例によるIGZO膜)の酸素結合状態を前記XPS分析装置を用いて分析した。
真空容器2を3×10−6Torr以下に真空排気した後に、100sccmのスパッタ用ガス(Arガスのみ)を導入しつつ真空容器2内の圧力を1.3Paとなるように調整した。複数のアンテナ5に7kWの高周波電力を供給して、誘導結合型のプラズマPを生成・維持した。ターゲットTに−400Vの直流電圧パルス(50kHz、Duty97%)を印加して、ターゲットT(IGZO1114)をスパッタリングして成膜した。
従来例によるIGZO膜:
真空容器を3×10−6Torr以下に真空排気した後に、19.1sccmのスパッタ用ガス(Arガス)及び0.9sccmの酸素ガス(酸素濃度4.5%の混合ガス)を導入しつつ真空容器内の圧力を0.6Paとなるように調整した。カソードに100Wの高周波電力を供給してターゲットT(IGZO1114)をスパッタリングして成膜した。
このように構成した本実施形態のスパッタリング装置100によれば、絶縁パイプ52を介して互いに隣り合う金属パイプ51にコンデンサ53を電気的に直列接続しているので、アンテナ5の合成リアクタンスは、簡単に言えば、誘導性リアクタンスから容量性リアクタンスを引いた形になり、アンテナ5のインピーダンスを低減させることができる。その結果、アンテナ5を長くする場合でもそのインピーダンスの増大を抑えることができ、アンテナ5に高周波電流が流れやすくなり、プラズマPを効率良く発生させることができる。これにより、プラズマPの密度を上げることができ、成膜速度を上げることもできる。
なお、本発明は前記実施形態に限られるものではない。
W ・・・基板
P ・・・プラズマ
T ・・・ターゲット
2 ・・・真空容器
3 ・・・基板保持部
4 ・・・ターゲット保持部
5 ・・・アンテナ
51 ・・・導体要素
52 ・・・絶縁要素
53 ・・・容量素子
Claims (5)
- プラズマを用いてターゲットをスパッタリングして基板に成膜するスパッタリング装置であって、
真空排気され且つガスが導入される真空容器と、
前記真空容器内において前記基板を保持する基板保持部と、
前記真空容器内において前記基板と対向して前記ターゲットを保持するターゲット保持部と、
前記プラズマを発生させるものであり、内部に冷却液が流通する流路を有する複数のアンテナとを備え、
前記アンテナは、少なくとも2つの管状をなす導体要素と、互いに隣り合う前記導体要素の間に設けられて、それら導体要素を絶縁する管状をなす絶縁要素と、互いに隣り合う前記導体要素と電気的に直列接続された容量素子とを有し、
前記容量素子は、互いに隣り合う前記導体要素の一方と電気的に接続された第1の電極と、互いに隣り合う前記導体要素の他方と電気的に接続されるとともに、前記第1の電極に対向して配置された第2の電極と、前記第1の電極及び前記第2の電極の間の空間を満たす誘電体とからなり、前記第1の電極及び前記第2の電極が前記流路の内部に設けられており、前記誘電体が前記流路を流れる冷却液であるスパッタリング装置。 - 前記ターゲットは酸化物半導体材料である、請求項1記載のスパッタリング装置。
- 前記真空容器にスパッタガスを供給するスパッタ用ガス供給機構を備え、
前記スパッタ用ガス供給機構は、前記真空容器にアルゴンガスのみを供給するものである、請求項1又は2記載のスパッタリング装置。 - 前記各電極は、前記導体要素における前記絶縁要素側の端部に電気的に接触するフランジ部と、当該フランジ部から前記絶縁要素側に延出した延出部とを有する、請求項1乃至3の何れか一項に記載のスパッタリング装置。
- 前記各電極の延出部は、管状をなすものであり、互いに同軸上に配置されている、請求項4記載のスパッタリング装置。
Priority Applications (5)
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